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【課題】蒸着重合膜を連続形成しつつ、蒸着重合膜の組成や膜厚の変化を把握できる蒸着重合膜形成装置を提供する。
【解決手段】赤外光源88と分光手段と検出器90と光学系92とを有する反射型赤外分光光度計86を設置すると共に、分光手段により分光された赤外光を蒸着重合膜上に集光させる集光鏡124と、蒸着重合膜上の集光点での反射光を更に反射させて、検出器90に導く反射鏡126,122,118とを、光学系92に設け、更に、集光鏡124を、基材フィルムの移送に伴って、蒸着重合膜上での赤外光の集光点の位置を基材フィルムの長さ方向に変化させ得る位置に配置して構成した。 (もっと読む)


【課題】小型でかつ高い静電容量を得られ、さらに絶縁性能の高い薄膜誘電体を用いたコンデンサを提供する。
【解決手段】薄膜コンデンサは無機物層と、自己組織化によって形成した有機物層とを積層した厚み10nm以下の誘電体膜と、前記誘電体膜の表面に形成された電極膜とを有する。電極膜はアルミを蒸着法によって、誘電体膜はアルミ蒸着膜を酸素プラズマ処理によって酸化膜を形成した表面に有機膜を付与して、形成することができる。これらを繰り返し積層、さらに巻回することが望ましい。 (もっと読む)


【課題】優れた耐湿性を有する金属化フィルムコンデンサを提供する。
【解決手段】本発明の金属化フィルムコンデンサは、一対の金属化フィルム1、2の金属蒸着電極4a、4bのうち少なくとも一方は、誘電体フィルム3a、3bとの接合面に形成された酸化膜層と、この酸化膜層上に形成されたマグネシウム含有層とを有し、マグネシウムの原子濃度比率がマグネシウム含有層において最大となるものとした。これにより本発明は、マグネシウム含有層の酸化を抑制し、セルフヒーリング性を高め、耐電圧向上効果を維持することが可能である。 (もっと読む)


【課題】 所望の静電容量を確保し易いキャパシタ及びその製造方法並びにキャパシタユニットを提供する。
【解決手段】
第1の電極層9と、第1の電極層9の表面上に積層された導電性の第1の凸部14aと、第1の凸部14aの表面及び第1の電極層9の表面に成膜された第1の誘電体層6と、第1の誘電体層6を介して第1の凸部14a及び第1の電極層9に重なるように設けられた第2の電極層7と、を備えるキャパシタ1Aを製造可能な構成を有している。 (もっと読む)


【課題】小型で、かつ、大容量の大きな電気エネルギーを得ることができる電気エネルギー蓄積装置を提供する。
【解決手段】第一電極4、誘電体層6、第二電極7を備えた電気エネルギー蓄積装置1において、第一電極4と誘電体層6との間および第二電極7と誘電体層6との間に、金属の微粒子5aにより構成された微粒子層6を形成する。さらに誘電体層6を粒径40ナノメートル程度あるいはそれ以下の微粒子の積層、あるいは薄膜と微粒子の交互積層で構成する。 (もっと読む)


【課題】少ない位置決め回数で製造できるコンデンサ装置を提供する。
【解決手段】正極6bと負極6aを備えているコンデンサ素子4と、正極バスバ8bと、負極バスバ8aと、容器2を備えており、正極バスバ8bが正極6bに接続されているとともに負極バスバ8aが負極6aに接続されている状態のコンデンサ素子4が容器2に収容されており、正極バスバ8bの上端部と負極バスバ8aの上端部が容器2の外に引き出されており、正極バスバ8bと正極6bの接続位置に対向する位置において容器2に正極用貫通孔28bが形成されており、負極バスバ8aと負極6aの接続位置に対向する位置において容器2に負極用貫通孔が形成されている。正極用貫通孔28bから治具10bを挿入して正極バスバ8bと正極6bを接続し、負極用貫通孔から治具10aを挿入して負極バスバ8aと負極6aを接続する。 (もっと読む)


【課題】コンデンサ内蔵基板に生じるインダクタンスを小さくすることが可能なコンデンサ素子、及び該コンデンサ素子を具えたコンデンサ内蔵基板を提供する。
【解決手段】本発明に係るコンデンサ素子は、第1電極層11と第2電極層12との間に誘電体層13が介在したコンデンサ素子1であって、第1電極層11は、第2電極層12側の表面111の一部が該第2電極層12によって覆われ、第1電極層11が金属箔により形成される一方、第2電極層12が金属薄膜又は金属箔により形成されている。本発明に係るコンデンサ内蔵基板は、前記コンデンサ素子1と絶縁基板2とを具え、該絶縁基板2内にコンデンサ素子1を埋設することにより絶縁基板2にコンデンサ素子1が内蔵されている。 (もっと読む)


