【課題】Ｓｉピラーの上部の面積を十分に確保でき、さらなるシュリンク（小型化）に対応できる半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体基板１上に配置された複数の半導体ピラー部２と、半導体基板１上の第１方向における各半導体ピラー部２間に埋設された絶縁体ピラー部３と、半導体ピラー部２の側壁２ｃおよび絶縁体ピラー部３の側壁３ｃに第１方向に沿って連続して設けられた第１配線用凹部４と、半導体ピラー部２の第１配線用凹部４の内壁に設けられた第１絶縁膜と、第１配線用凹部４内に埋設された配線層６とを備える半導体装置とする。 （もっと読む）

【課題】従来よりも簡単にダミーパターンを配置し、スクライブ領域に隣接した半導体チップの形成領域において、層間絶縁膜が薄くなるのを抑制する方法を提供する。
【解決手段】配線層を備えた半導体チップの形成領域と、該形成領域を囲むスクライブ領域とを備えた半導体チップにおいて前記配線層と同じ層からなるダミーパターンを配置する方法であって、前記配線層から少なくとも所定距離だけ離間する位置に第１のダミーパターンを設定する段階と、前記スクライブ領域に隣接する所定幅の範囲内において、前記配線層から少なくとも所定距離だけ離間しかつ前記第１のダミーパターンから少なくとも所定距離だけ離間する位置に第２のダミーパターンを設定する段階と、を備えたダミーパターンの配置方法を提供することによって、上記課題を解決できる。 （もっと読む）

【課題】配線層の溶出、および酸化を抑制する半導体装置、およびその設計方法を提供する。
【解決手段】接続コンタクトに接続される金属配線の配置を決定するステップと、接続コンタクトを設けるためのスルーホールの配置を決定するステップとを具備する半導体装置に設計方法を適用する。ここで、金属配線の配置を決定するステップは、（ａ）スルーホールによって露出する金属配線の領域を特定するステップと、（ｂ）金属配線に付帯する容量を特定するステップと、（ｃ）容量が蓄える電荷が、領域を介して金属配線から極性溶媒に移動したときの領域の損傷を抑制するように、金属配線の配置を決定するステップとを含むものとする。 （もっと読む）

集積回路及び形成方法は、少なくとも１つの直線的に延在する導電配線の斜端に形成されたコンタクト領域を提供する。実施形態では、コンタクトランディングパッドを有する導電配線は、マスク材料に配線をパターン化することと、材料配線の延在方向に対して角度を形成するために少なくとも１つの材料配線を切断することと、マスク材料の斜端面から拡張部を形成することと、前記材料配線及び拡張部をマスクとして用いてエッチングすることによって基本的な半導体をパターン化することとによって形成される。他の実施形態では、少なくとも１つの導電配線は、斜端面を作るように導電配線の延在方向に対して角度を付けて切断されるとともに、電気的コンタクトランディングパッドは、斜端面にコンタクトして形成される。 （もっと読む）

【課題】配線の微細構造の維持、ＴＤＤＢ寿命の確保および低抵抗を実現する。
【解決手段】半導体装置１００は、基板１０２と、基板１０２上に形成された層間絶縁膜１０４と、層間絶縁膜１０４中に形成された配線１２０と、を含み、配線１２０は、断面視において、最上面から下方にかけて幅が広くなる領域を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ボンディング作業を過度に困難にすることなく、寄生容量を低減させる技術を提供する。
【解決手段】本発明は、ボンディングパッドが形成されている半導体基板を提供する。この半導体基板は、導電性の基板層と、基板層の表面の一部に積層されている絶縁性の絶縁体と、絶縁体の表面に積層されている固定部と、絶縁体の存在範囲を超えて伸びる張り出し部と、を有するボンディングパッドと、を備える。張り出し部は、張り出し部の裏面が基板層の表面に接するまで弾性変形可能である。 （もっと読む）

【課題】 Ｃ４ボール内の均一な電流密度のための金属配線構造体を提供する。
【解決手段】 １つの実施形態において、金属構造体のサブパッド・アセンブリが、金属パッドの直下に配置される。サブパッド・アセンブリは、金属パッドに当接する上位レベル金属ライン構造体と、上位レベル金属ライン構造体とその下方に配置された下位レベル金属ライン構造体との間の電気的接続をもたらす一組の金属ビアとを含む。別の実施形態において、Ｃ４ボールの信頼性は、Ｃ４ボール内部の均一な電流密度分布を助長するように分割及び分布させた一組の統合された金属ビアを有する金属パッド構造体を用いることによって高められる。複数の金属ビアの断面積の面密度は、金属パッドの中央部分において金属パッドの平担部分の周縁部分よりも高い。 （もっと読む）

