説明

Fターム[5F110QQ24]の内容

薄膜トランジスタ (412,022) | 製造工程一般 (15,099) | ダングリングボンドの終端化(例;水素化) (1,179) | 拡散 (1,072) | 気相拡散(雰囲気中) (603)

Fターム[5F110QQ24]の下位に属するFターム

Fターム[5F110QQ24]に分類される特許

21 - 40 / 315


【課題】同一の層間膜上に画素電極と、ゲート配線を形成した半導体装置において、マス
ク枚数を追加することなく、液晶の焼きつきや特性劣化を低減する。
【解決手段】ゲート配線上に絶縁膜を設けることで、ゲート配線が非選択の期間に液晶に
かかるゲート電圧の絶対値を減少させることができる。絶縁膜は遮光性樹脂膜、柱状スペ
ーサーで形成すると、マスク枚数の増加を抑えることができる。また、絶縁膜上に画素電
極を形成し、ゲート配線と画素電極が重なり合うようにすることで、画素電極の電界遮蔽
効果によって、液晶にかかるゲート電圧を減少させることができる。 (もっと読む)


【課題】薄膜の応力を用いて、トランジスタのしきい値電圧を変化させる。
【解決手段】第1のチャネル形成領域を有する第1の半導体層と、第2のチャネル形成領域を有する第2の半導体層に対して、それらの上に形成された薄膜の応力を用いて、トランジスタのしきい値電圧を異ならせることができる。これらを電気的に接続することで、E/D MOS回路を提供できる。 (もっと読む)


【課題】動作性能および信頼性の高いEL表示装置を提供する。
【解決手段】第1のチャネル形成領域と、第1のソース領域及び第1のドレイン領域と、ゲート絶縁膜と、第1のゲート電極とを備えた第1のTFTと、第2のチャネル形成領域と、第2のソース領域及び第2のドレイン領域と、ゲート絶縁膜と、第2のゲート電極とを備えた第2のTFTと、第1のTFT及び第2のTFT上に設けられた第1の絶縁膜と、第1のソース領域及び第1のドレイン領域の一方と接続されたソース配線と、第1のソース領域及び第1のドレイン領域の他方と接続し、且つ第2のゲート電極に接続された第1のドレイン配線と、第1の絶縁膜上に設けられ、第2のソース領域及び第2のドレイン領域の一方に接続された第2のドレイン配線と、第1の絶縁膜上に設けられ、第2のソース領域及び第2のドレイン領域の他方に接続された電流供給線と、を有する。 (もっと読む)


【課題】動作性能および信頼性の高いEL表示装置を提供する。
【解決手段】第1のチャネル形成領域と、第1のソース領域及び第1のドレイン領域と、ゲート絶縁膜と、第1のゲート電極とを備えた第1のTFTと、第2のチャネル形成領域と、第2のソース領域及び第2のドレイン領域と、ゲート絶縁膜と、第2のゲート電極とを備えた第2のTFTと、第1のTFT及び第2のTFT上に設けられた第1の絶縁膜と、第1のソース領域及び第1のドレイン領域の一方と接続されたソース配線と、第1のソース領域及び第1のドレイン領域の他方と接続し、且つ第2のゲート電極に接続された第1のドレイン配線と、第1の絶縁膜上に設けられ、第2のソース領域及び第2のドレイン領域の一方に接続された第2のドレイン配線と、第1の絶縁膜上に設けられ、第2のソース領域及び第2のドレイン領域の他方に接続された電流供給線と、を有する。 (もっと読む)


【課題】大面積基板など、熱収縮による影響の大きい基板に形成された半導体素子であっても、その影響を受けずに動作するような半導体素子の提供すること。また、そのような半導体素子を搭載し、薄膜半導体回路及び薄膜半導体装置を提供すること。さらに、多少のマスクずれが生じたとしても、その影響を受けずに動作するような半導体素子を提供する。
【解決手段】ドレイン領域114、117側の半導体層の低濃度不純物領域と重なるように形成した複数のゲート電極102を有し、それぞれのゲート電極102が形成するチャネル領域122、123に流れる電流の向きが一方向と一方向と反対の方向となるようにそれぞれのゲート電極102に対応するソース領域115、116とドレイン領域114、117を形成し、一方向に電流が流れるチャネル領域122と一方向と反対の方向に電流が流れるチャネル領域123の数が等しい薄膜トランジスタ。 (もっと読む)


