【課題】精密かつ高速に圧力制御を行なうことができる圧力制御装置を提供すること。
【解決手段】実施形態の圧力制御装置は、バルブと、前記バルブに接続されている軸部と、ソレノイド部と、マイクロメータ部と、制御部と、を備えている。前記ソレノイド部は、前記軸部をソレノイド駆動によって軸方向に移動させることにより、前記軸部を介して前記バルブのゲート開度を調整し、前記マイクロメータ部は、前記軸部に着脱自在に取り付けられるとともに、前記軸部に取り付けられた場合には前記軸部をねじ機構によって軸方向に移動させることにより、前記軸部を介して前記バルブのゲート開度を調整する。前記制御部は、前記マイクロメータ部を用いて前記ガス圧力を制御する際には、前記マイクロメータ部を前記軸部に取り付け、前記ガス圧力を制御する際には、前記マイクロメータ部を前記軸部から取り外す。 （もっと読む）

【課題】離れて位置する区画内部における圧力を精度高く制御することができるシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】圧力制御システムは、各エンクロージャに対して流入および流出する流体の流量を制御することによって、１つ以上の区画の内部圧力を遠隔的に制御する。各区画は、導管を介して１つのエンクロージャにそれぞれ接続されている。流体の圧力を、各エンクロージャ内において測定する。各区画内における推定圧力を、エンクロージャ内の測定圧力と、導管および区画の既知の特性との関数として計算する。区画毎に、各エンクロージャの入口比例弁および出口比例弁を動作させて、それぞれのエンクロージャに流入する流体の入力流速と、エンクロージャから流出する流体の出力流速とを、圧力設定点と推定圧力との関数として制御することにより、圧力設定点に応じて区画内部の圧力を規制する。 （もっと読む）

【課題】気圧の変動に対して安定した基準圧を伝達することができ、基準圧に対する空調室の室内気圧を陽圧または負圧に保持することができる室内気圧調節システムを提供する。
【解決手段】室内気圧調節システム１０Ａは、給気ファン１５および排気ファン１６と、クリーンルーム１２からの空気の排気量を調節可能なモーターダンパ１７と、屋外における空気の基準圧をダンパ１７に伝達する中空管３４とを備えている。ダンパ１７のコントローラ３３は、クリーンルーム１２の室内気圧と中空管３４から伝達された基準圧との差圧を計測し、計測した差圧に基づいて基準圧に対する室内気圧を陽圧に保持するためにダンパ１７のダンパ開度を調節する。 （もっと読む）

【課題】微細な加工精度の違いによって、個々の調圧弁の調圧性能にばらつきが生ずることを回避することが可能な調圧弁を提供する。
【解決手段】流体が流れる管路１１内に弁体１２を配してなる弁本体１と、流体圧を利用して前記弁体１２を開閉方向に駆動するための開側、閉側アクチュエータ２、３と、前記弁本体１と前記閉側アクチュエータ３との間に前記閉側アクチュエータ３が利用する流体圧を伝達し得るフィードバック経路４とを具備してなる調圧弁Ｖに圧力調整機構Ａを具備することとした。 （もっと読む）

【課題】二次圧力の設定圧が小さい場合でも、外径寸法を大きくすることなく二次圧力を高い精度で設定圧に制御することができる減圧弁を提供する。
【解決手段】減圧弁１は、ハウジング１１と、弁体１８と、第１ばね部材１６とを備えている。ハウジング１１は、弁通路１９によって繋がる一次ポート２１と二次ポート２２とを有している。弁体１８は、ハウジング１１内に設けられ、弁通路１９を閉じる閉位置と弁通路１９を開く開位置との間で軸線方向に移動して弁通路１９の開度を調整するようになっている。第１ばね部材１６は、弁体１８を開位置の方に付勢している。また、弁体１８は、二次ポート２２に導かれる二次圧ｐ_２を第１ばね部材１６の付勢力に抗して閉位置方向に受圧する第３及び第５受圧面を有しており、これら２つの受圧面は、軸線方向に夫々離され、且つ互いに軸線方向に重なり合うよう位置している。 （もっと読む）

