【課題】可変の流体圧力が作用したとき、流体の一定の流れを維持する。
【解決手段】可変流体圧力が加えられるときに、流体の一定の流れを維持する一定流れ調整器機構であって、流体が入ってくる入口管５０６と、ハウジング５００と、入口管に面し弾性力を受けた可動仕切り５０２とを備える。断面積が可変な流体通路５１０は、入口管と可動仕切りとの間に形成される。ハウジング及び可動仕切りは、内部コンパートメントの内側に入口管の流体圧力にほぼ等しい流体圧力を確立するため、入口管と流体が連通する内部コンパートメント５０４を形成する。可動仕切りのサイズは、使用において、流体通路断面積を減じるため入口管内の流体圧力が増加したとき、仕切りが弾性力に抗して入口管側へ移動するように、及びその逆にも動作し、それによって、一定の流体流れを維持するように、入口管のサイズよりも非常に大きい。 （もっと読む）

【課題】一次圧や二次圧に圧力損失を生じさせることなく、減圧装置を装備した流体導管の流量を計測可能にした。
【解決手段】流体導管１に装備され、上流側流体導管１ｕにおける一次圧を減圧して下流側流体導管１ｄにおける二次圧を得る減圧装置１０であって、二次圧を検出する二次圧検出部１３と、二次圧検出部１３で検出された二次圧に基づいて流量抵抗を可変調整する可変抵抗部１１と、可変抵抗部１１の下流側に設けられ、一定の流量抵抗を有する固定抵抗部１２とを備え、可変抵抗部１１と固定抵抗部１２との合成流量抵抗によって、一次圧を二次圧に減圧する。固定抵抗部１２による発生差圧を検出することで、流体導管１の流量を計測できる。 （もっと読む）

【課題】定流量制御装置を提供すること。
【解決手段】第１ハウジング３とダイアフラム４と該ダイアフラム４に一体的に取付けられた可動弁体５により形成される第１室６と、第２ハウジング９とダイアフラム４と可動弁体５により形成される第２室１０と、流体が通過することで第１室と第２室との間に圧力差を生じさせる絞り部１１と、第２室と下流側流体通路とを連通する通路に臨んで設けられ、可動弁体５に備えられたニードル弁１３に対応して設けられる弁座１４と、可動弁体をニードル弁と弁座が開弁する方向に所定の弾性力で付勢する主弾性部材１５と、を備えた流体の流量を所定流量に制御する定流量制御装置において、絞り部１１のオリフィスにはクリーニングピン２７が遊挿され、このクリーニングピンの軸方向の端部は、第１ハウジング３及び又は第２ハウジング９により、クリーニングピン２７はその軸方向の位置が規制されている。 （もっと読む）

【課題】凝固物等がオリフィスに付着した詰まりの状態を自動的に検出し、流量測定に誤差を生じる状態で流量制御が継続されることを防止した流量コントローラを提供する。
【解決手段】流量コントローラ１０は、流体主流路の直管部１に設けた一対の圧力センサ２１，２２間にオリフィス２３が配設され、圧力センサ２１，２２で検出した二つの圧力値により得られる差圧を流量に換算して流量測定を行う差圧式流量計２０と、流体主流路に設けられ、差圧式流量計２０の流量測定値と予め定めた設定流量値との差が所定の範囲内に入るよう開度制御される流量調整弁３０と、圧力センサ２１，２２で検出した圧力値の入力を受けて流量調整弁３０の開度制御を行う制御部４０とを備え、制御部４０は、設定流量値と差圧式流量計２０の流量測定値とを比較し、所定値以上の流量差が所定時間継続した場合にオリフィス２３の詰まり異常と判断する。 （もっと読む）

【課題】一方の圧力センサの環境温度と、他方の圧力センサの環境温度との差を低減させる（なくす）ことができ、正確で安定した圧力測定を行うことができる差圧式流量計を提供するとともに、この差圧式流量計を用いた流量コントローラを提供すること。
【解決手段】圧力測定を行う流体が流れる流体主流路１２が形成されたボディ２４と、前記流体主流路１２に対して直列に配置されるとともに、前記ボディ２４に保持される２つの圧力センサ２１Ａ，２１Ｂとを備え、前記２つの圧力センサ２１Ａ，２１Ｂの下方に位置する前記ボディ２４に形成された凹所内に、熱伝導性に優れた材料からなる温度バランサー２７が収容されている。 （もっと読む）

