【課題】半導体基板の搭載のためにホルダーが装着されるバッチ型半導体の製造装置のボートにおいて、製造が簡単な半導体基板ホルダーの製造方法及びこのホルダーを通じてよりコンパクトな半導体基板のボート搭載を遂行してその生産性が向上するバッチ式ボートとそれを用いた半導体基板のローディング／アンローディング方法並びにこれらが含まれた半導体の製造装置を提供する。
【解決手段】半導体基板の底部が安着される外周と内周大きさを有するパイプ形状のホルダー基材１０を成形し、ホルダー基材１０を半導体基板のローディング用ボートで半導体基板の配置間隔に合わせてリング形状に切断してホルダーリング１２を製作する。 （もっと読む）

【課題】この発明は基板の幅方向の両端部の上下面を端部支持ローラと上載せローラとによって同じ力で保持して搬送できるようにした搬送装置を提供することにある。
【解決手段】基板の搬送方向に対して軸線を交差させて所定間隔で配置された複数の搬送軸３と、搬送軸に設けられ基板の幅方向両端部を除く部分の下面を支持する複数の搬送ローラ２１及び基板の幅方向両端部の下面を支持する端部支持ローラ２２と、搬送軸の一端部と他端部との上方にそれぞれ軸線を搬送軸と平行にして配置され搬送軸の両端部に対応する一端部が回転可能に支持された一対の上載せローラ軸２５と、上載せローラ軸の他端部に設けられ基板の幅方向の端部上面をそれぞれ押圧する一対の上載せローラ２７と、上載せローラ軸に設けられ上載せローラが基板の上面を押圧する押圧力を調整するウエイト２９を具備する。 （もっと読む）

【課題】矩形状でフラットなガラス板をエッジ部だけの支持でガラス板面を非接触として箱状容器内の左右両溝内に１枚づつ離隔して縦姿勢で挿入する方法及び装置を提供する。
【解決手段】前工程の移載装置により受け渡された矩形状のガラス板Ｇの左右両縦辺エッジ部の左右両辺を挟持手段４０によりガラス板Ｇを昇降自在に挟持し、該ガラス板Ｇの下端辺を進退自在な爪状支持部材５１によってガラス板面と非接触で支持した状態で、ガラス昇降手段によってガラス板Ｇのみを昇降自在とし、左右の溝部５の位置ずれを検出してガラス板Ｇの位置のずれを補正し、左右側端辺と下端辺の各エッジ部だけの支持でガラス板Ｇを箱状容器３の左右両溝内に１枚づつ離隔して挿入し、溝状部内にガラス板Ｇを１枚挿入する毎に、箱状容器3を次の溝部位置まで１ピッチ分移動させるようにした。 （もっと読む）

【課題】 設置される場所の省スペース化。
【解決手段】 搬送室２と、搬送室２に接続されて基板を傾斜させて支持して真空処理する複数の処理室３−１〜３−６と、搬送室２の内を移動する基板搬送装置６とを備えている。基板搬送装置は、複数の処理室３−１〜３−６のうちの１つの処理室から搬送室２に基板を傾斜させて支持して搬出し、複数の処理室３−１〜３−６のうちの他の処理室に搬送室２から基板を傾斜させて支持して搬入する。複数の処理室３−１〜３−６は、複数の右側処理室３−１〜３−３と、搬送室２を隔てて右側処理室３−１〜３−３の反対側にそれぞれ配置される複数の左側処理室３−４〜３−６とから形成される。このような真空処理装置１は、複数の処理室３−１〜３−６がクラスター型に配置されるときより、狭い場所に設置することができる。 （もっと読む）

