【課題】本発明は、基板にナノ炭素材料を好適にパターニングして成長させること出来るナノ炭素材料複合基板製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の手法を用いることにより、基板上に形成した開口部の断面部分に触媒層が露出させられ、この触媒層が露出されられた部分にのみナノ炭素材料が成長したナノ炭素材料複合基板が作製できる。このため、本発明のナノ炭素材料複合基板は、開口部により露出された触媒層にのみナノ炭素材料が生成されており、パターニングされてナノ炭素材料が配置されることから、電界が集中しやすく、優れた電子放出特性が発揮されることが期待できる。また、個々のナノ炭素材料は、基板の表面層によって保護されているために、衝撃やスパークなどからナノ炭素材料を保護することができ、ナノ炭素材料複合基板が優れた耐久性を発揮することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】 安価で大面積の基板を用い、生産性を向上させることが可能な工程により、電
界放出表示装置の電界放出素子を形成する技術を提供する。
【解決手段】 本発明に係る電界放出素子は、絶縁性表面を有する基板上に形成されたカ
ソード電極と、前記カソード電極表面に形成された凸形状の電子放出部とを有し、前記カ
ソード電極と前記電子放出部とは、同一の結晶性半導体膜で形成されており、前記電子放
出部は、円錐形又はウィスカー状であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）をＦＥＤの電界エミッタとして用いるには、電界の集中するカソード頂点周囲にＣＮＴを形成して、電界エミッタを電気的に信頼性のあるものとする必要がある。そのための触媒粒子をカソードの頂点周囲に形成する方法を提供する。
【解決手段】外部電源３０１は電解質溶液２０３に電圧を印加する。電解質溶液に印加された電圧は、静電力を生成する。生成された静電力によって、金属触媒イオン２０４が、電解質溶液の表面に集まる。このとき閾値電圧を超える電圧が印加されると、金属触媒イオンは、電解質溶液の表面張力を超えて、電解質溶液の表面から放出される。電界は金属先端２０１の頂点２０２に集中し、電解質溶液から放出された金属触媒イオンは金属先端に向かい、頂点に付着する。付着した金属触媒イオンは金属先端で金属触媒原子になる。 （もっと読む）

【課題】工程が少なく、製造コストを低減できるとともに、焼成工程における有機残渣の少ない電子放出素子の製造方法を提供する。
【解決手段】電子放出材料含有塗膜、絶縁材料含有塗膜または導電材料含有塗膜の少なくとも一種が形成された基材の塗膜面をカソード電極基板上に貼り合わせ、該基材の該貼り合わせ面と反対の面からレーザー照射し、基材からカソード電極基板上に転写することにより、パターニングされた電子放出源、絶縁層またはゲート電極の少なくとも一種を形成する工程を含むことを特徴とする電子放出素子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】材料にガラスを用いた基体上にＴａＮ（６方晶）、αＴａ、銅がこの順形成された溝配線構造の場合、配線と基体との間で十分な密着強度が得られない場合があった。
【解決手段】本発明は、ガラスからなる基体上に銅配線が形成された、配線基板であって、銅配線が、Ｔａ₂Ｎ膜、αＴａ膜、および、銅あるいは銅を主成分とする合金からなる膜がこの順に形成された積層構造であることを特徴とする配線基板である。 （もっと読む）

