【課題】大気連通孔を介して異物や水分が侵入し難く、ピストン室内におけるシール面の摩耗や腐食を抑制できる、流体用レギュレータを提供する。
【解決手段】高圧流体が導入される流体入口５と、流体圧力を調整する調圧室２７と、流体入口５と調圧室２７とを連通させる連通路８が形成された弁座シート１２と、弁座シート１２に当接離間する調圧バルブ１０と、調圧バルブ１０に連結されたピストン２５と、ピストン２５を収容するピストン室２０とを有し、流体の導入に伴う調圧室２７内の圧力変動によりピストン２５を介して調圧バルブ１０を開閉する流体用レギュレータ１である。ピストンハウジング３には、ピストン室２０と大気とを連通する大気連通孔２１が設けられており、大気連通孔２１には、気体の出入りを許容するが、異物や水分の侵入を防止する多孔質フィルム２２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】必要流量が多く、このため流量を増大させるべく減圧弁の弁孔の径を大きく設定した場合でも調圧シャフトの作動が安定し、よって精度良く減圧することができる減圧弁を提供する。
【解決手段】調圧シャフトは、弁体部を軸方向の真ん中としてその弁座側に配置された上部シャフト部と、反対側に配置された下部シャフト部とを同軸上に有する。上部シャフト部は、弁座部内周の弁孔に差し込まれて調圧ダイアフラムに連結される。下部シャフト部は、その上端部で弁体部に連結され、下端部でスライド穴にスライド可能に差し込まれる。下部シャフト部の外径をａ、弁座部のアール先端径をｂ、弁孔の内径をｃ、上部シャフト部の外径をｄとして、ｄ＜ｃおよびｃ＜ｂであるとともにａ＝ｂに設定される。 （もっと読む）

【課題】高い制御性を有し、小型で耐食性、耐久性に優れる排気圧力コントローラを提供する。
【解決手段】排気圧力コントローラの駆動部分にゴム膨張バルブを用いることにより、ダンパー制御を精度良く行うことができる。即ち、貫通流路を有する硬質なボディと、前記貫通流路内に配置される膨張部材と、前記膨張部材を含んで形成される気密空洞と、を有するバルブと、
前記貫通流路の圧力及び／又は流量を測定する圧力／流量計測手段と
前記気密空洞に制御用気体を給気又は排気することにより、前記膨張部材を膨張又は収縮させて前記貫通流路の流路断面積を変化させる給排気制御手段と
を用いて排気圧力コントローラを構成する。 （もっと読む）

【課題】既存の圧力レギュレータに付随する「降圧」および「昇圧」の問題と、保守性の問題を解決した自己調整圧力レギュレータを提供する。
【解決手段】あらかじめ定められた圧力にプロセスにおける流量を維持するためのインテリジェント圧力レギュレータ１０であって、レギュレータの性能を向上させ、自己診断および通信能力を与える電子制御器を含む。電子制御器は、制御されている流体の圧力を示す信号を与える圧力センサと、絞り要素の位置を調整する調整圧力と、制御されている流体の圧力を示す信号を受信し、この信号に応答にしてアクチュエータに調整圧力を与えるＰＩＤ制御器３４とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は遮断機能を有する真空制御バルブの設計自由度を高める技術を提供する。
【解決手段】本発明は、真空容器と真空ポンプとの間に接続され、作動流体によって弁開度を操作して真空容器内の真空圧力を制御する真空制御バルブ３０を提供する。本真空制御バルブ３０は、リフト量の調節による弁開度の操作と遮断とを行う弁体３３とピストンとを有する動作部と、ピストンを収容するシリンダ３１と、リフト量が小さくなる方向に動作部を付勢する付勢部と、ピストンの外周面とシリンダ３１の内周面との間の隙間を、ピストンの動作に追従しつつ密閉するベロフラム３４と、ベロフラム３４によって密閉され、作動流体の作用圧力に応じてリフト量を大きくする方向に荷重を発生させる弁開度操作室と、作動流体の供給に応じて動作部に対してリフト量を小さくする方向に荷重を発生させる遮断荷重発生室と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ガス流路に配設した流路弁が供給側ガス圧の影響を受けず、出口側ガス圧を安定的に維持できるとともに、構造が簡単で、部品点数が少なく低コストの減圧装置を提供すること。
【解決手段】ガス流路に配設した流路弁２２を有天筒状の弁体で構成し、この流路弁２２の周壁２２ａをガス供給口２１ａ１、２１ａ２の開口面と平行に摺動させることによって、流路弁２２の摺動方向に長いスリット状の複数のガス供給口２１ａ１、２１ａ２を開閉するようにするとともに、流路弁２２によるガス供給口２１ａ１、２１ａ２の閉鎖側のガス供給口２１ａ１、２１ａ２の長さを複数のガス供給口２１ａ１、２１ａ２の間で異なるように形成する。 （もっと読む）

