【課題】基板にかかる応力を抑制しつつ確実に吸着保持できるようにする。
【解決手段】外観検査装置１は、基板吸着装置として板金１５に固定された３つの吸着部群１６Ａ〜１６Ｃを備える。吸着部群１６Ａ〜１６Ｃはガラス基板Ｗの搬送方向に並んで配置されており、各々が３つの吸着部１８Ａ〜１８Ｃを備える。吸着部１８Ａ〜１８Ｃは、ガラス基板Ｗの裏面に吸着可能で、首振り動作が可能な吸着パッド２２が１つずつ設けられている。最も中央にある吸着部群１６Ｂの吸着部１８Ｂは、上方に押し付け部３３が配置されている。押し付け部３３は補助パッド３５を降下させてガラス基板Ｗを吸着部１８Ｂに押し付ける。 （もっと読む）

【課題】センサの数量を増加させることなく、基板の搬送精度を向上させた基板搬送方法、及び基板搬送装置を提供するものである。
【解決手段】各センサが、それぞれ対応する経路ＲＴ上にレーザを投光してスポット２０Ｐを形成し、スポット２０Ｐから透過する透過レーザの量を検出する。そして、位置データを参照して、検出値が「第１閾値」になるごとに、第１検出位置ＲＰ１に基づく基板中心Ｓａの座標を演算し、その時の基板中心Ｓａに基づいて目標点の座標を補正する。また、検出値が「第２閾値」になるごとに、第２検出位置ＲＰ２に基づく基板中心Ｓａの座標を演算し、その時の基板中心Ｓａに基づいて目標点の座標を補正する。 （もっと読む）

【課題】バッファ軸が上下動もしくは回転しても真空度が低下せず、ワーク吸着時のエア吸引を行う配管チューブの抵抗荷重が、吸着時のバッファ力に作用する影響を排除し、且つ当該バッファ力を所望の値に設定することが可能なワーク吸着搬送装置の吸着機構を提供する。
【解決手段】本発明に係る搬送装置の吸着機構は、ハウジングに設けられた上下二つの滑りガイドによって垂直方向に摺動可能に支持されたシャフト部と、シャフト部の下端に、先端に吸着パッドが設けられるヘッド部とを備え、ハウジングと二つの滑りガイドとシャフト部とによって密閉される空間部が形成され、吸着パッドの先端からシャフト部を貫通して空間部に至る第１の配管が設けられ、第１の配管は、シャフト部の摺動位置にかかわらず、常時、空間部に連通するように構成され、ハウジングに空間部内の空気圧を変化させる第２の配管が設けられる。 （もっと読む）

【課題】センサの数量を増加させることなく、基板の搬送精度を向上させた基板搬送方法、及び基板搬送装置を提供するものである。
【解決手段】センサ２０の光軸を、基板Ｓの法線方向Ｚに対して傾斜させて、基板Ｓの端面の一点を光軸上の上位検出点ＰＳ０に通過させる。また、ハンド点を法線方向Ｚに変位させて、基板Ｓの端面の他点を光軸上の下位検出点ＰＳ１に通過させる。そして、上位検出点ＰＳ０の検出結果に基づく上位距離と、下位検出点ＰＳ１の検出結果に基づく下位距離を用いて基板Ｓの中心を演算し、基板Ｓの中心を目標点に搬送させる。 （もっと読む）

【課題】搬送途中で被処理体の表面が酸化したり汚染されるのを防止すること。
【解決手段】本発明では、被処理体（ウエハ２）に対して所定の処理を行う第１の処理室（たとえば、第１の洗浄室12）と第２の処理室（たとえば、第２の洗浄室13）との間で被処理体（ウエハ２）を搬送する搬送装置（搬送手段15）において、被処理体（ウエハ２）の表面に液体（36）を供給する液体供給口（34）と、前記液体供給口（34）から供給された液体（36）によって被処理体（ウエハ２）の表面を被覆した状態に保持するために被処理体（ウエハ２）の周縁上方に配置した液体保持具（33）とを有し、液体（36）で被処理体（ウエハ２）の表面を被覆した状態で被処理体（ウエハ２）を搬送することにした。 （もっと読む）

【課題】走行路から噴射する空気が何らかの原因で止まってしまった場合においても、走行路と空気浮上台車との接触に伴う発塵を防止或いは大幅に低減することが可能な空気浮上走行システム、走行制御方法および空気浮上台車を提供する。
【解決手段】走行路と空気浮上台車との距離または接触の有無を検出する検出手段と、空気浮上台車に備えられ、起動信号の受信により気体を噴射して空気浮上台車を所定時間浮上させることが可能な気体噴射手段と、前記検出手段が走行路と空気浮上台車との距離が所定値以下になったことを検出した場合または走行路と空気浮上台車との接触を検出した場合に、前記空気浮上台車に気体噴射手段を起動させるための起動信号を送信し、空気浮上台車を浮上させた状態で所定位置まで移動させ、そこで停止させるように制御する走行制御手段とを備えたことを特徴とする空気浮上走行システム。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の形状に応じてユニット化された搬送シャフトを組み合わせた、芯出しの調整が不要で、取り付けが簡単な基板搬送ローラ、及びそれを用いた基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】第１の搬送シャフト１００と、第２の搬送シャフト１１０と、第３の搬送シャフト１２０とを具備し、１つ以上の第１の搬送シャフト１００が同軸上にマグネットカップリングされ、該マグネットカップリングされた１つ以上の第１の搬送シャフト１００の片側に第２の搬送シャフト１１０がマグネットカップリングされ、その反対側に第３の搬送シャフト１２０がマグネットカップリングされて成る。 （もっと読む）

