【課題】整備空間を確保することのできる基板処理システムを提供する。
【解決手段】本発明の基板処理装置は、内部空間を有するチャンバと、前記チャンバの内部空間に設置され、前記チャンバの一面を通じて引き出すことができ、排気ラインを有する処理ユニットと、前記チャンバに設置される排気部材とを含む。前記排気部材は、前記排気ラインと連結され、前記処理ユニットの移動に伴って移動するように設ける。 （もっと読む）

【課題】薄くて大きい面積であり、重量が大きなガラス板の中央部における大きな撓みを確実に防止してガラス板を支承し、移送時または保管時において、ガラス板の破損、亀裂を生ぜず、歩留まりが良く、またトレイ自体の薄形化がはかれ、小型化、軽量化がはかれ、構造簡単であり、製作および組付けが容易な板状物品搬送用トレイを提供する。
【解決手段】ガラス板１、または自重により撓み易い金属薄板よりなる板状の被搬送物品Ｇを移送、運搬し、積み重ね可能に設けられるトレイＴが、被搬送物品の周囲を囲むフレーム枠２と、複数本の線条部材３と、フレーム枠に線条部材の両端を固定してフレーム枠の内域に線条部材を張設する固定手段と、により構成される。 （もっと読む）

【課題】基板移載装置による基板の移載が行い易い基板搬送設備を提供する。
【解決手段】収納容器２を、基板移載用の開口が形成され且つ内部に基板を複数枚収納する容器本体４１と、容器本体４１に対して着脱自在で容器本体４１に装着した状態において開口の全面を閉じる蓋部材４２とを備えて構成し、収納容器２が蓋離脱位置Ｐ２に位置している状態において容器本体４１から蓋部材４２を離脱させる蓋離脱手段１２２を設け、容器搬送手段１１１にて、収納容器２を蓋離脱位置Ｐ２から基板移載位置に鉛直下方に下降移動させて搬送する。 （もっと読む）

【課題】導光板の保管・輸送時における導光板の端面の傷付きを防止し、導光板の変形を防止することができる導光板保管用架台およびそれを用いた保管方法を提供することを目的とする。
【解決手段】複数の導光板２６を輸送、保管する導光板保管用架台１０であって、底部材２０と、底部材２０にほぼ垂直に立設固定された背面部材２２と、背面部材２２に相対向して設けられ、底部材２０に着脱可能な正面部材２４と、正面部材２４と背面部材２２とに取り付け可能な囲い部材２８とを有し、底部材２０と導光板２６との間にクッション材３０が敷かれており、底部材２０が水平方向に対して２０°以下の角度で、傾きを有することを特徴とする導光板保管用架台およびそれを用いた保管方法である。 （もっと読む）

【課題】搬送トラブルのおそれを防止することのできる基板搬送装置を提供すること。
【解決手段】ＬＬ／ＵＬチャンバー１およびプロセスチャンバー２の第１〜第３ガイドプレート５，６，７には、複数の浮上用ガス噴出孔８，……，８が形成されている。第１ガイドプレート５および第２ガイドプレート６は、上下２段に、かつ、昇降機構４５により基板載置面５ａ，６ａの高さが変化するように構成されている。第２ガイドプレート６における第３ガイドプレート７を臨む端部には、基板４を第３ガイドプレート７の基板載置面７ａから第２ガイドプレート６の基板載置面６ａへ誘導する誘導部６ｂが設けられている。同様に、第３ガイドプレート７における第１ガイドプレート５を臨む端部には、基板４を第１ガイドプレート５の基板載置面５ａから第３ガイドプレート７の基板載置面７ａへ誘導する誘導部７ｂが設けられている。 （もっと読む）

【課題】輸送サイズの限界を超えても輸送することが可能なチャンバ、及びそのチャンバを用いた処理装置を提供する。
【解決手段】少なくとも一つの側面２ｂ、２ｃを開放した直方体状の本体２と、本体２の開放された側面２ｂ、２ｃに着脱自在に取り付けられた側板３ａ、３ｂとを具備し、本体２は角筒形状を有し、該角筒の端部が側面２ｂ、２ｃに対応する。また、本体２は、開閉自在の上蓋８を有する。また、側板３ａ、３ｂは本体２内部に向かって窪みを持つ箱形の部材である。 （もっと読む）

【課題】実装すべき半導体チップの位置決めを高精度かつ容易に実現する配線基板の製造方法、およびこれに用いられるチップトレイを実現する。
【解決手段】配線基板の製造方法は、半導体チップ１００を、シリコンで形成されたチップトレイ１上のチップ位置決めプレート１１に装着するステップと、チップ位置決めプレート１１に装着された半導体チップ１００を基点に配線形成処理を実行するステップと、配線形成済の配線基板をチップ位置決めプレート１１から取り外すステップと、を備えるものであり、このチップ位置決めプレート１１は、半導体チップを収容する収容部２１と、収容部２１の内側面を構成する４面のうち隣接する２面にそれぞれ設けられる弾性部材２２とを備え、これら各弾性部材２２が対向面の方向に向けて押圧力を発し、各弾性部材２２と対応する各対向面との間に半導体チップ１００が挟時される。 （もっと読む）