【課題】真空容器の真空引きの過程において発生するパーティクルの巻き上がりを抑制する技術を簡易に実装する技術を提供する。
【解決手段】真空制御バルブ１００は、真空容器に接続される上流側流路１４１と、真空ポンプに接続される下流側流路１４２と、を含む流路１４０と、弁開度を操作することによって、上流側流路１４１と下流側流路１４２との間のコンダクタンスを変化させる開閉弁１１０と、上流側流路１４１の内部の圧力を計測する圧力センサ１２０と、上流側流路１４１の目標圧力値を予め設定された時間関数として変化させ、計測された圧力と目標圧力値との間の偏差に応じて開度を操作する制御部１５０と、を備え、制御部１５０は、真空制御バルブ１００の外部からの開始入力に応じて、コンダクタンスを操作することによって偏差を小さくする制御を開始する。コンダクタンスは、ゼロから予め設定された範囲までの連続した範囲で操作することができる。 （もっと読む）

【課題】圧力制御性の低下を抑制しつつ流体圧力の発振を抑制することができる流体制御弁を提供する。
【解決手段】流体制御弁１０は、ボトムプレート１２、ボディ１４、カバー１６を備える。ボディ１４には上流側流体室２２及び下流側流体室２４を介して流入口１８と流出口２０とが連通可能とされ、各流体室２２，２４間は弁体２６により連通及び遮断される。弁体２６は軸部３０と可撓性膜部２８とを備え、軸部３０の端部にはバネ受け部材３９が設けられている。バネ受け部材３９の小径部３９ｂには、規制部１２ａ側へ変位可能な径拡張部５１が設けられ、径拡張部５１の外周にはＯリング５７が設けられている。そして、バネ受け部材３９の調整用孔に調整ねじ５５を締め込むことで径拡張部５１を規制部１２ａ側に変位させ同規制部１２ａをＯリング５７を介して押圧する。また、調整ねじ５５の締め込み量を調整することで径拡張部５１の変位量を調整できる。 （もっと読む）

【課題】圧力制御性の低下を抑制しつつ流体圧力の発振を抑制することができる流体制御弁を提供する。
【解決手段】流体制御弁１０は、ボトムプレート１２、ボディ１４、及びカバー１６を備えている。ボディ１４には流入口１８及び流出口２０が設けられ、流入口１８は上流側流体室２２及び下流側流体室２４を介して流出口２０と連通可能とされている。上流側流体室２２及び下流側流体室２４間は弁体２６によって連通及び遮断される。弁体２６は、軸部３０と、該軸部３０に連結される可撓性膜部２８とを備え、軸部３０のボトムプレート１２側端部には、バネ受け部材３９が組み付けられている。バネ受け部材３９は、略円柱状の小径部３９ｂを有し、小径部３９ｂの外周側には環状に形成されたボトムプレート１２の規制部１２ａが設けられている。小径部３９ｂと規制部１２ａとの間には所定の隙間４８が設けられ、その隙間４８には真空用グリス５０が充填されている。 （もっと読む）

ガス流れ圧力調整器（３００）を通って流れるガスの圧力調整する調整器弁アセンブリ（２００）内で使用するための弁ポペット（５４）が提供される。弁ポペットは、弁棒（５２）の上下の動きを軸方向に可能にするために、可撓性部分（６０ａ）を有する弁体（５４）を含む。弁体は、事前に負荷をかける力を提供して弁座（７０）内で弁体を自己整合させて弁棒の運動を軸方向に抑制するエッジ部分（６０ｂ）を有することができる。弁棒（５２）は、封止部分（５８）から弁体に対して垂直に延びることができる。弁棒の動きは軸方向に抑制され、その結果、弁を開閉すると、可撓性部分の上下の動きが生じる。弁体の可撓性部分および端部部分は、弁体を自己整合させて軸方向に抑制する複数の渦巻き状アームから形成することができる。
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【課題】弁体を適正に開閉動作させることができる圧力調整弁等を提供する。
【解決手段】隔壁７６を隔ててバルブハウジング６４内に形成され、流入ポート７１に連通する１次室６７および流出ポート７４に連通する２次室６８と、１次室６７と２次室６８とを連通する連通流路６９と１次室側開口縁部を弁座として、連通流路６９を１次室６７側から開閉する弁体７０と、弁体７０を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体７３と、隔壁７６に対向する１次室６７の１の壁面を受けとして、受圧膜体７３と拮抗しつつ弁体７０を閉弁方向に付勢する弁体ばねと、を備え、弁体７０は、１次室６７に配設され弁座に対し直接開閉動作する弁体本体８１と、これを保持する保持部と、を有し、受圧膜体７３は、膜体本体７３ａの中心部に同心上に接着された受圧板７３ｂから延び連通流路６９を挿通して保持部に当接する作動軸部７３ｃを有している。 （もっと読む）

