自己整合式の軸方向に抑制された調整器弁アセンブリ
ガス流れ圧力調整器(300)を通って流れるガスの圧力調整する調整器弁アセンブリ(200)内で使用するための弁ポペット(54)が提供される。弁ポペットは、弁棒(52)の上下の動きを軸方向に可能にするために、可撓性部分(60a)を有する弁体(54)を含む。弁体は、事前に負荷をかける力を提供して弁座(70)内で弁体を自己整合させて弁棒の運動を軸方向に抑制するエッジ部分(60b)を有することができる。弁棒(52)は、封止部分(58)から弁体に対して垂直に延びることができる。弁棒の動きは軸方向に抑制され、その結果、弁を開閉すると、可撓性部分の上下の動きが生じる。弁体の可撓性部分および端部部分は、弁体を自己整合させて軸方向に抑制する複数の渦巻き状アームから形成することができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
関連出願
本願は、2009年5月7日出願の米国仮特許出願第61/176,184号の利益を主張する。同願を、参照により本明細書に組み込む。
【0002】
本発明は、ガス流れ圧力調整器を対象とし、より詳細には、自己整合式の軸方向に抑制された調整器弁ポペット、ならびに関連する調整器弁アセンブリ、および調整器弁アセンブリを含む調整器を対象とする。本発明は、たとえば半導体デバイスを製造する際に使用される調整器などの比較的低流量のシステムで使用される圧力調整器に特に適用される。
【背景技術】
【0003】
ガス流れ圧力調整器とは、比較的高い入力圧力を調整可能な比較的一定のより低い出口圧力へ低減させるデバイスである。図1は、従来の圧力調整器100を示す。圧力調整器100は、上部またはレンジアセンブリ10および下部アセンブリ20を含むことができ、上部アセンブリと下部アセンブリの間に隔膜30が位置決めされる。レンジアセンブリ10はほぼ従来通りであり、レンジばね12と、当技術分野では周知の関連する支持および収容構造とを含むことができる。
【0004】
下部アセンブリ20は、入口22と、出口24と、入口から出口へのガス流れの圧力を調整する弁アセンブリ40とを含む。弁アセンブリ40は、弁44に作用する弁ばね42を含むことができる。弁44は、隔膜30を押す弁棒47に隣接する弁ポペット46を含む。弁44は、ガス流れを制御する一部として、弁ばね42によって付勢されて弁座48に押し付けられる。下部アセンブリ20は、当技術分野では周知の追加の関連する支持構造を含むことができる。
【0005】
圧力調整器は、入口22から弁アセンブリ40を通って出口24へ流れるガスの圧力を制御するために、次のように動作する。弁ばね42は、弁44に負荷をかけて弁座48に押し付け、ガスの流れを止める。たとえば、半導体の製造で使用される例示的な調整器では、弁ばねは、弁44に負荷をかけて約1.361kg(3ポンド)の力で弁座に押し付け、レンジばねの負荷がなくても漏れない封止を実現することができる。レンジばね12の上端部14は、ねじ山を切った棒16によって圧縮され、下方への負荷を生じさせる。この下方への負荷により、隔膜30を下方へ駆動して弁40を弁座48から離し、それによってガスは、隔膜30より下のチャンバ49内へ流れることができる。隔膜30は通常、弁棒47と連通する比較的平面の表面をもつ弾性部材である。隔膜は、ガスが大気中へ逃げるのを防止するように作用する一方、レンジばね12から弁アセンブリ40へ負荷を伝えるのに十分な可撓性をもつ。上部アセンブリ10内のつまみ11は、レンジばね12に力をかけるように使用者によって回すことができる。このレンジばねの力は、隔膜30によって弁アセンブリ40へ伝えられ、弁座48から弁44を動かし、弁を通ってガスの流れを可能にする。隔膜領域に作用する圧力がレンジばねの力に等しい力を生成するとき、システムは均衡し、デバイスはその圧力を維持して、定圧のガス流れを出口に提供する。
【0006】
図2は、レンジばね12、隔膜30、および弁アセンブリ40を含む部分における圧力調整器100のより拡大した図を示す。図2の凡例は、当業者には理解されるように、この従来の圧力調整器が動作する圧力と力の関係を特定する。そのような関係の結果、調整器弁を越えると、比較的高圧の入力ガス流れを一定のより低い出力ガス流れに変換することができる。
