【課題】共通の体積流量計を用いて種類の異なるシールドガスの流量を制御することのできるシールドガス流量制御装置を提供する。
【解決手段】種類が異なるシールドガス３Ａ，３Ｂを供給する複数のシールドガス供給源３と、レーザ溶接加工位置へシールドガスを噴射するガス噴射ノズル１３と、当該ガス噴射ノズル１３と前記シールドガス供給源３とを接続した接続管路１４中に配置され、前記ガス噴射ノズル１３へのシールドガスの流量を制御するための体積流量計１１と、当該体積流量計１１に流入されるシールドガスの圧力を所望の圧力に制御自在の圧力制御弁９とを備え、前記体積流量計１１に対してシールドガスの流量を指令する流量指令制御部２９に、前記圧力制御弁９の設定圧とシールドガスのガス種とガス流量とを関連付けして格納した流量・圧力データテーブル３５を備えている。 （もっと読む）

【課題】デジタル制御を採用したバルブ制御機構であっても、従来のアナログ制御を使用している場合に近い応答性を実現することができる流体制御装置を提供する。
【解決手段】流体が流れる流路５上に設けられた流体制御バルブ２と、前記流体に関する物理量を測定する流体測定部１と、前記流体測定部で測定される物理量の測定値が、予め設定される設定値となるように前記流体制御バルブ２の開度を制御するバルブ制御機構４とを備えた流体制御装置１００であって、前記バルブ制御機構４が、前記測定値と前記設定値の偏差に基づいてデジタル制御によって前記流体制御バルブ２の開度の操作量を演算する操作量演算部４１と、アナログ制御によって位相遅れを補償する位相補償部４２と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】マスフローコントローラの流量制御バルブのより長期間の使用を可能にするとともに、流量設定値を減少させた場合に実流量をより正確に制御可能にする。
【解決手段】流量センサ部２と、その流量センサ部２の上流側または下流側に設けた流量制御バルブ３と、流量測定値と流量設定値との偏差に少なくとも比例演算を施して流量制御バルブ３へのフィードバック制御値を算出する算出部６と、フィードバック制御値に基づいて開度制御信号を生成し、流量制御バルブ３に出力する開度制御信号出力部７とを備えており、前記比例演算における偏差に乗算するゲイン値を、流量設定値を所定量以上減少させた時点から所定期間である減少変化期間において、減少前の設定流量値と減少後の設定流量値との変化分を用いて得られる演算値が小さくなれば大きな値が算出される関数を用いて算出している。 （もっと読む）

【課題】流量制御弁の制御装置に関し、簡素な構成で、流量制御弁の中立位置を学習するとともに、学習値を補正する。
【解決手段】作動流体によって作動するアクチュエータ１２と、作動流体を供給する作動流体供給源１１と、アクチュエータ１２のストローク量を検出するストロークセンサ１４と、弁体１９を有するとともに、弁体１９の移動によってアクチュエータ１２と連通もしくは遮断される流量制御弁１５と、ストロークセンサ１４の検出値に応じて弁体１９を制御する制御部２０とを備え、制御部２０は、中立位置を学習する学習部２２と、中立位置におけるストロークセンサ１４の検出値と中立位置における目標ストローク量とのずれ量に応じて予め作成したマップに基づいて、学習部２２による学習値を補正する学習値補正部２３とを有するようにした。 （もっと読む）

【課題】流量制御弁の制御装置に関し、簡素な構成で、流量制御弁の中立位置を正確に学習する。
【解決手段】アクチュエータ１２と、作動流体供給源１１と、ストロークセンサ１４と、弁体１９を有するとともに作動流体供給源１１に連絡する供給部１７ａと作動流体を排出する排出部１８ａとアクチュエータ１２に連通する連通部１６ａとを備えた流量制御弁１５と、ストロークセンサ１４の検出値に応じて弁体１９を制御する制御部２０とを備え、制御部２０は、ストロークセンサ１４の検出値により弁体１９が排出部１８ａ側から移動して連通部１６ａを遮断する中立位置と判断されたときの弁体１９の移動量と、弁体１９が供給部１７ａ側から移動して連通部１６ａを遮断する中立位置と判断されたときの弁体１９の移動量とから、弁体１９の中立位置としての移動量を学習する中立位置学習部２２を有するようにした。 （もっと読む）

