【課題】筐体内外に収納容器の搬入搬出を行うロードポートにおいて、収納容器の蓋体を装着したり外したりするのを可能とし、構造をシンプルにする。
【解決手段】基板処理装置は、複数の基板を収納し基板出し入れ口を蓋体によって塞がれた収納容器２と、収納容器を載置するロードポートと、該ロードポートで基板出し入れ口に対する蓋体の着脱を行う着脱装置と、ロードポートで収納容器を載置し着脱装置に対して対向方向に遠近動作を行う第一載置ユニット１８Ａと、第一載置ユニットとは別体として設けられロードポートで収納容器を載置し着脱装置に対して昇降を行う第二載置ユニット１８Ｂと、を備える。 （もっと読む）

【課題】 大気側と成膜チャンバーとの間の搬送の際に一時的に基板が配置されるチャンバーにおいてもトレイを使用することで、形状や大きさの異なる基板についても同じ装置で容易に成膜処理できるようにする。
【解決手段】 成膜チャンバー４とロードロックチャンバー６との間には、未成膜基板用移載機構２４及び成膜済み基板移載機構２５を備えた補助チャンバー７２が設けられている。補助チャンバー７１〜７３及び成膜チャンバー４は、常時真空に維持される。未成膜の基板９は、ロードロック用トレイ１１に載せられてロードロックチャンバー６から補助チャンバー７２に搬送され、ロードロック用トレイ１１から成膜用トレイ１２に移載される。成膜済みの基板９は、成膜用トレイ１２に載せられて成膜チャンバー４から補助チャンバー７２に搬送され、成膜用トレイ１２からロードロック用トレイ１１に移載される。 （もっと読む）

【課題】この発明は基板を上下駆動する際にダウンフローの乱れによって基板が汚染されることがないようにした処理装置を提供することにある。
【解決手段】清浄空気が上方から下方に向かって流がされるとともに、基板を上下方向に駆動する上下駆動装置２７が設けられたチャンバ５ａを有する基板の処理装置であって、
上下駆動装置は、基板を水平に支持する上下可動体１８と、上下可動体を上下方向に駆動する上下駆動機構２８と、上下可動体の幅方向両端部に設けられ上下可動体が上下駆動機構によって上下方向に駆動されたときにチャンバの上方から下方に向かって流れる清浄空気を上下可動体の幅方向両端部において幅方向外方に向かってガイドする傾斜面２６とを具備する。 （もっと読む）

【課題】解放式のカセットへのダストの侵入を防止し、クリーン度の低い空間でもカセットを保管・搬送できるようにする。また、シート材でラップしたカセットを用いて、処理装置へ物品を搬入するための具体的な構成を提供する。さらに、シート材のラップやアンラップを容易にできるようにする。
【解決手段】開放式のカセットにラッピング装置１４でシート材をラップして周囲から気密にするとともに、アンラッピング装置１０でシート材を剥がし、カセットに物品を出し入れできるようにする。 （もっと読む）

【課題】剥離促進ヘッドの交換を自動的に行って設備稼働率を向上させることができるチップ実装装置およびチップ実装装置における剥離促進ヘッドの交換方法を提供することを目的とする。
【解決手段】チップ実装装置においてウェハリング保持部１０に複数種類の剥離促進ヘッド１３を着脱自在に保管する剥離促進ヘッド保管部１２を備え、チップ剥離促進ユニット１１を移動機構１９によって剥離促進ヘッド保管部１２にアクセスさせ、剥離促進ヘッド保管部１２とチップ剥離促進ユニット１１に設けられた剥離促進ヘッド装着部２５との間で剥離促進ヘッド１３を交換するヘッド交換動作を、オペレータの人手を煩わすことなく自動的に実行させる構成を採用する。これにより、剥離促進ヘッド１３の交換を自動的に行って設備稼働率を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】搬送ステージの段差や間隔の広さによらず、基板を搬送することができる基板搬送装置を実現する。
【解決手段】基板の搬送方向に配置された複数の搬送ステージを備えるとともに、搬送機構によって前記基板を保持し、前記複数の搬送ステージ上を順次移動させる基板搬送装置において、
前記搬送機構は、前記基板の搬送位置に応じて前記基板を上下させる上下方向駆動機構を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【構成】 処理装置４の物品搬出入用のシャッタ８の周囲３方に、出退自在な庇２２を設ける。無人搬送車が到着すると、庇２２を前進させて処理装置４と無人搬送車の間の隙間を塞ぎ、処理装置４や無人搬送車からの高クリーン度の空気で物品の搬出入経路を充たす。搬出入後のシャッタ８等を閉じると、庇２２を後退させて無人搬送車の走行を容易にする。
【効果】 無人搬送車と処理装置との隙間から、低クリーン度の空気が物品側に侵入しない。 （もっと読む）

