【課題】所望のブレークダウン電圧が確保でき、大きな放電電流を流すことが可能なＥＳＤ保護特性のすぐれたＥＳＤ保護素子を実現する。
【解決手段】適切な不純物濃度のＮ＋型埋め込み層２とＰ＋型埋め込み層３でＰＮ接合ダイオード３５を形成する。Ｐ＋型埋め込み層３はＰ＋型引き出し層５と一体となりＮ−型エピタキシャル層４を貫通させアノード電極１０と接続される。Ｐ＋型埋め込み層３等で囲まれたＮ−型エピタキシャル層４にＮ＋型拡散層７と該Ｎ＋型拡散層７と接続され、これを取り囲むＰ＋型拡散層６を形成する。Ｎ＋型拡散層７、Ｐ＋型拡散層６はカソード電極９に接続される。Ｐ＋型拡散層６をエミッタ、Ｎ−型エピタキシャル層４をベース、Ｐ＋型引き出し層５等をコレクタとする寄生ＰＮＰバイポーラトランジスタ３８とＰＮ接合ダイオード３５でＥＳＤ保護素子を構成する。 （もっと読む）

【課題】所望のブレークダウン電圧を確保し、大きな放電電流を流せるＥＳＤ保護特性の良好なＥＳＤ保護素子を実現する。
【解決手段】適切な不純物濃度のＮ＋型埋め込み層２とＰ＋型埋め込み層３で形成するＰＮ接合ダイオード３５と、Ｐ型拡散層６と接続するＰ＋型埋め込み層３ａをエミッタ、Ｎ−型エピタキシャル層４をベース、Ｐ＋型埋め込み層３をコレクタとする寄生ＰＮＰバイポーラトランジスタ３８とでＥＳＤ保護素子を構築する。Ｐ＋型埋め込み層３はアノード電極１０に接続され、Ｐ＋型拡散層６と、それを取り囲むＮ＋型拡散層７はカソード電極９に接続される。カソード電極９に正の大きな静電気が印加されるとＰＮ接合ダイオード３５がブレークダウンし、その放電電流Ｉ１によりＰ＋型埋め込み層３よりＮ−型エピタキシャル層４の電位が下がり寄生ＰＮＰバイポーラトランジスタ３８がオンし大きな放電電流Ｉ２が流れる。 （もっと読む）

【課題】所望のブレークダウン電圧を確保し、大きな放電電流を流せるＥＳＤ保護特性の良好なＥＳＤ保護素子を実現する。
【解決手段】適切な不純物濃度のＮ＋型埋め込み層２とＰ＋型埋め込み層３からなるＰＮ接合ダイオード３５と、Ｐ＋型拡散層６と繋がるＰ＋型引き出し層５ａをエミッタ、Ｎ−型エピタキシャル層４をベース、Ｐ型半導体基板１をコレクタとする寄生ＰＮＰバイポーラトランジスタ３８とでＥＳＤ保護素子を構成する。Ｐ＋型埋め込み層３はアノード電極１０に接続され、Ｐ＋型拡散層６と、それと接続され、取り囲むＮ＋型拡散層７とはカソード電極９に接続される。カソード電極９に正の大きな静電気が印加されるとＰＮ接合ダイオード３５がブレークダウンし、そのときの放電電流Ｉ１によりＰ＋型引き出し層５ａよりＮ−型エピタキシャル層４の電位が下がり寄生ＰＮＰバイポーラトランジスタ３８がオンし、大きな放電電流Ｉ２が流れる。 （もっと読む）

【課題】過電流に対して内部回路を保護する半導体集積回路装置を提供することを目的としている。
【解決手段】多層配線構造を有する半導体集積回路装置であって、半導体集積回路装置の内部にある内部回路と半導体集積回路装置の外部にある外部回路とを接続するために半導体集積回路装置の内部に設けられたパッドパターンにおいて、第１の配線層と、第１の配線層が形成されている層とは別の層に形成されている第２の配線層と、第１の配線層と第２の配線層を接続するビアと、を備え、第２の配線層にヒューズパターンが形成されており、ヒューズパターンを経由して内部回路と外部回路とを電気的に接続する。 （もっと読む）