本明細書では、特に高周波応用のための三極管型電界放出デバイス（１１）が開示される。このデバイスは、陰極電極（１２）、陰極電極（１２）から間隔を空けられた陽極電極（１４）、陽極電極（１４）と陰極電極（１２）との間に配列された制御ゲート電極（１３）、および少なくとも電界放出先端部（１９）を有する。陰極電極（１２）、制御ゲート電極（１３）、および陽極電極（１４）は、電界放出先端部（１９）の三極管区域（１１ａ）においてオーバーラップし、電界放出先端部と連携して三極管区域において電子ビームを生成するように動作可能である。陰極電極（１２）、制御ゲート電極（１３）、および陽極電極（１４）は、三極管区域（１１ａ）の外側でオーバーラップせず、それぞれの線（ｘ，ｙ，ｚ）に沿った主となる長手方向を有する。これらのそれぞれの線（ｘ，ｙ，ｚ）の各々は、相互に関して非ゼロの角度で傾斜している。
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【課題】十分な電子放出特性を備え、且つ、簡易な電子放出素子の製造方法、電子源の製造方法、および、画像表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る電子放出素子の製造方法は、カーボン膜を備える基板を用意する工程と、炭化水素もしくは水素、又は、炭化水素と水素の両方を含む雰囲気中で、前記カーボン膜の一部に、局所的にエネルギーを照射する工程と、を有することを特徴とする。また、本発明に係る電子源の製造方法は、複数の電子放出素子を有する電子源の製造方法であって、前記複数の電子放出素子のそれぞれが、上記本発明に係る電子放出素子の製造方法で製造されていることを特徴とする。また、本発明に係る画像表示装置の製造方法は、電子源と、電子の照射によって発光する発光部材と、を備える画像表示装置の製造方法であって、前記電子源が、上記本発明に係る電子源の製造方法で製造されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】導電性膜の間隙長が長く、十分な量の電子放出が得られ、特性バラツキの少ない電子放出素子を製造する。
【解決手段】導電性膜２を屈曲部７を有するＶ字形状とし、間隙５を形成する工程においてＶ字の内側の点Ｂに電流を集中させてより低消費電力で、該点Ｂを基点に間隙５を形成する。 （もっと読む）

【課題】走査信号配線の低抵抗化を図ると共に、給電及び導通の信頼性の向上と素子分離の信頼性の確保を図り、表示特性の優れた長寿命の画像表示装置を提供する。
【解決手段】 走査信号配線９を、アルミニウム膜からなる下層膜９２と、アルミニウムを主成分とするアルミニウム合金膜からなる上層膜９４の積層構造とした。 （もっと読む）

【課題】ナノ構造体のような微細構造体を高度に配列するため、微細構造体を所望の場所に、所望の方向に配列するための方法を実現することを目的とする。
【解決手段】それぞれ独立した電位を与えうる３つの電極を形成した絶縁基板を用意する基板準備工程と、上記絶縁基板上に微細構造体を含んだ液体を塗布する微細構造体塗布工程と、上記３つの電極にそれぞれ電圧を印加して、上記微細構造体を上記電極により規定される位置に配列させる微細構造体配列工程を含む。 （もっと読む）

【課題】低電圧にて安定した電子放出が可能な炭素繊維−導電性ポリマー複合電極およびその製造方法を提供する。
【解決手段】導電性ポリマー６に炭素繊維７を複合させ、当該炭素繊維７の先端から電子を放出可能な炭素繊維−導電性ポリマー複合電極１であって、電極２と、当該電極２の表面に形成され、当該電極２に達する開口部４を有する絶縁層３と、当該開口部４に形成され、導電性ポリマー６と炭素繊維７とを含む複合膜５とを有する炭素繊維−導電性ポリマー複合電極１とする。 （もっと読む）

【課題】十分な量の電子を安定的に電界放射することが可能で容易に製造可能な電界放射素子およびその製造方法を提供することである。
【解決手段】絶縁基板１０の上面に一方向に延びる複数の壁部１１が所定間隔ごとに平行に形成されている。各壁部１１の一方の側面から絶縁基板１０の上面の一部に断面Ｌ字状のカソード層２１が形成されている。各壁部１１の他方の側面から絶縁基板１０の上面の一部に断面Ｌ字状のゲート層２２が形成されている。隣接する壁部１１に形成されたカソード層２１とゲート層２２との間は互いに分離され、電気的に絶縁されている。絶縁基板１０の上方に、所定間隔を隔てて透明基板５０が支持枠６０を介して配置されている。透明基板５０の下面には、壁部１１、カソード層２１およびゲート層２２に対向するように蛍光体層３０およびアノード層４０が絶縁基板１０側からこの順に設けられている。 （もっと読む）

【課題】電子放出特性のばらつきを従来のものよりも小さくすることができる冷陰極素子及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】冷陰極ディスプレイ装置１００は、冷陰極素子１０と、陽極基板５０とを有し、冷陰極素子１０は、ガラス基板１１上に形成された陰極母線１２と、陰極母線１２上に形成された絶縁層１３と、絶縁層１３上に形成されたゲート電極１４と、陰極母線１２上に設けられ、電子を放出する炭素系冷陰極１５とを備え、陽極基板５０は、ガラス基板５１上に形成され、電子を捕捉する陽極電極５２と、電子の衝突によって発光する蛍光面５３とを備え、炭素系冷陰極１５は、遷移金属、貴金属及び希土類元素の少なくとも１つを含む金属、合金及び混合物のいずれかに酸化物が混合された触媒材料を介して形成される構成とした。 （もっと読む）