【課題】電源電圧が定格電圧を超える場合でも良好な流量制御精度が得られる流量コントローラ、流量制御システム、及び、流量コントローラ制御プログラムを提供すること。
【解決手段】全開時Ｄｕｔｙ算出プログラム４３を実行することにより、比例電磁弁２を全開させる場合にコイル２１に印加されるバルブ全開時コイル印加電圧が、比例電磁弁の定格電圧より高圧である場合に、比例電磁弁の定格電圧をバルブ全開時コイル印加電圧で割ることにより、比例電磁弁を全開状態とする場合における全開時のＤｕｔｙの値を算出し、制御動作時流量制御プログラム４４を実行することにより、算出された全開時のＤｕｔｙの値を上限として、比例電磁弁のコイル２１に印加する電圧のＤｕｔｙを可変させることにより、比例電磁弁の開度を制御する。 （もっと読む）

【課題】従来よりも計装コストを低減させる。
【解決手段】ガスが流通する流路１１に配置され、発熱抵抗体、上流側測温抵抗素子および下流側測温抵抗素子を有するセンサ１２と、発熱抵抗体を発熱させたときの上流側測温抵抗素子および下流側測温抵抗素子の検出温度に基づいてガスの物性値を算出する物性値算出部３１１と、上記検出温度に基づいてガスの流量を算出する流量算出部３１２と、ガスの置換時に開閉され、ガスの流量を調節する調節弁４０と、算出された物性値または流量に基づいて調節弁４０の開度を制御する弁制御部３３０と、センサ１２の出力信号を、物性値算出部３１１または流量算出部３１２のいずれか一方への入力に切り替える切替部３２０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】流量コントローラにつき、非摺動タイプの比例電磁弁を備えて比較的大流量の制御と安定した流量特性を実現すること。
【解決手段】流量コントローラは流量センサの検出流量が目標流量になるよう制御回路が比例電磁弁2を制御するよう構成される。比例電磁弁2はホルダ24に支持されたコイル21、ボビン22及び固定鉄心23と、可動鉄心25に設けられた弁体26及び板ばね27と、ボディ28に設けられた弁座30、導入通路31、導出通路32及びオリフィス33とを備える。コイル21の励磁による固定鉄心23の吸引力と板ばね27の付勢力との釣り合いにより可動鉄心25を変位させ、弁座30との弁体26の位置を調節し、流体流量を調節する。オリフィス33の内径「φ１以上」の値に設定され、オリフィス33の軸長の内径に対する比は「０．１以上０．６以下」の値に設定され、導出通路32の内径はオリフィス33の内径より大きく設定される。 （もっと読む）

【課題】フロートの流路内壁面への接触によるパーティクルの発生を防止することができる流量計およびマスフローコントローラを提供する。
【解決手段】ケーシング１１の内側には下方から上方に向けて流体を流す鉛直方向に沿った流路１２が形成される。流路１２の一部はテーパ管１５によってテーパ面１６とされている。流路１２内には棒磁石２１を内蔵するフロート２０が収容される。ケーシング１１の外周面にはリング形状の永久磁石である下部リング磁石３０および上部リング磁石３５が周設される。下部リング磁石３０および上部リング磁石３５の双方からフロート２０の棒磁石２１の下端および上端のそれぞれに同じ磁極の反発力による斥力が及ぼされる。これにより、流体の有無に関わらず、フロート２０が流路内壁面に接触することが常に防止され、その結果パーティクルの発生をも防止することができる。 （もっと読む）