【課題】ＥＳＤ保護素子を有する半導体回路の回路シミュレーションを高速かつ精度よく行うことができるシミュレーション装置を提供する。
【解決手段】ＥＳＤ保護素子を有する半導体回路の動作検証を行うシミュレーション装置は、ＥＳＤ保護素子の等価回路のパラメータファイルを作成する第１のパラメータファイル作成部と、半導体回路内のＥＳＤ保護素子以外の内部回路のパラメータファイルを作成する第２のパラメータファイル作成部と、作成したパラメータファイルを記憶するパラメータファイル記憶部と、記憶したパラメータファイルを選択するパラメータファイル選択部と、選択したパラメータファイルを利用して半導体回路のネットリストを作成するネットリスト作成部と、ネットリストに基づいて半導体回路の動作検証を行うシミュレーション実行部とを備える。 （もっと読む）

【課題】ＥＭＩフィルタが形成された半導体素子の小型化を図る。
【解決手段】本発明の実施形態のＥＭＩフィルタは、第１のダイオードＤ１、第１のキャパシタＣ１、及び抵抗体Ｒを備える。第１のダイオードは、第１の半導体層中に設けられ、上記第１の電極、上記第１の半導体層、その表面に形成されたｎ形の第２の半導体層２Ａ、及びその表面上に形成された第２の電極１１を有する。第１のキャパシタは、上記第１の半導体層１表面に形成され、上記第１の電極、上記第１の半導体層、その表面上に形成された第１の誘電体膜１０Ａ、及びその上に形成され第２の電極と電気的に接続された第３の電極１２を有する。抵抗体は、第１の半導体層上に形成され、第１のダイオードの第２の電極と電気的に接続された第４の電極１４を有する。 （もっと読む）

【課題】積層チップシステムにおいて、各チップのＩＯ回路の大きさを、そのドライブ能力やＥＳＤ耐性能力を維持した上で、従来のサイズから縮小し、積層システムでは積層数に応じてＩＯ数を変化させることができる半導体装置を提供する。
【解決手段】積層チップシステムにおいて、各チップは、各ＩＯ用の貫通ビア接続用パッド２０１に接続するＩＯ回路２０２、スイッチ回路２０６にてＩＯチャネル２０７を構成し、このＩＯチャネル２０７を最大積層予定数のＩＯチャネル分まとめて接続してＩＯグループを構成し、このＩＯグループを１個以上持つ。各ＩＯ用の貫通ビア接続用パッド２０１は、貫通ビアにて別層のチップの同一位置のＩＯ端子と接続される。インターポーザにおいては、実際の積層数が最大積層予定数に満たない場合はインターポーザ上で隣接するＩＯグループ内のＩＯ用の接続用パッドが導体で接続されている。 （もっと読む）

【課題】寄生容量に悪影響を与えることなく、より低いクランプ電圧が達成できるＥＳＤ保護回路を提供する。
【解決手段】ＥＳＤ保護回路は、第１および第２端子（Ｔ１，Ｔ２）の間にある主要なＥＳＤ電流伝導経路において、複数のバイポーラトランジスタ、即ち、複数のＥＳＤ電流伝導トランジスタ（ｑ１，ｑ２，ｑ４）を備え、ＥＳＤ電流伝導トランジスタの少なくとも１つ（ｑ１）と並列に接続され、ＥＳＤイベントの発生時に、ＥＳＤ電流伝導トランジスタの１つ又はそれ以上（ｑ２）に駆動電流（Ｉｂ２）を伝導するために設けられた少なくとも１つの駆動トランジスタ（ｑ３）をさらに備える。 （もっと読む）

【課題】 より効率的にＥＳＤサージ電流を流すことができるＥＳＤ保護回路を備える半導体集積回路を提供する。
【解決手段】 半導体集積回路１００は、クランプＭＯＳトランジスタ３０と、第１トリガー回路部１０と、第２トリガー回路部２０と、内部回路２とを備える。第１トリガー回路部１０は、出力端がクランプＭＯＳ３０のゲートに接続され、クランプＭＯＳトランジスタ３０内のサージ電流のチャネル経路を開閉制御する。そして、第２トリガー回路部２０は、出力端がクランプＭＯＳ３０のウエルに接続され、クランプＭＯＳトランジスタ３０内のサージ電流のバイポーラ経路を開閉制御する。 （もっと読む）

