【課題】搬送に必要な推力の低減を図り、且つ被搬送物のたわみを抑制することが可能な搬送装置、これを備える塗布システム及び検査システムを提供する。
【解決手段】搬送装置１２は、被搬送物２８の搬送方向Ｘに延びる主面１６ａを有するベース１６と、搬送方向Ｘに延びるガイド部材１８と、ガイド部材１８にガイドされて搬送方向Ｘに移動可能な移動部材２０と、移動部材２０に固定され主面１６ａから間隙を於いて被搬送物２８を保持する保持部材２４と、ベース１６上の搬送方向Ｘにおける一部領域において、搬送方向Ｘに搬送される被搬送物２８に対し気体の吐出及び吸引を行うための気体吐出吸引機構２６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】絶縁性のワークを搬送する際の帯電を抑制することが可能な搬送システムおよびコンベア装置を提供する。
【解決手段】搬送システム１００は、ガラス基板Ｗをトレイ１に載置して搬送する搬送システムであって、ローラ２５と、トレイ１とを備えている。ローラ２５は、搬送方向に並んで複数配置されている。トレイ１は、絶縁性のガラス基板Ｗを載置する。そして、トレイ１とローラ２５とにおいて、少なくとも互いの接触部（外側フランジ１１およびローラ２５）が導電性を有しており、接触部は接地されている。 （もっと読む）

【課題】支持体に積層された基板の枚数が少なくなっても確実に基板を１枚ずつ搬出することができる分離装置及びこの分離装置を備え、基板の検査を容易に行うことが可能な基板の検査装置を提供する。
【解決手段】複数の基板Ｗが積層状態で支持された支持体２０から、基板Ｗを１枚ずつ分離して搬出する分離装置１０であって、支持体２０に対して基板Ｗの積層方向に相対移動可能とされるとともに、基板Ｗの表面に吸着して基板Ｗを保持する吸着ヘッド３０と、積層された基板Ｗの側面に向けてエアを噴出して積層された基板Ｗの一部を浮上させて分離するエア分離機構４０と、支持体２０に積層された基板Ｗの数量が一定量以下となったことを検知する数量検知部２７と、数量検知部２７の検知結果に応じてエア分離機構４０からのエア噴射状態を調整するエア分離機構制御部１３と、を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】装置の占有面積の増大を抑えつつ、基板搬送手段に対する処理、基板の待機或いは基板に対する処理を行なう付属モジュールを追加すること。
【解決手段】真空搬送室３の底部３０に凹部４１を形成し、ここに第２の搬送アーム３２の洗浄処理を行う付属モジュール（洗浄モジュール４）を、前記第２の搬送アーム３２によるウエハＷの搬送を阻害しないように前記凹部４１に収納する位置と、前記真空搬送室３内において前記第２の搬送アーム３２の前記保持領域を洗浄する位置との間で昇降させる。前記洗浄モジュール４は使用しないときには前記凹部４１に収納し、使用するときには真空搬送室３内に突出するようにしているので、装置の占有面積の増大を抑えつつ、前記付属モジュールを追加することができる。 （もっと読む）

【課題】ウェーハと一体で操作される保持具を使用する際、簡単な操作にて保持具を保持することができる保持装置を提供する。
【解決手段】保持装置であるチャック１上面にウェーハ４を載せた平板状保持具３を設置した場合、平板状保持具３の端部近傍に設けられた吸引用配管５の吸入口５ａに当接する部分にベローズ６を備え、該ベローズ６はチャック１の上面の端部近傍に設けられた穴１ａの底面にその底面６ａが設置されており、穴１ａの底面からはさらに真空ポンプ（不図示）に連結される配管７ａが設けられ、チャック１の上面の中央には、多孔質アルミナ製の円盤１ｂが、通常のアルミナ製のチャック本体１ｃにはめこまれ、円盤１ｂの底部はチャック１の内部に設けられた中空部１ｄに露出し、中空部１ｄの底部からは円盤１ｂを介して平板状保持具３を真空吸着するための配管７ｂが真空ポンプに連結されている。 （もっと読む）