【0007】
図2に示す力の均衡関係の結果、基本的な性能特性が得られ、それらを曲線で表すことができる。例示的な性能特性曲線を図3に示す。図3は、出口圧力を流れの関数として示す。図3から理解できるように、流れが増大すると、弁がさらに開くはずであり、その結果、より小さいレンジばねの力で隔膜を押し下げる。その結果、出口圧力はより低くなる。
【0008】
流れがゼロに近づき、すなわち弁が閉じた状態に近づくと、図3の曲線は、上方への勾配で急な増大を示す。この急な勾配の増大は、弁座48に弁44を封止するのに必要な力を示す。流れている状態では、隔膜30の両側にかかる力は、弁を弁座から隔置して弁を通ってガス流れを可能にするように均衡される。ガス流れが流れを止める方へ低減される(すなわち、弁が閉じられている)ときは、弁と弁座の間に封止を生じさせるのに十分な力が生じるまで、出口圧力は上昇し、弁にかかる下方への負荷を低減させる。弁と弁座の間に封止を生じさせるために発生する圧力の増大は、当技術分野では「クリープ」と呼ばれる。
【0009】
上記の従来の圧力調整器には、図4および図5に示す欠陥がある。前述のように、調整器の出口圧力を最終的に決定する力の均衡は、ばねの使用によって作り出される。理想的な調整器では、すべての構成要素が互いに対して完全に中心で位置合わせされるはずであり、ばねの負荷はすべて、ポペットが進行する軸に沿って中心で位置合わせされるはずである。実際の動作では、これらの構成要素は通常、完全には中心で位置合わせされず、ばねからの力は、ポペットが進行する軸に完全には沿っていない。
【0010】
圧力調整器の構築で通常使用される図1および図2に示すものなどの従来の螺旋状のばねは、ポペットが進行する方向に対して1〜2度の範囲で垂直な平面内に接地端部が位置するように製作される。さらに、これらの端部は、ばねが圧縮されるにつれて、さらに垂直ではなくなる。構成要素の不整合および軸方向以外のばねの負荷の結果、弁座に対してポペットの横方向の負荷が生じる。この軸方向以外の非対称形のばねの負荷、およびその結果生じる横方向の負荷を図4に示す。弁座に対する弁の横方向の負荷は、弁の動きに関連する摩擦を増大させ、弁が運動を受けにくくなる。したがって、弁を開く力が、増大した摩擦力をまず克服しなければ、弁は動くことができない。
【0011】
増大した摩擦力のため、力で弁を開こうとすると、弁は最初に引っかかる傾向がある。開く力が摩擦を克服するのに十分になると、弁は理想的な位置を行き過ぎ、その結果、流れに一時的なスパイクが生じる。次いで弁は、理想的な位置に回復する。この行過ぎおよび回復を、図5の図に示す。行過ぎに関連する突然の圧力変化は、特に比較的低流量のシステムでは、下流の構成要素の性能を損なうことがある。たとえば、下流の性能は特に、半導体デバイスの製造で用いられる質量流量制御装置で損なわれることがある。
【0012】
弁座の摩耗は、従来の圧力調整器弁アセンブリ内の構成要素および力の不整合から生じる第2の欠陥である。この欠陥もまた、流量に関連して高い弁ストローク量を有する弁における特定の問題であり、低ストロークの適用分野よりはるかに大きい弁座摩耗を引き起こす傾向がある。弁座摩耗の結果には、クリープ圧力の増大、また最終的に弁座からの漏れが含まれる。高いストロークサイクルによる性能の劣化は、少なければ2000サイクルで観察される可能性がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0013】
本発明は、従来の圧力調整器の欠陥を克服する、ガス流れ圧力調整器向けの改善された調整器弁アセンブリを提供する。詳細には、本発明は、調整器弁および/または弁の力の不整合のリスクを低減させ、それによって弁の摩擦および弁座の摩耗を低減させる改善された調整器弁アセンブリを提供する。
【課題を解決するための手段】
【0014】