【課題】キャパシタにおいて、誘電体層における欠陥に因らずに発生する誘電体層のリーク電流の増加や短絡不良の発生を防止する。
【解決手段】キャパシタ1は、金属多結晶体よりなる箔によって構成された下部電極層2と、上部電極層4と、下部電極層2と上部電極層4との間に配置された誘電体層3とを備えている。下部電極層2の上面2aには、金属多結晶体の粒界が現れている。キャパシタ1は、更に、誘電体層3の上面3bと上部電極層4の下面4aとの間において、誘電体層3の上面3bと上部電極層4の下面4aとが対向する領域のうちの一部にのみ配置された絶縁膜5を備えている。この絶縁膜5は、誘電体層3の上面3bの上方から見たときに、下部電極層2の上面2aに現れた粒界のうちの少なくとも一部を覆うように配置されている。絶縁膜5は、電気泳動法を用いて形成される。 (もっと読む)


【課題】コンデンサ内蔵基板の製造方法において、絶縁基材上にコンデンサ素子を搭載する工程を簡略化する。
【解決手段】本発明に係るコンデンサ内蔵基板の製造方法は、素子シート作製工程と、貼付け工程と、エッチング工程と、積層工程とを有する。ここで、素子シート作製工程では、金属箔50を用いて、該金属箔50の内、コンデンサ素子の第1電極層となる所定領域54上に誘電体層13を形成し、その後、該誘電体層13上にコンデンサ素子の第2電極層となる金属層53を形成することにより、コンデンサ素子となる素子部5が設けられた素子シート6を作製する。貼付け工程では、素子シート6を絶縁基材20上に貼り付ける。エッチング工程では、金属箔50にエッチングを施すことにより、絶縁基材20上に所定領域54を残置させて、素子シート6に設けられた素子部5からなるコンデンサ素子を形成する。積層工程では、該絶縁基材20上に別の絶縁基材20を積層する。 (もっと読む)


【課題】キャパシタにおいて、誘電体層における欠陥に因らずに発生する誘電体層のリーク電流の増加や短絡不良の発生を防止する。
【解決手段】キャパシタ1は、下部電極層2と、上部電極層4と、下部電極層2と上部電極層4との間に配置された誘電体層3と、誘電体層3の上面3bと上部電極層4の下面4aとの間において、誘電体層3の上面3bと上部電極層4の下面4aとが対向する領域のうちの一部にのみ配置された絶縁膜5を備えている。絶縁膜5は、電気泳動法を用いて形成される。絶縁膜5を形成する工程では、下部電極層4と対向電極との間に、キャパシタの定格電圧の1.5倍以上10倍以下の印加電圧を印加し、これにより、誘電体層3において、印加電圧以下の電圧が印加されたときに絶縁破壊するような箇所を予め強制的に絶縁破壊すると共に、その箇所を絶縁膜5によって補修する。 (もっと読む)


【課題】より優れた放熱特性を発揮し得るフィルムコンデンサを提供する。
【解決手段】誘電体膜14と金属蒸着膜16とを積層してなる積層体18を用いて得られるコンデンサ素子12の最外層を、電気絶縁性と伝熱性とを備えた保護膜22にて構成すると共に、かかるコンデンサ素子12に対して、放熱板32を、保護膜22の外面のみに接触させた状態で装着して、構成した。 (もっと読む)


【課題】インダクタンスを低減すると共に、有効電極面積の減少を抑えて小型化することが可能な薄膜キャパシタ、多層配線基板、および半導体装置を提供する。
【解決手段】誘電体層の上面に第1極性の電極層、前記誘電体層の下面に第2極性の電極層を有し、特定位置の周りに配置された複数の第1容量素子と、前記誘電体層の上面に前記第2極性の電極層、前記誘電体層の下面に前記第1極性の電極層を有し、前記特定位置の周りに前記複数の第1容量素子と交互に配置された複数の第2容量素子と、前記特定位置に設けられ、前記複数の第1容量素子のすべての第1極性の電極層および前記複数の第2容量素子のすべての第1極性の電極層を接続する単一の共通接続孔と、前記共通接続孔の周りに設けられ、前記複数の第1容量素子の各々の第2極性の電極層を、隣接する前記第2容量素子の第2極性の電極層に接続する複数の個別接続孔とを備えた薄膜キャパシタ。 (もっと読む)


【課題】フィルムそのものを加工することなく、金属化フィルムとメタリコンとの接触部分の機械的強度を向上させる。
【解決手段】フィルムコンデンサ(10)は、第1フィルム(11)が、第2フィルム(15)に対して幅方向に突出するように配置されて巻回された金属化フィルム(22)において第1突出端(12a)と第1没入端(12b)とが積層方向に向かって繰り返されるように構成され、第1突出端(12a)の第1没入端(12b)から幅方向へ突出する部分において金属膜(21)が露出するよう構成されている。 (もっと読む)