【課題】搬送能力を向上させることができるオートハンドラを提供する。
【解決手段】本発明のオートハンドラは、ソークコーナーＣ１とテストポートＰとの間で往復移動可能なシャトル２４と、テストポートＰとコーナーＣ２の間で往復移動可能なシャトル２５とを有する搬送装置１４を備えており、シャトル２４に搬送される搬送ボートＢ上の全ての半導体デバイスのコンタクトヘッド１８による移送が完了する前に、シャトル２４，２５を共に移動させて、テストポートＰでシャトル２４に搬送される搬送ボートＢをシャトル２５に受け渡す処理を行う。 （もっと読む）

【課題】非導電性潤滑剤が与えられた軸受を用いた移動手段により基板保持部を移動させて基板搬送を行う基板搬送装置において基板保持部で保持した基板から静電気を確実に除去する。
【解決手段】接触子７の上方端部が連結コラム５５ｂの下端面に取り付けられる一方、その下方端部は屈折部７１となっており、支持ベース５２の内底面に配置された導電プレート５２２に当接して屈折部７１を導電プレート５２２に押し付ける方向に弾性力が作用している。このため、ハンド５１ｂが移動する際に、屈折部７１は電気的にグランド電位に接続されている導電プレート５２２の上面と機械的に常時接触しながら摺動し、ハンド５１ｂ−ホルダ５３ｂ−連結コラム５５ｂ−接触子７−導電プレート５２２という除電経路が常時形成されている。 （もっと読む）

【課題】 ガスカーテンを通過して被搬送体を搬送しても、ガスカーテンを超えたガスの移動が発生しにくい搬送装置および機構体を提供する。
【解決手段】 被搬送体１４を載置、牽引、または押して移動方向への駆動力を与える機構体１５が、ガスカーテンを通過して被搬送体を搬送する搬送装置１１において、該ガスカーテンが該被搬送体の搬送方向１６に対して所定の噴射速度でガスを噴射して形成され、該ガスの噴射方向１９と該搬送方向１６とに垂直な方向の該機構体１５の厚みが、該噴射方向１９の上流側または下流側の少なくとも一方の端部に向かって、徐々に薄くなることを特徴とする。そうすることによって、搬送装置１１は、機構体がガスカーテンを通過して被搬送体１４を搬送しても、ガスの乱れが発生しにくいので、ガスカーテンによる閉塞効果が高く、ガスカーテンを超えてガスが移動しにくい。 （もっと読む）

【課題】非接触型搬送保持具および非接触型搬送保持装置の提供。
【解決手段】内側に一端が閉じ他端が開放された円筒状空間部１２を有し円筒部１３と底部１４を有するボデー１１と、ボデー１１の円筒部１３に形成され円筒状空間部１２の側面を構成する円筒状のボデー内周面１５と、ボデーの底部１４に形成され円筒状空間部１２の底面を構成する平坦なボデー底面１６と、ボデーの円筒状空間部１２の開放側端部に形成された平坦なボデー開放側端面１７と、ボデー内周面１５のボデー底面側端部に形成され円筒状空間部１２にガスを接線成分をもたせて導入する１つ以上のガス導入口１８と、を有する非接触型搬送保持具１０。円筒状空間部１２にガスを供給すると円筒状空間部１２内に負圧が生じて、被搬送物を吸引保持する。被搬送物とボデー開放側端面１７との間にはガスの流出隙間があるので、被搬送物は非接触保持される。 （もっと読む）

【課題】パーティクルを排出するユニットとこれを含む基板移送装置を提供する。
【解決手段】隔壁はハウジングの内部に垂直方向に配置され、ハウジングの内部空間を第１空間及び第２空間に区分する。圧力発生部材は、第１空間を上部空間及び下部空間に区分し、上部空間及び下部空間内で正圧及び負圧が交互に発生するように第１空間内で垂直方向に移動する。基板支持部材は、第２空間内で移動可能に配置され、基板を支持して移送する。複数のゲートはハウジングの側壁及び隔壁に具備され、第２空間から第１空間を経て外部空間にパーティクルを排出するために正圧及び負圧によって開閉される。 （もっと読む）

