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Fターム[5C127DD17]の内容

冷陰極の製造 (9,839) | 特徴のある製造対象の製造方法 (3,577) | 成膜方法 (1,814) | 塗布 (481) | パターン塗布 (154) | インクジェット (131)

Fターム[5C127DD17]に分類される特許

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【課題】簡易かつ低コストで、導電微粒子を少量かつ所望の領域に均一に存在させることができ、安定かつ良好な電子放出できる電子放出素子を製造する方法を提供する。
【解決手段】電子放出素子1の電子加速層4の形成工程は、絶縁体微粒子5が分散された分散液を塗布して絶縁体微粒子5を含む微粒子層を形成する微粒子層形成工程と、この微粒子層に、導電微粒子6の分散液をインクジェット法にて塗布する導電微粒子塗布工程とを含む。 (もっと読む)


【課題】絶縁体微粒子の凝集体や導電微粒子の凝集体を含まない均一な電子加速層を形成して、安定かつ良好な電子放出量を得ることができる電子放出素子の製造方法を提供する。
【解決手段】電子放出素子1の電子加速層4の形成工程は、絶縁体微粒子5が分散された分散液を塗布して絶縁体微粒子5を含む微粒子層を形成する微粒子層形成工程と、この微粒子層に、絶縁体微粒子5の平均粒径より小さい平均粒径の導電微粒子6の分散液を塗布する導電微粒子塗布工程とを含む。 (もっと読む)


【課題】電子放出起点が均一なエミッタを備え且つ信頼性に優れた電子放出素子の製造方法を提供する。
【解決手段】基板21上にグラファイト化を促進する触媒物質を含む触媒含有膜102を形成し、触媒含有膜102上に適切な分散状態になるように炭素構造体104を基板21に対して垂直方向に形成する。基板21を加熱して、触媒粒子105を、炭素構造体104内で移動させることにより、炭素構造体104をグラファイト化し、カーボンナノチューブ101を形成する。これにより、基板21に対し略垂直に配向し且つ均一な密度で配置されたカーボンナノチューブ101から構成されるエミッタ23を備え、信頼性に優れた電子放出素子を作製する。 (もっと読む)


【課題】 弾道電子を効率的に発生させることができ、その結果、電子放出素子の効率を向上させることができる電子放出素子を提供すること。
【解決手段】 第一の導電性部材と、第二の導電性部材が互いに向かい合うように形成され、該導電性部材間に電圧を印加することにより、電子を放出する電子放出素子であって。導電性部材間に絶縁皮膜された金属微粒子の凝集体を複数形成し、その大きさは凝集体の大きさは、第一の導電性部材と第二の導電性部材に電圧を印加した場合に、絶縁破壊が起こらないような大きさに形成されている。 (もっと読む)


【課題】 スピント型及びCNT型の電子放出素子では、何れも平面的に形成しているため、有効に空間を活用しているとはいえず、電子放出位置がばらつくとともに、均一な電子放出電流が得られず、電子放出効率も悪かった。
【解決手段】 第一の導電性部材と、第二の導電性部材が互いに向かい合うように形成され、該導電性部材間に電圧を印加することにより、電子を放出する面電子放出源であって、第一の導電性部材は、突起を有する基板と、該基板上の薄膜電極からなり、前記第一の導電性部材の突起間に絶縁性部材が少なくとも配置されるとともに、絶縁性部材の周囲には絶縁皮膜ナノ粒子が配置され、前記第一の導電性部材の突起部は、一定の間隔を有している。 (もっと読む)


【課題】簡単な工程である程度の面積を一度に加工することが可能な冷陰極電子源の製造方法を提供する。
【解決手段】 基板1上にカソード電極2と絶縁層4とゲート電極5を重ね、互いに溶け合わないポリマーA,Bを溶媒で溶解してゲート電極の表面に被着する。溶媒を蒸発させてポリマーB中にポリマーAを微粒子状に析出させて固定化し、現像液でポリマーAを除去してエッチングホール9を形成し、エッチングを行なってゲート電極にホール6を形成する。さらにホール6からエッチングして絶縁層にもホールを形成し、ホール内にエミッタを形成して冷陰極電子源10とする。 (もっと読む)