【課題】外部の部品を必要とすることなく減圧機能を解除でき、減圧解除を行なう部分が外部に突出したり露出したりすることを防ぎつつ、通常使用時と減圧機能の解除時との切り換えを容易に実施できる減圧弁を提供することにある。
【解決手段】上流側入口１０と下流側出口１１とを有する減圧弁本体１内に弁体３を有する弁棒４を上下動自在に設け、この弁棒４をダイヤフラム７の下流側流体圧とスプリング５の弾発力とで調圧可能に設けた減圧弁である。この減圧弁は、減圧弁本体１の上端を被蓋するキャップ８の内側に先端に凸部３１を有する反転操作杆９の何れか一端側を装着して減圧弁本体１に内蔵させると共に、この減圧機能を解除する際は、反転操作杆９の凸部３１側を下端に、かつ、上端側をキャップ８に装着してこの凸部３１で弁棒４を押圧させ、通常使用時は、凸部３１側をキャップ８の内側に装着して当該キャップ８を弁棒４に対して非押圧状態とした。 （もっと読む）

【課題】 ディスク状主弁体が小刻みに開閉弁を繰り返すチャタリング現象を生じない安価な減圧弁を提供すると共に、ディスク状主弁体の凸部を短くできる減圧弁を提供する。
【解決手段】 弁ケーシング１に入口２と出口３を形成する。入口２と出口３を連通する主弁口５を開けた弁座部材４を弁ケーシング１に取り付ける。主弁口５を開閉するディスク状主弁体６をコイルバネ１７で閉弁方向に付勢して配置する。コイルバネ１７のピッチをディスク状主弁体６に近い側は小さくし、ディスク状主弁体６に遠い側は大きくした不均等ピッチのコイルバネ１７にすると共に、ディスク状主弁体６のコイルバネ１７当接面に凸部１０を設けて、当該凸部１０の外周にコイルバネ１７のピッチの小さな部分を位置させてコイルバネ１７のディスク状主弁体６に近い側を保持する。 （もっと読む）

【課題】 ベローズの損傷を防止できる減圧弁を提供する。
【解決手段】 弁ケーシング１に入口２と出口３を形成する。入口２と出口３を連通する主弁口５を開けた弁座部材４を弁ケーシング１に取り付ける。弁座部材４に対向して主弁体６を配置する。弁座部材４の主弁体６側にベローズ１０の一端を固着し、ベローズ１０の他端に環状の可動弁座１１をその軸方向に変位且つ傾斜自在に固着する。出口側圧力と設定圧力との偏差に基づく受圧応動部としてのダイヤフラム２１の変位により主弁体６を駆動して可動弁座１１に離着座させることにより主弁口５を開閉して出口３側圧力を設定圧力に維持する。ベローズ１０の内部を可動弁座１１から弁座部材４に向かって伸び可動弁座１１が弁座部材４方向に所定量変位したときに弁座部材４に当接するストッパ部材１５を設ける。 （もっと読む）

【課題】付勢手段を有する減圧弁において、ピストンの傾きを抑える減圧弁を提供することである。
【解決手段】減圧弁１０は、１次圧流体が供給される入力室１１３と、連通路１１１を介して入力室１１３と接続され、２次圧流体が出力される出力室１１４と、出力室１１４の内壁に沿い軸方向に移動可能なピストン１０８と、ピストン１０８を軸方向に付勢する付勢手段と、ピストン１０８と連動して軸方向に移動し、連通路１１１を開閉する弁体１１０と、を備え、付勢手段は、出力室１１４内に配置され、有効巻数がｎを整数として、ｎ＋０．５のコイルバネ１０４である。 （もっと読む）