【課題】真空雰囲気下で加熱された板状ワークを搬送する場合において、当該ワークからの熱による不都合を解消ないし低減する。
【解決手段】搬送装置Ａは、固定ベース１と、固定ベース１に対して旋回可能に支持された旋回ベース２と、旋回ベース２に支持され、ガイドレール３２Ａ，３２Ｂを含んで構成された直線移動機構３と、ガイドレール３２Ａ，３２Ｂに支持され、直線移動機構３の作動によりワークＷを水平直線状の移動行程に沿って搬送するハンド４Ａ，４Ｂとを備える。ハンド４Ａ，４Ｂとガイドレール３２Ａ，３２Ｂとの間には熱反射板８が設けられる一方、固定ベース１および旋回ベース２には、固定ベース１側と旋回ベース２側とを常に連通させる空間５０２，６０２を含んで構成された冷媒循環路が設けられている。上記冷媒循環路は、上記熱反射板８に接するように取り回された冷却管７１，７３，７４，７６を含む。 （もっと読む）

【課題】基板搬送装置への基板の搭載および取り外しを自動化することのできる基板ハンドリング装置、基板搭載方法、基板取り出し方法を提供する。
【解決手段】ロボットアームの先端に取り付けられる基板ハンドリング装置であって、ロボットアームに取り付けられた板状保持部材と、板状保持部材に基板保持方向に突出可能に軸支され、先端に基板吸着パッド部１５を備えた基板保持アーム１６と、基板保持アーム１６を板状保持部材から突出しない状態で固定するロック機構と、基板吸着パッド部１５を基板保持アーム１６から突出する方向に付勢する突出機構１８と、基板吸着パッド部１５の基板保持アーム１６からの突出を制限する吸着パッド部２４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】無電源で除電することができ、且つ、帯電物が損傷することを防止できる除電装置及び半導体製造装置並びに搬送装置を提供する。
【解決手段】除電装置１０は、放電針１２と、放電針１２を接地する接地線１４と、接地線１４に設けられ、電流又は電圧を制御する制御装置１６とを備える。放電針１２に帯電物１８が接近した際、放電針１２から帯電物１８に向けてイオンが放出されるとともに、放電針１２に流れる放電電流又は放電針１２にかかる放電電圧が制御装置１６によって制御される。 （もっと読む）

【課題】独立したアライメント装置を設けることなくワークの位置合わせができるワーク搬送装置を実現する。
【解決手段】搬送機構によってワークを保持し、この搬送機構を前記ワークの搬送方向に沿って移動させることにより前記ワークを搬送するワーク搬送装置において、
前記搬送機構は、前記ワークの保持状態を変化させるアライメント部を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板にかかるストレスを低減して基板割れを抑制することができ、かつメンテナンスコストを低減できる低負荷搬送装置を提供すること。
【解決手段】負圧により基板１を吸着して支持する吸着ヘッド部１０と、吸着ヘッド部１０の内部に負圧を発生させる負圧発生手段２０と、吸着ヘッド部１０にて吸着した基板１を搬送する搬送手段３０とを備え、吸着ヘッド部１０は、基板１と対向する支持面１１ａに複数の吸気孔１１ｂを有するヘッド本体部１１と、ヘッド本体部１１の支持面１１ａに取り付けられると共に複数の吸気孔１１ｂと連通する複数の貫通孔１２ｂを有する吸着シート部１２とから構成され、吸着シート部１２は、ヘッド本体部１１の支持面１１ａに剥離可能に貼り付けられる熱可塑性エラストマーからなる粘着剤層を有することを特徴とする低負荷搬送装置。 （もっと読む）

【課題】所謂ミニエンバイロメント方式を採用する際に、清浄度の低い外部環境のガスが局所クリーン領域に取り込まれることを抑制することができる局所クリーン搬送装置における物品受渡し時の清浄度保持装置を提供する。
【解決手段】クリーンルーム１１内の複数箇所に設けられ、清浄度がクリーンルーム１１内の清浄度より高い作業領域１２の物品受渡し部１３間における物品の搬送を手動台車１４で搬送されるポッド１５に収容して行う。物品受渡し部１３内はクリーンルーム１１内の圧力より高い圧力（陽圧）となっている。ポッド１５が移動部材２２上に載置され、移動部材２２と共にカセット１７が下降する途中で開口充填部２２ｂと受渡し口部２０ａとの隙間から物品受渡し部１３内のガスが排出され、クリーンルーム１１内のガスが物品受渡し部１３内に入り込むのが抑制される。 （もっと読む）