【課題】昇降動作のストローク量を大きく確保するとともに装置全体の高さを低く抑えることができる、低床型の搬送装置を提供する。
【解決手段】固定ベース１と、旋回ベース２と、この旋回ベース２を固定ベース１に対して昇降させる昇降機構３と、旋回ベース２を鉛直状の旋回軸Ｏｓ周りに旋回させる旋回機構と、旋回ベース２に支持された直線移動機構５と、直線移動機構５に支持され、直線移動機構５の作動によりワークＷを水平直線状の移動行程に沿って搬送するハンド６Ａ，６Ｂとを備えた搬送装置Ａであって、昇降機構３は、固定ベース１に対してテレスコピック状に伸縮するように組み合わされた２段の昇降部材３１，３２と、各段の昇降部材をその下位段の部材に対して昇降させる第１および第２の昇降駆動機構３３，３４と、を備えて構成されており、かつ、旋回ベース２は、最上位段の昇降部材３２に支持されている。 （もっと読む）

【課題】冷機状態、暖機状態の区別なく、運転再開後直ぐに本来の搬送精度で基板の搬送を行うことができ、基板間における処理について高い均一性が得られる基板搬送装置等を提供する。
【解決手段】
基板を保持する保持部１３に回転自在にアーム部１１、１２が連結された関節型の搬送アーム１０ａ、１０ｂを備えた基板搬送装置１ａ、１ｂにおいて、加熱手段６１ａ、６１ｂは当該アーム部１１、１２を加熱し、温度検出手段６４ａ、６４ｂは各アーム部１１、１２の温度を検出する。そして制御手段７は、基板搬送開始前に前記アーム部１１、１２を加熱し、温度検出手段６４ａ、６４ｂによる温度検出値が予め設定した設定温度範囲まで上昇した後に基板の搬送を許可し、その後は温度検出値が設定温度範囲内に維持されるように加熱手段６１ａ、６１ｂを制御する。 （もっと読む）

【課題】半導体製造工場で用いられる搬送システムにおいて、棚装置の全ての棚にスライド機構を設けることで起こるコストの上昇と信頼性の低下を回避するとともに、搬送台車の真下より外れて位置する高さの異なる複数の棚に対して搬送台車が直接的に被搬送物の載置及び搬出が可能な懸垂式搬送台車及び搬送システムを提供する。
【解決手段】天井に敷設された軌道上を懸垂状態で走行し、昇降自在な把持機構２２で被搬送物を把持して搬送する懸垂式軌道搬送台車において、その把持機構２２に、水平方向に伸縮自在なスライド機構２３と、前記スライド機構２３の先端に支持され被搬送物を狭持及び開放自在なグリッパ２４とを備える。 （もっと読む）