【課題】流路を流通する流体の流量制御の安定化を図る。
【解決手段】流体が流通する流路の開度を調整可能なバルブ４１と、流体の流量を検出する流量検出部３４と、流量検出部３４の検出結果と流量に関する設定値とに基づいて、バルブ４１に供給される駆動電圧をパルス幅変調するバルブ駆動部５３と、前記駆動電圧の変動に応じて前記パルス幅変調のパルス幅を補正する制御部５７，７１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】適切な測定範囲を選択可能な分流式流量計を提供する。
【解決手段】主流路１１、及び主流路１１に通じる一対の分流孔４ａ，４ｂが設けられた主流路保持体１０と、一対の分流孔４ａ，４ｂを介して主流路１１と連通する分流路２５が設けられた、主流路保持体１０に着脱可能な分流路保持体３０と、分流路２５を流れる流体の流量を検出するための流れセンサ８と、流れセンサ８によって検出される流体の流量と主流路１１を流れる流体の流量との分流比を設定するために、分流路２５に配置される分流比設定部材と、流れセンサ８によって検出された流量、及び分流比に基づいて、主流路１１を流れる流体の流量を算出する算出回路３０１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】分流比の誤認を防止可能な分流式流量計を提供する。
【解決手段】主流路11、及び主流路11に通じる一対の分流孔4a, 4bが設けられた主流路保持体10と、一対の分流孔4a, 4bを介して主流路11と連通する分流路25が設けられた、主流路保持体10に着脱可能な分流路保持体30と、主流路11及び一対の分流孔4a, 4bの流路抵抗に依存する分流路25と主流路11との分流比に関する情報を識別するための、主流路保持体10に設けられた識別部と、分流路25を流れる流体の流量を検出するための流れセンサ8と、識別部から読み出された分流比に関する情報を保存するための、分流路保持体30に固定された第１の分流比記憶装置400と、分流路25を流れる流体の流量、及び分流比に関する情報に基づいて、主流路11を流れる流体の流量を算出する算出回路301と、を備える。 （もっと読む）

【課題】マスフローコントローラにおけるＰＩ性能を向上させる。
【解決手段】マスフローコントローラにおいて、安定状態におけるＰＩＤ演算に用いる比例係数、積分係数及び微分係数を、一次側圧力、当該一次側圧力の時間変化量、及び流量設定値の少なくとも２つに基づいて変更させる。 （もっと読む）

【課題】一次側の圧力が急激に変動しても、二次側の流量に影響が及びにくいマスフローコントローラを提供する。
【解決手段】流路内を流れる流体の流量を測定し、その測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ部と、その流量センサ部の上流側又は下流側に設けた流量制御バルブと、前記流量制御バルブへの制御値を算出する算出部と、を備えたものであって、マスフローコントローラの上流側における前記流体の圧力の測定値である一次側圧力測定値が所定量以上変化した期間である変化期間と、それ以外の期間である安定期間と、において、前記算出部は、前記安定期間では、前記流量測定信号の示す流量測定値と目標値である流量設定値との偏差に所定の演算処理を施して安定時制御値を算出し、前記変化期間では、前記一次側圧力測定値と前記一次側圧力測定値の変化量とに所定の演算処理を施して変化時制御値を算出するようにした。 （もっと読む）

【課題】被測定流体の整流効果を得ながら圧力損失を低減させることができる流量計及びこれを備える流量制御装置を提供する。
【解決手段】被測定流体が流れる流路５と、流路５内に配置される整流体２０と、を備え、被測定流体の流量を計測する流量計２であって、整流体２０は、被測定流体の整流用の孔を有するとともに、流路５の延在方向に対して垂直な方向における流路断面積よりも広い面積を有する。流量制御装置１は、流量計２と、制御弁３と、流量計２によって検出された流量に係る情報に基づいて制御弁３を制御することにより流量計２の流路５を流れる流体の流量を調整する制御手段４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】チャンバーへ供給されるプロセスガス等の流体の供給量（総量）を補正することができる流量制御装置を提案する。
【解決手段】流路の弁機構３０より下流側に設置され、設置箇所において流れる流体の圧力値を検出すると共に、検出された圧力検出値を表す圧力検出信号を出力する圧力検出手段４０を有し、弁機構制御手段Ｐ５が、予め流体を流路に流して流量設定値と流量検出値とが一致するように弁機構３０を制御したときに、圧力検出手段４０が検出した圧力基準値の時間変化を示した、圧力基準値−時間テーブルがＲＯＭ１２からなる記憶手段に記憶されている。制御手段１０の弁機構補正制御手段Ｐ６は、圧力検出手段４０からの圧力検出信号を受けて、この圧力検出信号が表す圧力検出値と、圧力基準値−時間テーブルにおける圧力検出値の検出時に対応する時間の圧力基準値とに基づいて弁機構３０を補正制御する。 （もっと読む）