従来の圧力調整器弁のそのような欠陥を克服するために、本発明の一態様は、ガス流れ圧力調整器を通って流れるガスの圧力を調整する調整器弁アセンブリである。例示的な実施形態では、調整器弁アセンブリは、弁座と、弁座に対して開いた位置と閉じた位置の間を動ける弁とを含む。弁は弁体を含むことができ、弁体は、弁を開閉するように軸方向に上下に動ける可撓性部分と、弁座内で弁体を自己整合させて可撓性部分の運動を軸方向に抑制するように構成されたエッジ部分とを有する。弁体の可撓性部分は、横方向のばね力係数および軸方向のばね力係数を有し、横方向のばね力係数は、軸方向のばね力係数より大きく、したがって弁体を横方向に整合させて可撓性部分の運動を軸方向に抑制する。
【0015】
調整器弁アセンブリの別の例示的な実施形態では、弁は、弁体の封止部分から垂直に延びる弁棒をさらに含むことができ、弁棒の上下の動きの結果、可撓性部分の軸方向のたわみが生じる。封止部分は、少なくとも部分的に弾性材料から形成することができ、弁体の可撓性部分およびエッジ部分は、金属の耐腐食性材料から形成することができる。別法として、弁は、弁体および弁棒を形成する一体型の部品とすることができる。弁体はまた、弁体を通ってガス流れを可能にするための少なくとも1つの空間を画定することができる。
【0016】
調整器弁アセンブリの別の例示的な実施形態では、弁体は、弁体の可撓性部分およびエッジ部分を形成する複数の渦巻き状アームを含む。渦巻き状アームは、弁座内で弁体を自己整合させるように径方向に内方へ圧縮可能である。複数の渦巻き状アームは、弁体の外側部分を形成することができ、弁棒を受け取るように封止部分から外方へ渦巻き状であり、渦巻き状アームのエッジ部分は、可撓性部分の上下の動きを軸方向に抑制するように弁座に固定することができる。弁棒の上下の動きの結果、可撓性部分の軸方向のたわみが生じる。
【0017】
調整器弁アセンブリの別の例示的な実施形態では、渦巻き状アームのエッジ部分は、封止部分を軸方向に上方へ付勢して弁を封止するように、軸方向に互いからずらして弁座内で固定することができる。それぞれの渦巻き状アームの端部部分は、弁座の受取り部分と協働する端部突起から形成することができる。弁座は、弁体の端部部分を受け取るばねカップと、ばねカップおよび弁体を保持するようにばねカップを少なくとも部分的に巻き込む湾曲した支持部とを含むことができる。ばねカップと湾曲した支持部の間の空間は、封止ガスケットで封止することができる。弁座は、棚部をさらに含むことができ、弁体は、弁座内で弁体を固定するように棚部とばねカップの間に位置決めされる。ばねカップは、弁体に負荷をかけて弁体を軸方向に上方へ付勢する環状部を形成することができる。調整器弁アセンブリはまた、弁座に固定された仕切りを含むことができ、仕切りおよび弁体は、ガスの流れのために仕切りと弁体の間で弁内空間を画定する。
【0018】
本発明の別の態様は、入口から調整器弁アセンブリを通って出口へ流れるガスの圧力を調整するガス流れ圧力調整器である。圧力調整器の例示的な実施形態は、レンジばねと、上記の調整器弁アセンブリと、レンジばねと調整器弁アセンブリの間の隔膜とを含むことができる。入口から調整器弁アセンブリへのガス流れの第1の圧力は、調整器弁アセンブリによって、調整器弁アセンブリから出口への第2の定圧のガス流れに変換される。
【0019】
ガス流れ圧力調整器の別の例示的な実施形態では、調整器弁アセンブリの弁体は、弁棒を付勢して隔膜に押し付け、レンジばねに加えられる力は、弁棒を軸方向にずらして、調整器弁アセンブリを通って流れガスを可能にする。弁体は、弁棒の運動を中心に整合させて軸方向に抑制する。
【0020】
本発明の別の態様は、圧力調整器アセンブリを通って流れるガスの圧力を調整する方法である。方法の一実施形態は、弁座を提供するステップと、弁座に対して開いた位置と閉じた位置の間を動ける弁を提供するステップとを含むことができる。弁は、弁を開閉するように軸方向に上下に動ける可撓性部分とエッジ部分とを有する弁体を含むことができる。方法は、弁座内で弁を位置決めするステップをさらに含むことができ、エッジ部分は、弁座内で弁体を自己整合させて可撓性部分の運動を軸方向に抑制する。
【0021】
