【課題】レーザー測長系によるチャックの位置検出を中断させることなく、基板をチャックに対してθ方向の回転が無い姿勢でチャックに搭載する。
【解決手段】基板１をチャックへ搬送する前に、基板１を温度調節装置５０に搭載して基板１の温度を調節する。温度調節装置５０に基板１をθ方向へ回転する回転機構８０を設け、温度調節装置５０に搭載された基板１のθ方向の傾きを検出し、検出結果に基づき、基板１を温度調節装置５０からチャック１０へ搬送する前に、基板１をθ方向の傾き分だけ逆方向へ回転して、基板１のθ方向の傾きを補正する。基板１をチャック１０に搭載する前にチャック１０をθ方向へ回転する必要がないので、レーザー測長系によるチャック１０の位置検出が中断されない。 （もっと読む）

【課題】ワークが保持されるステージが上下方向、水平方向さらに回転方向へ駆動する機能を有し、高さ方向と長さ方向において寸法が小さく、コンパクトなステージ装置を提供する。
【解決手段】スライダ１５は左右１つずつ設けられているだけなので、ガイドレール５の長さ寸法を短いものにすることができる。昇降用モーター２１はボールネジシャフト１７の側方に備えられ、昇降用モーター２１の駆動力がプーリー２３、タイミングベルト２５、プーリー１９を介してボールネジシャフト１７に伝達されるようになっているので、ステージ装置１の高さ方向と長さ方向において寸法が小さくすることが可能となっている。 （もっと読む）

【課題】基板搬送用ロボットにおいて、基板を目的位置へ搬送する際の搬送経路上に障害物が存在する場合の干渉回避動作を早く行う。また、基板の有無に応じて最短の軌跡を通過できるようにする。
【解決手段】基板搬送ロボットの動作範囲に予め干渉領域を設定し、教示位置の動作の開始位置と目的位置と干渉領域との組み合わせのパターンを記憶し、開始位置から目的位置までの動作がパターンのいずれに当てはまるかを判定し、判定したパターンに応じて、干渉領域を避けるように開始位置から目的位置までの動作軌跡を決定するようにした。 （もっと読む）

【課題】キャリアの開放時における基板への自然酸化膜の堆積やパーティクルの付着、基板搬送室の汚染や酸素濃度の上昇等の弊害の発生を防止する。
【解決手段】ポッド１０の収納室１０ｃからウエハ９を取り出す際に、収納室１０ｃの出し入れ口１０ｂを塞ぐ蓋体１０ａを出し入れ口１０ｂから移動させ、出し入れ口１０ｂが開かれ、ポッド１０と連設されたポッドオープナ室６１を密封した状態で、ポッドオープナ室６１へ不活性ガスを流し、収納室１０ｃに不活性ガスを供給する。空のポッド１０の収納室１０ｃにウエハ９を収納する際に、空のポッド１０の収納室１０ｃにウエハ９を収納する前に、収納室１０ｃの蓋体１０ａを出し入れ口１０ｂから移動させて、出し入れ口１０ｂを開き、ポッドオープナ室６１を密封した状態で、ポッドオープナ室６１に不活性ガスを流し、収納室１０ｃに不活性ガスが供給する。 （もっと読む）

【課題】電子部品の破損や生産効率の低下を招くことのないパレット自動交換装置を提供する。
【解決手段】基部５１に対して回転変位可能な回転部を有し、回転部にウェハシートが装着されたパレットと、回転部と基部５１とを係合部材６２によって係合させることで回転部を回転不可能に基部５１に固定する手段と、回転部に設けられた従動ギヤ８０に駆動ギヤ８１を係合させることで回転部に回転駆動力を付与する手段と、を備え、駆動ギヤ８１が従動ギヤ８０に係合したときに回転部と基部５１との係合が解かれ、駆動ギヤ８１の回転駆動力が回転部に伝達される。 （もっと読む）