【課題】第１回路と第２回路の信号電圧が異なる場合でも、第１回路と第２回路の間の絶縁を容易に確保することができるようにする。
【解決手段】半導体チップ１０は、第１回路１００、及び第１インダクタ３０２を有している。半導体チップ２０は、第２回路２００、及びチップ側接続端子５４５を有している。 配線基板６０は、半導体チップ１０上から半導体チップ２０に渡って取り付けられている。配線基板６０は、第２インダクタ３０４、及び基板側接続端子６１０を有している。第２インダクタ３０４は第１インダクタ３０２の上方に位置している。チップ側接続端子５４５と２つの基板側接続端子６１０は、第１ハンダボール７００を介して接続している。 （もっと読む）

【課題】複数個のアレイ基板を同時に形成するためのアレイ基板用マザー基板にスピンコ
ーターを用いてレジスト塗布する際、表示領域内に放射状の塗布ムラが生じないような配
線パターンとされたアレイ基板を備えた液晶パネルを提供すること。
【解決手段】本発明の液晶パネルは、液晶層を挟持して対向配置された一対の基板を有し
、前記一対の基板の一方の表示領域には複数のサブ画素がマトリクス状に形成されている
と共に、表示領域の周縁部には表示領域からゲート配線３９Ｇ及びソース配線３９Ｓが端
子領域まで延在されている液晶パネルにおいて、前記互いに隣接するゲート配線３９Ｇ及
びソース配線３９Ｓ等の引き回し配線の直近の屈曲点Ｐ１同士を順次結んでなるラインが
、端子領域が形成されている辺と実質的に平行な直線ラインＬ１とされている。 （もっと読む）

【課題】 端子の先端に、水平方向に突出する突起を所望の形状で形成できる電気接点の製造方法を提供すること。
【解決手段】 母材を、電気接点２０Ａの形状にパターニングされたマスク３０で覆ってエッチング液で母材の不要な部分を除去することにより、電気接点２０Ａを形成する。電気接点２０Ａの先端２４の第１の突起２４ａ及び第２の突起２４ｂは、マスクの先端３４に設けた突起形成部３１ａ，３１ｂにより形成されるが、突起形成部３１ａ，３１ｂの形状を突起の形状及び形成領域のＬ／Ｓ（ラインアンドスペース）の比率に応じて調整することにより、前記第１の突起２４ａ及び第２の突起２４ｂを所望の形状で形成することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】金属配線断線の際の活性化エネルギーを短時間で直接求めることができる、金属配線評価用パターン、半導体装置及び評価方法を提供する。
【解決手段】半導体基板１０に配設した絶縁膜１２上の金属配線評価用パターン１であって、狭窄部２と、狭窄部２の一端に接続した第１配線部３と、狭窄部２の他端に接続した第２配線部４とからなる。金属配線評価用パターン１へランプ電圧を繰り返し印加し、流れる電流から狭窄部２のコンダクタンスを計算し、コンダクタンスが１００Ｇ_０から数百Ｇ_０の相１の状態からコンダクタンスが１０〜６０Ｇ_０の相２の状態を経て、狭窄部２を破壊しナノ接合を形成し、相２の臨界接合電圧（Ｖｃ）のヒストグラムを作成し、ヒストグラムの最頻値の電圧からエレクトロマイグレーションの活性化エネルギーを求めることができる。 （もっと読む）

【課題】ボンディング作業や配線抵抗の低減といった導電体の機能を過度に低下させることなく、寄生容量を低減させる技術を提供する。
【解決手段】この半導体装置は、導電性の基板層と、基板層の表面の一部に積層されている絶縁体ＢＬ２と、絶縁体の表面に積層されているとともに絶縁体の存在範囲を超えて伸びている張り出し部３２０を備えている導電体３００を備えている。この半導体装置は、導電体の張り出し部に、その張り出し部を積層方向に貫通する貫通孔３００ｈが形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小型化及び利得等の高周波性能の向上を図ることができる半導体装置として、実用的な高周波増幅器を実現する。
【解決手段】トランジスタ１０１の入力端に配線層１０３がコプレーナ線路で接続されており、配線層１０３には、開放端を有する配線層１０４が二つの方向に分岐されて終端され、配線層１０３上の位置から、高周波信号が入出力される。 （もっと読む）