方法の別の実施形態は、複数の渦巻き状アームを提供して弁体の可撓性部分およびエッジ部分を形成するステップをさらに含むことができる。弁の位置決めは、渦巻き状アームを軸方向にずらし、弁を付勢して弁座に押し付けて弁を封止するステップをさらに含むことができる。
【0022】
本発明のこれらの特徴およびさらなる特徴は、以下の説明および添付の図面を参照すると明らかになるであろう。これらの説明および図面では、本発明の特定の実施形態について、本発明の原理を用いることができる方法の一部を示すものとして詳細に開示したが、本発明はそれに対応して範囲の点で限定されないことが理解される。逆に、本発明は、本明細書に添付の特許請求の範囲の精神および条件の範囲内に入るすべての変形形態、修正形態、および等価物を含む。
【0023】
一実施形態に関して説明および/または図示する特徴は、1つもしくは複数の他の実施形態で、および/または他の実施形態の特徴と組み合わせて、もしくは他の実施形態の特徴の代わりに、同じ方法または類似の方法で使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【0024】
【図1】従来のガス流れ圧力調整器を示す概略図である。
【図2】従来のガス流れ圧力調整器の力関係を示す、図1の従来の調整器の一部分の概略図である。
【図3】従来のガス流れ圧力調整器に対する出口圧力のグラフ関係を流れの関数として示すグラフである。
【図4】従来のガス流れ圧力調整器に対する従来の弁構成で発生しうる非対称形の負荷を示す、図1の従来の調整器の一部分の概略図である。
【図5】従来のガス流れ圧力調整器で発生しうる圧力の行過ぎおよび流れスパイクのグラフである。
【図6】本発明の実施形態によるガス流れ圧力調整器弁アセンブリ内で使用するための弁ポペットおよび弁棒を有する例示的な弁の概略斜視図である。
【図7A】図7Aは、本発明の実施形態による圧力調整器で使用するための図6の弁を含む例示的な調整器弁アセンブリを示す概略図である。
【図7B】図7Bは、本発明の実施形態による圧力調整器で使用するための図6の弁を含む例示的な調整器弁アセンブリを示す概略図である。
【図8】本発明の実施形態による完全に組み立てた弁アセンブリの概略斜視図である。
【図9A】図9Aは、本発明の実施形態による図8の調整器弁アセンブリを含む例示的な圧力調整器を示す概略図である。
【図9B】図9Bは、本発明の実施形態による図8の調整器弁アセンブリを含む例示的な圧力調整器を示す概略図である。
【図10】弁棒のねじ山を切った部分が隔膜上に提供されるねじ山を切った受取り部と協働して弁棒を隔膜に固定する、例示的な圧力調整器の一部分を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【0025】
本発明の実施形態について、図面を参照して次に説明する。図面全体にわたって、同じ参照番号を使用して同じ要素を参照する。図は必ずしも原寸に比例しないことが、理解されるであろう。
【0026】
図6は、本発明の実施形態によるガス流れ圧力調整器弁アセンブリ内で使用するための例示的な弁50を示す。弁50は、弁棒52と、弁棒52と物理的に連通する弁ポペット54とを含むことができる。以下でさらに説明するように、弁ポペット54は弁体54の形で提供され、弁体54は、弁体に対する弁棒の上下の動きを可能にするように、軸方向、すなわち弁棒の長手軸の方向に可撓性である可撓性部分を有する。弁体はまた、弁アセンブリ内で弁を位置決めできるように、弁体の中心の方へ径方向に圧縮可能な部分を有する。弁の運動は軸方向に抑制され、したがって弁棒は、弁棒の長手方向軸に沿って上下に本質的に軸方向にしか動くことができない。
【0027】
弁ポペット/弁体54は、より大きい弁アセンブリ内で固定される外側部分60と、弁棒52を取り付けることができる内側封止部分58とを含むことができる。外側部分60は、封止部分58を取り囲む。外側部分60は、事前に負荷をかける力を提供して弁体を自己整合させ、それによって弁棒の動きを軸方向に抑制するように、弁アセンブリ内で固定される。図6の特定の実施形態では、外側部分または弁座キャリア60は、複数の渦巻き状アーム62を含む。図6に示す例示的な実施形態では、外側部分60は、3つのそのような渦巻き状アームを含むが、異なる数のアームを用いることもできることが理解されよう。
