【課題】簡単な構造と段取り替え部品の装着、脱着だけで、サイズの異なるガラス基板を収納することができるガラス基板収納用トレイを提供することを目的とする。
【解決手段】枠部材１０ａと支持部材１０ｂとからなる枠部１０の支持部材１０ｂ上にガラス基板及びカラーフィルタ等が形成されたガラス基板等を収納するためのサポート部材２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄ、２１ｅ、２１ｆが載置されており、サポート部材２１ａ、２１ｂ、２１ｅ、２１ｆの所定位置にガイドブロックを装着するための取り付け孔４１が形成されガラス基板収納用トレイのガイドブロックの取り付け孔４１に基板サイズ調整用のガイドブロック５０を装着し、サイズの異なるガラス基板を収納できるようにする。 （もっと読む）

【課題】高い歩留まりでウエハ片をシートから効率的に剥離させることができるウエハ片剥離方法を提供する。
【解決手段】ウエハ片剥離方法は、シート１１上に粘着保持されたウエハであってダイシングされて多数のウエハ片に分割されたウエハのウエハ片をシート１１から剥離させる方法である。ウエハ片剥離方法は、熱剥離シートからなるシート１１のウエハを粘着保持していない側の面が、任意の部分を局部的に加熱することができる加熱ヘッド３５に対面するようにして、加熱ヘッド３５とシート１１とを接触させる工程と、シート１１のうち剥離対象であるウエハ片を粘着保持する部分を加熱ヘッド３５により加熱する工程と、を備えている。シート１１を加熱することによって、シート１１のウエハ片に対する粘着保持力を除去または弱める。 （もっと読む）

【課題】成膜用の基板とマスクとの位置合わせ精度を向上させる。
【解決手段】基板５の側縁の中央部を、基板ホルダー１に設けられた突起３に当接させて、基板５が凸形状となるように保持することで、基板５の自重による撓みを防止する。位置合わせ用アクチュエーター４によって基板ホルダー１上に保持されたときの基板５の凸形状の稜線上にアライメントマーク５ａを配置する。基板５とマスク６の位置合わせを行うときと、位置合わせ後に基板５とマスク６を密着させたときとで、アライメントマーク５ａの位置変動が生じないようにすることで、位置合わせ精度を向上させる。 （もっと読む）

【課題】チップのアイテムが異なる場合にも段取り替えが不要で稼働率の向上を図ることができ、しかも、設備投資が少なくて済むこと。
【解決手段】チップ詰め治具１１，１２を載せるチップ移載ステージ１５と、半導体ウェハが個々に分割されたチップを、前記チップ移載ステージにある前記チップ詰め治具に移載するチップ移載機構１８と、前記チップ詰め治具を前記チップ移載ステージから搬送する治具搬送機構１７とを備え、チップ詰め治具には、チップ７を載せる粘着シート８を有した第一のチップ詰め治具１１、及び、チップが収納されるトレイと、そのトレイが配置されるトレイ置き板とを有し、第一のチップ詰め治具と同一の輪郭形状および寸法をもつ第二のチップ詰め治具１２、があり、治具搬送機構は、前記第一及び第二のチップ詰め治具のいずれも前記チップ移載ステージから搬送可能とする。 （もっと読む）

【課題】低コストで除電を行うことが可能な半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】例えば、ダイシング工程の洗浄処理において、洗浄に伴い帯電したテープ付半導体ウエハ２００を、搬送アーム２１０によって洗浄ステージ２３０から一定の高さｈ１まで持ち上げ、この状態で除電手段７０により半導体ウエハＷを表面側から除電する。この高さｈ１は、半導体ウエハＷが静電破壊に達しない範囲で、できるだけ大きい値とし、例えば１０ｍｍ程度である。除電が完了した後は、テープ付半導体ウエハ２００を、十分に搬送が可能な高さに達するまで更に上昇させ、次の工程へ搬送する。 （もっと読む）

【課題】従来のウエハ保持治具においては、成膜処理後に、半導体ウエハを容易に取り出せないことがある。
【解決手段】ウエハ保持治具１は、オリエンテーションフラットを有する半導体ウエハＷを保持するウエハ保持治具であって、半導体ウエハＷが載置される段部１０（載置部）と、段部１０に載置された半導体ウエハＷを包囲するフランジ２０と、を備えている。フランジ２０の内壁のうち半導体ウエハＷのオリエンテーションフラットに対向する部分は、平面視で上記オリエンテーションフラットよりも短い略直線状をしたフラット部２２となっている。フランジ２０の内壁のうちフラット部２２に隣接する部分は、フラット部２２に対して窪んだ凹部となっている。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハを裏面研削した後の極薄ウエハ（１０〜２００μｍウエハ厚み）は強度が小さく破損しやすい。また、変形しやすくその後のプロセスの自動化が困難である。
【解決手段】極薄化ウエハを真空吸着し固定できるウエハ処理トレイを用いる。トレイの真空吸着部は、ウエハを載置するウエハ吸着面、吸着面上に開口したウエハを真空吸着する複数の吸着孔、吸着孔が接続する減圧室、外部真空ラインと接続する吸引口、および減圧室と吸引口とを接続する吸気孔を持つ。ウエハが吸着面に載置された後に、吸引口から真空吸着部が真空引きされウエハが吸着面に吸着固定される。切替弁を閉じることにより真空吸着部の真空度が保持される。処理トレイの搬送やプロセスも自動化が可能となる。また、トレイ周縁部が吸着されたウエハより高いので、トレイの積み重ねもできる。トレイは繰り返し使用できるため、環境負荷も少ない。 （もっと読む）

