【課題】前面基板と隔壁との間の隙間が発生する原因となる、前面パネルと背面パネルの間のギャップの不均一が軽減され、もって、ノイズの発生が抑制されたＰＤＰを提供することを目的とする。
【解決手段】対向配置された２枚の基板１、２の外周辺部を封着部材１１により封着する工程を備えるプラズマディスプレイの製造方法において、封着部材１１の軟化時に、パネル内部圧力を外部圧力よりも小さい圧力とする圧力差を設けることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】簡便な構成によって、不吐出箇所などの欠陥を検出し、高精細ピッチのプラズマディスプレイパネルの歩留低下防止を図ることを目的とする。
【解決手段】インクジェット装置は、蛍光体粒子を含有するインクを吐出するノズルを複数個配列して設けたヘッドと、このヘッドにより塗布された蛍光体層の蛍光体粒子を励起する光を照射する光源と、この光源により励起され前記蛍光体粒子からの発光を検出する検査装置とを具備し、インクジェット装置を用いて蛍光体粒子を含有するインクを吐出して隔壁内に蛍光体層を塗布し、その後前記光源から光を照射して蛍光体層からの発光を検査装置で検出することにより隔壁内に蛍光体層が塗布されたかどうかを検出し、前記蛍光体層が塗布されていない欠陥を検出した場合、欠陥を修復する。 （もっと読む）

【課題】口金への吐出制御用気体の供給と排出を繰り返すことにより、口金や口金内の塗液に温度斑が発生することなく、塗液の粘度変化による塗布斑や、口金の変形による塗布の位置ずれ、塗布斑などの、塗布欠点が発生しない塗液の塗布装置および塗布方法を提供する。
【解決手段】塗液溜り部35および塗液溜まり部35の上方に位置する空間部36を有するマニホールド34、空間部に開口する２つ以上の気体通過口32a,32bならびに略一直線状に配列される複数の吐出孔33を有する口金30を配設し、各々の気体通過口での吐出制御用気体を制御する切換バルブ21および吐出バルブ22を有する。 （もっと読む）

【課題】長尺なローラーコンベアを必要とせずに大型のガラス基板の熱処理が可能なプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）用熱処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ＰＤＰを構成するガラス基板３６を、単独で、もしくはガラス基板支持材３５上に載置した状態で搬送しつつ熱処理を行うＰＤＰ用熱処理装置であって、ローラーコンベア３２を、前記ＰＤＰ用熱処理装置の両側壁３１ｂそれぞれから前記熱処理装置３１の内部に延出させて、搬送方向に複数本、互いに対向させて、且つ回転自在に配設し、前記ローラーコンベア３２は中空構造で、ローラコンベア３２内を通った気体を、ローラコンベア３２の先端３２ａから噴出させ、前記ローラーコンベア３２で搬送されるガラス基板３６の底面、もしくは、ガラス基板３６を載置したガラス基板支持材３５の底面に吹き付けるように構成した。 （もっと読む）

【課題】塗布ヘッドの吐出口および吐出口周辺部に残留塗液が多量に且つ不均一に付着し、拭き取りによる傷の発生を抑制する塗布方法を提供する。
【解決手段】吐出口２０２を有する塗布ヘッド２００を基板１と対向させて相対的に移動させながら塗液を前記吐出口から吐出して前記基板１上に塗布し、前記吐出口２０２からの塗液の吐出を停止させ、塗液の吐出を停止すると同時または塗液の吐出を停止した後さらに塗布ヘッド２００と基板１を相対移動させた後に相対移動を停止させ、その後、前記塗布ヘッド２００を前記基板１から離間させる塗液の塗布方法であって、少なくとも前記塗布ヘッド２００を前記基板１から離間させるまでに前記基板１を帯電させ、塗液の塗布終了位置における前記基板と前記塗布ヘッドの電位差が２００Ｖ以上の状態で離間することを特徴とする塗液の塗布方法とする。 （もっと読む）