【課題】電子放出量の分布の均一性が向上した電子放出源を提供する。
【解決手段】カソード電極２上に第１絶縁層３ａが形成される。次に、第１絶縁層３ａに開口部５が形成される。その後、突出部形成用部材が第１絶縁層３ａの上面上であってかつ開口部５の周辺に設けられる。次に、第１絶縁層３ａと突出部形成用部材とが熱処理によって一体化させられる。それにより、第１絶縁層３ａに突出部７が形成される。その後、開口部５を充填するとともに突出部７を覆うように、カーボンナノチューブ層６が形成される。この状態で、湿式ベルト研磨機の研磨によって、カーボンナノチューブ層６の上面から第１絶縁層３ａの所定の深さ位置までの部分が除去される。これによれば、研磨ステップにおいて発生する削り屑の飛散によって開口部５内のカーボンナノチューブ層６が損傷することが突出部７によって防止される。 （もっと読む）

【課題】高い発光均一性を有する電子放出源の製造方法を提供する。
【解決手段】まず、ガラス基板１上にカソード電極層２が形成される。次に、カソード電極層２上に絶縁層３が形成される。その後、絶縁層３に開口部が形成される。次に、開口部内に電子放出材料４が形成される。その後、電子放出材料４が焼結され、絶縁層３と電子放出材料４との間に空隙が形成される。 （もっと読む）

【課題】 電子放出特性の変動が小さく安定な電子放出素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 基体と、各々が前記基体の表面に対して実質的に垂直に配向した、複数の柱状の第１領域と、前記複数の第１領域の各々の間に設けられた、前記第１領域よりも高抵抗な第２領域と、前記複数の柱状の第１領域と前記第２領域とを覆う電子放出膜と、を備える。 （もっと読む）

【課題】電子放出特性が安定化した電子エミッタを提供すること。
【解決手段】基板表面に、ナノカーボン材料を含むペーストを塗布した後、焼成してナノカーボンを含む成形体を得て、次いで成形体の表面を表面処理し、成形体の厚みｔ（μｍ）に対する表面粗さＲａ（μｍ）の比を０．１５〜０．８５にしたことを特徴とする、電子エミッタ。 （もっと読む）

【課題】この発明は、制御電極の開口部の加工安定性を確保して大面積化を実現できる電子放出型表示装置およびその製造方法を得る。
【解決手段】開口部１６１は、制御電極１６の各ラインに、その延設方向（第２方向）に所定ピッチで多数形成され、サブピクセルを規定する。そして、開口部１６１は、制御電極１６の延設方向を長軸とする略長方形の主開口がカソード電極１１の延設方向（第１方向）に等ピッチで複数配置され、カソード電極１１の延設方向を長軸とする略長方形の１つの従開口が複数の主開口の長手方向の中央を連結するように配置されて、形成されている。 （もっと読む）

【課題】カーボンナノチューブが均一に分散された高効率の電子放出材料及びその製造方法、電子放出材料が形成された基材、電子放出装置を提供する。
【解決手段】本発明の電子放出材料の製造方法は、エラストマー３０に、単層カーボンナノチューブまたは２層カーボンナノチューブ４０を混合させ、かつ剪断力によって分散させて炭素繊維複合材料１を得る工程を含む。炭素繊維複合材料１は、単層カーボンナノチューブまたは２層カーボンナノチューブ４０を４〜１６体積％含むことを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、関与部（５）を有しており、微細構造素子（１）の一つの面上で開口している少なくとも一つのキャビティ（４）の内部を保護するための方法に関している。ここで、前記微細構造素子は、前記面上で保護物質の非コンフォーマル層（６）の堆積を備えており、前記非コンフォーマル層は前記関与部を覆うことなくキャビティをふさぐ。本発明は、そのような微細構造素子を備えた素子を製造する方法にも関している。
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