一体化された高速ロボット機構が、搬送機器を改良し、対象物移動を位置合わせ又は識別等の別の機能と一体化するために開示されている。開示された一体化されたロボットアセンブリは、通常、対象物をチャンバに出し入れするためのエンドエフェクタと、中心合わせ及びシータ位置合わせ能力を提供するためにロボットボディに組み込まれた回転チャックと、搬送中に対象物を識別するための選択的な識別サブシステムとを有する。本発明は、複数の一体化されたロボットアセンブリと、受渡しシステムとを有する受渡しロボットシステムも開示しており、この場合、受渡しロボットシステムは、ＦＯＵＰ又はＦＯＳＢ、フロントエンドモジュール（ＦＥＭ）、又はソータ等の複数の結合されたチャンバのために働く。移動するロボットへのこれらの組み込まれた能力の使用により、１つの対象物受渡し操作が、毎時５００パーツを超えることができる。
（もっと読む）

【課題】小バッチに対応し、コストを低減する。
【解決手段】バッチ式ＣＶＤ装置１の筐体２の正面下部にポッド２６のキャップを開閉するポッドオープナ２１を設置し、ポッドオープナ２１のポッド載置台２２の左右両脇に第一ポッドステージ２４、第二ポッドステージ２５を設置する。ポッドオープナ２１，両ポッドステージ２４，２５の上方には把手２８を上下の押さえ５３と５０とで把持した状態で、ポッド２６をポッドオープナ２１とポッドステージ２４，２５との間で搬送するポッド搬送装置３０を設置する。ポッドはポッドステージとポッドオープナとの間をポッド搬送装置によって直接的に搬送されるため、ポッドを一時的に保管する保管棚を省略でき、小バッチ式ＣＶＤ装置のイニシャルコストやランニングコストを低減できる。 （もっと読む）

【課題】常に一方の面を支持して搬送しながらも、その一方の面（被支持面）の検査作業を能率的に行える板状体検査設備を提供する。
【解決手段】搬送装置10による板状体Ｇａの搬送経路１中で、目視検査部Ｂに対向する部分に、昇降動手段41と反転動手段51を設けた。昇降動手段は、搬送面１Ａの下方に位置する昇降体42と、昇降装置46と、搬送面に対して出退動自在として昇降体に設けた板状体持ち上げ体47とにより構成した。反転動手段は、幅方向１Ｗに移動自在な移動体52と、移動体の下部に連動した横移動装置55と、移動体の上部に、横軸心63Ａの周りに回動自在に設けた回動体61と、回動体の回動装置65と、回動体が水平状姿勢のときに下面61Ａ側に位置する板状体保持装置71とにより構成した。回動装置は、板状体保持装置が搬送経路の搬送面に対向して位置する水平状姿勢と、板状体保持装置が搬送面に対して起立状に位置する傾斜状姿勢との間で回動体を回動すべく構成した。 （もっと読む）

【課題】同期の調整、複雑な制御が不要となり、低コストで基板搬送装置を実現できる。
【解決手段】処理対象基板を載置する基板載置台と、当該基板載置台を本体フレームに対してスライド可能に支持するスライド機構と、前記基板載置台に載置された前記処理対象基板を支持して昇降させる昇降機構と、前記スライド機構によってスライド可能に支持された前記基板載置台を設定位置に正確に移動させる移動機構とを備えた。前記昇降機構は、前記移動機構で前記基板載置台を一方にスライドさせると前記処理対象基板を上昇させ、前記基板載置台を他方にスライドさせると前記処理対象基板を降下させる連動機構を備えた。 （もっと読む）

