【課題】本発明は超音波センサ及びその製造方法に関する。
【解決手段】本発明は、一端は閉鎖され、他端は開放部からなるケース１１０と、前記ケース１１０内部の一端に固定して結合される圧電素子１２０と、前記圧電素子１２０の一部をカバーするように前記圧電素子１２０の上面に結合される吸音部材１３０と、一端は前記圧電素子１２０に連結され、他端は前記吸音部材１３０に連結される伝導性部材１４０と、前記伝導性部材１４０及びケース１１０に電気的に結合されるリード線１５０と、を含むことを特徴とする超音波センサ及びその製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】デバイスを破損させることなく、また歩留まり良く、フレキシブル基板に電子デバイスを実装させることができる電子デバイス搭載方法を提供する。
【解決手段】下面に導電部材を有する電子デバイス２１，２２をフレキシブル基板１０に搭載する方法であって、電子デバイス２１，２２をフレキシブル基板１０の上面に接合させる第１工程と、フレキシブル基板１０の下面側からフレキシブル基板１０に開口２１１，２２１を形成して、電子デバイス２１，２２の下面に設けられた導電部材を部分的に露呈させる第２工程と、フレキシブル基板１０の下面に電子デバイス２１，２２の導電部材と電気的に接続する配線パターン３０を形成する第３工程と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、メンブレンを効率良く大きく変形させることができ圧電デバイスおよび超音波探触子並びに圧電デバイスの製造方法の提供を目的とする。
【解決手段】本発明の超音波探触子における圧電デバイスとしての超音波送受信部５は、積層された薄板状の圧電部材６２を有する円形状のメンブレン６と、電極とを備えている。電極は、圧電部材６２の第１領域６８と第２領域６９とに夫々電圧の印加に伴い互いに逆向きの応力が発生し得るように、前記圧電部材６２に設けられた複数組の一対の第１電極６３、６５及び第２電極６４を備えている。 （もっと読む）

【課題】電極の電気抵抗が小さい圧電素子を用いる超音波プローブ、及び、超音波画像診断装置を提供する。
【解決手段】圧電素子１０は、開口部１１１を有する基板１１と、開口部１１１を閉塞する可撓性を有する支持膜１２と、支持膜１２上に形成されるとともに、平面視において、開口部１１１内に設けられる下部電極本体部２１、および下部電極本体部２１に接続されて、開口部１１１内外に跨って設けられる下部電極線部２２を有する下部電極層２０と、平面視において、開口部１１１内で、下部電極本体部２１上に形成される第一圧電体層３０と、平面視で開口部１１１の内外に跨って形成されるともに、少なくとも一部が第一圧電体層３０に積層され、かつ下部電極層２０と絶縁される上部電極層５０と、支持膜１２上で、下部電極線部２２の少なくとも一部を覆って形成される第二圧電体層４０と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】複数のセンサー素子間での特性バラツキを抑制し、所望の歩留まりが得られる超音波アレイセンサーおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】超音波アレイセンサーにおいて、センサー素子２は、圧電体層８の平面パターンが下部電極５の平面パターンよりも外側にはみ出しておらず、上部電極３の平面パターンが圧電体層８の平面パターンよりも外側にはみ出していない。下部電極引き回し配線６は、コンタクトホール１３を介して下部電極５と電気的に接続され、コンタクトホール１３の箇所を除いて圧電体層８の一面上に配置されている。上部電極引き回し配線４は、下部電極引き回し配線６の延在方向と交差する方向に延在して上部電極３と一体に形成され、圧電体層８の一面上に配置されている。 （もっと読む）

【課題】製造が容易な超音波ユニット３０を提供する。
【解決手段】超音波ユニット３０は、連結された複数の超音波エレメント２０からなる超音波アレイ４０を具備し、超音波エレメント２０が、シリコン基板１１と、複数の超音波セル１０が配置されておりシリコン基板１１の第１の主面２０ＳＡに配設された送受信部６０と、可撓性の下部電極配線４２と、下部電極端子５２と、可撓性の上部電極配線４１と、上部電極端子５１と、を有し、可撓性の第３絶縁層１７が、送受信部６０の表面を被覆しているとともに、折り曲げ部４６、４７により第２の主面２０ＳＢの方向に折り曲げられた下部電極配線４２および上部電極配線４１を被覆している。 （もっと読む）

【課題】出力の音圧レベルの増大と装置の小型化とを、ともに実現する発振装置を提供する。
【解決手段】電気音響変換器１００は、圧電セラミック１１１の裏面に電極板１１３が接合されているので、例えば、圧電セラミック１１１となる大型の圧電セラミックの裏面に大型の電極板１１３を接合してから所定形状に分断することで、損傷を防止しながら圧電セラミックからなる圧電セラミック１１１を所定形状に形成することができる。このような圧電振動子１１０が弾性振動板１２０の凹部１２１に挿入されて接合されているので、圧電振動子１１０の電極板１１３が弾性振動板１２０の一部として機能することができる。このため、出力の音圧レベルの増大と装置の小型化とを、ともに実現することができる。 （もっと読む）