【課題】（１１１）結晶配向性及び膜密度分布の良いＭｇＯ膜を成膜する。
【解決手段】搬送方向と平行な方向に向けられており、搬送方向と直交する方向に複数の細長ヒーター３６ａを並べ、中央部の細長ヒーター３６ａを両端部の細長ヒーター３６ａよりも高温とし、ガラス基板１０を加熱しながらＭｇＯ膜の成膜を行った結果、（１１１）結晶配向強度が向上し、ＭｇＯ膜の（１１１）結晶配向強度の差が小さくなることで分布のばらつきが減り、さらに、ＭｇＯの膜密度分布も改善された。 （もっと読む）

【課題】微小クラックの発生を防止することが可能な微細パターン修正方法を提供する。
【解決手段】この微細パターン修正方法では、最初は対物レンズ３４を所定のデフォーカス位置に配置してレーザ光のパワー密度を低くしておく。次に、対物レンズ３４を徐々に下げて行き、対物レンズ３４が所定のフォーカス位置に到達して所定のパワー密度となったころで焼成を行う。焼成終了時には、逆に対物レンズ３４を所定のデフォーカス位置まで上方に遠ざけ、レーザスポットの直径を徐々に広げる。したがって、温度をスムーズに変化させることができる。 （もっと読む）

【課題】ＰＤＰ製造装置において、ガラス基板の端部にＴＣＰを圧着するときのガラス基板の割れや欠けを無くし、且つ装置の簡素化を行う。
【解決手段】パネル受け治具４０のポイント４２の下部にストロークエンドにて支持するように複数のエアシリンダ４１を配置し、各エアシリンダの圧力を電空レギュレータ４３を介して制御部４６にて設定及び管理を行う。更にＰＤＰ７を保持する際のエアシリンダ４１の全推力ｎＦｓはＰＤＰ７の重量Ｆｇ以上であり、且つ圧着ヘッド５の加圧力ＦｈとＰＤＰ７の重量の和以下（Ｆｇ＜ｎＦｓ＜Ｆｇ＋Ｆｈ）となるように制御することで、圧着時は圧着ヘッドの押込む動作に連動しガラス基板全体が下に沈む為、ガラス基板に加わる力を低減し、ＴＣＰを圧着するときのガラス基板の割れや欠けを無くすことができる。 （もっと読む）

【課題】低コストで、かつ簡素な構成で、塗布器の高精度な上下方向位置の較正手段を提供する。
【解決手段】被塗布部材９が保持される保持手段１１の保持面上に設定される基準位置に対して、スリット状またはホール状の吐出口を有する塗布器２の前記吐出口が配設されている吐出口面２ａの上下方向の位置を較正するステップと、前記保持手段に被塗布部材を保持して該塗布部材と塗布器を相対的に移動させながら塗液を塗布するステップ、とを有する塗布方法であって、前記塗布器の上下方向の位置を較正するステップは少なくとも、前記塗布器を自重支持手段５で支持しつつ前記基準位置に向けて降下せしめて前記吐出口面または吐出口面の長手方向に隣接する面と、保持手段の保持面または保持手段の保持面上に設置された厚さ基準器の上面と、を接触せしめ、該接触を検知するステップを有することを特徴とする塗布方法。 （もっと読む）