【課題】大幅なコストの増大を伴わずに、流量を広範囲に制御することができる流量制御装置を提供する。
【解決手段】流量制御システム１０には、薬液の流量を検出する流量センサ１４と、その下流側において互いに並列に設けられた流量調整手段としてのパイロットレギュレータ２０及び流体の通過を許可又は禁止する第１開閉弁４０とが備えられている。流量センサ１４の下流側における吐出配管１３の下流側端部は、第１分岐配管１５と第２分岐配管１６とに接続されており、そのうち第１分岐配管１５にパイロットレギュレータ２０が設けられ、第２分岐配管１６に第１開閉弁４０が設けられている。コントローラ３０は、目標流量値及び流量センサ１４により検出された流量値に基づいて電空レギュレータ１８及び第１電磁弁１９を駆動させ、流体流量が目標流量値に一致するように流量フィードバック制御を実施する。 （もっと読む）

【課題】流量制御装置が相互干渉することなく設定器で設定された正確な流量を得ることができる流量制御装置を提供する。
【解決手段】流路の開閉を調節するソレノイドバルブ２０と、このバルブを駆動するバルブ駆動回路２１を有する流量制御装置であって、入力されるアナログ電圧値またはアナログ電流値を所定のデジタル値またはアナログ値に変換して伝達するアナログ入力回路２３と、この入力回路から伝達されたデジタル値またはアナログ値を、設定された流量に応じた指示信号を出力する制御部２２と、制御部とバルブ駆動回路を電気的に絶縁すると共に、制御部からの指示信号をバルブ駆動回路へ伝達する信号伝達部と、アナログ入力回路及び制御部とを電気的に絶縁すると共に、アナログ入力回路及び制御部へ電源供給する絶縁型電源回路と、バルブ駆動回路へ電源供給する非絶縁型電源回路と、を有する。 （もっと読む）

【課題】無駄な待ち時間を減らしつつ、流量制御の精度を向上させることができる流体分流供給ユニットを提供すること。
【解決手段】マスフローメータ８の二次側に第１及び第２開閉弁１１Ａ，１１Ｂを接続する。第１及び第２開閉弁１１Ａ，１１Ｂの第１及び第２設定流量Ｑａ，Ｑｂを流量特性に照合して、動作周期ｔのうちで弁開するパルスＯＮ時間ａ’，ｂ’を決定する。そして、第１及び第２開閉弁１１Ａ，１１Ｂの動作周期ｔを一定にして、決定したパルスＯＮ時間に従って第１及び第２開閉弁１１Ａ，１１Ｂを開閉させて流量制御を行う。このとき、マスフローメータ８が測定するユニット総流量Ｑを平均したユニット平均流量Ｑｍと、第１及び第２設定流量Ｑａ，Ｑｂを合計した指令総流量Ｑａ＋Ｑｂとの偏差ＱＰをゼロにするように、パルスＯＮ時間ａ’，ｂ’を補正する。 （もっと読む）

【課題】低電流域であっても、熱損失を増加させることなく、比例電磁弁に流れる電流と目標電流との乖離を抑制する。
【解決手段】比例電磁弁Ｖを駆動するための駆動指令値を、比例電磁弁Ｖに流すべき目標電流を示す電流指令値Ａに変換する電流変換手段１０，１２と、少なくともディザ電流の振幅指令を含むディザ指令値Ｂを決定するディザ指令手段１４，１６と、比例電磁弁Ｖ内に流れる電流を検出する電流モニタ部２４と、電流変換手段１０，１２が出力する電流指令値Ａ、及び前記ディザ指令手段１４，１６が出力するディザ指令値Ｂ及び電流モニタ部２４が出力するモニタ電流Ｉに基づいてＰＷＭ信号を生成するＰＷＭ信号生成部１８と、モニタ電流Ｉと電流指令値Ａとを比較する比較部２６と、を備え、ディザ指令手段１４，１６は、比較部２６による比較の結果により、ディザ電流の振幅指令値を調整する。 （もっと読む）