【0028】
渦巻き状アームは、可撓性部分60aおよびエッジ部分60bをもつ弁体を提供する。渦巻き状の構成の結果、以下の(非限定的な)例示的な特性が得られる。第1に、渦巻き状の構成は、図示のように弁体の平面に対して垂直方向に、すなわち弁棒52の長手方向軸53に沿って軸方向に、弁体の部分60aに可撓性を提供する。言い換えれば、渦巻き状アームが軸方向に互いに対してずれることによって、上下の動きが提供される。第2に、渦巻き状の構成は、弁体の中心の方へ径方向に、弁体の外側部分60に圧縮性を提供する。以下でさらに説明するように、弁アセンブリ内に弁ポペット/弁体54が配置されると、渦巻き状アームを軸方向にずらすことができる。この結果、事前に負荷をかける力が弁アセンブリ内で弁ポペットを自己整合させ、それによって、弁体の封止部分58および取り付けられた弁棒52を中心に抑制する。そのような自己整合の結果、弁体の可撓性部分60aの動きは、軸方向(すなわち、弁棒の長手方向軸に沿って)に抑制される。各渦巻き状アームは、端部部分64で終端することができる。端部部分64は、より大きい弁アセンブリ内で弁体の固定を実現する突起とすることができる。
【0029】
弁体/弁ポペット54では、渦巻き状アーム以外の構成も利用できることが理解されよう。渦巻き状アームの場合と同様に、そのような他の構成は、静止した弁体の平面に対して上下に動くことができる可撓性部分を有するはずである。そのような他の構成はまた、可撓性部分の運動を軸方向に抑制するように、弁アセンブリ内で弁体の自己整合を実現するはずである。たとえば、弁体の外側部分の代替構成は、可撓性のスポークによって接続された同心円状のリング、弁座に固定するための剛性の周囲をもつ可撓性のスクリーン、内側の弁体部分に接続された円周のばね部材などとすることができる。
【0030】
典型的な適用分野では、弁体が耐腐食性であることが望ましい。渦巻き状アームの所望の軸方向の可撓性および耐腐食性を提供するために、弁体54は、薄い耐腐食性の金属材料から作ることができる。たとえば、弁体は、厚さ0.508mm(0.020インチ)の全硬の316Lステンレス鋼またはHastelloy C276から形成することができる。弁体アームは、方形の横断面を有するように形成することができ、厚さ0.508mm(0.02インチ)は、弁体の径方向の長さ、弁体の中心から外側エッジまで通常約5.182mm(0.204インチ)と比較すると小さい。封止部分58は、弁体の内側部分内に埋め込むことができる。封止部分は、弁体の外側部分と連続したものとすることができ、封止部分は少なくとも部分的に、弾性の封止材料から作られる。たとえば、封止部分は、パーフルオロエラストマ(FFKM)および類似の化合物を含むフルオロエラストマおよび他のフルオロポリマなど、ある種の弾性の合成ゴム状化合物の任意の1つの層を含むことができる。実際には、弁が閉じた位置にあるときに封止材料が弁を封止するのをちょうど可能にする寸法まで、可撓性材料の量を最小にすることが望ましい。
【0031】
図6の特定の実施形態では、封止部分58は円形であり、弁棒を弁体へ接続するように弁体内で中心に位置するが、封止部分58の他の形状および構成を用いることもできる。弁ポペット/弁体54と弁棒52はともに、弁50を形成することができる。一実施形態では、弁体および弁棒は、一体型の部品として共通の材料から成型することができ、その後、封止材料層が追加される。
【0032】
弁50の動作の際には、弁を開くように弁棒52を駆動することによって軸方向に下方へ動かすことで、可撓性部分60aの対応する軸方向の下方へ動きを引き起こし、ガスの流れを可能にする。弁を閉じるには、弁棒から駆動力を取り除くことができ、弁棒は弁体によって上方へ付勢され、弁を封止する。渦巻き状アームは、高い横方向のばね定数を有し、それによって、著しく横方向にずれることなく、弁50の長手方向軸53に沿って互いに対して容易にずれることができる。このようにして、弁棒52の動きは軸方向に抑制され、実質上摩擦のない形で行われる。これに関連して、封止部分58および弁棒52が渦巻き状アーム62によって中心で整合されるため、従来の調整器弁アセンブリの場合のように、弁によって弁座に対する摩擦は生成されない。