【課題】 パイロットステムとステムガイドの間及びパイロット弁口とパイロット弁体の間に異物が付着し難い減圧弁のパイロット弁構造を提供する。
【解決手段】 入口２と出口３の間に主弁口５を設け、出口３側圧力が設定圧力よりも低下したことを受圧応動部としてのダイヤフラム２１が検出してパイロット弁１２を開弁させることにより、主弁口５を開弁させて出口３側圧力を設定圧力に維持する。パイロット弁１２はパイロットステム１０と、パイロットステム１０を摺動案内するステムガイド１１と、パイロット弁口２０と、パイロット弁口２０を開閉するパイロット弁体１５から形成する。パイロットステム１０とパイロット弁体１５を合成樹脂で形成する。パイロットステム１０とパイロット弁体１５の中心にパイロットステム１０とパイロット弁体１５の材質よりも比重の大きなおもり１９を設ける。 （もっと読む）

【課題】比例帯ゲインが大きいと圧力降下により安定性が悪化し、比例帯ゲインが小さいと精度が悪くなるため、異なる用途に対しては異なるレギュレータが設計されていた。
【解決手段】凹部４１６の形状は、凸部４１４と接触する凹部４１６の壁が弁棒４１２の長手方向の軸に対して直角にならないような角度に形成する。弁棒４１２の長手方向の軸に対して直角に加えられる力は、弁ガイド４１８に対抗して側面方向のの荷重をかけることにより、弁棒４１２と弁ガイド４１８との間の摩擦力を上昇させる。この摩擦力の上昇は、制御ポイントにおける弁棒４１２及び弁棒に接続された第一の端部と、ダイアフラムに接続さ弁体４１１の振動を実質的に最小化または削除するように機能し、圧力降下が大きな場合であっても非常に安定なレギュレータを提供できる。 （もっと読む）

【課題】減圧弁の応答性を向上させるとともに調圧精度を高める。
【解決手段】ハウジング１１には一次側ポート１５と、一次側ポート１５に連通孔１７を介して連通する二次側ポート１６が設けられ、連通孔１７の弁座１８は弁体２１により開閉される。弁体２１に対向してハウジング１１内に設けられたダイヤフラム２５と弁体２１との間に配置されるステム４１は、ガイド孔４３に摺動自在に支持されており、リリーフ孔３０を開閉する先端の当接面４５と、弁体２１に当接する突き当て面４７とを有し、ガイド孔４３にフローティング状態となって支持されている。弁体２１にはこれを閉じる方向のばね力が弁ばね２３により加えられており、弁ばね２３から弁体２１にこれを傾斜させる方向の偏角荷重が加わっても、突き当て面４７と弁体２１との間で偏角荷重が遮断されてステム４１には軸方向のばね力のみが伝達される。 （もっと読む）

【課題】１次側に供給された流体の圧力変動に起因する２次側の流体圧力の変動域を所望の範囲に設定できる減圧弁を提供する。
【解決手段】１次圧をＰ_１、２次圧をＰ_２、ピストン３５が圧力室５１内の流体から受ける圧力の受圧面積をＡ_１、弁体２６が連通路１６内の流体から受ける圧力の受圧面積をＡ_２、弁体２６が１次側流体通路内の流体から受ける圧力の受圧面積をＡ_３、弁体２６の外圧受圧面３４の面積をＡ_４、荷重スプリング４５のバネ荷重をＦ_１、バルブスプリング３３のバネ荷重をＦ_２とすると、次式が成り立つ。


上記式中、２次圧Ｐ_２が１次圧Ｐ_１によって影響を受ける因子は、Ｐ_１×（Ａ_３−Ａ_４）であるから、この因子を制御することにより、所望の２次圧特性を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】弁体に流体通路の外部の圧力が作用する外圧受圧面を形成した減圧弁において、流体通路の２次側に残圧が残らない減圧弁を提供する。
【解決手段】減圧弁１の１次側ポート７に供給された流体の圧力によって、弁体４２が弁座１９に押し付けられる力を減殺するように、弁体４２に弁室４１の外部の圧力が作用する大気圧受圧面４４を形成する。バルブスプリング４３には、大気圧受圧面４４を形成することによって減殺されたシート圧力を補完するバネ荷重を付与する。減圧弁１の流体通路の２次側を１次側に連結するバイパス通路２３を形成し、弁体４２が１９弁座に密着することによって流体通路が閉鎖され、かつ、１次側の流体圧力が２次側の流体圧力よりも低圧であるときに、バイパス通路２３を介して、流体通路の２次側から１次側に流体を吐出させるように構成する。 （もっと読む）