【課題】基板上の微細パターンに発生した欠陥を修正する加工を施す際に、修正材であるペーストを繰り返し欠陥部に供給する場合、既に欠陥部に供給したペーストの表面を破壊する場合がある。
【解決手段】繰り返し欠陥部に供給する場合、ペーストを供給する塗布針の先端部が、既に欠陥部に供給したペーストに接触することのないように、塗布針の先端部とペーストを供給する箇所との間に隙間を設けた状態で修正材の供給を行なう。 （もっと読む）

【課題】ＰＤＰの製造装置において、真空排気後放電ガスを封入する際、放電ガス中の不純物成分がパネル内に混入されてしまうため、パネルの放電特性にバラツキが生じてしまう。
【解決手段】ボンベ２８からＮｅおよびＸｅガスを主体とした放電ガスをパネル１に導入する。放電ガスの導入経路において、放電ガスを純化するための冷却トラップ４３を設けて、放電ガスのXeガス濃度を変えることなく、放電ガス中の不純物ガス成分の水や二酸化炭素の混入を防止する。このシステムによって、放電ガス中の水分を０．１ｐｐｍあるいは、10ｐｐｂ以下に抑えることが出来る。本発明によれば、不純物成分の影響が出ないため、パネル放電特性のバラツキを減少させ、放電効率の良いＰＤＰおよびＰＤＰ製造装置を実現できる。 （もっと読む）

【課題】基板上にリブを形成するリブ形成装置において、リブの始端部が他の部位よりも高くなることを防止する。
【解決手段】リブ形成装置では、制御部によりノズル回転部４２７が制御されることにより、リブ形成時にノズル部４２１が回転軸４２６を中心として回転してノズル部４２１の姿勢（すなさち、ノズル部４２１からのリブ形成材料の吐出方向）が変更され、リブの始端部の形成時におけるノズル部４２１の先端面と基板９の上面９１との間の角度が、始端部形成後の中間部の形成時における当該角度よりも小さくされる。これにより、始端部の形成時における吐出口の高さを中間部の形成時における吐出口の高さよりも小さくし、リブの始端部が中間部よりも高く盛り上がってしまうことを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】ペースト容器内のペーストの使用効率を向上させることができ且つペースト容器の交換を行う際に処理を停止させる必要がないダイコータを提供する。
【解決手段】本発明のダイコータは、内部にペーストを収容し且つペーストを排出するペースト排出口を上面に備える交換式のペースト容器と、前記ペースト排出口から排出されたペーストを溜めるバッファタンクと、前記バッファタンクから排出されたペーストをヘッドから基板上に吐出して塗布層を形成する塗布層形成部とを備え、前記ペースト容器は、前記ペースト排出口からペーストが自重により排出されるように前記上面を鉛直面よりも下方向に向けて配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】特定の階調を表示するときのみ発生するような表示不良であっても、高速かつ高精度に自動検出することができるプラズマディスプレイパネルの検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】階調が所定の時間間隔で変化する検査パターン画像をプラズマディスプレイパネル１０に表示させるパネル駆動部４２と、プラズマディスプレイパネル１０の画像表示面を、上記所定の時間間隔に応じた時間間隔で撮像する撮像部４３と、撮像部４３で撮像された複数の検査画像を互いに比較して検査画像間の輝度変化量を算出する変化量算出部５３と、輝度変化量があらかじめ定めた所定の範囲内にあるかどうかを判定し、所定の範囲外となる領域を抽出する領域抽出部５４と、上記領域の特徴量を算出する特徴量算出部５５と、上記特徴量にもとづきプラズマディスプレイパネル１０の良否を判定する良否判定部５６とを備える。 （もっと読む）