【0033】
別の例示的な実施形態では、弁体54は、ポペットを通って(したがって、調整器弁を通って)ガス流れを可能にする空間56を画定することができる。
図7Aは、本発明の実施形態による圧力調整器で使用するための図6の弁50を含む例示的な調整器弁アセンブリ200を部分的に分解した形で示す。図7Bは、図7Aの構成要素の配置を示す。具体的には、図7Aおよび図7Bは、上記の弁50と、弁が封止および開放してガスの流れをそれぞれ制限および可能にする弁座70とを有する調整器弁アセンブリ200を示す。弁50の部分は、図6と同じ参照番号で特定する。
【0034】
図7Aおよび図7Bで見られるように、渦巻き状アーム62は、弁アセンブリ内で、弁アセンブリの軸方向に互いに対してずらして位置決めされる。こうしてずらして位置決めすることで、弁に上方への付勢を提供して、閉じる力を生成し、弁座70に対する弁体の封止部分58の封止に影響を及ぼす。それぞれの渦巻き状アーム62の端部部分から形成される弁体54のエッジ部分60bは、弁座70へ固定される。以下でさらに説明するように、ポペットの進行は、隔膜に対するレンジばねの力、したがって弁棒52に対する力によって駆動される。複数の径方向のアームは、弁棒が軸方向だけに動くのを可能にするように、運動を軸方向に抑制する。軸方向は、弁棒を通る長手方向軸として画定される。
【0035】
径方向の渦巻き状アームは、渦巻き状アームの軸方向の比較的低いばね力係数と比較すると比較的高いばね力係数で、径方向に内方へたわむことができる片持ち梁として作用する。内方へのたわみは、弁座内で弁体を固定するように、組立て時に1回実行される。したがって弁体のエッジ部分60bは、エッジ部分がさらに動かないように固定される。渦巻き状アームのさらに径方向に内方の可撓性部分60aでは、片持ち梁として作用する3つの渦巻き状アームはやはり、動作中にポペットの軸53(図6参照)および弁棒軸に沿ってたわむことができる。前述のように、3つの渦巻き状アームは、比較的高い横方向のばね力係数(軸方向のばね力係数と比較)を有し、それによって封止部分58が横方向に動くのを防止し、それによって軸方向への運動を抑制する。
【0036】
図7Aおよび図7Bにさらに示すように、渦巻き状アームの端部部分64(図6も参照)は、弁座の受取り部分と協働することができる。たとえば、渦巻き状アーム62の端部突起64は、受取り部分として作用するばねカップ72に接触することができる。ばねカップ72は、弁体を自己整合させるためのアーム突起64に対する負荷を維持するために、環状部を形成する。環状部は、アームの突起64を定位置でしっかり保持しながら、径方向のアーム62の要素が付近で動かないように、薄い環状の肩部72aを与える。本実施形態では、環状部の肩部は、普通なら摩擦および粒子の浸食を生成するはずの弁体の可動要素上の摩擦を生じることなく、弁体の周囲を固定する。そのようにアームの突起64はばねカップに固定され、したがって、弁棒52が長手方向軸に沿って上下に動くとき、弁体はばねカップまたは環状部72からずれない。ばねカップおよび環状部72は、支持部材74によって定位置で保持することができる。さらに、ばねカップに対して仕切り80を固定することができ、したがって仕切り80および弁体54は、ガス流れに対する弁内空間76を画定する。したがって仕切り80は、ガス源(図示せず)からポペット/弁体54へのガス流れを可能にする。
【0037】
図8は、完全に組み立てた弁アセンブリ200を示す。図8では、支持部材74の端を曲げて、ばねカップ72を少なくとも部分的に巻き込んでばねカップを固定する湾曲した支持部にした。ばねカップと湾曲した支持部の間に、封止ガスケット73を提供することもできる。湾曲した支持部74は、耐荷力リップ78とも呼ばれる棚部78から連続して延びる。棚部は、封止されるときに弁が付勢される表面を提供する。仕切り80は、封止ガスケット73近傍で、ばねカップと湾曲した支持部の間に固定することができる。