基板処理の処理能力を増強しつつ基板の裏面を損傷せずに、基板を迅速に配置するよう基板搬送装置の伸張及び収縮運動を最小限にする基板配置装置を提供する。一実施例では、基板配置装置はフレームに接続された逆把部を有しており、フレームには、基板を回転して再配置することなく、逆把部から基板搬送装置へ基板を搬送する基板搬送システムが備えられている。逆把部は、基板を配置する際の基板の基準マークの障害を排除し、基板搬送システムと伴に、基板配置中に基板搬送装置がフレーム内に留まることができる。別の実施例では、基板配置装置は、フレームに接続された回転可動なセンサーヘッドと、基板配置中に基板を支持する透明な静止パッドを有する基板支持部とを有しているので、基板搬送装置は基板配置中に、フレーム内に留まることができる。基板は、支持パッド上の基準マークの配置とは独立して、配置される。その他の実施例では、基板を迅速に交換するため、基板支持体は基板配置装置内の基板を緩和する緩衝装置を採用している。
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【課題】 基板搬送装置の基板搬送を簡易化・高速化し、基板搬送装置に吸着するガスの低減、基板の温度のムラの低減。
【解決手段】 搬送室２と、搬送室２に接続されて基板２を傾斜させて支持して真空処理する複数の処理室３−１〜３−６と、搬送室２の内を移動する基板搬送装置６とを備えている。基板搬送装置６は、複数の処理室３−１〜３−６のうちの１つの処理室から搬送室２に基板２を傾斜させて支持して搬出し、複数の処理室３−１〜３−６のうちの他の処理室に搬送室２から基板２を傾斜させて支持して搬入し、基板搬送装置６は、基板２を支持する第１架台３４と、第１架台３４を搬送室２の内部から処理室の内部に向かう方向に移動可能に支持する第２架台３２、３３と、第２架台３２、３３を方向と異なる方向に移動するスライドベース３１とを備える。第１架台３４は、棒状の部材から形成される。 （もっと読む）

【課題】 薄くて撓みやすいフレキシブル基板や、撓みにより破損し易いガラス基板を、撓ませずに搬送することができるようにする。
【解決手段】 矩形シート状の基板Ｐの少なくとも４隅近傍部分を、同一平面内に位置する複数のクランプ部材１３で把持しつつ、これらのクランプ部材１３で前記基板Ｐの中心から離れる向きに前記平面内で均等に引っ張りながら、これらのクランプ部材１３を一体的に移動させて基板Ｐを搬送する。基板の自重や搬送中の振動により基板が変形したり、破損したりする事故を防止することができ、特に、エッチング処理工程等において基板を搬送しながら処理する場合に、ノズルから基板表面に向けて噴射される処理液の圧力を受けても、基板が撓んだり波打ったりすることがなく、処理中の基板の破損や変形を効果的に防止できる。 （もっと読む）

【課題】シリンダ駆動方式の移動フィンガを有する基板移送装置を提供する。
【解決手段】基板移送装置は、駆動手段によって動作が制御されるロボットアーム部と、前記ロボットアーム部の先端に設けられ、基板Ｗが置かれるブレード１２０と、前記ブレード１２０に設けられ、前記ブレード１２０に置かれた基板Ｗを正位置に位置させると同時に基板Ｗを固定するクランピング部材１３０とを含む。 （もっと読む）

【課題】 基板の高速搬送時に確実に基板を保持するとともに、所定位置で容易に基板保持を解除可能なコンパクトな基板把持部を提供する。
【解決手段】 旋回アームの先端のチャック部材２２に保持された基板Ｗを所定の受け渡し位置に搬送する基板搬送装置において、チャック部材２２の一部に形成された開口１３を塞ぐように設けられた軸受フランジ１４に支持された揺動支軸１６と、その一部に基板Ｗが載置された際に、揺動支軸１６を支点軸として回動する押圧部材保持フレーム１７と、押圧部材保持フレーム１７の一部に、チャック部材２２の軸線と平行をなして支持されたスラスト軸受１８と、スラスト軸受１８内にピン本体が収容され、スラスト軸受１８の傾きに応じ、ピン本体が軸受軸線方向に沿ってスライドし、水平状態で載置された基板Ｗの縁辺を、圧縮バネ３０を介して先端部材１９で押圧する押圧ピン１２とを備えた。 （もっと読む）