【課題】外周補強部の除去工程から半導体チップ個片化工程にウエーハを搬送するにあたり、ウエーハを損傷させることなく安全に搬送する。
【解決手段】外周補強部５ａの必要部分（少なくとも環状凸部６）を除去した後、ウエーハ１を次の工程に移すためにすぐにチャックテーブル２０１から離脱させず、チャックテーブル２０１に保持したままの状態で、ダイシングフレーム３２で支持されるダイシングテープ３１をウエーハ１の裏面に貼着してから、ダイシングフレーム３２を介してウエーハ１をチャックテーブル２０１から離脱させ、半導体チップ個片化工程に搬送する。 （もっと読む）

【課題】外周部に環状の補強部が設けられ凹部が形成されウエーハであっても破損させることなく吸引保持することができるウエーハの保持パッドを提供する。
【解決手段】ウエーハの保持機構は、ウエーハの外周縁を保持する少なくとも３個の保持部材と、少なくとも３個の保持部材を放射方向に案内する案内部を備え該案内部に沿って移動可能に支持する支持プレートと、少なくとも３個の保持部材を案内部に沿って移動せしめる移動手段とを具備している。 （もっと読む）

【課題】 搬送効率の低下や無駄を省いて多品種少量生産等の生産管理方式に対応できる処理治具用収納ケースを提供する。
【解決手段】 下部構造体１、上部構造体２、及び中部構造体３を取り付け取り外しが可能な分割自在に備え、これらのうち、少なくとも下部構造体１と上部構造体２とを着脱自在に連結してそれらの間に半導体ウェーハを粘着保持する処理治具を整列収納する。下部構造体１を、底板５と、この底板５の両側部にそれぞれ設けられる一対の側壁１０と、この一対の側壁１０に設けられて処理治具を支持する支持板１３とから構成する。また、上部構造体２を、天板１４と、この天板１４の両側部にそれぞれ設けられ、下部構造体１の側壁１０に着脱自在に連結される一対の側壁１０と、この一対の側壁１０に設けられて処理治具を支持する支持板１３とから構成する。 （もっと読む）

【課題】ウエハ付シートを効率的に製造する方法を提供する。
【解決手段】ウエハ付シート１０はシート１１とシート上に粘着保持され周縁部分１６がＩＣチップ１８のみから構成されるウエハ１５とを有している。製造方法は、支持シート１１とこれに粘着保持された円盤状ウエハとを有する円盤状ウエハ付シートおよび円盤状ウエハの外周部分１７に対応した領域を含む第１領域３１ａとこれに囲まれた領域を含む第２領域３１ｂとを有する分離用シート３０を準備する工程と、円盤状ウエハ付シートと分離用シートとを重ね合わせる工程と、円盤状ウエハ付シートと分離用シートを離間させて外周部分を支持シート上から引き剥がす工程と、を備えている。第１領域は支持シートの粘着力よりも強い粘着力を有し、第２領域は粘着力を有さない。 （もっと読む）

【課題】 積載カセットに積載されたチップ供給ユニットを安全かつ迅速にテーブルに移送するだけでなく、そのテーブルに置かれたチップ供給ユニットをカセットに安全かつ迅速に移送するチップ供給ユニットローディング装置を提供する。
【解決手段】 本発明は、フレームに装着される移送ニットと、前記移送ユニットにより往復運動する移送ガイドと、前記移送ガイドに装着され、前記移送ガイドと共に往復運動しながらチップ供給ユニットを係止して移送することで前記チップ供給ユニットをテーブルにローディング、アンローディングする係止型クランピングユニットと、から構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】パターニングデバイス支持体の加速度をさらに高めることを可能にするとともに、パターニングデバイス支持体とその上に支持されているパターニングデバイスとの間の微小なスリップを回避できるリソグラフィ装置を提供する。
【解決手段】真空装置４の真空パッド５がパターニングデバイス２の上側に対して配置されており、これによって、真空力をパターニングデバイス２の上側に印加することができる。さらに複数の静電型クランピング装置６を備えており、真空装置４としてパターニングデバイス４の実質的に同じ部分にクランプ力を働かせる。 （もっと読む）

【課題】薄板ガラス等を収容した多数のトレーを容易に出し入れ可能で、収容物の波損なく搬送可能で、製造ライン等の収容物の供給場所あるいは使用場所への搬送をも適切に効率よく行えるコンテナを提供する。
【解決手段】外部パレット、側板及び上蓋により形成されるコンテナ内部空間に、薄板ガラスを収容したトレー６０を多数内部パレット４２に載置した状態で収容する。内部パレット４２上には底板５４が設けられてその周囲に枠部材５６が設置されており、トレー６０は枠部材５６により位置が規定されてずれないように固定される。トレー６０の上には、押え板７０が載置され、押え板７０と上蓋２０との間に緩衝材７２が介在される。これによりトレー６０の上下方向の移動も抑止され振動も吸収される。 （もっと読む）

