【課題】平面研磨装置等において、研磨を行い、純水等でリンスした後、純水等で研磨定盤に付着した平板状ワークを縁部から吸着しながら剥がして搬出するための真空吸着ヘッドを提供する。
【解決手段】本発明の真空吸着ヘッド３は、板状基体３１、板状基体３１に設けられた吸引口３４、及び、吸引口３４を取り囲むように一方の端面で板状基体３１の平坦面に取り付けられ、他方の端面が真空吸着面を構成する弾性筒状壁体３２を備えている。弾性筒状壁体３２は、平板状ワークＷの縁部に近い側の壁３２１がその中心に近い側の壁３２２より狭い壁幅を備えている。これにより、吸引時に平板状ワークＷを介して弾性筒状壁体３２が大気圧を受けて圧縮変形するとき、縁部に近い側の壁３２１がその中心に近い側の壁３２２よりも大きく圧縮変形し、縁部側から剥がされる。 （もっと読む）

【課題】被処理体の処理室における再加熱時間の短縮が可能であるとともに、複数の被処理体を搬送しても、これら複数の被処理体各々の温度を精度良く制御することも可能な搬送装置を提供すること。
【解決手段】ベース５１と、被処理体Ｇを支持し、ベース５１に対して進出退避して被処理体Ｇを搬送する被処理体支持体５２と、被処理体支持体５２の少なくとも上下に設けられ、被処理体支持体５２に支持された被処理体Ｇからの輻射熱を反射する反射体８０と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】基板搬送装置には、搬送時の振動等による半導体基板およびこれを保持する基板ホルダの脱落を防止する機構が必要となる。しかし、脱落防止機構の駆動は発塵の原因となる。
【解決手段】基板を保持する基板ホルダを搬送する基板搬送装置は、基板ホルダを載置する載置部と、載置部に載置された基板ホルダが保持する基板に対して、載置部と同じ側に配置された回転軸と、回転軸の軸周りに回動して、基板ホルダの脱落を防止する防止位置と、基板ホルダを開放するための開放位置を取り得る開閉ロック機構と、載置部、回転軸および開閉ロック機構を一体的に上下反転させる反転部とを備える。 （もっと読む）

【課題】クランプ時に基板に無理な力が生じることにより発生する課題を解決する装置の提供。
【解決手段】大型ガラス基板等の基板０をその保持高さを精密に維持しつつ面内方向に自由に移動できるように案内する基板案内手段と、当該基板案内手段に保持された前記基板を面内の特定の方向に移動させるための基板駆動手段とを具備してなり、基板駆動手段が、大型ガラス基板等の基板を把持するための複数のクランプ部と、これらのクランプ部を同期させて駆動することにより、基板を基板案内手段に保持させつつ、特定方向に移動させ位置決めを行う基板駆動部とを具備してなる基板移送装置４において、クランプ部２１により基板０をクランプした際に、その基板０に無理な力が作用しないように、クランプ部２１を基板０の面外方向に逃がすための逃がし機構５９をさらに備える。 （もっと読む）

【課題】コスト高を招くことなく、搬送中のガラス基板が搬送路にある構造物などとの接触、衝突を回避することのできる基板搬送台車を提供する。
【解決手段】車輪を有する支持台、垂直に設けたスタンド、ガラス基板を載置するフォーク３０−１〜３０−４、フォーク保持部４０、フォーク保持部を回転し固定する回転機構５０で構成される基板搬送台車にて、フォーク３０の先端部Ｃに基板保護部材８０−１，８０−４が設けられている。基板保護部材は軽量材料からなり、フォークへは着脱容易に設けられている。基板保護部材は確認し易い安全色である。 （もっと読む）

【課題】基板の変形を抑えて基板の受け渡しができること。
【解決手段】基板を保持し、支持部によって支持される基板保持部材であって、前記基板が載置される載置面を有する基板載置部と、前記基板載置部と一体的に設けられ、前記載置面を含む面内に位置する所定軸を中心として前記基板載置部が回転可能なように前記支持部によって支持される被支持部とを備える。 （もっと読む）

【課題】フィルム基板を小さい吸着力で確実に吸着して移載できる装置を提供する。
【解決手段】載置面（１４）に平置されたフィルム基板（１１）を吸着して持ち上げる移載装置（１）であって、同一仮想平面上に配列された複数の吸着パッド（２）と、それらを支持する共通の昇降枠（３）と、該昇降枠を昇降させる昇降手段を備えるものにおいて、前記昇降手段が、前記載置面の拡がり方向に離れた２つの連結部（４ａ，４ｂ）にて、前記載置面に平行でありかつ相互に平行な軸線回りの回動を許容した状態で、前記昇降枠にそれぞれ連結された２つの昇降部材（５ａ，５ｂ）と、それらを相対的な速度差および／または時間差をもって上昇させる制御手段および駆動手段（６ａ，６ｂ）を含む。 （もっと読む）