【課題】チャックトップの高さのバラツキを小さくして常に一定のオーバードライブを掛けることができるチャックトップの高さを求める方法及びこの方法を記録したプログラム記録媒体を提供する。
【解決手段】チャックトップ１１の上面の中心及びその上下左右の５点の理想座標面で座標値ｘ、ｙを指定し、上カメラによって５点に対応するチャックトップ１１の高さを計測する工程と、ＸＹ座標面の所定の象限の上記各指定座標値に対応するチャックトップ１１の中心Ｏ以外の隣り合う２点Ａ、Ｂの計測値がチャックトップ１１の中心Ｏを中心として形成される円周上を変化して得られる点であるとする円錐モデルを設定する工程と、所定の象限内の任意の一点を指定し、この指定座標値、所定の座標変換式及び上記円錐モデルに基づいてチャックトップ１１の任意の点の高さＺを求める工程と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】帯状の粘着テープとプリカット粘着テープを使い分けてこれら粘着テープをリングフレームと半導体ウエハの裏面とにわたって貼り付ける粘着テープ貼付け装置を提供する。
【解決手段】リングフレームおよびウエハを保持するワーク保持機構５と、連続したダイシングテープＤＴ、あるいは、プリカットダイシングテープが貼付け保持された連続したキャリアテープを、貼付け位置に供給するテープ供給手段と、連続したダイシングテープＤＴ、あるいは、キャリアテープから剥離したプリカットダイシングテープを、リングフレームおよび半導体ウエハに貼り付けてゆく貼付けユニット２４と、リングフレームに貼り付けられたダイシングテープをリングフレームに沿って切断するテープ切断機構２８と、切断後の残渣テープＤＴ’を巻取り回収する残渣テープ回収部２６とを備える。 （もっと読む）

【課題】 より簡単に高い精度で撮像手段の座標位置を調整可能とし，これにより基板の位置の高い精度で検出できるようにする。
【解決手段】 マーク付ウエハＷｄを支持ピン１３２Ａ〜１３２Ｃで支持した状態で，各撮像手段１５２Ａ〜１５２Ｃの測定視野（撮像領域）１５３Ａ〜１５３Ｃ内にマークｍＡ〜ｍＣを入れてマーク付ウエハをＸＹ方向に所定距離ずつ駆動させながらそれぞれマーク位置を検出し，その検出結果に基づいて座標のＸ軸方向とＹ軸方向を校正する工程と，マーク付ウエハを載置台上に固定した状態で，各撮像手段の測定視野ごとにマーク付ウエハを所定角度ずつ回転させながらマークｍＤの位置を検出し，その検出結果に基づいて座標の原点を校正する工程とにより，上記撮像手段の撮像領域の座標位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】
基板処理装置に於いて、基板保持具が垂下された昇降軸で片持支持された場合に、振動、揺れを抑制し、基板移載時の搬送、移載精度の向上を図る。
【解決手段】
基板保持具４に保持された基板を収納し、処理する処理室６と、該処理室下方に連設される予備室９と、前記基板保持具を支持し、前記処理室を閉塞する炉口蓋１２と、該炉口蓋を支持する炉口蓋支持部２２と、該炉口蓋支持部を支持する昇降軸２１と、該昇降軸を吊下げ支持しつつ昇降させる昇降手段１４と、前記基板保持具に基板を搬入出する基板移載手段２９とを備え、前記基板保持具に基板を搬入出する際に、前記炉口蓋支持部の振動を抑制する振動抑制手段を前記予備室内に設けた。
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【課題】 本発明は、板状基体に対する気体の噴出によって、板状基体を浮上した状態にし、この状態で板状基体を移動、停止、静止および方向転換させる場合、重い板状基体でも、移動および方向転換を高速で行うことができ、かつ、確実に板状基体を停止させることができる浮上搬送装置および浮上搬送システムを提供する。
【解決手段】 搬送面に設けられた複数の噴出孔１１Ｂを具備し、噴出孔１１Ｂから噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で移動させる移送部１と、搬送面に設けられた複数の噴出孔を具備し、この噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で移動、停止、静止および方向転換の少なくとも１つを行う制御ユニットとを組み合わせた浮上搬送システムにおいて、浮上している板状基体を押して移動させる移動手段（移動装置１３）を移送部１に設けた。 （もっと読む）