【課題】液体用減圧弁の二次側圧力の変動幅を抑制する。
【解決手段】弁体２３を接離方向に駆動する駆動軸２６と、駆動軸を作動桿の動きに応じて駆動するレバー機構を備え、レバー機構は、Ｌ字状に形成されたレバー３１と、該レバーをレバー面内で遥動可能に曲り部を支持するレバーピン３２と、前記レバーの一端が前記作動桿に摺動自由に係合する第１の係合部（３２）とを有し、作動桿の軸方向運動を当該レバーの遥動運動に変換する第１のリンク機構と、レバーの他端が長手方向に摺動自由に駆動軸に係合する第２の係合部（３６，３７）を有し、当該レバーの遥動運動を駆動軸の軸方向運動に変換する第２のリンク機構とを有してなり、レバーピンと係合ピンとの間のアーム寸法Ａとレバーピンと作動桿の軸との間のアーム寸法Ｂとのレバー比Ｋ＝Ａ／Ｂが１未満である。 （もっと読む）

【課題】一次圧力を所定の二次圧力に設定する減圧弁において、二次圧力の感圧部を設置する。
【解決手段】感圧部は感圧ピストン部材５９を介して制御部側に上昇ダイヤフラム６１を、ボンネット側に下降ダイヤフラム６６を対面位置に設置する。下降ダイヤフラム６６の有効径は上昇ダイヤフラム６１の有効径より小さく設定する。下降ダイヤフラム６６とばね受６９の間に調整ばね６８を、本体部材５１と制御ダイヤフラム１６の間にバランスばね５８を設置して二次圧力の制御に変化の大きい一次圧力を採用せず、二次圧力を用いる構造として精密な減圧弁を実現する。 （もっと読む）

【課題】流体圧アクチュエータの圧力制御のために設けられた電磁式可変リリーフ弁のリリーフ設定圧力に対するリリーフ圧精度の向上を図る。
【解決手段】アタッチメントシリンダ15に供給する作動油の圧力を電気的に指令可能な設定圧力に制御するために設けられている電磁式可変リリーフ弁33をコントローラ31により制御する。コントローラ31には、電磁式可変リリーフ弁33のリリーフ設定圧力およびリリーフ弁通過流量に関する入力信号に基づき上記電磁式可変リリーフ弁33のオーバーライド圧力特性を補正したリリーフ設定圧力に関する指令信号を上記電磁式可変リリーフ弁33に出力することを可能とする制御ロジックを盛り込み、このコントローラ31により制御を行なう。 （もっと読む）

【課題】必要流量が多く、このため流量を増大させるべく減圧弁の弁孔の径を大きく設定した場合でも調圧シャフトの作動が安定し、よって精度良く減圧することができる減圧弁を提供する。
【解決手段】調圧シャフトは、弁体部を軸方向の真ん中としてその弁座側に配置された上部シャフト部と、反対側に配置された下部シャフト部とを同軸上に有する。上部シャフト部は、弁座部内周の弁孔に差し込まれて調圧ダイアフラムに連結される。下部シャフト部は、その上端部で弁体部に連結され、下端部でスライド穴にスライド可能に差し込まれる。下部シャフト部の外径をａ、弁座部のアール先端径をｂ、弁孔の内径をｃ、上部シャフト部の外径をｄとして、ｄ＜ｃおよびｃ＜ｂであるとともにａ＝ｂに設定される。 （もっと読む）

【課題】高い制御性を有し、小型で耐食性、耐久性に優れる排気圧力コントローラを提供する。
【解決手段】排気圧力コントローラの駆動部分にゴム膨張バルブを用いることにより、ダンパー制御を精度良く行うことができる。即ち、貫通流路を有する硬質なボディと、前記貫通流路内に配置される膨張部材と、前記膨張部材を含んで形成される気密空洞と、を有するバルブと、
前記貫通流路の圧力及び／又は流量を測定する圧力／流量計測手段と
前記気密空洞に制御用気体を給気又は排気することにより、前記膨張部材を膨張又は収縮させて前記貫通流路の流路断面積を変化させる給排気制御手段と
を用いて排気圧力コントローラを構成する。 （もっと読む）