【課題】基板保持搬送装置を用いた基板検査装置において、エアーシリンダの寿命や圧力変動により２つのエアーシリンダの同期が崩れた場合にエアーシリンダ内部のかじりを吸収して、エアーシリンダにかかる負荷を少なくし、エアーシリンダの寿命低下や動作不良を低減する搬送装置を備えた基板検査装置を提供する。
【解決手段】、基板の搬送方向に対して直交する方向の基板の左右の両端部を基板保持部で保持して基板を搬送する搬送装置であって、基板保持部の昇降を１対からなる２組の昇降機構で駆動させ、１対の昇降機構の内、一方の昇降機構上部には基板保持部が搬送方向と平行な方向に回転可能な機能を有する回転機構部と、他の昇降機構上部には基板保持部が搬送方向と平行な方向に回転可能で且つ可動可能な機能を有する回転機構部と、を備えたことを特徴とする基板搬送装置。 （もっと読む）

【課題】基板貼り合わせ装置のスループットを向上させる。
【解決手段】素子を形成された基板を貼り合わせる基板貼り合わせ装置であって、前記基板に対して処理を実行する３以上の処理部と、前記３以上の処理部の夫々に対して前記基板を搬送する搬送部とを備え、前記３以上の処理部のいずれかは、前記基板を互いに位置合わせして重ね合わせる位置合わせ装置であり、前記３以上の処理部の夫々は前記搬送部の回動中心に対する円周上に配される。 （もっと読む）

【課題】ウエハ等の脆弱性を帯びた板状部材を搬送対象とした場合の当該板状部材にストレスを与え難くするとともに、ウエハの割れ原因を効果的に回避可能な搬送装置を提供すること。
【解決手段】半導体ウエハＷの下面側に位置してこれを支持する支持手段１１と、この支持手段１１を移動可能に支持する移動手段１２とを備えて搬送装置１０が構成されている。支持手段１１は、第１アーム形成部材２４と第２アーム形成部材２５とにより一部開放可能な閉ループを形成可能な支持アーム２０と、この支持アーム２０に設けられた吸引手段２１とを含む。第２アーム形成部材２５の先端２５Ｂ側は、接離可能に設けられている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、部品を向きがずれたまま位置決めブロックに押し当てるのを防止することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る発明に係る部品位置決め装置は、上面に位置決め領域が設けられた支持台と、支持台上面と対向するベース板と、ベース板下面において、位置決め領域と対向する位置に設けられたピックアップ手段と、支持台上面において、位置決め領域に隣接するように設けられ、位置決め領域側に第１の位置決め面を有する位置決めブロックと、支持台上面に設けられ、位置決め領域を挟んで第１の位置決め面に対向する第１の接触面を有し、第１の位置決め面に垂直な方向であって第１の位置決め面に近づく第１の方向及び第１の方向とは反対の第２の方向に移動する第１のスライドブロックと、ベース板下面において、第１のスライドブロックと対向するように設けられた第１の押さえブロックと、を備える。 （もっと読む）

【課題】搬送条件に応じて正圧吸引と負圧吸引との少なくとも一方を使用して板状部材を支持することができるようにすること。
【解決手段】搬送装置１０は、ウエハＷを厚さ方向両側から挟み込む位置に設けられた第１及び第２の支持手段１１、１２と、これらの支持手段１１、１２を移動可能に設けられた移動手段１３とを備えて構成されている。第１の支持手段１１は、気体を吸引することでウエハＷを吸引して支持する負圧吸引手段１６を備えている。第２の支持手段１２は、ウエハＷに気体を噴出することで当該ウエハＷを吸引して支持する正圧吸引手段２８を備えている。 （もっと読む）