【課題】キャビティ形成用の犠牲層の除去を比較的高速に且つ残渣を低減させて行うことができる容量型電気機械変換装置の製造方法を提供する。
【解決手段】基板４と所定の間隔を保って可動に保持される振動膜３により形成されるキャビティ９と、キャビティに面する表面が露出する電極８と、キャビティに面する表面が絶縁膜で覆われる電極１を有する容量型電気機械変換装置の製造方法である。基板上に犠牲層６を形成し、犠牲層の上に振動膜３を含む層を形成し、外部から犠牲層に通じるエッチング孔１０を形成する。その後、キャビティに面する表面が露出する電極８を電解エッチング用の一方の電極として、外部に設けた電解エッチング液に接している他方の電極１２との間で通電し、犠牲層を電解エッチングしてキャビティ９を形成する。エッチング孔１０から犠牲層除去剤を導入し、電解エッチングによる犠牲層の残渣１７を低減する。 （もっと読む）

【課題】電極上に超音波探触子の他の部材を加圧接着しても、振動子に割れ等の損傷を抑制する超音波探触子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】超音波探触子１は、振動子本体部１０と、前記振動子本体部の一面に設けられる第１電極１２と、前記振動子本体部のもう一方の面に設けられる第２電極１４と、前記振動子本体部の一面及びもう一方の面の側辺部のうち少なくともいずれか一方の側辺部に形成される無電極部２２ａ，２２ｂと、を有する振動子を含み、前記無電極部には、前記第１電極及び前記第２電極と同じ厚みであって、前記第１電極及び前記第２電極と電気的に非導通のスペーサ２４ａ，２４ｂが形成される。 （もっと読む）

【課題】溝で素子分離された電気機械変換装置の寄生容量を低減すると共に、溝に異物が浸入するのを防止することができる電気機械変換装置及びその作製方法を提供する。
【解決手段】電気機械変換装置は、間隙を挟んで対向して設けられた第１及び第２の電極１０８、１０７を含むセルを少なくとも１つ夫々有する複数の素子１０４と、複数の素子の外周に沿って伸びた外枠１０９を含む。複数の素子夫々の第１の電極１０８は、素子用の基板を溝１１１で電気的に分離して形成された複数の部分から夫々成り、外枠１０９は、複数の部分から溝１１１で電気的に分離された、複数の部分の周りの素子用の基板の部分から成る。複数の第１の電極１０８は、複数の電極接続部１１２を介して、他の基板１０２の複数の導電性部１１７に夫々接合され、外枠１０９は、複数の電極接続部の周りの環状の外枠接続部１１３を介して、他の基板の対応部分に接合される。 （もっと読む）

【課題】下部電極を各素子に分割することで段差が生じても、上部電極の抵抗上昇、メンブレンへのダメージおよび上部電極と下部電極間の絶縁耐性低下を低減する技術を提供する。
【解決手段】複数の下部電極２０３と、下部電極を覆う絶縁膜２０４と、絶縁膜２０４上に下部電極２０３と重なるように形成された複数の空洞部２０５と、空洞部２０５の間を埋める絶縁膜３４０１と、空洞部２０５および絶縁膜３４０１を覆う絶縁膜２０６と、絶縁膜２０６上に空洞部２０５と重なるように形成された複数の上部電極２０７とそれらを結ぶ複数の配線２０８を備えた超音波トランスデューサにおいて、空洞部２０５と絶縁膜３４０１の表面が同じ高さに平坦化されている。 （もっと読む）

【課題】２次元アレイ構造を有する超音波プローブにおいて、歩留まり向上を実現する。
【解決手段】超音波プローブは、２次元状に配列された複数の振動子群１０を有する。各振動子群１０は、２次元状に配列された複数の振動子５０を有する。複数の振動子群１０には、複数の第１基板３０がそれぞれ電気的に接続されている。複数の第１基板３０には、単一の第２基板４０が電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】 容量型機械電気変換素子において、大面積かつ狭電極間隔（ギャップ）の犠牲層エッチング速度を高速かつ安定にでき、アレイ素子の生産性（均一性、歩留まり）を向上する。
【解決手段】 基板と、該基板上に配置された支持部によって基板と所定の間隔を保って保持される振動膜から形成されるキャビティと、表面がキャビティに露出した第１の電極と、キャビティに面する表面が絶縁膜で覆われた第２の電極とを有し、第１の電極は基板の表面または振動膜の下表面に設けられ、第２の電極は第１の電極と対向して振動膜の表面または基板表面に設けられた容量型機械電気変換素子であって、
第１の電極の表面にその第１の電極を形成する物質の酸化膜からなる微粒子が配置され、この微粒子の直径が２ｎｍから２００ｎｍの範囲であることを特徴とする容量型機械電気変換素子、およびその製造方法を提供する。 （もっと読む）