【課題】本発明は、アクティブマトリクス型表示装置の製造コストを低減するこ
とを課題とし、安価な表示装置を提供することを課題とする。また、本発明の表
示装置を表示部に用いた安価な電子装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 アクティブマトリクス型表示装置の製造コストを低減するために
画素部に用いるTFTを全て一導電型TFT(ここではpチャネル型TFTもし
くはnチャネル型TFTのいずれか一方を指す)とし、さらに駆動回路もすべて
画素部と同じ導電型のTFTで形成することを特徴とする。これにより製造工程
を大幅に削減し製造コストを低減することが可能となる。 (もっと読む)


【課題】電気光学装置において、新規の構成を有する画素回路を用いることにより、従来の構成の画素よりも高い開口率を実現することを目的とする。
【解決手段】i行目を除くゲート信号線の電位は、i行目のゲート信号線106が選択されている以外の期間においては定電位となっていることを利用し、i−1行目のゲート信号線111をi行目のゲート信号線106によって制御されるEL素子103への電流供給線として兼用することで配線数を減らし、高開口率を実現する。 (もっと読む)


【課題】従来では、LDD構造を備えたTFTやGOLD構造を備えたTFTを形成しようとすると、その製造工程が複雑なものとなり工程数が増加してしまう問題があった。
【解決手段】第2のドーピング工程によって低濃度不純物領域24、25を形成した後、第4のエッチング工程を行うことによって、第3の電極18cに重なる低濃度不純物領域の幅と、第3の電極に重ならない低濃度不純物領域の幅とを自由に調節できる。こうして、第3の電極18cと重なっている領域は、電界集中の緩和が達成されてホットキャリアによる防止ができるとともに、第3の電極18cと重なっていない領域は、オフ電流値を抑えることができる。 (もっと読む)


【課題】光学調整に困難を伴うことなく、3以上のレーザビームを照射面にて合成し、高出力で生産性を向上させることができるレーザを照射する技術の提供。
【解決手段】その技術は、波長の互いに異なるレーザ発振器とダイクロイックミラー、又はそれに加えて偏光子を用いてレーザビームを合成し、高出力で生産性を向上させレーザを照射するものであり、例えばレーザ発振器から射出されたレーザ光1をダイクロイックミラー1を通過させ、レーザ光1とは波長の異なるレーザ発振器から射出されたレーザ光2をダイクロイックミラー1で反射させてレーザ光を合成し、合成されたレーザ光を照射レーザ光とし、照射レーザ光を照射面上に投影するものである。 (もっと読む)


【課題】画素部の周辺領域にTFTを用いて駆動回路を基板上に同時形成するポリシリコンTFTによって回路を構成する際、TFTのしきい値によって出力振幅が減衰しない、表示装置の駆動回路を提供する。
【解決手段】信号出力端子に電気的に接続されるTFTのゲート電極に、容量手段に保持されている電圧を加えた電位が与えられることにより、当該TFTにおける振幅減衰が生ずることなく、信号出力端子からは正常な振幅の出力を得ることができる。 (もっと読む)


【課題】さらなる低温プロセス(350℃以下、好ましくは300℃以下)を実現し、安価な半導体装置を提供する。
【解決手段】本発明は、結晶構造を有する半導体層103を形成した後、イオンドーピング法を用いて結晶質を有する半導体層103の一部にp型不純物元素及び水素元素を同時に添加して不純物領域107(非晶質構造を有する領域)を形成した後、100〜300℃の加熱処理を行うことにより、低抵抗、且つ非晶質な不純物領域108を形成し、非晶質な領域のままでTFTのソース領域またはドレイン領域とする。 (もっと読む)


【課題】さらなる低温プロセス(350℃以下、好ましくは300℃以下)を実現し、安価な半導体装置を提供する。
【解決手段】本発明は、結晶構造を有する半導体層103を形成した後、イオンドーピング法を用いて結晶質を有する半導体層103の一部にn型不純物元素及び水素元素を同時に添加して不純物領域107(非晶質構造を有する領域)を形成した後、100〜300℃の加熱処理を行うことにより、低抵抗、且つ非晶質な不純物領域108を形成し、非晶質な領域のままでTFTのソース領域またはドレイン領域とする。 (もっと読む)


【課題】 半導体装置に於けるLDD構造とGOLD構造の形成は、従来、ゲート電極をマスクにセルフアラインで形成しているが、ゲート電極が2層構造となる場合が多く、成膜工程とエッチング工程が複雑になる。またドライエッチング等のプロセスのみでLDD構造及びGOLD構造の形成を行っている為、トランジスタ構造が全て同一構造となり、回路毎にLDD構造とGOLD構造及びシングルドレイン構造を別々に形成することが困難である。
【解決手段】 回折格子パターン或いは半透膜から成る光強度低減機能を有する補助パターンを設置したフォトマスク或いはレチクルをゲート電極形成用フォトリソグラフィ工程に適用することにより、ドライエッチング及びイオン注入工程を通し、回路毎にGOLD構造及びLDD構造及びシングルドレイン構造のトランジスタを簡単に形成することができることを特徴としている。 (もっと読む)