【課題】製造コストの削減や材料の有効利用を容易に図れるＰＤＰの製造方法を提供すること。
【解決手段】ＰＤＰの前面基板の製造時において、誘電体層形成工程と、保護層形成工程との間に、前面マザー基板を分断する分断工程と、この分断工程で分断されて得られた前面基板から良品を選別する良品選別工程とを実施する。そして、保護層形成工程において、良品選別工程で良品と選別された前面基板ごとに保護層を形成する。このため、前面マザー基板を２枚の前面基板に分断して、良品として選別された前面基板のみに対して、保護層を形成するので、前面マザー基板に不良となる前面基板が存在していたとしても、この不良の前面基板の重ね合わせ作業を実施することがない。また、不良となる前面基板に対して保護層を形成しないので、無駄な材料の消費を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】均熱環境下の収容室に、平板状のワークを積層させて収容可能で、それにより、保温部の長大化を防止し、装置の大幅な小型化が可能であると共に、収容・搬送中のワークの汚損防止が可能であるワーク加熱冷却装置を提供する。
【解決手段】ワーク加熱冷却装置１は、平板状のワーク２を水平面内で順次、直列状態で搬送する第１の搬送機構６を備え、搬送経路上でワークを加熱手段で加熱する加熱部３と、ワークの第２の搬送機構１０を備え、加熱部で加熱されたワークが順次、第２の搬送機構に搬入されて、第２の搬送機構により板面を対向させ且つ所定の間隔を空けて並列して支持され、加熱手段で保温されつつ、第２の搬送機構により順次、搬送される保温部４と、ワークを水平面内で順次、直列状態で搬送する第３の搬送機構７を備え、保温部から搬入されたワークを、搬送経路上で冷却手段で冷却する冷却部５とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明によれば、衝撃や振動によるちらつきや不灯の発生を軽減させた高画質、高精細なプラズマディスプレイパネルを得ることができる。
【解決手段】本発明に係るプラズマディスプレイパネルは蛍光体層の空隙率が２３％以上３７％以下であることを特徴とする。これによって隔壁のチッピング（欠け）が発生した場合においても飛散量を軽減することができ、放電電極上への付着が軽減され、ちらつきや不灯といった表示不良を軽減することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】保護層表面の変質層を十分に除去でき、パネル寿命に優れたプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供する。
【解決手段】第１導体板３が前面基板１に接し、第２導体板４が背面基板２に接するように、第１導体板３および第２導体板４を前面基板１および背面基板２の外側に配置し、前面基板１および背面基板２の少なくとも一方に設けられた貫通穴を介して前面基板１と背面基板２との間にガスを供給しながら、第１導体板３と第２導体板４との間に電圧を印加して前面基板１と背面基板２との間にプラズマを発生させることを含んで成る製造方法。 （もっと読む）

【課題】表示パネル内部への放電ガスの導入を容易かつ低コストで行えるようにする。
【解決手段】対向して配置された前面側基板と背面側基板とを内部を真空状態にして封着する封着部と、製造装置の外部に移送可能であって封着された基板間の対向間隙の容積に応じた量の放電ガスを有し対向間隙に放電ガスを導入するガス導入装置が内部に移送され、それを封着部にて封着された基板の一方に取り付けられたチップ管に真空中で装着する装着部とを有し、製造装置の内外に移送可能なガス導入装置により表示パネル内部に放電ガスを導入するようにして、放電ガスの導入を容易かつ低コストで行えるようにする。 （もっと読む）

【課題】熱損失が少なく、しかも安定した焼成温度が得られる循環式の基板焼成炉を提供する。
【解決手段】炉体本体部１０の内部に熱風を吹き出すことによりガラス基板Ｗの焼成処理が進行する。炉体本体部１０から排出された熱排気は循環経路２０を経由して合体モジュール５０に送給される。合体モジュール５０は、同一のハウジング５１内にヒータ５２、触媒フィルタ部５３およびフィルタ部５４をこの順番で連続に配置して構成されている。ヒータ５２によって再加熱された熱風は直ちに触媒フィルタ部５３に流入するため、触媒フィルタ部５３の分解効率を最大限高めることができる。触媒用の無駄なヒータが不要となって熱損失の低減が可能なだけでなく、１つのヒータ５２を温調するだけで所定温度の熱風を得ることができ、炉体本体部１０内の焼成温度を安定させることができる。 （もっと読む）

【課題】チップオフ時のガスバーナーの熱が封着材や背面板などに直接伝わることを防止し排気管のリーク発生やパネルの破損などの問題を防ぐ。
【解決手段】前面板２０と背面板３０とを封着接合するとともに前面板２０または背面板３０の少なくとも一方に直交して設けられた排気管５０を備えたパネルの製造方法であって、前面板２０と背面板３０とを水平に保持するとともに排気管５０を下方に固定するとともに、排気管５０をガスバーナー６０からガス火炎６２を噴出させて排気管５０をチップオフする際に、ガス火炎６２の噴出方向を前面板２０または背面板３０の面に対して正方向の傾きとしている。 （もっと読む）

【課題】 処理炉において処理されたカートを複数の作業部が設けられたカート返送路により処理炉に戻すカート式処理設備において、カート返送路におけるカートの数を少なくした場合にも、安定して連続した処理が行えるようにする。
【解決手段】 被処理物11を積載させたカート10を処理炉20内に順々に導いて処理し、その出口22から取り出された処理後のカートをカート返送路30に設けられた複数の作業部32〜34に順々に導いて各作業を行い、作業が終了したカートをカート返送路に沿って処理炉の入口21側に順々に戻すカート式処理設備において、カート返送路におけるカートを選択的に一括して処理炉の入口側に移動させる主戻し装置40を設けると共に、少なくとも１つの作業部におけるカートを主戻し装置とは別に処理炉の入口側に移動させる副戻し装置50を設けた。 （もっと読む）