【課題】電子加速層で導電微粒子が均一に分散されており、電子を長期間安定して放出させることが可能な電子放出素子を提供する。
【解決手段】微粒子層4には、導電微粒子6と導電微粒子6の一次平均粒径より大きい一次平均粒径の絶縁体微粒子5とが含まれており、微粒子層4における導電微粒子6の凝集体の平均粒径は0.35μm以下である。 (もっと読む)


【課題】電子加速層の劣化を抑制でき、真空中だけでなく大気圧中でも効率よく安定した電子放出を可能とし、さらに機械的強度を高めて形成される、電子放出素子を提供する。
【解決手段】電子放出素子1は、電極基板2と薄膜電極3との間に電子加速層4を備え、電子加速層4は、絶縁体微粒子5と導電微粒子6とが分散されたバインダー樹脂15を含んでいる。 (もっと読む)


【課題】電子を放出するエミッションサイトの数を増やすことで発光効率を向上させたエミッタの製造方法、エミッタ、電界放出発光素子の製造方法、電界放出発光素子及び照明装置を提供する。
【解決手段】本発明のエミッタ製造方法は、金属物質をカーボンナノチューブに内包させる内包ステップと、基板に塗布されたカーボンナノチューブを大気雰囲気、窒素雰囲気及び一酸化炭素雰囲気の何れかで焼成し、カーボンナノチューブとカーボンナノチューブに内包される金属物質との接面を酸化反応させ、カーボンナノチューブを切断する切断ステップと、を有している。 (もっと読む)


【課題】本発明の課題は、レーザ又はプラズマで処理されたカーボンナノチューブマットを備えるフィールドエミッションデバイスを提供することである。
【解決手段】本発明は、フィールドエミッションデバイスであって、前記デバイスはカソードとアノードを備える。カソードは、懸濁液から複数のナノチューブをろ過することによって形成されるフィルタケーキから得られるカーボンナノチューブマットを備える。マットは、上面及び反対側の下面を備えることができる。下面は、マットが形成される間にフィルタに隣接して配設されるフィルタケーキ表面に対応する。上面は、カソードのエミッション面として働くことができる。 (もっと読む)


【課題】ダミー領域、バンク等を必要とせず、膜厚及び膜形状が均一な機能膜や配線等の膜パターンを形成する。
【解決手段】基板1に、膜パターン2を形成するための膜形成材料を含む液滴3を付与して、複数の膜前駆体4を形成し、乾燥させる。次いで、基板1を冷却し、結露を発生(雰囲気を凝縮)させて、複数の膜前駆体4を吸湿膨潤させることにより、所定のパターンに合体させた後、再乾燥させて、膜パターン2を形成する。複数の膜前駆体4を液体状態に戻して合体させることで、均一な膜厚及び膜形状を持つ膜パターン2を得ることができる。 (もっと読む)


【課題】 長期に渡って変動の少ない安定した電子放出特性を有する電子放出素子、電子源を提供する。
【解決手段】 基板の表面上で第1方向において離隔して設けられた一対の導電性膜と、各々が、該一対の導電性膜を接続し、間隙を備え、且つ、前記第1方向とは異なる第2方向において互いに離隔して設けられた、複数のカーボン膜と、を備える電子放出素子であって、 前記第2方向における前記複数のカーボン膜の間に、前記基板の表面の一部が露出しており、前記露出している部分が、前記基板の表面の一部であって前記複数のカーボン膜で覆われている部分を構成する材料よりも炭素の堆積を抑制する材料で構成されていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】種々の機能性膜の製造において、形状及び膜厚のばらつきを低減した製造方法を提供する。
【解決手段】機能性膜の形成材料を含む液体を第1の基板上に付与して乾燥させて前駆体膜を形成し、第1の基板を露点まで降温させることによって該前駆体膜に吸湿させた後、第2の基板を対向配置させた状態で第1の基板を昇温させることによって、前駆体膜に含まれる水分を第2の基板に凝集させて該前駆体膜を再乾燥させる。 (もっと読む)