【課題】薄膜トランジスタにおいて生じるリーク電流を抑えつつ、表示装置の生産性を向上させることを目的とする。
【解決手段】基板301と、基板301に形成されている複数の薄膜トランジスタTFTと、を有する表示装置であって、薄膜トランジスタTFTは、ゲート電極303と、ゲート電極303の上側に配置される微結晶半導体層305と、微結晶半導体層305上に配置される非晶質半導体層306と、を有し、非晶質半導体層306の水素濃度が、12atom%以下である、ことを特徴とする表示装置。 (もっと読む)


【課題】本発明は、SOIにおいて適したゲッタリング方法を適用して得られる半導体装置を提供する。
【解決手段】埋め込み酸化膜と、埋め込み酸化膜上に表面シリコン層を有するSOI構造を有する半導体装置において、埋め込み酸化膜上に、表面シリコン層を活性層として有するトランジスタと、素子分離絶縁膜を有し、素子分離絶縁膜上に容量が形成されており、素子分離絶縁膜に希ガス元素又は金属元素が含まれていることを特徴とする半導体装置とする。 (もっと読む)


【課題】作製工程を増やすことなく、凹凸形状の画素電極を作製することを目的とする。
【解決手段】凸部は、フォトマスクを用いて作製すると再現性の高いものが得られるため、画素TFT1203の作製工程にしたがって作製すればよい。画素TFT1203の作製と同様に積層される半導体層、ゲート絶縁膜および導電膜を積層して凸部を形成する。こうして形成された凸部および同一工程で形成された画素TFT、駆動回路に含まれるTFTを覆うように層間絶縁膜を形成する。凹凸を有する層間絶縁膜が形成されたら、その上に画素電極を形成する。画素電極の表面も絶縁膜の凹凸の影響を受け表面が凹凸化する。 (もっと読む)


【課題】小型化が可能な不揮発性メモリを備えた半導体装置を提供する。
【解決手段】基板901上に画素と不揮発性メモリとを備え、不揮発性メモリは、基板901上に形成される半導体活性層と、半導体活性層上に形成される絶縁膜923と、絶縁膜923上に形成されるフローティングゲイト電極907と、フローティングゲイト電極907を酸化して得られる酸化膜908,915,922と、酸化膜908,915,922に接して形成されるコントロールゲイト電極929と、を備え、画素と不揮発性メモリとは、基板901上に一体形成される。 (もっと読む)


【課題】軽量、薄型、小型であり、かつ読み込んだ画像に明るさのむらが生じないエリアセンサ及びエリアセンサを備えた表示装置を提供する。
【解決手段】エリアセンサが有する画素は、光源としてのEL(エレクトロルミネッセンス)素子と、光電変換素子としてのフォトダイオードと複数のTFTをそれぞれ有しており、EL素子とフォトダイオードの動作をTFTで制御していることを特徴とするエリアセンサ及びエリアセンサを備えた表示装置。 (もっと読む)


【課題】デジタル階調と時間階調とを組み合わせた駆動方法において、アドレス期間よりも短いサステイン期間を有する場合にも正常に画像(映像)の表示が可能であり、EL駆動用トランジスタが、劣化によりノーマリーオンとなった場合にも、信号線の電位を変えて動作を補償することの出来る画素を提供することを課題とする。
【解決手段】消去用TFT105のソース領域とドレイン領域とは、一方は電流供給線108に接続され、残る一方はゲート信号線106に接続されている。この構造により、EL駆動用TFT102のしきい値のシフトにより、ノーマリーオンとなった場合にも、ゲート信号線106の電位を変えることで、EL駆動用TFT102が確実に非導通状態となるように、EL駆動用TFT102のゲート・ソース間電圧を変えることを可能とする。 (もっと読む)


【課題】信号書き込み時間が長くなることを防ぎながら、信号振幅値が大きく、かつ、入出力関係が線形で動作する範囲を大きくすることが出来る半導体装置およびその駆動方法を提供する。
【解決手段】増幅用トランジスタ101及びバイアス用トランジスタ102を有する半導体装置において、放電用トランジスタ108を設けて、プリ放電を行う。または、増幅用トランジスタ101及びバイアス用トランジスタ102を有する半導体装置において、バイアス用トランジスタ102に接続されたバイアス側電源線104の電位を、増幅用トランジスタに接続された増幅側電源線103の電位に近づけることにより、プリ放電を行う。 (もっと読む)


21 - 40 / 315