【課題】筐体内外に収納容器の搬入搬出を行うロードポートにおいて、収納容器の蓋体を装着したり外したりするのを可能とし、構造をシンプルにする。
【解決手段】基板処理装置は、複数の基板を収納し基板出し入れ口を蓋体によって塞がれた収納容器２と、収納容器を載置するロードポートと、該ロードポートで基板出し入れ口に対する蓋体の着脱を行う着脱装置と、ロードポートで収納容器を載置し着脱装置に対して対向方向に遠近動作を行う第一載置ユニット１８Ａと、第一載置ユニットとは別体として設けられロードポートで収納容器を載置し着脱装置に対して昇降を行う第二載置ユニット１８Ｂと、を備える。 （もっと読む）

【課題】被搬送物の安定な載置を確保しつつ装置全体の重量を抑制し、室内に気流がある場合にはその気流を妨げにくい。
【解決手段】棚ユニット１２０は、棒形状のフレーム部材１２１〜１２５から構成されている。フレーム部材１２１〜１２４は軌道９２に平行に配置されており、互いに離隔している。フレーム部材１２１〜１２４の間には、棚ユニット１２０を鉛直方向に貫通する貫通領域１２０ａ〜１２０ｃが形成されている。フレーム部材１２１及び１２２の間は被搬送物の幅より小さく離隔しており、フレーム部材１２１及び１２２の上面に被搬送物が載置される。棚ユニット１２０を軌道９２に固定する固定ユニット１１０も、一方向に長尺なフレーム部材１１１〜１１４で構成されており、固定ユニット１１０同士も離隔して配置されている。 （もっと読む）

【課題】トレー上面におけるポケットの内部において半導体集積回路を確実に保持することができ、また、トレー自体の重さもある程度軽くできる半導体集積回路用トレーを提供できるようにした。
【解決手段】少なくとも上面に、基部が広がるテーパー状の断面形状を有する縦横の仕切り枠２で矩形に区画された半導体集積回路の収納ポケット３を多数備えてなる半導体集積回路用収納トレー１において、仕切り枠２を、トレー１の上面におけるポケット３の前後左右辺部における一辺（辺３ａ）の中央部と、この辺に対向する対向辺（辺３ｂ）とこの対向辺（辺３ｂ）に各々隣接する各隣接辺（辺３ｃ、辺３ｄ）が隣接するコーナー部に形成する。 （もっと読む）

【課題】自己チップ再分配のための装置および方法を提供する。
【解決手段】本発明の装置は、フォトレジストの層により形成されたトレンチ１８およびキャビティ１９を上部に備えるガラスベース１２を含む。チップ１０は、切り出されたウェハ１からピッキングされ、ガラスベース上に配置され、インデックスバー１５の前方へ流体の流れによって移動される。ガラスベースおよびインデックスバーは、チップをチップキャビティに充填するために低周波数で振動する。本発明は、自己再分配ツールを提供すること、再分配されたチップをパネル形成ツール上に移動すること、チップパネルを形成し、前記チップパネルをパネル形成ツールから分離すること、を含む自己チップ再分配のための方法をさらに提供する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハ等の板状部材を支持する載置手段にアライメント機能を持たせて位置決めを行うことができるシート貼付装置を提供する。
【解決手段】半導体ウエハＷ及びリングフレームＲＦが載置されるテーブル１５を含む載置手段１１と、これら半導体ウエハＷ及びリングフレームＲＦに接着性のシートＳを貼付する貼付手段とを備えたシート貼付装置が構成されている。載置手段１１は、センサと相互に作用してウエハＷの位置決めを行うアライメントユニット２１を備えて構成されている。ウエハＷは、テーブル１５に移載された状態で位置決め処理を受けることとなり、前工程における位置決めが不要となる。 （もっと読む）

【課題】保持治具を含むシステム全体として十分な効果が期待できる基板等の取扱装置及び基板等の取扱方法を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ１、半導体ウェーハ用の保持治具１０、及び半導体ウェーハ１を着脱自在に吸着した保持治具１０の少なくともいずれかを整列収納する一対の基板収納容器３０・３０Ａと、半導体ウェーハ１、半導体ウェーハ用の保持治具１０、半導体ウェーハ１を吸着した保持治具１０を吸着する吸着プレート４０と、一対の基板収納容器３０・３０Ａと吸着プレート４０の間で半導体ウェーハ１、保持治具１０、あるいは半導体ウェーハ１を着脱自在に吸着した保持治具１０を取り扱う多関節型の搬送ロボット５０と、搬送ロボット５０のアーム５３に装着されて保持治具１０を着脱自在に保持するハンド６０と、半導体ウェーハ用の保持治具１０又は半導体ウェーハ１を着脱自在に吸着した保持治具１０用のアライメント装置７０とを備える。 （もっと読む）