【課題】基板を基板カセットからトレイカセットまで一貫して搬送できるようにする。
【解決手段】ウエーハ移送手段はウエーハ２の下面を支持部材23で支持する一次側ウエーハ移送手段と、該一次側ウエーハ移送手段の搬送終端の上方に配置可能に設けられ下向きの吸着面30を有するベルヌーイチャック機構29が設けられた二次側ウエーハ移送手段11とを備える。移載テーブル４に載置したトレイ３にウエーハ２を載置するときには、ベルヌーイチャック機構29はウエーハ２の上向きの表面と無接触状態で保持でき、この結果二次側ウエーハ移送手段11の下降作用によりウエーハ２の表面を無接触状態でトレイ３に載置することができる。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウエハから指定の半導体素子をピックアップすることができるとともに、指定されていない半導体素子はダイシングテープの接着層に接着されている状態をそのまま維持する技術を提供する。
【解決手段】 半導体素子のピックアップ装置（１００）は、紫外光照射により接着力が低下する接着層を有する接着テープ（２０２）上に接着された半導体ウエハ（ＳＷ）から分離された個々の半導体素子を取り外す半導体素子のピックアップ装置である。このピックアップ装置は、接着テープ（２０２）の下面側から紫外光を照射する紫外線光源（１１）と、この紫外線光源と半導体ウエハとの間に配置され、個々の半導体素子の大きさに紫外光を遮光する遮光部材（５０）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 基板収納容器の貫通孔に収納保持されるハウジング部材が、移送・保管等の際の加速度や振動、洗浄乾燥の際の熱履歴等によっても、固定用の螺刻部が緩まない構造とした基板収納容器を提供する。
【解決手段】 基板を収納する容器本体と、その開口部を閉鎖する蓋体とを有し、前記容器本体の内部と外部とを連通する貫通孔が設けられている基板収納容器１であって、貫通孔には、フィルタを備えた通気部材を収納保持するハウジング部材が、回転方向に回転されて基板収納容器に取り付けられていて、ハウジング部材が回転方向に緩むことを防止する手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】シート状の基材を貼付された基板から基材を剥離する作業を効率よく行う。
【解決手段】基板から剥離され巻き取りローラ２２０に巻き取られたシートフィルムＦの巻き始め側端部Ｆsをシート剥がし爪５１２により引き出して把持し（図１４（ａ））、シート剥がし機構５１０を下方に移動させる（同図（ｂ））。最下端まで移動してくると従動ローラ５２２を配したシートガイド５２１を下降させて搬送ローラ５３１とのニップ部でシート端をクランプし、搬送ローラ５３１の回転により搬送経路Ｐに沿って回収ボックス６００まで搬送する（同図（ｃ））。 （もっと読む）

【課題】半導体チップの輸送時に半導体チップの破損を低減することができる半導体チップの収納容器、その収納容器を用いた半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】チップトレイ１０では、第１の板１１に形成された第１の凹部１１Ａに第１の緩衝材１２が設けられ、第１の凹部１１Ａと対向した第２の板１３の面には第２の緩衝材１４が設けられている。半導体チップ１５は、第１の板１１と第２の板１３が重ね合わされると、第１の凹部１１Ａの空間１１Ｃにおいて、第１の緩衝材１２と第２の緩衝材１４との間に収納される。これにより、チップトレイ１０の輸送時における衝撃は、半導体チップ１５に加わりにくくなり、半導体チップ１５の破損を防ぐことができる。また、第１の緩衝材１２、第２の緩衝材１４の少なくともいずれか一方は導電性材料からなるため、静電気による半導体チップ１５の破損や損傷を防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】例え数ｋＰａ程度の圧力差でも、拡散による酸素の逆流を防止することのできる基板収納容器の排出用ポートを提供する。
【解決手段】容器本体１に供給用ポートと排出用ポート２０とをそれぞれ複数配設し、各排出用ポート２０を、容器本体１に取り付けられる中空のケース２１と、ケース２１に内蔵されるフィルタ２４と、ケース２１に内蔵される逆止弁２５とから構成する。ケース２１の両端面にそれぞれ通気孔２２を穿孔し、ケース２１の一端面を容器本体１から露出させ、このケース２１の一端面とフィルタ２４との間に逆止弁２５を介在させるとともに、ケース２１の一端面に被覆体３０を重ねて装着し、被覆体３０の内部には、ケース２１の一端面の通気孔２２と連通する細長い流通路３１を形成する。 （もっと読む）