【課題】ウェハを安定的に把持することができる。また、ウェハを安定的に搬送することができる。
【解決手段】チャックガイド１６０ａ〜１６０ｃは、サブガイド１６２ａ〜１６２ｃを備えているため、スティッキング状態にあるウェハ１１３をぺディスタル１１７から剥がす際に、ウェハ１１３のエッジ（外周端部）がサブガイド１６２ａに引っ掛かるため、ウェハ１１３はチャックガイド１６０ａから外れにくい（図１１（ｂ））。そのため、従来のチャックガイド６０ａ〜６０ｃと比較して、チャックガイド１６０ａ〜１６０ｃは、ウェハをより安定的に把持することができる。したがって、ウェハ１１３がスティッキング状態にあったとしても、ウェハ１１３をぺディスタル１１７から容易に剥がすことができる（図１１（ｃ））。また、ウェハ搬送装置２００は、安定的にウェハ１１３を搬送することができる。 （もっと読む）

【課題】装備の空間占有率を減少させて装備内周囲構造物と干渉を縮め、平板ディスプレイのパネルを所望の角度と小さい動力にティルティングさせることを可能にする平板ディスプレイパネル検査装置のパネル供給装置を提供すること。
【解決手段】固定プレート３１０と、ティルティングプレート３２０と、ティルティング手段３３０と、アップダウンプレート３４０と、ティルティングプレート３２０とアップダウンプレート３４０との間に設けられてアップダウンプレート３４０をアップダウンさせるアップダウン手段と、アップダウンプレート３４０の上側で回転可能に設けられて供給する平板ディスプレイパネルを支持して整列し、整列時全体長さが可変されるパネル整列手段が備えられたサブテーブル４００と、サブテーブル４００を回転させるためにアップダウンプレート３４０の下部に設けられる回転手段と、を含んで成る。 （もっと読む）

【課題】 複数枚の基板を一括して処理する第１処理部と、基板を１枚ずつ処理する第２処理部とを備えて、基板をいずれの処理部でも処理することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】 基板処理装置は、複数枚の基板Ｗを一括して処理する一括処理部２７と、基板Ｗを１枚ずつ処理する個別処理部４３とを備えている。搬送機構１３は、カセットＣと一括処理部２７と個別処理部４３との間で基板Ｗを搬送可能に構成されている。この搬送機構１３の搬送動作を、制御部が基板Ｗの処理条件に基づいて制御することで、一括処理部２７と個別処理部４３とのいずれかを選択して基板Ｗで処理することができる。また、一括処理部２７に続いて個別処理部４３で処理を施す等、適宜に併用して基板処理を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 フットプリントが小さく、低コストでありながら、一定の高い処理能力を備えた処理装置を提供する。
【解決手段】 処理装置の一実施形態である洗浄処理装置１００は、ウエハが収容されたキャリアＣを載置するキャリア載置部１と、ウエハを洗浄処理するチャンバ２１と、キャリア載置部１とチャンバ２１との間でウエハを搬送するウエハ搬送部３を有している。ウエハ搬送部３は、チャンバ２１に複数のウエハを一括して搬入出するためのホルダー３２ａ，３２ｂと、ウエハＷを１枚ずつ搬送する搬送ピック３４ａ，３４ｂと、搬送ピック３４ａ，３４ｂとホルダー３２ａ，３２ｂをそれぞれ係脱自在で、キャリアＣとチャンバ２１にアクセス自在なロボット３１を具備している。ロボット３１は、搬送ピック３４ａ，３４ｂとホルダー３２ａ，３２ｂとを交換して、キャリアＣとチャンバ２１との間でウエハを搬送する。 （もっと読む）

【課題】ロボットによる半導体用円盤状ウエハの搬送において、裏面真空吸着型搬送装置では一旦裏面が汚染されると汚染が伝播することから周縁把持型搬送装置が開発されているが、把持用爪がウエハ周縁と摺動摩擦して塵埃が発生するなど不具合があった。
【解決手段】搬送ハンド先端の爪と回動する２つのフィンガに取り付けられたクランプ用爪とで円盤状ウエハを把持する搬送装置であって、把持した際、クランプ爪の押圧方向が円盤のほぼ中心に向かうようにフィンガ配置を設計する。特に、フィンガを交差させて配設して長くすると、摺動摩擦部分が１／１０程度に減少した。 （もっと読む）