【課題】リブ材層間に適切にドライフィルムレジストを配置させることができるＰＤＰ背面基板の製造方法、及びその装置を提供する。
【解決手段】プラズマディスプレイパネル背面基板を製造する方法であって、製造ライン幅方向に並列されたリブ材層３、３、…を有する基板２と、帯状のドライフィルムレジスト１とを同じ進行方向に走行させつつ重ね合わせるラミネート工程を有し、幅方向に１枚であったドライフィルムレジストは、ラミネート工程までに製造ライン進行方向に沿って切断され、切断により生じた切断線が、製造ライン幅方向に並列されるリブ材層の間に沿って配置されるように、基板とドライフィルムレジストとが重ね合わせられることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】吐出口近傍にパターン形成材料が付着することを抑制し、基板上に所定の断面形状を有するパターンを形成する。
【解決手段】パターン形成装置は、パターン形成材料を吐出するノズル、パターン形成材料を貯溜するサブタンク５５１、サブタンク５５１に接続される圧縮空気用の配管５６および真空用の配管５７、並びに、配管５７上に設けられた負圧タンク５７２を備える。パターン形成材料の吐出を停止する際には、バルブ５５４を閉じてサブタンク５５１と配管５６との接続を遮断した直後に、バルブ５５５を一時的に開いてサブタンク５５１と負圧タンク５７２とを短時間だけ接続する。これにより、速やかにサブタンク５５１内を負圧にしてパターン形成材料の吐出を停止することができる。その結果、吐出口にパターン形成材料が付着して次の吐出時に吐出が不安定になることが防止され、所望の断面形状のパターンを形成することができる。 （もっと読む）

【課題】 転写された転写材料の温度が大なる温度勾配をもって急激に降温され、その際の大きな熱収縮により、転写された転写材料の被膜が大きく反り返ったり、盛り上がったりして、転写品質を劣化させることを防止し、それにより高品質な転写結果を得ることができる。
【解決手段】 レーザビームの照射に先立って、修復対象物上の少なくとも前記修復予定箇所を予熱することにより、修復予定箇所に転写された前記修復材料の降温勾配を緩和すること。 （もっと読む）

【課題】多数の発光パネルの光学及び電気特性検査を小スペースで連続して同時にかつ安定して行うことが可能な発光パネルのエイジング検査方法を提供する。
【解決手段】検査パレット１２に並べて搭載されたエイジング試験中の発光パネル１１の明るさを一定時間毎に光検出器１６で測定する発光パネル１１のエイジング検査方法であって、光検出器１６に積分型ラインカメラを使用し、その走査周期を該積分型ラインカメラで撮像する１ライン内に存在する発光素子の発光周期の整数倍に設定する。そして、積分型ラインカメラで撮像した一定時間毎の発光パネル１１の画像から赤発光画素、緑発光画素、及び青発光画素毎の領域を抽出してそれぞれ平均輝度を算出し、該各平均輝度の時間変化の大きさから色度変化を求め発光パネル１１の良否判定を行う。 （もっと読む）

【課題】
不灯欠陥が少ないＰＤＰを提供する。
【解決手段】
基板上にストライプ状のアドレス電極、該アドレス電極を覆う誘電体層、該誘電体層上に該アドレス電極と略平行に設けられた隔壁、および該隔壁側面および該隔壁間の誘電体層表面に設けられた蛍光体層を有する背面板と、基板上に該アドレス電極と略直交する表示電極、該表示電極を覆う誘電体層を有する前面板とを有するプラズマディスプレイであって、隔壁高さの８０％位置における隔壁側面の蛍光体層の平均厚さが３〜７μｍの範囲内、誘電体層上の蛍光体層の平均厚さが１０〜３０μｍの範囲内であることを特徴とするプラズマディスプレイとする。 （もっと読む）

【課題】大型の平板状部材であっても、熱処理することができる平板状部材の熱処理炉を提供する。
【解決手段】平板状部材を、トンネル状の炉体１の炉長方向に移送しつつ熱処理を行う平板状部材５０の熱処理炉であって、炉体１の両側壁１ｂから炉内に延出するローラ２を、互いに対向させて、炉長方向に複数、回転自在に配設し、対向するローラ２の先端２ａ間に、平板状部材５０を転支する受けコロ４を配設し、ローラ２及び受けコロ４上に平板状部材５０を載せ、ローラ２を一定方向に回転させて、平板状部材５０を、炉体１の炉長方向に移送するように構成する。 （もっと読む）