【0038】
上述のように、弁ポペット/弁体54が弁座70内で位置決めされると、渦巻き状アームを互いに対して軸方向にずらして、事前に負荷をかける力を提供し、弁を封止することができる。こうしてずらすことで付勢力を提供し、弁体を自己整合させ、弁ポペットの可撓性部分の運動、したがって弁棒の運動を軸方向に抑制する。その結果、弁棒を正しく整合させて軸方向に抑制し、それによって弁の不整合の可能性を実質上なくす。このようにして、従来の調整器弁の欠陥が回避される。具体的には、渦巻き状アームの事前に負荷をかける力が弁座内で弁ポペットのあらゆる横方向のずれを防止するため、弁ポペットの不整合は発生しない。さらに、弁をずらすために弁と弁座の間で克服すべき摩擦力は生じない。このようにして、弁座の摩耗も回避される。出願人らは、本発明の構成を有する調整器弁が、認識可能な性能の変化なく2百万サイクル以上動作できることを見出した。
【0039】
図9Aおよび図9Bは、本発明の実施形態による図7A〜図7Bおよび図8の調整器弁アセンブリを含む例示的な圧力調整器300を示す。具体的には、図9Bは、円形の部分「D」で示す領域における図9Aの調整器の拡大図である。
【0040】
図9Aを図1の従来の圧力調整器と比較すると、上記のように、従来の調整器弁アセンブリは、弁ばね42と、弁ばねと連通するポペット46とを一方の端部に含み、弁棒47を他方の端部に含む。図9Aおよび図9Bで見られるように、本発明の調整器弁アセンブリ200は、弁ばね42と、従来の弁ポペット46のように構成された弁ポペットとを含まない。逆に、図9Aおよび9Bでは、そのような構造は、弁体54および関連する構造を含む弁50に置き換えられている。さらに、本発明の弁の棚部78は、圧縮部材82を押し、それによって弁アセンブリ200が弁50の動きとは別に動くのを制止するのを助ける。
【0041】
したがって、図9Aおよび図9Bの実施形態では、従来の構成の場合のように弁ばねを用いるのではなく、渦巻き状アーム内の弁体の可撓性部分が弁棒52の上下の動きを可能にする。さらに、渦巻き状アームは、弁座70内で弁ポペット54を自己整合させて軸方向に抑制するが、図1の従来の圧力調整器には、調整器弁アセンブリ40を自己整合させて軸方向に抑制する同等の構造は存在しない。このようにして、弁ポペットを自己整合させて軸方向に抑制することによって、図9Aおよび図9Bの調整器300の弁アセンブリ200は、図1の従来の弁40の場合のような不整合および関連する性能の欠陥を受けない。
【0042】
本発明の調整器弁アセンブリ200とは別に、図9Aおよび図9Bの調整器300は、図1の従来の調整器100に類似している特定の特徴を含むことができる。たとえば、調整器300は、レンジばね12ならびに関連する支持および収容構造を含むことができる。調整器300は、レンジばね12と弁アセンブリ200の間に隔膜30をさらに含むことができる。弁アセンブリ200は、弁アセンブリ200を通ってガスを流すために、入口22および出口24を有する下部アセンブリ内へ組み込むことができる。調整器300は、入口22から弁アセンブリ200を通って出口24へ流れるガスの圧力を制御するために、次のように動作する。弁アセンブリ200では、渦巻き状アームを付勢することによって弁に負荷をかけて弁座70に押し付け、ガスの流れを止める。隔膜に対するレンジばねの力によってポペットの軸方向の運動が駆動され、その力は、弁棒52に対して伝えられる。複数の径方向のアームが、運動を軸方向に抑制し、弁を開くためにポペットが軸方向にしか動かないようにする。
【0043】
レンジばね12の上端部14は、ねじ山を切った棒16によって圧縮され、従来の調整器と同様に下方への負荷を生じさせ、弁を開く力を提供する。上述のように、この力により、隔膜30を下方へ駆動して弁50を弁座70から離し、それによってガスは、隔膜30より下のチャンバ内へ流れることができる。隔膜は、ガスが大気中へ逃げるのを防止するように作用する一方、レンジばね12から弁アセンブリ200へ負荷を伝えるのに十分な可撓性をもつ。隔膜に作用する出口圧力がレンジばねの力に等しい力を生成するとき、システムは均衡し、デバイスは、弁アセンブリ200から調整器出口24へのガス流れの一定の圧力を維持する。