【課題】 生産性に優れる温度補償型の静電容量素子を提供する。
【解決手段】 静電容量素子10は、基板20と、基板20の上に位置する第1コンデンサ30と、基板20の上に位置して第1コンデンサ30と電気的に並列接続されている第2コンデンサ40とを有し、第1コンデンサ30は、第1下部電極31と第1誘電体32と第1上部電極33とで構成され、第2コンデンサ40は、基板20側から順に第1下部電極31と異なる材料からなる第1層41xと、第1下部電極31と同じ材料からなる第2層41yとが積層されてなる第2下部電極41と、第1誘電体32と同じ組成の材料からなる第2誘電体42と、第2上部電極43とで構成され、温度が上昇する際の第1コンデンサ30の静電容量の変化量と第2コンデンサ40の静電容量の変化量とで変化の正負が異なっている。 (もっと読む)


【課題】本発明は、電極表面積を増やし電極間の距離を縮めることで、静電容量を大きくすることができるセラミック電子部品用多層薄膜フィルム及びその製造方法に関する。
【解決手段】基板と、前記基板の上部面及び下部面の少なくとも一方の面に交互に形成されたセラミック層及び金属層と、を含み、前記セラミック層及び前記金属層のうちの少なくとも一層の高さが、平面状に配列される複数の粒子の少なくとも1つの厚さとなるセラミック電子部品用多層薄膜フィルム及びその製造方法が提供される。本発明によるセラミック電子部品用多層薄膜フィルムは、積層数が増え電極間の距離を縮めることで、静電容量を大きくすることができる。 (もっと読む)


【課題】積層構造体において高容量化を実現する。
【解決手段】本発明に係る積層構造体は、貫通孔10を有する金属製の基材1と、基材1の表面11上に形成された第1誘電体層21と、基材1の裏面12上に形成された第2誘電体層22と、第1誘電体層21上に形成された第1電極層31と、第2誘電体層22上に形成された第2電極層32と、導電部4と、電気絶縁層5とを備えている。導電部4は、貫通孔10の内側を通って、第1電極層31と第2電極層32とを互いに電気的に接続させている。電気絶縁層5は、導電部4と基材1との間に介在すると共に、樹脂材及び/又は誘電体材料から形成されている。 (もっと読む)


【課題】本発明は、セラミック電子部品用セラミックシート製品とそれを用いた積層セラミック電子部品、及びその製造方法に関する。
【解決手段】本発明によるセラミック電子部品用セラミックシート製品は、セラミック層と、上記セラミック層上に形成された金属層と、上記金属層と接触し、上記金属層から上記セラミック層内部に突出した金属ナノ構造物と、を含む。本発明によるセラミック電子部品用セラミックシート製品を用いた積層セラミック電子部品は、電極間の間隔が減少し、電気容量が増加するため、高容量積層セラミック電子部品が提供される。 (もっと読む)


【課題】積層構造体において、高い耐湿性を実現すると共に電気特性の検査を可能にする。
【解決手段】本発明に係る積層構造体は、金属製の基材1、誘電体層2、第1電極層31、第2電極層32、及び保護膜41を備えている。誘電体層2は、基材1の表面上に形成されている。第1電極層31は、誘電体層2の表面上に形成されている。第2電極層32は、誘電体層2の表面の内、第1電極層31の形成領域R1とは異なる領域R2上に、該第1電極層31から離間させて形成されている。保護膜41は、耐湿性と電気絶縁性の両方の特性を有している。そして、保護膜41は、誘電体層2の表面の内、第1電極層31の形成領域R1と第2電極層32の形成領域R2とによって挟まれた領域R3を被覆している。一方、第1電極層31の表面と第2電極層32の表面とにはそれぞれ露出面31a,32aが形成されている。 (もっと読む)


【課題】積層構造体において高容量化を実現する。
【解決手段】本発明に係る積層構造体は、金属製の第1基材11、金属製の第2基材12、第1誘電体層21、第2誘電体層22、及び金属層3を備えている。第2基材12は、第1基材11に対向して配置されている。第1誘電体層21は、第1基材11と第2基材12との対向面の内、第1基材11の対向面11a上に形成されている。第2誘電体層21は、第1基材11と第2基材12との対向面の内、第2基材12の対向面12a上に形成されている。金属層3は、第1誘電体層21と第2誘電体層22との間に介在している。 (もっと読む)


【課題】製造過程において溶液の影響が誘電体層に及び難い積層構造体、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る積層構造体は、金属製の基材1、誘電体層2、保護膜4、及び電極層5を備えている。誘電体層2は、基材1の表面上に形成されている。保護膜4は、耐食性及び/又は耐湿性を有する膜であって、誘電体層2の表面を被覆している。電極層5は、保護膜4の表面上に形成されている。本発明に係る製造方法は、工程(a)、工程(b)、及び工程(c)を有している。工程(a)では、金属製の基材1の表面上に誘電体層2を形成する。工程(b)では、誘電体層2の露出面を、耐食性及び/又は耐湿性を有する保護膜4によって被覆する。工程(c)では、ウェットプロセス技術を用いて、保護膜4の表面上に電極層5を形成する。 (もっと読む)


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