【課題】大型の平板状部材であっても、熱処理することができる平板状部材の熱処理炉を提供する。
【解決手段】平板状部材を、トンネル状の炉体１の炉長方向に移送しつつ熱処理を行う平板状部材の熱処理炉であって、炉体１の両側壁１ｂから炉内に延出するローラ２を、互いに対向させて、炉長方向に複数、回転自在に配設し、対向するローラ２の先端２ａ間に、平板状部材５０を転支し、回転軸５が炉外に配設されたディスク４を設け、ローラ２及びディスク４上に平板状部材５０を載せ、ローラ２を一定方向に回転させて、平板状部材５０を、炉体１の炉長方向に移送するように構成する。 （もっと読む）

【課題】結晶の粒度分布から、結晶粒子散布工程における異常の有無と、かかる異常の原因と、を特定し、当該異常の原因に対応する処理を実行する。
【解決手段】 ＭｇＯ粒子の粒度分布から、スラリー散布工程における異常の有無と、その原因と、を特定し、検出された異常の内容に対応する処理を実行することが可能なＰＤＰ製造装置１を提供する。ＰＤＰ製造装置１は、散布装置２０における散布条件を制御するための散布制御部１１１と、検査装置３０の撮像する画像から、ＭｇＯ粒子の粒度分布を検出するための画像解析部１１２と、異常を検出するための異常検出部１１３と、ステージ２０５、３１０を駆動させるための駆動制御部１１４と、を有する異常検出装置１０を備える。 （もっと読む）

【課題】基板上に構造物を適切に形成可能な焼成装置の提供。
【解決手段】焼成装置１００は、焼成前形状測定部１１０にて、焼成前の基板１の寸法としてマーク間距離Ｐ１〜Ｐ４を測定し、焼成後形状測定部１５０にて、焼成後の基板1の寸法としてマーク間距離Ｐ１１〜Ｐ１４を測定する。そして、この測定結果に基づいて、焼成炉１３０の冷却分割ゾーン１３４の設定温度を補正する。このため、基板１の製造ロットが切り替わり収縮率が変化したとしても、基板１の焼成前後の寸法変化に基づいて冷却分割ゾーン１３４の設定温度を補正することで、基板１の収縮の変化量を最小限に抑えることができる。したがって、設計段階で期待した寸法やピッチで構造物を基板１上に形成することができる。 （もっと読む）

【課題】ガラス板の端面研削工程において、研削液がガラス板の平面へ飛散するのを効果的に抑制し、また、研削液の効率的な回収を図る。
【解決手段】遮蔽板６は、接触部４をガラス基板２の平面中央側から包囲する包囲部９を有する。この包囲部９の一端は砥石３の回転方向前方側でガラス基板２の端面２ａと交差して延びている。また、遮蔽板６を挟んで砥石３とは反対側の位置にはパージノズル７が配設されている。このパージノズル７には、遮蔽板６とガラス基板２との間隙を通って研削液がガラス基板２の平面に侵入するのを阻止するためのパージ水１３を噴射する複数のノズル開口部が並列に配列されている。 （もっと読む）

【課題】安定した膜厚でペーストを基板上に塗工可能な塗工装置の提供。
【解決手段】塗工装置１００に、塗工ダイ５１１にタンクダイ間経路１２１を介して接続された第１，第２の塗工タンク１１２，１１３と、第１，第２の塗工タンク１１２，１１３にタンク間経路１２２を介して接続された供給タンク１１４と、供給タンク１１４とペースト収容部１７０とを接続する供給収容部間経路１２３と、を設けている。このため、ペースト収容部１７０から新ペーストのみを供給タンク１１４に供給してロットを切り替えたとしても、第１，第２の塗工タンク１１２，１１３に新ペーストのみで構成されるペーストＰが供給されることがなく、新ペーストおよび旧ペーストで構成されるペーストＰを供給することができる。したがって、ロット切り替え前後でのペーストＰの急激な組成の変化を抑制でき、安定した膜厚でペーストを塗工できる。 （もっと読む）