【課題】熱処理装置内で支持台やガラス基板が割れてしまっても、ＰＤＰの表示画像の品質に悪影響を与えたり、製造コストを上昇させたりすることを低減することができるＰＤＰの熱処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】板状の被搬送物２２を、搬送ローラー２３を用いて搬送しながら加熱することで熱処理する熱処理装置２１であって、配設されている搬送ローラー２３の下面から熱処理装置の炉床２５までの距離Ｗと、搬送ローラー２３のローラー間ピッチＰとの関係が、Ｗ≧２Ｐであるプラズマディスプレイパネルの熱処理装置である。 （もっと読む）

【課題】真空雰囲気中で封着材料を焼成できる技術を提供する。
【解決手段】第一、第二のパネルをリング状の封着材料を挟んだ状態（封着対象物６０）で真空槽３１内に配置し、真空槽３１内を真空排気系５０で真空排気しながら封着対象物６０を加熱し、封着材料を焼成する際に、真空槽３１内にガス導入系４０から酸素ガスと希釈ガスを導入する。焼成中に真空槽３１内の全圧を圧力測定装置３９で測定し、これとガス流量計４５，５５の測定値とから制御装置３５により酸素ガス圧力を算出する。真空槽３１内が一気圧よりも低い状態を維持しながら下限圧力を下回らないように、酸素ガス流量と希釈ガス流量をガス流量コントローラ４２，５２で制御する。酸素によって封着材料中の有機バインダーが燃焼され、封着材料は二酸化炭素や水となって真空排気される。 （もっと読む）

【課題】蒸着箇所の異なる複数種類の被蒸着基板に兼用できるマスキングトレイを提供すること。
【解決手段】被蒸着基板を収容する枠体と、枠体に移動可能に設けられ前記被蒸着基板への蒸着を局部的に防止する防着板を備えたマスキング用トレイ。 （もっと読む）

【課題】高精細／高輝度型のＰＤＰの製造工程において発生したリブ欠け欠陥も容易に修正することが可能な欠陥修正方法を提供する。
【解決手段】この欠陥修正方法では、リブ欠け欠陥３６に修正ペースト１０を塗布する前にリブ欠け欠陥３６を整形し、リブ欠け欠陥３６に塗布した修正ペースト１０がリブ３４の横に垂れないように、リブ欠け欠陥３６の底部の幅方向の傾きを緩和させる。したがって、垂れた修正ペースト１０をスクラッチ針で除去する必要がないので、リブ間の隙間が小さな高精細／高輝度型のＰＤＰの製造工程で発生したリブ欠け欠陥３６も容易に修正できる。 （もっと読む）

【課題】送風機や加熱器の故障を防止する状態で熱処理部の熱処理室内を洗浄することができる熱処理装置を提供する。
【解決手段】熱処理室１１に被熱処理物Ｗが出し入れ可能に収容され、かつ気体導入部１２および気体導出部１３を有する熱処理部１０と、熱処理部１０の気体導入部１２へ熱処理用気体を導入するとともに気体導出部１３から熱処理済みの気体を導出するように構成された気体通路２１Ａを有し、その気体通路２１Ａに、被熱処理物Ｗを熱処理する際に被熱処理物Ｗから発生する昇華物を分解するための触媒３０と、少なくとも触媒３０を加熱する加熱器３１と、送風機３２とが設けられた気体処理部２０Ａと、熱処理部１０の気体導入部１２および気体導出部１３に対し、気体通路２１Ａを着脱可能に連結する連結手（連結用フランジ１４、１５、２５、２６およびボルト・ナット）とを具備する。 （もっと読む）

【課題】ＰＤＰの各色の蛍光体を同時処理することによって、紫外線照射による劣化を防止する手段を提供する。
【解決手段】真空チャンバ１と、真空チャンバに接続された真空ポンプ２と、真空チャンバ内に配置され、その上にＰＤＰ基板３が置かれる処理台４と、処理台の上面を加熱するためのヒータ５と、真空チャンバ内において処理台の上方に間隔をあけて配置され、処理台上のＰＤＰ基板に対してプラズマを照射するプラズマ照射ヘッド６と、プラズマ照射ヘッドおよび処理台を相対移動させる移動機構１４と、プラズマ照射ヘッドに処理ガスを供給するガス供給源１２と、プラズマ照射ヘッドに対し、処理ガスを励起するためのマイクロ波を供給するマイクロ波発生源１３を備える。 （もっと読む）

【課題】被印刷物とスクリーンマスクとの間のクリアランスを両者のズレ量に応じて調整することで、被印刷物の歪み、変形、収縮等に合わせて高精度な印刷を実現する。
【解決手段】被印刷物を載置する印刷テーブルに所定のクリアランスを隔ててスクリーンマスクを張架した印刷版を対向配置した構成の印刷装置であって、位置認識部と、演算部と、クリアランス調整部とを設け、位置認識部により、被印刷物の印刷位置を認識し、演算部により、被印刷物の印刷位置と印刷版の印刷位置とのズレ量を認識し、そのズレ量に応じて被印刷物と印刷版との間のクリアランス量を演算し、クリアランス調整部により、クリアランス量に従って被印刷物と印刷版との間のクリアランスを調整する。 （もっと読む）