【課題】カセットに収納された複数のウェーハに対し、簡単な構造でオリフラ合わせを正確に行うことができるウェーハの整列冶具、ウェーハの整列装置およびウェーハ処理装置を提供する。
【解決手段】複数のウェーハのオリエンテーションフラット側を同時に押圧すると共に、押圧面５０を平坦に形成した整列プレート３３と、整列プレート３３を支持すると共に、整列プレート３３の上下動をガイドする上下動ガイド機構と、上下動ガイド機構を介して、待機位置と整列位置との間で整列プレート３３の進退動をガイドする進退動ガイド機構３１と、整列プレート３３を後退方向に付勢する付勢手段３４と、進退動ガイド機構３１を支持する機台３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ウエーハ搬出手段を構成する搬送パッドの吸着面を洗浄する搬送パッド洗浄手段から搬送パッドの吸着面に銅イオンを付着しないようにした搬送パッド洗浄手段を備えた研削装置を提供する。
【解決手段】ウエーハを保持する保持面を有するチャックテーブルと、チャックテーブル上に保持されたウエーハを研削する研削手段と、チャックテーブル上で研削されたウエーハを吸引保持する吸着面を有する搬送パッドを備えたウエーハ搬出手段とを具備する研削装置であって、搬送パッドの搬出経路に配設され搬送パッドの吸着面を洗浄する洗浄部材を備えた搬送パッド洗浄手段を具備し、搬送パッド洗浄手段の洗浄部材は銅を含まないセラミックスによって形成されている。 （もっと読む）

【課題】プロービング検査全体に要する設置面積の増加や装置コストの増加を抑えてスループットを増加させることができるプローバの実現。
【解決手段】ウエハ上の半導体装置をテスタで検査をするためのプローバであって、第１のウエハチャック16Aと、第２のウエハチャック16Bと、第１のウエハチャックに保持されたウエハに接触するプローブを有する第１のプローブカード24Aと、第２のウエハチャックに保持されたウエハに接触するプローブを有する第２のプローブカード24Bと、アライメントカメラ22と、第１のウエハチャックを第１のプローブカード及びアライメントカメラの下まで移動可能な第１の移動機構と、第２のウエハチャックを第２のプローブカード及びアライメントカメラの下まで移動可能な第２の移動機構と、を備え、第１及び第２の移動機構は、第１及び第２のウエハチャックをそれぞれ独立に移動させる。 （もっと読む）

【課題】基板の上面に供給されるガスにより基板を回転部材上に突設された支持部材に押圧して基板を回転部材に保持しながら回転させる基板処理装置および基板処理方法において、回転中の基板が所望の支持位置から大幅に移動してしまうのを防止する。
【解決手段】基板表面に供給される窒素ガスによって基板Ｗが所定の支持位置で各支持ピンＦＦ１〜ＦＦ６，ＳＳ１〜ＳＳ６に押圧されてスピンベース１３に保持される。そして、スピンベース１３に基板Ｗが保持されながらスピンベース１３とともに基板Ｗが回転する。複数個のガイド部材２５が支持ピンＦＦ１〜ＦＦ６，ＳＳ１〜ＳＳ６に対しスピンベース１３の周縁側で回転中心Ａ０を中心として放射状にスピンベース１３に設けられている。このため、回転駆動される基板Ｗが支持位置から径方向にずれた場合であっても、ガイド部材２５が基板端面に当接して基板Ｗの径方向の移動を規制する。 （もっと読む）

【課題】基板の大口径化や超大口径化に伴う基板搬送時の基板中央部の自重による撓みを抑制ないし防止する。
【解決手段】大口径の基板ｗの上方又は下方に移動される支持部１７と、該支持部１７に設けられ基板ｗの周縁部を掴んで支持する掴み機構２８とを有する基板搬送装置において、上記支持部１７に、基板の上面中央部又は下面中央部を撓まないように空気層を介して非接触で吸引保持する非接触吸引保持部３０を１つ又は複数設け、該非接触吸引保持部３０は、上記基板の上面又は下面に対向する平面円形の本体３１と、該本体に形成され中央に向って深くなるように傾斜した傾斜面３２ａを有する凹部３２と、該凹部３２の中央に設けられ上記傾斜面に沿って流れるように気体を放射状に噴出することにより負圧を発生させるための複数の気体噴出ノズル３３と、上記凹部３２の周縁部に適宜間隔で形成された気体逃げ溝３４とを備えている。 （もっと読む）