【課題】保護素子とガードリング領域との間のウィークスポットが破壊される危険性を軽減する。
【解決手段】半導体集積回路は、静電保護回路の保護素子Ｍｎ２を形成するために、第１導電型の半導体領域Ｐ−Ｗｅｌｌと第２導電型の第１不純物領域Ｎと第１導電型の第２不純物領域Ｐにより形成されたガードリングＧｒｄ＿Ｒｎｇを具備する。第１不純物領域Ｎは、長辺と短辺を有する長方形の平面構造として半導体領域の内部に形成される。ガードリングは、第１不純物領域Nの周辺を取り囲んで半導体領域の内部に形成される。第１不純物領域Nの長方形の平面構造の短辺には、ウィークスポットＷｋ＿ＳＰが形成される。長方形の長辺と対向するガードリングの第１部分では、複数の電気的コンタクトが形成される。長方形の短辺に形成されるウィークスポットと対向するガードリングの第２部分では、複数の電気的コンタクトの形成が省略される。 （もっと読む）

【課題】パッド下のクラックによるショート不良が抑制された半導体装置を提供する。
【解決手段】パッド開口部１８ａの下の層間絶縁膜１６はコンタクト１７で囲われているので、ワイヤボンディング時に生じたパッド開口部１８ａの下の層間絶縁膜１６のクラックはコンタクト１７の外周縁１７ａよりも外側に入らない。よって、クラックを通し、パッド開口部１８ａは、外周縁１７ａよりも外側のアルミやポリシリコンなどの金属膜や拡散層とショートしない。 （もっと読む）

【課題】半導体層を用いた素子を配線層間に形成し、かつ、ゲート電極の材料を、配線の材料以外の導電体にする。
【解決手段】第１配線層１５０の表層には、第１配線２１０が埋め込まれている。第１配線２１０上には、ゲート電極２１８が形成されている。ゲート電極２１８は、第１配線２１０に接続している。ゲート電極２１８は、第１配線２１０とは別工程で形成されている。このため、ゲート電極２１８を第１配線２１０とは別の材料で形成することができる。そしてゲート電極２１８上には、ゲート絶縁膜２１９及び半導体層２２０が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 相互接続ラインを形成するための新規な方法を提供する。
【解決手段】 細線相互接続部（６０）は基体（１０）の表面内又はその上に形成された半導体回路（４２）の上に位置する第１の誘電体層（１２）内に設けられる。パシベーション層（１８）は誘電体層の上に付着され、第２の厚い誘電体層（２０）はパシベーション層の表面上に形成される。厚くて幅広い相互接続ラインは第２の厚い誘電体層内に形成される。第１の誘電体層はまた、基体の表面上に付着されたパシベーション層の表面上に幅広くて厚い相互接続ネットワークを形成するように、省略することができる。 （もっと読む）

【課題】改良されたＥＳＤ保護デバイスおよび該動作方法が、必要とされる。
【解決手段】集積回路ＥＳＤ保護回路２７０は、ゲートダイオード２７１および出力バッファＭＯＳＦＥＴ２７２を含有する組合せデバイスとともに形成される。第１導電性タイプのボディタイフィンガ３０７は、基板３０１、３０２に形成され、複数のダイオードポリフィンガ２３１、２３２を用いて第２導電性タイプ３１０のドレイン領域から分離される。複数のダイオードポリフィンガ２３１、２３２は、出力バッファＭＯＳＦＥＴ２７２を形成する複数のポリゲートフィンガ２０４、２０５と交互配置される。 （もっと読む）

【課題】シリコン内にダイオード構造を位置させた半導体製造方法を提供する。
【解決手段】トレンチポリシリコンダイオードを製造する方法は、Ｎ＋（Ｐ＋）型基板上にＮ−（Ｐ−）型エピタキシャル領域を形成すること、エピタキシャル領域内にトレンチを形成すること、さらに、前記トレンチ内に絶縁層を形成し、前記トレンチをポリシリコンで充填する。さらに、Ｐ＋（Ｎ＋）型ドーパントをインプラントして、前記トレンチ内に前記ポリシリコンのＰ＋（Ｎ＋）型領域を、Ｎ＋（Ｐ＋）型ドーパントをインプラントして、前記トレンチ内に前記ポリシリコンのＮ＋（Ｐ＋）型領域を形成しトレンチ内にポリシリコンダイオードを形成することを含み、ダイオードの一部は、トレンチの上面より低い。 （もっと読む）