【課題】流体圧ポンプが吐出する作動流体が高圧であってもエロージョンが発生することを防止し、耐久性の高い流量制御弁を提供すること。
【解決手段】
流体圧ポンプとしてのベーンポンプ１０１から吐出された作動油を油圧機器１０に導く供給通路１２に介装され、油圧機器１０に供給される作動油の流量を制御する流量制御弁１００であって、ベーンポンプ１０１から吐出された作動油の圧力に応じて移動するスプール３０を有し、ベーンポンプ１０１から吐出された作動油の一部を、ベーンポンプ１０１の吸込側に連通する戻り通路３３へと還流するスプール弁２１を備え、ベーンポンプ１０１から吐出され戻り通路３３へ環流する作動油が衝突するスプール３０の壁面に、作動油が含有する気体を気泡として溜めることが可能な環状溝５１を設けることによって作動油が衝突する衝撃を和らげる。 （もっと読む）

【課題】機械的な手段以外の方法で流体の流量を調節することにより、装置全体を小型化する。
【解決手段】誘電体層２の中央に、流体が通過する貫通孔２ａが設けられる。電極層３ａ・３ｂは、誘電体層２の表裏に、貫通孔２ａの周囲に輪帯状に形成される。電極層３ａ・３ｂに電圧を印加して誘電体層２を変形させることにより、貫通孔２ａの開口径を変化させる。これにより、貫通孔２ａを通過する流体の流量を調節することができ、流量調節にあたり、従来のような機械的な手段を用いなくても済む。 （もっと読む）

【課題】配管内に生ずる圧力等の状態変化に対応可能な比例制御動作を行うに際して、比例ゲインを自動的に更新し、良好な制御を行う。
【解決手段】オフラインにおいて、予め制御弁２の開度と流量の勾配の逆数と、勾配を制御弁２の最大開度における最大流量により除して得られる正規化比例定数Ｋｚと、最大開度での制御弁２の固有抵抗Ｒ０を初期値として設定し、
オンラインにおいて、制御弁２の入口４と出口５間の第１の圧力損失△Ｐと、流量計３による流量Ｆとから成る複数のデータを逐時に測定して、第１の圧力損失ΔＰと流量Ｆとから、制御弁２と流量計３の間に生ずる第２の圧力損失ΔＥと制御弁２の最大開度での全抵抗ｒとを演算により求め、予め設定してあった正規化比例定数Ｋｚとから新たな比例勾配Ｋｅを求め、その逆数から適切な比例ゲイン（１／Ｋｅ）を求めて比例制御動作に使用する。 （もっと読む）

【課題】ガス供給量を安定させることができるガス供給ユニットを提供すること。
【解決手段】マスフローコントローラ１４と、前記マスフローコントローラ１４に接続する第１流体制御弁１５と、前記第１流体制御弁と並列に接続された第２流体制御弁１７と、前記第２流体制御弁の二次側に配置された第３流体制御弁と、を有し、前記第３流体制御弁は、前記第１流体制御弁の二次側圧力と前記第２流体制御弁の二次側圧力との差圧に基づいて弁開度を調整されるものであるガス供給ユニット１である。 （もっと読む）

【課題】ガス供給源からガス流路を介してガスを安定供給するガスの供給制御装置において、ガス供給系内にバッファータンク等の緩衝装置を設置することなく、ガス供給系に悪影響を及ぼす急激な圧力上昇を防止することができるガスの供給制御装置を提供する。
【解決手段】ガス流路にステッピング・モータ４駆動方式の自動開閉弁５と、この自動開閉弁５の下流側に圧力計８を設け、この圧力計８の検出圧力値Ｐと時間の経過とともに増加する任意の目標圧力値との差分に基づいて自動開閉弁５を間欠的に開閉制御することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】各ラインの流体を任意の比率で混合させ、脈動した流体も流量制御することができ、コンパクトな構成で狭いスペースに設置可能であり、設置における配管及び配線接続が容易である流体混合装置の提供。
【解決手段】２つの供給ラインがそれぞれ第一、第二流体制御弁と、各ラインの実流量を計測し信号を出力する各流量計測器と、各流体制御弁を制御するための指令信号を出力する各制御部とを具備し、２つの供給ラインに流れる各々の流体を任意の比率で混合させる。第一流体制御弁は制御用流体の圧力操作により流体の圧力を制御し、第２流体制御弁は流路の開口面積を変化させて流体の流量を制御する。例えば、半導体製造用の洗浄液を得るためにフッ化水素酸または塩酸が１に対して純水が１０〜２００の比率で混合される。 （もっと読む）