本発明は、電界放出素子用のカソードアセンブリを製造するための方法に関する。
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本発明は、電界放出素子用のカソードアセンブリを製造するための方法に関する。
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【課題】カーボンを主体とする電子放出部形成膜に均一に且つ低電力で間隙を形成することで、優れた電子放出特性を有する電子放出素子を均一に且つ低い製造コストで提供する。
【解決手段】基板1上に、一対の電極3a,3bと、該電極間に挟持された電子放出部形成膜4とを有する電極部2を形成し、該電極間に通電処理を施すことにより、上記電子放出部形成膜4に間隙5を形成した電子放出素子であって、該電子放出部形成膜4が、カーボン中に第1の金属微粒子を分散させた第1の薄膜4aと、該第1の金属よりも低融点である、或いは、1000℃における蒸気圧が1.33×10-3Pa以上である該第2の金属を含む第2の薄膜4bとの積層膜とする。 (もっと読む)


【課題】カーボンを主体とする電子放出部形成膜に均一に且つ低電力で間隙を形成することで、優れた電子放出特性を有する電子放出素子を提供する。
【解決手段】基板1上に、一対の電極3a,3bと、該電極間に挟持された電子放出部形成膜4とを有する電極部2を形成し、該電極間に通電処理を施すことにより、上記電子放出部形成膜4に間隙5を形成した電子放出素子であって、該電子放出部形成膜4が、金属及びカーボンからなり、該金属の含有量が1乃至20atom%であり、且つ該金属が直径1乃至5nmの微粒子形態である混合膜であって、該混合膜のバルクに対する密度比が0.7以上1.0以下である。 (もっと読む)


【課題】本発明は、高寿命な電子放出素子を形成するための非酸素雰囲気下で熱分解性の良い感光性樹脂を用いた電子放出源用ペーストおよびそれを用いた電子放出素子を提供することを課題とする。
【解決手段】針状炭素、無機粉末および感光性樹脂を含む電子放出源用ペーストであって、感光性樹脂が、(メタ)アクリル酸エステルと重合性不飽和モノマーとの共重合体にエチレン性不飽和二重結合を有する化合物を付加させた感光性樹脂であり、さらに、(1)感光性樹脂の酸価が25mgKOH/g未満であること、および(2)(メタ)アクリル酸エステルがイソブチルメタクリレート、n−ブチルメタクリレート、2−エチルヘキシルメタクリレートおよびアクロレインからなる群より選ばれる少なくとも1種以上を含むことを特徴とする電子放出源用ペースト。 (もっと読む)


【課題】高精度インクジェットヘッドにインクを充填する工程において、該ヘッドにダメージを与える恐れのある工程を回避し、ヘッド性能を確保し、ヘッドの寿命劣化を抑制する方法を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド1のノズル面に吸引キャップ6を取り付け、吸引チューブ7から吸引しながら供給チューブ4から洗浄液を導入して、共通液室2、ノズル3に洗浄液を導入し、その後、吸引チューブ7を閉じた状態で、供給チューブ4から空気を導入して排出チューブ5から排出することで、ノズル3に空気を接触させることなく、共通液室2内の洗浄液を排出する。 (もっと読む)


【課題】電子源の素子電極や導電性膜をインクジェット方式により作製する工程において、複数の吐出ノズルから同時に吐出された液滴から形成される膜の膜厚の均一化を図り、均一な電子放出特性の電子源を提供する。
【解決手段】吐出ヘッド7の複数のノズル9から同時に金属元素を含む溶液を基板上に吐出して導電性膜を作製する工程において、端部側のノズル9から吐出する液滴12の吐出量を、中央部のノズル9から吐出する液滴12の吐出量よりも多くなるように設定する。 (もっと読む)


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