【課題】テーブル板の表面の傾斜移動が抑制された昇降テーブルを提供すること。
【解決手段】基台（１１）、基台上に設置された昇降装置（１２）、下端部が昇降装置に可動接続具（４１）を介して固定され、上端部にてテーブル板（１３）を支持している軸体（１４）、前記基台上の昇降装置の周囲に立設された支柱（１５）に支持されている、前記軸体を上下に移動可能に収容する外筒（１６）を持つ直動軸受（１７）を含み、前記の可動接続具が、昇降装置に固定された支持板と、支持板上に複数の球体を介して滑動可能に支持された可動板とを有するスライドユニット、および前記可動板に固定されている、上方に開口する球状の空洞部を持つハウジングと、前記空洞部に収容された球体と、この球体の頂部に備えられている、前記のハウジングの開口を通って軸体の下端部に固定された支持軸とを有する球面軸受からなる昇降テーブル。 （もっと読む）

【課題】温調手段上に基板が正常に吸着されなかった場合に、特別な検出装置を設置することなく、吸着異常の原因を判定し、露光装置のダウンタイムを低減する。
【解決手段】基板を吸着保持し、基板の温調を行う温調手段と、該温調手段からの基板の落下を防止する落下防止部材と、基板の受け渡しを行うための吸着機構及び上下駆動機構を備えた突き上げピンと、吸着機構及び駆動機構を制御する制御系とを備え、基板の保持及び温調を行う基板保持方法において、基板を温調手段に吸着保持させる際に、吸着異常が発生した場合、吸着異常の原因が、基板が落下防止部材に乗り上げたことに起因するものかを判定する判定工程Ｓ１２を有する。 （もっと読む）

【課題】制御対象モデルに基づくフィードフォワード制御と外乱オブザーバとを利用して高精度な位置制御を行う。
【解決手段】駆動制御装置は、制御対象(301)の伝達特性の逆システムの一部を示す第１伝達関数(1021a)に第１の完全追従制御法を適用させることで第１のフィードフォワード信号(S1a)を求める第１フィードフォワード制御部(102a)と、制御対象(301)の伝達特性の逆システムの一部を示すとともに第１伝達関数(1021a)とは異なる第２伝達関数(1021b)に第２の完全追従制御法を適用させて第２のフィードフォワード信号(S1b)を求める第２フィードフォワード制御部(102b)と、第１のフィードフォワード信号(S1a)に対する第１の補償信号(d')を求める外乱オブザーバ(104)と、を備え、第２のフィードフォワード信号(S1b)と第１の補償信号(d')とから求めた第２の補償信号(S5)を用いて制御対象(301)を駆動する。 （もっと読む）

【課題】基板処理装置を提供すること。
【解決手段】基板処理装置において、コーティングモジュールは、基板を水平方向に移送し、前記基板を移送する期間に前記基板上にフォトレジスト組成物を供給して前記基板上にフォトレジスト膜を形成し、ベイクモジュールは、前記コーティングモジュールと隣接するように配置され、前記水平方向に前記基板が移送される期間に前記フォトレジスト膜を硬化させるために前記基板を加熱する。前記コーティングモジュールとベイクモジュールとの間には、前記基板の移送方向に前記基板を伝達する移送モジュールが配置される。 （もっと読む）

【課題】テーブル部の高さ位置を低くする。
【解決手段】ステージ装置１では、第１ガイドレール１４を上るように支持スライダ１３をボールねじ２１で移動させると、Ｚ軸テーブル部１２が支持スライダ１３で支持されていることから、かかる移動に伴ってＺ軸テーブル部１２が上昇する。このとき、支持スライダ１３が第２ガイドレール１８を下るようにＺ軸テーブル部１２に対して移動するため、Ｚ軸テーブル部１２にあっては、支持スライダ１３によるくさび作用で押し上げられるように上昇する。つまり、支持スライダ１３を移動させることで、第１及び第２ガイドレール１４，１８が互いに協働しＺ軸テーブル部１２が重畳的に鉛直方向に移動する。よって、例えばガイドレール１４，１８の傾斜角度θ１，θ２を小さくして扁平構造としても、Ｚ軸テーブル部１２の鉛直方向の移動量を充分に確保することができる。 （もっと読む）