パージステーションは少なくとも１つの上方に延在するパージノズルを有する基板コンテナ受容域を備える。前記ノズルは円形の係合リップを有する。前記基板コンテナは、少なくとも一つの基板のための支持手段と、前記コンテナから下向きの外向き封止フランジを含むパージポートアセンブリとを有する。前記封止フランジは、中央の開口部と、前記ノズルの円形係合リップと係合する片持ち状のフランジ部とを有する。前記フランジの前記片持ち状部分により保持される前記ノズル上の前記基板コンテナの重量により、弾性力のある柔らかい封止のためのフランジ部の曲がりが生じる。
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【課題】 容器本体を成形する金型の構成の簡素化を図ることのできるティース体及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】 二枚の半導体ウェーハを収納可能な大きさを有するフロントオープンボックスタイプの容器本体１と、容器本体１に内蔵されて半導体ウェーハを整列させて支持するティース体２０と、容器本体１の開口した正面に着脱自在に嵌合される蓋体と、容器本体１と蓋体との間に介在されて気密機能を発揮するエンドレスのガスケットとを備える。そして、ティース体２０を、容器本体１の両側壁内面にそれぞれ嵌合されて半導体ウェーハの裏面周縁部を支持する複数対のティース２１と、複数対のティース２１の後部を連結して容器本体１の内底面に嵌合される連結片２３とから一体形成する。容器本体１にティース体２０を後から組み付けるので、容器本体１を成形する金型の型開きが困難化したり、コア型を分割式にする必要がない。 （もっと読む）

【課題】被処理基板をその全面に亘って精度良く略均一に温度制御できる搬送トレー及び真空処理装置を提供する。
【解決手段】搬送トレー１の基板載置面に、被処理基板Ｓの外形に対応した少なくとも１個の凹部１１を形成し、この凹部の底面の外周に沿って環状のシール手段２と、凹部に落とし込むことで設置される被処理基板の外周面をシール手段に対して押圧する押圧手段３とを設ける。そして、この凹部に通じる少なくとも１本のガス通路１２ａ、１２ｂを開設し、このガス通路を介して、シール手段で支持されることで被処理基板の裏側に画成された空間に冷却ガスの供給する。 （もっと読む）

【課題】薄板状素子をモジュールとする加工段階から薄板状素子の破損を防止することのできるトレーおよびその製造方法を提供するを提供する。
【解決手段】トレー１は、熱可塑性樹脂発泡体により形成されたシート２の一面に、脆性を有する薄板状素子４を嵌合することのできる収納凹部３を設ける。トレーの製造方法は、熱可塑性樹脂発泡体により形成されたシート２の一面に、脆性を有する薄板状素子４が嵌合される収納凹部３の形成予定領域を囲うようにハーフカットを施す工程と、ハーフカットにより囲まれた部位を圧縮することにより、薄板状素子４が嵌合される収納凹部３を形成する工程とを設ける。 （もっと読む）

【課題】板状物を撓んだ状態で保持するトレイで、板状物の機能を有する部分を、他と接触させずに、板状物同士、所定の間隔を保持した状態で、重ねて、搬送、保管が簡単に、効率的にでき、振動よる板状物の品質面の問題を解消できるトレイを提供する。
【解決手段】全体を支持する基材で、枠内側領域が板状物より大きい枠部２０と、枠部に支持され、枠部の枠内側領域において、板状物を鉛直方向下側に撓ませた状態でその下側から保持する板状物保持部３０とを備え、枠部は、トレイを複数重ねる際の重なり部であり、トレイを複数重ねる際にその表裏が互いに面接触するように形成されているもので、板状物支持部の板状物を載せない側の面である裏面の少なくとも一部に、板状物を載せたトレイを複数重ねた状態において、板状物と接触して振動を抑制する振動抑制部材４０が取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、保管、輸送中の外力に耐える十分な剛性を有し、なおかつ蓋体を開ける際の急激な外気の巻き込みを抑制して、ペリクルへの異物付着を防止するペリクル収納容器を提供する。
【解決手段】 樹脂のシート材を成形してペリクル収納容器の蓋体１とし、この蓋体１の上面に蓋体の短辺と成す角度が１０°以内で、なおかつ他のリブと交差しないリブ３を設ける。各リブが他のリブにより切断されることが無いため、リブ３の上下方向（縦方向）の剛性は大きく向上し、外力による蓋体の変形ならびにペリクルの損傷が防止される。
また、リブをほぼ一方向のものだけで構成することになるため、リブと直交する方向の曲げ剛性は低くなり、これにより、蓋体は開蓋時においてごく初期の段階からしなやかに撓みを生ずる。そのため、開蓋時の初期の段階から蓋体と容器本体の内部へ空気はスムーズに流入し、急激な外気の流入が発生しないため内部のペリクルに異物が付着するおそれが大幅に低減される。 （もっと読む）

【課題】搬送時の半導体チップの損傷を防止し、チップサイズの異なる半導体チップにも対応できる半導体チップトレイを提供する。
【解決手段】トレイ本体４ａとチップを固定する粘着性シート５を有したトレイで、トレイ本体４ａは、粘着性シート５を交換可能に保持するものであり、更にトレイ本体４ａは突起部４ｂを有しており、粘着性シート５を保持するとともに、トレイ本体４ａの積み重ねを容易にする。トレイ本体４ａは突起部４ｂより内側の平面部に紫外線照射用または、チップピックアップ時の突き上げ治具挿入用の穴があいた構造であり、粘着シート５の粘着力は紫外線照射または加熱により変更することが可能である。 （もっと読む）