【課題】流体の流量制御を簡単、かつ連続的に変動無く行う。
【解決手段】圧力流体の流路に連通した圧力室２にその圧力によりピストン作用するプランジャー６を設けて、プランジャーによりニードルバルブ状の弁体６を作動させる。プランジャーはコイルスプリング８の押圧力が圧力室の圧力、若しくは負圧と平衡する関係におかれ、弁の開度は調整ネジ9によって行う。
予め、調整ネジによる弁体の開度とそれに平衡する圧力との関係を確認しておき、流体入口３を導入すべき流体供給源、出口４を圧力流体の流路に接続して、調整ネジにより弁体の開度を設定する。
該流路の圧力とコイルスプリングの押圧力により開放された弁体から流体が供給されると、流路圧力が低下、若しくは上昇し、その圧力変化に応じて弁体の開度がコイルスプリングの押圧力に抗して調整されて連続的に平衡状態に至るまで、弁体の開度が制御される。 （もっと読む）

【課題】 絞り弁とバイパス逆止弁との二つの弁機能を一つの弁によって簡単な構造で発揮させることができる流量制御弁を提供する。
【解決手段】 Ｂポート５側のチャンバー３内の内周面上に設けられた突起６の下面に弁座面７が形成され、突起６の上端部にスピンドル軸受９が形成され、チャンバー３の底面に設けられたスピンドル台１１にねじ孔１２が形成され、スピンドル１３の下部に形成したねじ部１４がねじ孔１２に螺合されるとともにスピンドル１３の上端部がスピンドル軸受９で支承され、スピンドル１３が弁盤１５に形成されたオリフィス孔１８に貫通した状態で、弁盤１５がばね１６によりスピンドル台１１上に支承され、弁盤１５に、弁座面７に対して当接離間自在な上面縁部１７が形成され、スピンドル１３のオリフィス孔１８を貫通する部位はテーパー部２０として形成され、スピンドル１３の上下移動によりオリフィス孔１８とテーパー部２０との間隙１９の大きさを変更可能にしている。 （もっと読む）

【課題】 高い制御性を維持しつつ、高いレンジアビリティで流量を制御することができる流量制御装置及び方法を提供する。
【解決手段】 この流量制御装置は、流体管路１，２，４，５と、該流体管路の途中に配置された平板状の弁支持基板３とを備えている。弁支持基板３には、複数の個別に操作可能な開閉弁１１が設置されている。複数の開閉弁１１の内から適宜に選択したものを開閉することにより、レンジアビリティの高い流量制御を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 可変オリフィス部での騒音の発生の抑制が可能な圧力補償付きの流量制御弁を提供する。
【解決手段】 流量制御弁１は、流体の流路２０に上流側から順に、軸方向に移動可能に支持されつつバネ３５によって一端へ向けて付勢され可変オリフィス部Ｅを形成するための互いに段差端面３０ｄを介して連続する大径軸部３１及び小径軸部３２を有するバランスピストン３０と、絞り弁４０とを備えて成る。バランスピストン３０が、バネ３５の反発力Ｋ及び絞り弁４０の下流の流体の圧力Ｐ３を一端へ向けて受けるとともに、バランスピストン３０の下流且つ絞り弁４０の上流の流体の圧力Ｐ２を他端へ向けて受けることで軸方向に釣り合いながら移動し、大径軸部３１の周囲から小径軸部３２の周囲に至る可変オリフィス部Ｅの開口隙間が調整される。大径軸部３１が小径軸部３２へ向けて１段縮径された縮径軸部５０を有する。 （もっと読む）