【課題】ヒューズ素子のレイアウト面積を増大させることなく確実にヒューズを溶断するとともに、ヒューズ銅原子の拡散を防止する防護壁の配線層数を低減する。
【解決手段】ヒューズ（ＦＵ）を複数のメタル配線層のうちの上層のメタル配線層（Ｍ４）の配線を用いて形成する。ヒューズの直上および直下部においては、少なくとも２層の配線層をおいて配線が配置される。上層においては、電源電圧（ＶＤＤ）を伝達する電源線（１０２）をヒューズ直上の防護壁構造の蓋部分として利用する。 （もっと読む）

【課題】オンチップアンテナからの出力信号が集積回路にノイズとして侵入することを防止するとともに、出力信号の効率を上げることの出来る半導体装置を提供する。
【解決手段】能動素子１０が形成された素子形成領域Ｒｐと、アンテナ形成領域Ｒａに形成されたオンチップアンテナＡＴと設けた半導体装置において、アンテナ形成領域Ｒａを囲むように設けたシールド層形成領域Ｒｓ１に積層された導電層で形成され、不純物拡散層ＩＤ５、ＩＤ６の直上の層からオンチップアンテナＡＴと同一の層に至るまで順次に形成されてパッドＰを介してＧＮＤ接続されるシールド層ＳＬ１を設ける。 （もっと読む）

【課題】発光解析が容易な半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体素子Ｔが形成された半導体基板１と、半導体素子Ｔの上に形成された絶縁膜１０、２１、２６と、絶縁膜１０、２１、２６内に形成され、表面が外側に露出する電極パッド２３とを有し、電極パッド２３は積層された複数の金属層２４、２５を含み、複数の金属層２４、２５のうち、最も下側に位置する第１の金属層２４が複数の孔を有している。これにより、上側金属層２５を選択的に除去し、孔を通して上面側から内部の発光を観察することができる。 （もっと読む）

【課題】露光可能限界寸法よりも小さい間隔のパターンを形成することができる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】基板１０上に形成された被加工膜１１上にレジスト膜２３を形成する工程と、前記レジスト膜を露光、現像し、第１の方向に伸長し、前記第１の方向に垂直な第２の方向にくびれ部を有する開口パターン３１Ａを形成する工程と、ガス存在雰囲気下で前記レジスト膜上に前記ガスを構成する元素を含む堆積物２４を堆積し、前記くびれ部における前記開口パターンの底部を前記第２の方向に前記堆積物で接続した膜パターン２５を形成する工程と、前記膜パターンが転写されるように、ドライエッチング法によって前記被加工膜をエッチングする工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】積層チップパッケージの製造工程を簡略化し得る構造を備えた半導体基板、積層チップパッケージおよび半導体プレート並びにこれらの製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板は、スクライブラインに沿って複数の溝部が形成されている。半導体基板は、複数の溝部に形成されている絶縁層と、複数の溝部のいずれか少なくとも１つに接する矩形状の単位領域と、その単位領域から溝部の内側に延出された延出端子部を備えた配線電極とを有している。半導体基板は、スクライブラインに沿って複数の溝部を形成し、複数の溝部に絶縁材を埋め込み平坦化して絶縁層を形成し、複数の溝部のいずれか少なくとも１つに接する矩形状の単位領域から溝部の内側に延出された延出端子部を備える配線電極を形成することによって製造する。 （もっと読む）

【課題】酸化物半導体を用いた薄膜トランジスタにおいて、電界効果移動度を向上させることを課題の一とする。また、薄膜トランジスタの電界効果移動度を向上させても、オフ電流の増大を抑制することを課題の一とする。
【解決手段】酸化物半導体層を用いた薄膜トランジスタにおいて、酸化物半導体層とゲート絶縁層の間に、該酸化物半導体層より導電率が高い酸化物クラスターを形成することによって、該薄膜トランジスタの電界効果移動度を向上させ、且つオフ電流の増大を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】大量生産上、大型の基板に適している半導体装置を提供する。
【解決手段】ゲート電極と、チャネルを含む島状半導体層と、島状半導体層上に形成されたドレイン配線およびソース配線とを有し、島状の半導体層は、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏを含み、ドレイン配線及びソース配線は島状半導体層をキャリアの移動方向と垂直に横断し、チャネルの長さはドレイン配線およびソース配線の間隔に等しいことを特徴としている。 （もっと読む）