【課題】下流側に流量変動が発生した場合においても、高応答かつ高精度に圧力制御を行うことができる圧力レギュレータを提供する。
【解決手段】圧力レギュレータ４１は、サーボ弁１１によって、気体供給源１０から供給される気体の等温化圧力容器１３への流入流量を規制し、等温化圧力容器１３内の圧力を一定に保持する。ここで、サーボ弁１１を操作する圧力制御手段（コンピュータ４６）は、圧力計１４で計測した等温化圧力容器１３内の圧力をフィードバック制御する圧力制御系をメインループとし、その内側に、流入流量を制御する流入流量制御系を構成すると共に、圧力微分計１５で計測した等温化圧力容器１３内の圧力微分値に基づいて等温化圧力容器１３における流入流量と流出流量との差である流入出流量差を推定するオブザーバを構成し、推定した流入出流量差を流入流量制御系にフィードバックするモデル追従制御系を構成する。 （もっと読む）

【課題】 電磁油圧制御手段の個体差によるばらつきを低減し、制御精度を向上する油圧制御方法を提供する。
【解決手段】 自動変速機の変速制御処理において、摩擦要素に供給する出力油圧目標値をリニアソレノイド弁への指令電流値に変換する際、リニアソレノイド弁の個体毎に作成された「指令電流対指令油圧マップ」を使用する。この「指令電流対指令油圧マップ」を作成するマップ作成処理は、検出段階（Ｓ２１）、差分算出段階（Ｓ２２Ａ）および補正段階（Ｓ２３Ａ）を含む。検出段階では、リニアソレノイド弁の設計仕様をもとに作成された「規範マップ」に基づいて指令油圧Ｐｎが時間に対して直線的に変化するように指令電流Ｉをスイープし、実出力油圧Ｐｏを検出する。差分算出段階では、実出力油圧Ｐｏと指令油圧Ｐｎとの差分ΔＰを算出する。補正段階では、規範マップに対して差分を補正する。 （もっと読む）

【課題】密閉チャンバ（パスボックス４）内の圧力変動を緩和する。
【解決手段】密閉チャンバ４には、無菌フィルタ１４を介して外部から給気する給気通路１２と、無菌フィルタ２２を介して排気する排気通路２０が接続され、給気通路１２および排気通路２０をそれぞれ連通遮断する給気バルブ１８および排気バルブ２６が設けられている。また、これら両バルブ１８、２６の開閉を制御して密閉チャンバ４内の圧力を所定の陽圧に制御する制御手段４６が設けられている。さらに、排気通路２０の無菌フィルタ２２と排気バルブ２６との間に、密閉チャンバ４内の圧力の変動に応じて膨張、または収縮して、圧力変動を緩和するシリコン膜４８を取り付けている。 （もっと読む）

【課題】増圧弁及び減圧弁の各々の弁体と弁座との間を流れる作動液が各弁を開弁する方向に流れる液圧弁装置を提供する。
【解決手段】(a)低圧室２７２と、調圧室２５４と、低圧室と調圧室との間に位置する高圧室２５６と、低圧室と高圧室とを繋ぐ第１室間部と、高圧室と調圧室とを繋ぐ第２室間部とを有するハウジングと、(b)第１室間部を塞ぎ第２室間部に挿入された状態で移動可能な移動部材１９６と、(c)移動部材に形成されて低圧室に開口するとともに減圧弁の弁座として機能する低圧室側開口を有し、低圧室と調圧室とを連通する連通路２６０と、(d)低圧室側開口に着座可能な減圧弁の弁体として機能するプランジャ１９２とを備えた液圧弁装置において、第２室間部の調圧室への開口を増圧弁の弁座として、移動部材の調圧室内の部分を増圧弁の弁体として機能させる。このようにすれば、増減圧時に、弁が開弁する方向に作動液を流すことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】増圧弁及び減圧弁の各々の弁体と弁座との間を流れる作動液が各弁を開弁する方向に流れる液圧弁装置を提供する。
【解決手段】高圧室２５２と調圧室２７２とを繋ぎ調圧室側の開口が増圧弁の弁座である第１室間部２４０と、低圧室２２８と調圧室とを繋ぐ第２室間部２０８とを有するハウジングと、ハウジング内を移動可能であり、増圧弁の弁体２４８が形成された第１部材２４６と、第２室間部に挿入状態で移動可能であり、減圧弁の弁座が形成された第２部材２６０と、低圧室内を移動可能であり、減圧弁の弁体が形成された第３部材１８２と、第３部材を減圧弁の弁体が弁座に接近する方向である第１方向に移動させる移動器１８４とを備えた液圧弁装置において、第２部材の第１方向への移動に伴って第１部材を第１方向の反対方向へ移動させるように構成する。このように構成すれば、液圧を増減圧する際に作動液を、弁が開弁する方向に流すことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】電磁ソレノイドを用いた電磁比例減圧弁では、電磁ソレノイドが残留磁界によるヒステリシス成分を有するために、圧力特性にヒステリシス成分が影響してしまい、精密な制御ができなかった。
【解決手段】弁部と、弁部に押圧力を与えるピストン部と、ピストン部に外嵌するシリンダ部と、ピストン部が弁部を押圧する押圧方向に移動できるようにピストン部とシリンダ部に固定されて、シリンダ部の一部に気密空間を形成する仕切幕とを備える減圧弁。 （もっと読む）