【課題】基板上に液状体を安定して塗布することが可能な塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】基板の浮上高さを制御するためのエア噴出機構及び吸引機構と、エア噴出孔から噴出されるエアの噴出圧が一定になるように、当該噴出圧を制御するＡＰＣとが設けられているので、基板の浮上量を一定に制御することができる。これにより、気体供給設備の気体供給量が不安定な場合であっても、基板の浮上量が変化することはなく、安定してレジストを基板上に塗布することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、加工容易でありながら、高い保持剛性を実現できる搬送物浮上装置及びこれを用いたステージ装置を提供することを目的とする。
【解決手段】表面１１に吹出孔５０と吸引孔６０とを有し、内部１２に前記吹出孔に連通する吹出流路７０と前記吸引孔に連通する吸引流路８０とを有する搬送台１０と、
該搬送台の外部に設けられ、前記吹出流路にエアを供給するエア供給路２０とを有する搬送物浮上装置２００、２００ａ、２００ｂであって、
前記エア供給路は、前記エアに圧力損失を生じさせる圧力損失発生手段２１、２１ａ、２１ｂを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ウエハの供給能力の高いウエハ搬送ロボットを提供する。
【解決手段】ウエハ搬送ロボット１は、移動可能な本体５と、本体５に設けられ、末端にウエハ２０を保持できるハンド１９を備えるロボットアーム７と、本体５に設けられ、ウエハ２０を保持可能な吸着パッド１４を備えるアライナ６とを有し、アライナ６は、吸着パッド１４を本体５に対して垂直方向および水平方向に移動可能、且つ、水平軸周りに回転可能であり、吸着パッド１４の昇降によってハンド１９との間でウエハ２０を受け渡し可能である。 （もっと読む）

【課題】周囲の雰囲気及び温度にかかわらず、基板を確実に加速、搬送及び再び制動することが可能な平面状の基板用の非接触型搬送装置を提供すること。
【解決手段】平面状の基板１を搬送路３に沿って搬送する非接触型搬送装置において、搬送路３の両側に所定の間隔をもって複数のベルヌーイチャック２ａ，２ｂを配置し、搬送される基板１が搬送路３の両側おけるベルヌーイチャック２ａ，２ｂをそれぞれ部分的に覆うよう構成し、基板１の搬送のために、搬送路３の両側におけるベルヌーイチャック２ａ，２ｂを、それぞれ左回り又は右回りに回転する気体流５，６を生成するよう構成した。
（もっと読む）

【課題】簡易な構成で、搬送対象物の把持、解放を行うことができる産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】産業用ロボットは、搬送対象物２を搭載するハンド３と、ハンド３を保持する多関節アーム部とを備えている。ハンド３は、搬送対象物２を把持するための把持部２８と、搬送対象物２から退避させる方向へ把持部２８を付勢する付勢部材２９とを備えている。把持部２８は、搬送対象物２に当接する把持部材３４と、多関節アーム部の伸縮動作に伴う慣性力で、把持部材３４が搬送対象物２に当接する方向へ把持部材３４を移動させる重量部材３５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】従来の基板処理装置の基板処理性能を維持しながら、製造コストを抑え、さらに基板の処理時間時間を短縮する。
【解決手段】基板保持装置３に可動部材６を設ける。可動部材６は、プランジャー６０を備え、その上端部には、ガスケット６１およびＯリング６２が固設されている。可動部材６の上側は、基板保持装置３の基板載置ステージ３０の下側から、基板載置ステージ３０に設けられた孔３７に向けて挿管される。このような構成とすれば、従来のような長い配管が不要となり、製造コストを抑えられる。また、基板９０の下面と孔３７とガスケット６１およびＯリング６２の上面とで、閉空間６６１，６６２が形成される。この状態で、可動部材６のプランジャー６０を上下駆動（進退駆動）すれば、閉空間６６１，６６２の容積を変更でき、基板９０を迅速に吸着あるいは剥離でき、基板の処理時間を短縮できる。 （もっと読む）