ウエハー接合型ＣＭＵＴアレイは、基板に沿って配設される複数のＣＭＵＴエレメントを備えており、各エレメントは、基板に形成されるキャビティおよび信号電極と、キャビティを塞いで、接地電極を形成する導電性膜とを有しており、複数のＣＭＵＴエレメントのこれらの導電性膜が、ＣＭＵＴアレイの表面全体にわたる連続した接地面を形成しており、また、信号電極への電気接続部が、信号電極から基板の裏面へ基板を貫通して延びる導電性ビアによって提供されている。 （もっと読む）

【課題】超音波診断装置用プローブ及びその製造方法に対する発明の提供。
【解決手段】開示された発明の超音波診断装置用プローブは、第１電極部を備える吸音層と、第１電極部に連結される圧電体と、圧電体に連結される第２電極部を備える音響整合層と、第１電極部及び第２電極部に連結されるＰＣＢとを含む。本発明によると、圧電体とＰＣＢとの接続作業が迅速かつ容易に行われるので、製造時間が短縮され、製造が容易であるとともに、接続部位の耐久性及び均一性が向上し、圧電体とＰＣＢとの間の接合不良による性能低下を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】従来よりも接地電極の長さを短くして超音波プローブの厚み方向の寸法を小さくすることができる超音波プローブの圧電振動子を提供する。
【解決手段】圧電振動子１５を構成する圧電体２６における同一の面に形成された信号電極２８と接地電極２９とを有し、前記接地電極２９は、表面に突起部３３を有する。前記圧電体２６は、間隙３０に充填材が充填されて形成された充填部３１と、圧電材からなる圧電材部３２とで構成され、前記充填部３１は、前記圧電体２６の表面を研削した時に、前記圧電材部３２よりも研削されずに前記圧電体２６の表面において突出することになる材質の充填材によって形成されていて、前記圧電体２６の表面から突出する突部３１ａを有しており、前記接地電極２９の部分の導電層２７が、前記突部３１ａの上において突出して前記突起部３３を形成している。 （もっと読む）

【課題】従来よりも接地電極の長さを短くして超音波プローブの厚み方向の寸法を小さくすることができ、なおかつ信号電極の表面をできるだけ平滑にすることができる超音波プローブの圧電振動子を提供する。
【解決手段】圧電振動子１５の圧電体２６に設けられた第二充填部３４は、前記圧電体２６の表面を研削した時に、圧電材部３２よりも研削されずに前記圧電体２６の表面において突出することになる材質の充填材によって形成されていて、前記圧電体２６の表面から突出する突部３４ａを有しており、一方で第一充填部３３は、前記圧電体２６の表面を研削した時における被研削性が、前記第二充填部３４を形成する充填材よりも優れている材質の充填材によって形成されており、前記突部３４ａの上の導電層２７が突出して接地電極２９の表面に突起部３５が形成されている。 （もっと読む）

【課題】圧電素子を採用した積層圧電素子２Ｄアレイが生成する超音波信号の強度を高くするには、超音波の受信方向に対して垂直方向に、各々の圧電素子を精度よく位置決めする必要がある。そこで、各々の圧電素子を精度よく位置決めすることで、高い強度の超音波信号を生成する超音波探触子及びその作製方法を提供する。
【解決手段】所定形状を有する少なくとも一つの表面電極と、所定形状を有する裏面電極とを有する有機圧電膜を平行に複数備える超音波探触子であって、前記複数の有機圧電膜を所定の入射光が透過する率を５％以上とする。 （もっと読む）

【課題】超音波診断装置用プローブ及びその製造方法の提供。
【解決手段】吸音層と、この吸音層に形成される電極部と、この電極部に接合する圧電体とを備える。本発明によれば、製造過程において、難しくて手間がかかる半田付け作業の代わりに、単方向伝導部を利用して、圧電体とプリント基板とを接続するため、製造が容易になり、かつ製造時間が短縮される。 （もっと読む）

【課題】有機無機積層型の超音波振動子を作成するにあたって、音軸のずれを無くす。
【解決手段】無機圧電素子３３上に有機圧電素子３４を積層して成る超音波振動子３１において、有機圧電層３４ａを素子分離する個別の信号電極の形成を、不溶解性の微粒子を分散したスラリーを塗布し、媒質を乾燥させることで紛体堆積層４７を形成し、その後、超音波振動子３１の上下を反転し、既に完成している送信用の無機圧電層３３ａを一部の出力に調整して駆動することで適切な振動を発生させ、その振動によって、素子分離（切出）されている無機圧電層３３ａ上の領域４８に堆積している粉体を篩落とし、得られた残留粉体をマスクとして行う。したがって、自己整合によって、有機圧電素子３４の信号電極には、ダイシングなどによる該無機圧電層３３ａの素子分離（切出）のばらつきを正確に反映させることができ、音軸（ビームフォーミング）のずれを無くすことができる。 （もっと読む）