【課題】簡単な機構でテープをリングフレームから自動で剥離することができるテープ剥離方法及びテープ剥離装置を提供する。
【解決手段】半導体チップ３を接着したテープ２が貼付けられたリングフレーム１をテーブル４にセットし、突き破りローラー２５が前記テープ２の端部に下降すると、その端部がリングフレーム１から剥離して表面が粘着性のある巻取用テープ２１に接触し、前記テープ２はリングフレーム１から剥がされながら巻取用テープ２１に接着して巻き取られることにより、前記テープ２がリングフレーム１から自動で剥離されるようにした。 （もっと読む）

【課題】保持部材によりウエハシートを引き伸ばし、ウエハを拡張する装置において、ウエハサイズが変更に応じてウエハのθ方向回転機構構成部材を変更する必要が無く、交換部品の少数化が可能なウエハ拡張装置を提供する。
【解決手段】ウエハシートを、環状部材に当接させた状態で反対の方向へ引っ張ることでウエハシートを引き伸ばしてウエハを拡張させるウエハ拡張装置において、ベース部材３２と、ベース部材に回転自在に設けられ、上記環状部材を着脱可能に支持する支持部材３３と、ウエハシートを保持する保持部材３４，３５と、保持部材を移動させる移動手段と、保持部材を回転させる回転手段とを備えるとともに、移動手段により保持部材を移動させて、ウエハシートを環状部材３０の当接部に当接させて引っ張り、ウエハを拡張させ、該ウエハを拡張させた状態で回転手段により保持部材を回転させて、環状部材と共にウエハシートを回転させる。 （もっと読む）

【解決手段】 粘着シート１２の半導体チップ１が接着されている接着範囲に紫外線を照射して該接着範囲における粘着シートの粘着力を低下させ、その状態で突上げ部材７７により粘着シートの裏面から上記半導体チップを突上げて吸着保持手段７に吸着保持させて、該吸着保持手段によって半導体チップを粘着シートから取り上げる。
上記突上げ部材７７は、紫外線を透過させる材料から構成した突上げ部材を備えており、上記紫外線照射手段からの紫外線は突上げ部材を透過して粘着シートに照射されるので、上記接着範囲の全域に紫外線を照射することができる。
【効果】 上記接着範囲の全域に紫外線を照射できるので、従来のように接着範囲の一部に紫外線が照射されない部分が生じることがなく、したがって接着範囲における接着力を均等に低下させることができるので、板状物品を粘着シートから円滑に取り上げることができる。 （もっと読む）

【課題】ウェハを破損させることなくダイボンドフィルムを貼り付ける。
【解決手段】表面保護テープ２が貼り付けられたウェハ１に、ダイボンドフィルム６をフィルムセットローラ９ａとフィルム貼り付けローラ９ｂで押し付け、それらの間の領域に所定形状でレーザ光７を照射する。フィルムセットローラ９ａとフィルム貼り付けローラ９ｂを回転移動させながら、その移動に合わせてレーザ光７をウェハ１上でスキャンし、レーザ光７によるダイボンドフィルム６の溶融部分を後続のフィルム貼り付けローラ９ｂでウェハ１に押し付けて貼り付ける。ダイボンドフィルム６をレーザ光７で溶融させてウェハ１に貼り付けるため、ウェハ１が薄くその強度が低下していても、表面保護テープ２の熱収縮等に起因したウェハ１の破損を回避することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】シール性及び耐衝撃性を向上させ半導体ウエハＷ等を安全に枚葉収納して搬送する。
【解決手段】互いに着脱可能な複数枚の載置トレイ１６を積層し、各載置トレイ１６の間の隙間に半導体ウエハＷをそれぞれ挟持して収納するトレイ収納体１２と、このトレイ収納体１２を内部に収納する外部収納容器１３とからなる薄板収納容器１１である。各載置トレイ１６の対向する両側端に、外部機械装置の処理アームが嵌合して把持する一対の把持部２０を設けた。外部収納容器１３は、容器本体３１と、蓋体３２と、これら蓋体３２と容器本体３１との間に設けられて内部をシールするシール材３３と、上記トレイ収納体１２を支持する一対のトレイ収納体支持部３４と、上記容器本体３１内に収納された上記トレイ収納体１２を底面側と蓋体側とから挟持して支持するトレイ収納体押さえ３５を備えた。 （もっと読む）

【課題】シワを発生させることなく支持用粘着テープに薄板状のワークを好適に貼り付け支持することができるワーク貼付け支持方法およびこれに用いたワーク貼付け支持装置を提供する。
【解決手段】放熱プレート８０を支持用粘着テープＤＴに近接させて加温状態にし、テープ幅方向および搬送方向の前後に適度の張力で引き伸ばして緊張状態にする。この緊張された支持用粘着テープＤＴの粘着面に加熱された薄板状のワークを貼り付け支持する。 （もっと読む）