【課題】構造の複雑化を招来することなく、搬送距離を伸ばすことができるとともに、剛性にも優れた搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送対象物Ｘを載置して運搬する運搬台２と、一端部を運搬台２に接続し、且つ折り畳み動作及び伸長動作によって運搬台２を一定方向に進退動作させるリンク機構３と、リンク機構３の他端部を支持し、且つ運搬台２の進退方向にリンク機構３をスライド移動させるスライド機構４とを備えたものとした。
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【課題】単純な構成で、ワークを所望の向きで受け渡し可能なローディング装置を提供する。
【解決手段】本発明のローディング装置は、ワークＷを受け取り、受け取ったワークＷを所定の位置に載置するローディング装置であって、受け取ったワークＷを支持した状態で、ワークＷを略水平に直線移動させる水平移動手段４と、水平移動手段４を回転可能に支持する回転手段３とを有する。とくに、水平移動手段４は、回転手段３によって略水平な状態に支持されたベース部４３と、ベース部４３に対して略平行に設けられベース部４３に対してスライドするように移動するワーク支持部４１とを含む。 （もっと読む）

【課題】装置の占有面積を抑制しながら、基板処理速度を向上する。
【解決手段】基板処理装置１０は、基板処理部と、払出機構７０と、搬入機構７１と、プッシャ６と、主搬送機構３とを含む。基板処理部は、複数枚の基板Ｗに対して一括して処理を施す。払出機構７０は、払出チャック７３を基板移載位置Ｓと基板受け渡し位置Ｐとの間で第１横行経路１０１に沿って横行させる。搬入機構７１は、搬入チャック７４を基板移載位置Ｓと基板受け渡し位置Ｐとの間で第１横行経路１０１よりも下方の第２横行経路１０２に沿って横行させる。プッシャ６は、昇降保持部１０５を基板移載位置Ｓにおいて昇降させる。主搬送機構３は、基板受け渡し位置Ｐと前記基板処理部との間で複数枚の基板Ｗを一括して搬送する。払出チャック７３、搬入チャック７４および昇降保持部１０５は、それぞれ、複数枚の基板Ｗを一括して保持することができる。 （もっと読む）

【課題】ステージ上への被処理基板の載置を、ステージから昇降動作可能に設けられたリフトピンを介して行う基板処理装置において、タクト時間の短縮化を図り、生産効率を上げること。
【解決手段】基板（Ｋ）を載置するステージ（３）と、ステージに形成された貫通孔（３３）から昇降動作可能に設けられ且つ先端部で基板を支持可能なリフトピン（４１）と、ステージの上方の搬入位置（Ｐ２）に供給された基板をステージ上に載置するようにリフトピンを駆動制御するピン駆動制御部（４３，１０）とを備える基板処理装置（１）において、ピン駆動制御部は、リフトピンを上昇させることにより、搬入位置に位置する基板を、その先端部で支持して、搬入位置よりも高い位置（Ｐ３）に保持させた後、リフトピンを下降させることにより、ステージ上に載置するように駆動制御する。 （もっと読む）