【課題】 マスクブランクス又はフォトマスク等の基板を収納するものであって、収納した基板に塵埃が付着するのを防止できる基板収納ケースを提供すること。
【解決手段】 基板収納ケース１が、ケース本体２とケース蓋体３とからなり、ケース本体２の開口縁に、ケース蓋体３と嵌合する薄肉案内縁２２が形成されている。薄肉案内縁２２に負圧緩和手段１０が設けられ、ケース蓋体３の開口部内側に、ケース本体２と異なる硬度の材質により形成された塵埃抑止手段１１を設けられている。負圧緩和手段１０は通気口である。塵埃抑止手段１１はケース本体２と異なる硬度の材質により形成された硬質テープである。 （もっと読む）

【課題】例え基板が撓みやすい場合でも、基板の給排等に支障を来たすことがなく、しかも、生産性を向上させ得る基板の取り扱い装置及び基板の取り扱い方法を提供する。
【解決手段】基板収納容器１を搭載する搭載装置４０と、搭載装置４０に搭載された基板収納容器１に対して基板Ｗを給排する多関節ロボット５０とを備え、基板収納容器１を、複数枚の基板Ｗを整列収納する容器本体２と、この容器本体２の開口正面部８を開閉する着脱自在の蓋体とから構成し、容器本体２の底部には複数の位置決め具６を配列する。また、搭載装置４０を、基板収納容器１を搭載する上下方向に回転可能なテーブル４１と、基板収納容器１を搭載したテーブル４１を上方向に傾斜させ、基板収納容器１の開口正面部８を多関節ロボット５０側の斜め上方向に向ける駆動機構４７とから構成する。 （もっと読む）

【課題】ダイシングウエハ上のウエハ保護シートの挿入時にダイシングウエハ表面に傷を付けることなく挿入する。
【解決手段】ウエハ保護シート１の挿入時に、その端部が曲線状に加工されたウエハ保護シート１を用いる。これにより、挿入時にウエハ保護シート１の外周部がダイシングウエハ２の表面を擦った場合でも、端部はダイシングウエハ２の表面の凸部に引っ掛からないためダイシングウエハ２の表面に傷を発生させることがない。 （もっと読む）

【課題】締め付けトルクの管理の必要性が無く、組立作業の簡素化を図った逆止弁及び逆止弁を備えた基板収納容器を提供すること。
【解決手段】逆止弁８は、後端側に装着されハウジング１１に対して相対回転可能とされると共に、ハウジング１１を後方から容器本体２に固定する固定リング１９を備えている。この固定リング１９を後方から押し込むことで、ハウジング１１を容易に固定することができる。このような固定リング１９を備えることで、従前のようなねじによる結合部分を無くす。これにより、締め付けトルクの管理を不要とし、組立作業の簡素化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】基板を損傷することなく容易に出し入れすることができ、小型化が可能な基板収納装置およびこれを備えた基板処理装置を提供する。
【解決手段】複数枚の基板１を互いに隙間を置いて積層状態に収納する基板収納装置は、底板１０４と、底板に対向した天板１０３と、底板と天板との間を延びた側板と、各側板に複数段ずつ積層して設けられ基板の周縁部を支持する複数の支持体１５０と、を有している。複数の支持体はそれぞれ互いに分割され、選択的に積層方向に移動可能に設けられている。 （もっと読む）

【課題】一部欠損のある半導体ウェハを、ウェハプローバによって自動的にロードできる専用ウェハケースを提供する。
【解決手段】一部欠損したウェハ片４ｂを、その外周をウェハケース壁に合わすようにマニュアルにて置き、底板の見える領域にある真空孔を、空気漏れを防止するために真空孔ピン蓋３を使用して塞ぐ。この状態で、ウェハケース１をウェハプローバのカセットにセットすることで、欠損の無いウェハと同様に全自動で、測定用チャックステージまで運ぶことが可能となり、当該ウェハをウェハプローバによりプローブ針を当てて測定可能となる。 （もっと読む）

【課題】ウエハフレームをウエハカセットから取り出す、或いはセットする時、ウエハに接触、摩擦、或いは傷がつくことがないウエハカセット補助装置を提供する。
【解決手段】ガイドレールフレーム２０７を含み、ガイドレールフレーム２０７は第一ガイドレール槽板２０２、第二ガイドレール槽板２０３、少なくとも１個の連接アーム２０５を含む。ガイドレールフレーム２０７は各連接アーム２０５によりそれぞれ第一第一ガイドレール槽板２０２と第二ガイドレール槽板２０３の側辺に連接し、しかも第一ガイドレール槽板２０２と第二ガイドレール槽板２０３はウエハカセットの各ウエハカセットスロットの位置に対応しそれぞれガイドレール槽２０４を設置する。さらに各ガイドレール槽２０４の一端の幅はガイドレール槽２０４中央に向かい徐々に縮小する形態を呈し、ガイドレールフレーム２０７をウエハカセットに接続することができる。 （もっと読む）