【課題】構成の簡素化を図りながら、回転位置検出の信頼性を向上して、回転出力軸の回転位置をきめ細かく検出できる圧力制御装置の提供。
【解決手段】回転出力軸Ｊ２の回転が基準用減速機構Ｓ２により減速されて伝達された第１減速回転軸Ｊ３の回転位置を検出する第１回転位置検出センサ２７と、回転出力軸Ｊ２の回転位置又は回転出力軸Ｊ２の回転が基準用減速機構Ｓ２よりも減速率が低い低減速率用減速機構により減速されて伝達された第２減速回転軸の回転位置を検出する第２回転位置検出センサ２６と、第１回転位置検出センサ２７の検出情報に基づいて回転出力軸Ｊ２の回転数を求め、且つ、第２回転位置検出センサ２６の検出情報に基づいて回転出力軸Ｊ２の回転角度を求め、それら求めた回転出力軸Ｊ２の回転数及び回転角度から回転出力軸Ｊ２の回転位置を求める回転位置演算手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】発生させる負圧を安定化することができる真空圧制御装置及び真空圧制御方法を提供する。
【解決手段】気体供給源８から供給される気体流量を制御することにより気体が供給される負圧発生装置に発生させる負圧を安定化する真空圧制御装置及び制御方法であって、負圧発生装置で発生された負圧の圧力を圧力センサ１０により検出し、検出された圧力値Ｐと、予め記憶されている目標負圧Ｐ_０とが異なる場合に、予め定められた負圧と気体流量との関係式とに基づき、目標気体流量Ｆ_０を第１の制御装置１３で求め、第２の制御装置１４が、目標気体流量Ｆ_０に基づいて流量コントローラ９による流量を目標気体流量Ｆ_０とし、かつ負圧発生装置２に現に供給されている気体流量を流量センサ１１で検出し、第２の制御装置１４において、検出された気体流量Ｆと目標気体流量Ｆ_０とを比較し、気体流量Ｆが気体流量Ｆ_０となるように流量コントローラ９の流量を設定する、真空圧制御装置及び真空圧制御方法。 （もっと読む）

【課題】チャンバ室の圧力を目標圧力降下勾配に近づけるように電動真空弁の弁開度を切り換える設定点を簡単かつ安価に設定できる電動真空弁による排気速度制御方法を提供すること。
【解決手段】電動真空弁２１の弁開度を等比倍数に従って段階的に制御し、弁開度毎に、真空ポンプ１３により粘性流領域から排気を行わせ、圧力センサ１５によりチャンバ室の真空圧力を測定して圧力降下カーブＹ１，Ｙ２，Ｙ３，Ｙ４を実測した後、圧力降下カーブＹ１，Ｙ２，Ｙ３，Ｙ４を目標圧力降下勾配Ｘに近似させるように時間的にずらし、圧力降下カーブ同士の交点を電動真空弁２１の弁開度を切り換える設定点Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３に決定し、その後、設定点Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３に基づいて電動真空弁２１の弁開度を切り換え、粘性流領域における排気速度を制御する。 （もっと読む）

【課題】流量制御弁において、制御上の有効ストローク幅をより大きくし、分解能をより高くするとともに、それに伴い、外乱等によるストロークの微小変動に対しての許容幅も大きくする。
【解決手段】流量制御弁１に、内部に入口側流路３及び出口側流路４を有する弁ボディ２と、この弁ボディ２の入口側流路３と出口側流路４との間に設けられ、前記入口側流路３に連通する横孔５ａを設けてなる筒状のスリーブ５と、このスリーブ５の内部を進退可能である球状の弁体６とを具備し、この弁体とスリーブの横孔との隙間を流体が通過する。 （もっと読む）