【課題】 カーフチェックを行っても生産性を低下させることのない切削装置を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを回転可能に支持した切削手段と、該チャックテーブルに保持された被加工物を撮像する撮像手段と、被加工物に対して該チャックテーブルをＸ軸方向に相対的に移動して該切削手段と該撮像手段とに該チャックテーブルを位置付けるとともに加工送りするＸ軸送り機構とを備えた切削装置であって、前記撮像手段は、撮像領域に対面する対物レンズと、該対物レンズの光軸上に配設された撮像カメラと、該撮像領域にストロボ光を照射するストロボ光源と、該撮像カメラで撮像された画像を処理する画像処理部とを含んでいることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 押印装置における処理能力の改善。
【解決手段】 基板チャックと、基板チャックが固定され且つＸＹ面に平行に移動可能なステージとを有し、基板チャックに保持された基板上のレジストにモールドを押し付けてレジストのパターンを基板に形成する押印装置であって、ＸＹ面に平行な方向には剛性を、ＸＹ面に垂直な方向には弾性をそれぞれ有し、且つ基板チャックをステージに固定するフレクシャを有するものとする。 （もっと読む）

【課題】省スペース化を図ることができ、かつスループットの高い塗布、現像装置を提供すること。
【課題手段】
キャリアブロック側からインターフェイス部側に直線状に伸びる基板搬送路の両側に夫々、塗布膜を形成するための塗布部と基板を加熱するための加熱装置とを設ける。前記加熱装置は基板搬送路から見て奥側に配置された加熱プレートと、この加熱プレートよりも基板搬送路側に設けられた冷却プレートと、両プレートの間で基板を搬送する専用の専用搬送機構と、を備えている。そしてこのような塗布ブロックが上下に積層して設けられている。 （もっと読む）

【課題】基板の搬入出過程を含めて、カセットが占める占有領域の低減が図られたカセットを提案する。
【解決手段】基板収容ケースは、一方向に向けて複数のガラス基板を配列させた状態で収容可能とされ、ガラス基板を搬入出可能な開口部が形成されたケース本体と、ケース本体に対して、ガラス基板の配列方向に移動可能に設けられると共に、開口部の領域Ｒ１を開閉可能なスライド蓋１３１と、領域Ｒ１に対して、隣り合う領域Ｒ２を開閉可能なスライド蓋１３２とを備え、スライド蓋１３２は、領域Ｒ２を閉塞する状態から、領域Ｒ１を閉塞するスライド蓋１３１に重なるように移動可能に設けられる。 （もっと読む）

【課題】移載板の撓み量及び厚さを低減でき、狭幅ピッチのボートへの移載が可能で、処理枚数を増大できる縦型熱処理装置を提供する。
【解決手段】複数の被処理基板ｗを収納可能な収納容器２１と、複数枚の被処理基板ｗを上下方向に所定の間隔で支持可能な基板支持具９との間で移載板２３を有する移載機構２４により被処理基板ｗの移載を行い、基板支持具９ごと熱処理炉３内に搬入して被処理基板ｗの熱処理を行う縦型熱処理装置１において、上記移載板２３は基端部から先端部に向かって水平に延びた片持ち支持構造であり、移載板２３の上面には被処理基板ｗをその略中央部及び後部側にて水平に支持する支持突起部３４が設けられ、移載板２３の先端部側では被処理基板ｗの荷重を支持していない。 （もっと読む）

【課題】接着シートの剥離抵抗を増大させることなく、ウエハの浮き上がりを防止して接着シートのスムースなる剥離を行うことのできるシート剥離装置及び剥離方法を提供すること。
【解決手段】接着シートＳが貼付された半導体ウエハＷを支持する支持手段１１と、接着シートＳに剥離用テープＴを貼付するテープ貼付手段１４と、剥離用テープＴを引っ張る引張手段１３と、接着シートＳ上に位置するガイド部材４１に巻装されたエンドレス部材４５を含む剥離補助手段１５と、エンドレス部材４５との間に接着シートＳを挟み込む挟込手段１６とによりシート剥離装置１０が構成されている。このシート剥離装置１０は、剥離補助手段１５と挟込手段１６との間に接着シートＳを挟み込んだ状態で、引張手段１３と支持手段１１との相対移動によって接着シートＳが剥離される。 （もっと読む）