【課題】駆動用のスイッチ素子によって出力端子からの出力を制御する半導体装置において、端子に静電気が印加されたときに、スイッチ素子をより確実に保護し得る構成を、装置構成の大型化を抑えて実現する。
【解決手段】半導体装置１は、高電位側電源又は低電位側電源の一方からなる基準部にスイッチ素子の第１端子が接続され、出力端子Ｐ１にスイッチ素子の第２端子が接続されている。また、スイッチ素子と並列に第１保護素子が設けられている。また、基準部とは逆側の電源（他方部）と出力端子の間には第２保護素子が接続されている。そして、基準部とは逆側の電源（他方部）側には無効化手段が接続され、出力端子へのサージ電圧の印加によって駆動電圧が発生した場合に、当該駆動電圧の発生後の所定時間、制御入力端子への通電信号の入力を無効化し、所定時間の経過後に無効化を解除するように機能している。 （もっと読む）

【課題】異なる電源系統を含む半導体装置において、静電気による破壊から出力回路を保護する保護素子を備えた半導体装置の提供。
【解決手段】半導体装置は、第１の電源電圧と第１の接地電圧からなる第１の電源系統と、第２の電源電圧と第２の接地電圧からなる第２の電源系統と、第２の電源系統から電源供給を受ける出力回路と、第１の電源系統から電源供給を受け、出力回路を駆動する信号を出力する第１の駆動回路と、第１の接地電圧と第２の接地電圧との間に接続された第１の保護回路と、一端が、出力回路の出力ノードに接続され、他の一端が、第１の接地電圧に接続されている第１の保護素子と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】高周波回路に於いては、トランジスタ等の能動素子間および能動素子と外部端子の間を直流的に遮断する必要がありため、ＭＩＭキャパシタ等が多用される。これらのＭＩＭキャパシタのうち、外部端子に接続されたものは、外部からの静電気の影響を受けやすく、静電破壊等の問題を発生しやすい。
【解決手段】本願発明は、半絶縁性化合物半導体基板上に形成された半導体集積回路装置であって、外部パッドに電気的に接続されたＭＩＭキャパシタの第１の電極は前記半絶縁性化合物半導体基板に電気的に接続されており、一方、前記ＭＩＭキャパシタの第２の電極は前記半絶縁性化合物半導体基板に電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハに厚みばらつきがある前提で、コストアップをすることなく高品質の半導体素子を提供すること。
【解決手段】第１導電型の活性層の下に第１導電型の埋込拡散層を有する半導体基板を準備するステップと、活性層と埋込拡散層の総厚を測定し、測定した総厚から前記活性層の厚さを求めるステップと、活性層に、埋込拡散層との間で電流が流れる第１導電型のコレクタ領域をイオン注入によって形成するステップと、活性層に、埋込拡散層との間で電流が流れる第２導電型のベース領域をイオン注入によって形成するステップと、ベース領域内に、ベース領域との間で電流が流れる第１導電型のエミッタ領域をイオン注入によって形成するステップとを備え、ベース領域を形成するステップは、活性層の厚さに応じてイオン加速エネルギーを変化させるステップであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＰＮ接合容量が小さい保護ダイオード及びこれを備えた半導体装置を提供する。
【解決手段】
第１領域と当該第１領域を囲う第２領域と当該第２領域を囲う第３領域とを備える半導体基板と、当該第２領域と当該第３領域との間に設けられた第１絶縁層と、当該第３領域に設けられた第１導電型半導体と、当該第２領域に設けられた第２導電型半導体と、当該第１領域に設けられた容量緩和層と、を備えている保護ダイオード。当該保護ダイオードと、これに接続された第１のパッドと、当該容量緩和層を有しない構造の保護ダイオードと、これに接続された第２のパッドと、を備えている半導体装置。 （もっと読む）