【課題】基板搬送ロボットのアーム部の基端側を同一点に取付けアーム類に負荷をかけずに基板ホルダーが取付けられるアーム部の先端側が直線運動するようにし、アーム部に装着されるベルト張力を一定にし基板ホルダーがアーム部先端側取付点を支点に回転するのを防止する。
【解決手段】駆動部に結合される二軸の同軸構造型シャフトの各軸にそれぞれ基端側が結合される左右一対の第一アーム及び第一アームと同一の長さで第一アームの先端側に関節部を介してそれぞれの基端側が結合される左右一対の第二アームからなるアーム部と、第二アーム先端側に取り付けられる基板ホルダーとを備え、第一、第二アームの回転運動により基板ホルダーが移動する基板搬送ロボット。基板ホルダーとアーム部との間に第二アーム先端部が取付けられている位置を中心とする回転を防止する回動防止手段を有する。 （もっと読む）

【課題】基板の大口径化や超大口径化に伴う基板搬送時の基板中央部の自重による撓みを抑制ないし防止する。
【解決手段】大口径の基板ｗの上方又は下方に移動される支持部１７と、該支持部１７に設けられ基板ｗの周縁部を掴んで支持する掴み機構２８とを有する基板搬送装置において、上記支持部１７に、基板の上面中央部又は下面中央部を撓まないように空気層を介して非接触で吸引保持する非接触吸引保持部３０を１つ又は複数設け、該非接触吸引保持部３０は、上記基板の上面又は下面に向って突設された柱体又は錐体からなる負圧形成突部３１と、該負圧形成突部３１に対して側方から気体を噴出することにより負圧形成突部３１の近傍に負圧を形成するための気体噴出ノズル３２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】基板の大口径化や超大口径化に伴う基板搬送時の基板中央部の自重による撓みを抑制ないし防止する。
【解決手段】大口径の基板ｗの上方又は下方に移動される支持部１７と、該支持部１７に設けられ基板ｗの周縁部を掴んで支持する掴み機構２８とを有する基板搬送装置において、上記支持部１７に、基板の上面中央部又は下面中央部を撓まないように空気層を介して非接触で吸引保持する非接触吸引保持部３０を１つ又は複数設け、該非接触吸引保持部３０は、上記基板の上面又は下面に対向する平面円形の本体３１と、該本体に形成され中央に向って深くなるように傾斜した傾斜面３２ａを有する凹部３２と、該凹部３２の中央に設けられ上記傾斜面に沿って流れるように気体を放射状に噴出することにより負圧を発生させるための複数の気体噴出ノズル３３と、上記凹部３２の周縁部に適宜間隔で形成された気体逃げ溝３４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置へウェーハを供給、排出する搬送装置（以下ミニエンと略記する。）では、ウェーハ搬送において、ウェーハ異物付着が発生し易く、微小の異物であっても半導体製造装置に影響を与えてしまう場合があり、歩留まりが悪くなる。そのため、搬送室内全体のクリーン度を保つために、ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）からのダウンフローの均一性および吹き溜まりや巻き上がりを管理する必要がある。
【解決手段】風量管理するために、ウェーハ搬送ロボットの一部（アーム）に風量測定器を取り付けることにより、搬送室内の任意のポイントに測定ポイントを設けることを実現させる。風量測定器からの測定データは、ミニエン内制御コントローラで取り込みデータ管理を行う。 （もっと読む）

【課題】本発明は、構成が簡単で安価なウェーハハンドリングロボット装置およびロボットハンドを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、ロボット本体と、前記ロボット本体に設けられたアームと、前記アームに設けられ、ウェーハの搬送をするロボットハンドと、前記ロボット本体を制御する制御装置と、前記ロボット本体、および前記制御装置を載置する装置ベースと、前記装置ベースをアースに設置するアース手段を有し、前記ロボットハンドは、電気抵抗が１０^３〜１０^６Ωであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】薬液処理時に発生する薬液蒸気が処理槽を有するシンク外へ飛散するのを効果的に抑えて高品質の基板処理を可能にした基板処理装置を提供すること。
【解決手段】上方が開口した有底の容器からなる処理槽２Ａ〜２Ｄと、ウェーハＷを把持する把持機構１１と、把持機構が連結されてウェーハの処理槽内に貯留された処理液への浸漬及び処理槽内からの引き上げを行う昇降装置１０と、昇降装置が連結されてウェーハを処理槽へ搬送する搬送装置７と、を備える基板処理装置１において、処理槽から蒸気が平常時よりも多量に発生上昇するときに処理槽の開口部を覆うことができる搬送装置に連結された飛散防止カバー８を備える。 （もっと読む）

【課題】ローラーシャフトのたるみを防止できる平板ディスプレイ用ガラスのローラーシャフトのたるみ防止装置を提供する。
【解決手段】ローラーシャフト１１０の左右両側に形成された固定ハウジング１００の内部に第１エアテンション部１６０と第２エアテンション部１６１を形成し、圧縮空気を供給することにより、圧縮空気の張力で、第１スライディング・ピストン１７０と第２スライディング・ピストン１７１をスライディングスペース１８０、１８１にスライディングさせる。 （もっと読む）