【課題】 ガラス基板等の薄板状ワークを把持して搬送を行う把持装置において、複数のワークを搬送するのにサイクルタイムを短くすることのできる把持装置を提供する。
【解決手段】 ベースに固定された２本のフォーク２と、ベースの左右に固定した２個の位置決めシリンダ３と、フォークの根本に固定されたクランプシリンダ４と、クランプシリンダに連結されるとともにフォーク先端でガイドされた連結棒６と、位置決めシリンダおよび連結棒に固定された２対のクランプ部材８と、クランプシリンダの動作を規制するストローク規制部材１０をピストン先端に固定したストッパシリンダ５より構成される把持装置であり、クランプシリンダのストロークをストローク規制部材が規制するとともに、ストッパシリンダの動きにより把持位置を２箇所に制限した把持装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】基板搬送時のアーム動作において、簡単な把持構造により、旋回時及び伸縮時における基板の把持を確実に行うとともに、処理時における基板の解除を容易に行えるようにする。
【解決手段】先端に基板Ｗを把持する把持爪２７が形成され、把持爪２７の押圧動作により、基板Ｗを把持する基板把持部が設けられた先端アーム２０と、先端アーム２０を移動可能な旋回アーム１０とからなる。基板把持部は、先端アーム２０の後端２３ａに永久磁石２９が固着され、スライドガイド２５を介して直動動作が案内されるスライダ２３を有する。旋回アーム１０は、その一部に強磁性体３２が設けられ、旋回アーム１０の旋回位置に応じて強磁性体３２が、永久磁石２９，３１の磁場内の対向位置に移動し、スライダ２を、基板Ｗに向けて前進、あるいは後退させて、先端アーム２０先端の把持爪２７で基板Ｗを把持し、あるいはその把持を解除することができるようにした。 （もっと読む）

レチクル操作装置が、ハウジング内でクリーンルーム状態を維持する少なくとも実質的に密閉されたハウジングと、ハウジングの内外へレチクルを導入し且つ送出する入力／出力ステーションと、ハウジング内に配置されてレチクルについての所定の機能を行う少なくとも１つの機能ユニットとを備える。装置は、ハウジング内に同様に配置されてハウジング内のレチクルを操作する操作装置を有する。
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【課題】ガラス基板からなる前面基板及び背面基板を有し、該前面基板及び背面基板は隙間を置いて対向配置され、矩形枠上の側壁を介して周縁ぶ同士を互いに接合することにより、枠体としての真空外囲器を構成する基板枠体を、側壁を破損させることなく安全に搬送することが可能な搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置１０は、側壁１の幅方向に加わる応力が無いよう側壁１を遊びをもって支持可能な複数のグラブ１２と、該複数のグラブ１２が枠状に取り付けた支持部材１１とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 被ハンドリング体を静電破壊から保護するハンドリング治具及びハンドリング治具用スタンドの提供を目的とする。
【解決手段】 ハンドリング治具１は、グリップ２と、このグリップ２に回動又は往復移動自在に取り付けられたレバー３と、グリップ２に取り付けられた固定アーム４と、レバー３に取り付けられた回動アーム５と、固定アーム４及び回動アーム５に取り付けられ、フォトマスク基板１０と当接する爪６とからなるハンドリング治具1であって、グリップ２，レバー３，固定アーム４，回動アーム５及び爪６に、導電性材料又は帯電防止剤による帯電防止処理を施した材料を使用した構成としてある。 （もっと読む）

【課題】被ハンドリング体を支持する際、当接部材からの異物の発生量を低減するとともに、当接部材に取り付けられる衝撃緩衝部材を容易に交換することの可能なハンドリング治具の提供する。
【解決手段】 ハンドリング治具１は、フォトマスク用基板１０を保持する固定アーム４及び回動アーム５と、固定アーム４及び回動アーム５に取り付けられ、フォトマスク用基板１０と当接する当接部材としての爪６とを有し、爪６が、フォトマスク用基板１０を係止する係止溝と、この係止溝にフォトマスク用基板１０を導く線状の突起部と、フォトマスク用基板１０と当接するＯリングとを備える。 （もっと読む）