【課題】落下等の衝撃が加わったとしても、半導体ウエハの割れを防止することを目的とする。
【解決手段】ウエハ設置部４より外側の周辺部分が、ウエハ設置部４のトレイ下面よりも上方に形成された突起部５と、ウエハ設置部４のトレイ下面よりも下方に形成された突起部６を有することにより、クッションとウエハ設置部４のトレイ下面との間に隙間が生じ、落下時の衝撃が、直接、ウエハ設置部４のトレイ下面を通じて半導体ウエハ３に伝達されることを防ぎ、半導体ウエハ３の割れを防止できる。 （もっと読む）

【課題】絶縁性のワークを搬送する際の帯電を抑制することが可能な搬送システムおよびコンベア装置を提供する。
【解決手段】搬送システム１００は、ガラス基板Ｗをトレイ１に載置して搬送する搬送システムであって、ローラ２５と、トレイ１とを備えている。ローラ２５は、搬送方向に並んで複数配置されている。トレイ１は、絶縁性のガラス基板Ｗを載置する。そして、トレイ１とローラ２５とにおいて、少なくとも互いの接触部（外側フランジ１１およびローラ２５）が導電性を有しており、接触部は接地されている。 （もっと読む）

【課題】収納された基板が回動されて所定の位置で保持されることで、塵埃の付着が低減される簡易な構成の基板収納カセットの提供。
【解決手段】複数のガラス基板３０が互いの主面３１を略平行にして収納されるように一面１１に開口部１２が形成されたカセット本体１０と、カセット本体１０の、ガラス基板３０の収納方向Ｃとガラス基板３０の側面３２とに沿い、互いに対向するように形成された一対の側面部１３，１４と、一対の側面部１３，１４のそれぞれから略直角に突出して形成された支持軸１５，１６と、一対の側面部１３，１４に沿って形成された一対の側壁部２３，２４と、一対の側壁部２３，２４に支持軸１５，１６を介してカセット本体１０を回動可能に支持するように形成された貫通孔２１，２２と、ガラス基板３０が所定の位置で保持されるようにカセット本体１０の回動を規制する回動規制部４０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】基板体の剛性を確保することができ、しかも、大掛かりな設備等の設置を要しない基板体の貼着装置及び基板体の取り扱い方法を提供する。
【解決手段】携帯可能なケース内に供給ステージ１、貼着ステージ１０、取り扱い機構３０を内蔵して供給ステージ１と貼着ステージ１０とを横一列に並べ備え、これら供給ステージ１と貼着ステージ１０の間で基板体を形成する半導体ウェーハ、基板保持具、半導体ウェーハを着脱自在に保持した基板保持具を取り扱い機構３０のハンド３２により選択的に取り扱う。剛性の基板保持具２２を使用するので、半導体ウェーハに剛性を容易に付与して各種の加工を施したり、ハンドリングしたり、搬送等することができる。 （もっと読む）

【課題】シールガスケットの保持力低下を抑制してその一部が蓋体と共に外れてしまうおそれを排除し、シールガスケットの嵌入具合にバラツキが発生するのを抑制できる基板収納容器及びそのシールガスケットの取り付け方法を提供する。
【解決手段】基板を収納する容器本体１と、容器本体１の開口上部に嵌合される蓋体１０と、この開口上部に形成される嵌入溝２０と、嵌入溝２０に嵌入されて容器本体１と蓋体１０の間をシールするシールガスケット３０とを備え、シールガスケット３０に、容器本体１の開口上部に対する蓋体１０の嵌合方向と平行に位置する嵌合突起部を形成する。シールガスケット３０を、嵌入溝２０に嵌入される枠体３１と、枠体３１から伸びて蓋体１０に接触するシール形成部３２とから形成し、嵌合突起部を、枠体３１の直線部に複数形成される第一の嵌合突起部と、枠体３１のコーナ部に形成される第二の嵌合突起部とから形成する。 （もっと読む）

【課題】基板搬送装置や基板処理装置の設計の精度に関わらず、薄膜を均一に成膜することができる基板搬送装置を提供することを目的とする。
【解決手段】被処理面が露出するように基板Ｐを基板保持部５に保持して基板Ｐを基板処理装置５２まで搬送する基板搬送装置１において、基板保持部５を前記被処理面の略法線方向に進退可能であると共に、基板Ｐを基板処理装置５２に対して位置決め可能な基板進退機構２０を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】設備機器側でのウエハマッピングを省くことが可能なウエハカセット、半導体製造システム、及び半導体装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】カセット本体２と、カセット本体２に設けられ、ウエハWが収まる複数のスロットSを画定する複数のスロット区分板３と、複数のスロットSのそれぞれにウエハWが存在するか否かについてのスロット情報D_sを出力するウエハセンサ４と、少なくともスロット情報D_sを含んだカセット情報D_cが格納される記憶部７と、外部の設備機器３３ａ〜３３ｄと記憶部７との間の通信を媒介する通信部８とを有するウエハカセット１による。 （もっと読む）