【課題】基板吸着時の基板振動が抑制され、安定して基板を吸着保持することができる基板吸着装置の提供。
【解決手段】基板吸着装置は、高速流体を流出口Ｅから流出してベルヌーイ効果により吸着対象基板７を吸引する吸着部１と、流出口Ｅから吸着対象基板方向に所定距離を空けて流出口Ｅを囲むように配置され、吸着部１により吸引された吸着対象基板７に当接するパッド４とを備える。パッド４が流出口Ｅを囲むように配置されているので、吸着対象基板７がパッド４の当接したときの振動の発生を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】電子部品の被吸着面に反りや傾きがあっても、電子部品を精度よく吸引・押圧できる電子部品移送装置用吸着ヘッドを提供する。
【解決手段】電子部品移送装置用吸着ヘッド１０は、電子部品移送装置８に装着されて移動し、電子部品２を真空吸着する。電子部品移送装置用吸着ヘッド１０は、（ａ）電子部品移送装置８に固定される固定部１２と、（ｂ）固定部１２とは反対側に、電子部品２を真空吸着するための吸着孔が形成された先端面２０ａを有し、先端面２０ａと平行な軸ｘを中心に揺動自在に、固定部１２との間に間隔を設けて、固定部１２に支持された先端部２０と、（ｃ）間隔が設けられた固定部１２と先端部２０との間に配置され、先端部２０の揺動に伴って弾性変形する圧力分散材３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】クリーンルームのコンパクト化、かつ、高清浄度化を達成可能な自動倉庫システム及びその容器移載方法を提供するものである。
【解決手段】本発明に係る自動倉庫システムは、クリーンルーム１１内に配置されるものであり、容器１４を格納する棚１３を垂直方向に複数段設け、容器１４をその棚１３と搬入出ポート１２との間で移載する移載手段１６を棚１３と平行に設けると共に、その移載手段１６に棚１６の側に向かって伸長自在なベース部材２４を設けてなり、そのベース部材２４は、固定系のベース本体７１と、ベース本体７１の長手方向に伸長自在なスライド部材７２と、スライド部材７２の上面に設けられ、スライド部材７２の長手方向にスライド自在で、かつ、昇降自在な爪部材７３とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】 半導体露光装置で用いられる基板において、固着していない軽微な異物を除去する。
【解決手段】 送り込みハンド、ウエハチャックにZ方向に微振動させる機構をもたせ、ウエハ吸着時、吸着動作と同時に、ウエハに対して、ブロー、及び、微振動を与えながら、吸着させる。 （もっと読む）

【課題】基板との接触による摩耗及び基板を介した薬品による腐食によって基板を正常に支持できなくなることを防ぐことができる基板支持装置を提供すること。
【解決手段】基板の裏面を支持する裏面支持部を備えた支持部材と、この支持部材に設けられ、前記裏面支持部に支持された基板の側面を囲み、基板の位置を規制する位置規制部と、を備え、前記裏面支持部及び前記位置規制部のうち少なくとも一方は、基材と、この基材を被覆し、その摩耗及び化学的浸食のうち少なくとも一方を防ぐための保護膜と、からなる基板指示装置を構成する。この基板支持装置は、例えば前記支持部材を支持する基体と、前記基体に対して支持部材を移動させるための駆動機構と、をさらに備え、基板搬送装置として構成される。また前記支持部材は、例えば基板を加熱または冷却するための温度調整板として構成される。 （もっと読む）

【課題】安価でメンテナンスが容易なガラス基板搬送用ロボットハンドを提供する。
【解決手段】櫛歯状の本体に平面状にガラス基板保持部を配置し、ガラス基板保持部上にガラス基板を載置してガラス基板を搬送するロボットハンドにおいて、ガラス基板保持部にＯリングの半径方向をガラス基板と垂直になるようにＯリングを配置し、Ｏリングを円周方向に回転させる回転機構と、Ｏリングを回転させた位置で固定する固定機構とを有し、Ｏリングの外周面をガラス基板と接触させてガラス基板とＯリングの外周面の間の摩擦力によりガラス基板を保持して搬送することを特徴とするガラス基板搬送用ロボットハンド。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハに帯電した静電気を除電することができるとともに装置を保護することができ、かつ、構成が簡単で安価なウェーハハンドリングロボット装置およびロボットハンドを提供する。
【解決手段】ロボット本体と、前記ロボット本体に設けられこのロボット本体とは電気的に絶縁されているロボットハンド保持部と、前記ロボットハンド保持部に設けられ半導体ウェーハを搬送するロボットハンドと、前記ロボット本体と前記ロボットハンドとを電気的に接続する抵抗素子と、前記ロボット本体に接続され前記ロボットハンドを制御する制御装置と、前記ロボット本体と前記制御装置とを接地するアース手段とを有する。前記抵抗素子の電気抵抗は、前記制御装置と前記アース手段とを含めた前記ロボット本体の電気抵抗よりも大きく、１０^３Ω〜１０^６Ωが望ましい。 （もっと読む）

【課題】基板が搭載される複数の搭載部間のピッチを変えるピッチ変更機構を備えている場合であっても、小型化することが可能な産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】産業用ロボットを構成する基板搭載機構３は、上下方向に重なるように配置され基板が搭載される搭載部１３〜１７間のピッチを変えるピッチ変更機構２６と、上下方向に移動可能な複数の可動ハンド１８〜２１とを備えている。ピッチ変更機構２６は、Ｙ方向を軸方向として配置される支点軸に回動可能に支持され可動ハンド１８〜２１が連結されるレバー部材５２、５３と、レバー部材５２、５３を回動させる駆動機構５８とを備え、可動ハンド１８〜２１とレバー部材５２、５３との連結部となるハンド連結部は、レバー部材５２、５３に取り付けられＹ方向に突出する突出部材と、可動ハンド１８〜２１に取り付けられ突出部材が係合する係合溝が形成されるガイド部材とを備えている。 （もっと読む）