【0044】
したがって、本発明の調整器300の力関係は、従来の調整器に対する図2のものに類似している。しかし、弁アセンブリ200については、従来の調整器とは対照的に、弁体54の外側部分60(たとえば、渦巻き状アーム62)の構成により、弁座70内で弁50を自己整合させて軸方向に抑制し、弁50および関連する力の不整合を防止する。さらに、弁体の渦巻き状アームの可撓性部分により、動作中に弁棒52の軸方向の上下の動きが可能になり、弁座に対するいかなる摩擦力も克服する必要はない。このようにして、上記の従来の調整器構成の欠陥を生じることなく、調整器を通るガス流れ圧力は正しく調整される。
【0045】
代替実施形態を図10に示す。図10は、図9Bのものと大部分の点で同等の圧力調整器に対する弁アセンブリ200を示す。図10の実施形態では、ねじ山を切った部分90が、弁棒52の端部に嵌合するねじ山を含み、このねじ山は、隔膜30上に提供される受取り部91上の反対側の嵌合するねじ山と協働する。このようにして、弁棒を隔膜へ固定でき、したがって2つの構造は、一体型の部品として動く。
【0046】
本発明について、特定の好ましい実施形態に関して図示および説明したが、本明細書を読んで理解すれば、等価物および修正形態が当業者には想到されることが理解される。本発明は、そのような等価物および修正形態をすべて含み、以下の特許請求の範囲によってのみ限定される。
【技術分野】
【0001】
関連出願
本願は、2009年5月7日出願の米国仮特許出願第61/176,184号の利益を主張する。同願を、参照により本明細書に組み込む。
【0002】
本発明は、ガス流れ圧力調整器を対象とし、より詳細には、自己整合式の軸方向に抑制された調整器弁ポペット、ならびに関連する調整器弁アセンブリ、および調整器弁アセンブリを含む調整器を対象とする。本発明は、たとえば半導体デバイスを製造する際に使用される調整器などの比較的低流量のシステムで使用される圧力調整器に特に適用される。
【背景技術】
【0003】
ガス流れ圧力調整器とは、比較的高い入力圧力を調整可能な比較的一定のより低い出口圧力へ低減させるデバイスである。図1は、従来の圧力調整器100を示す。圧力調整器100は、上部またはレンジアセンブリ10および下部アセンブリ20を含むことができ、上部アセンブリと下部アセンブリの間に隔膜30が位置決めされる。レンジアセンブリ10はほぼ従来通りであり、レンジばね12と、当技術分野では周知の関連する支持および収容構造とを含むことができる。
【0004】
下部アセンブリ20は、入口22と、出口24と、入口から出口へのガス流れの圧力を調整する弁アセンブリ40とを含む。弁アセンブリ40は、弁44に作用する弁ばね42を含むことができる。弁44は、隔膜30を押す弁棒47に隣接する弁ポペット46を含む。弁44は、ガス流れを制御する一部として、弁ばね42によって付勢されて弁座48に押し付けられる。下部アセンブリ20は、当技術分野では周知の追加の関連する支持構造を含むことができる。
【0005】
圧力調整器は、入口22から弁アセンブリ40を通って出口24へ流れるガスの圧力を制御するために、次のように動作する。弁ばね42は、弁44に負荷をかけて弁座48に押し付け、ガスの流れを止める。たとえば、半導体の製造で使用される例示的な調整器では、弁ばねは、弁44に負荷をかけて約1.361kg(3ポンド)の力で弁座に押し付け、レンジばねの負荷がなくても漏れない封止を実現することができる。レンジばね12の上端部14は、ねじ山を切った棒16によって圧縮され、下方への負荷を生じさせる。この下方への負荷により、隔膜30を下方へ駆動して弁40を弁座48から離し、それによってガスは、隔膜30より下のチャンバ49内へ流れることができる。隔膜30は通常、弁棒47と連通する比較的平面の表面をもつ弾性部材である。隔膜は、ガスが大気中へ逃げるのを防止するように作用する一方、レンジばね12から弁アセンブリ40へ負荷を伝えるのに十分な可撓性をもつ。上部アセンブリ10内のつまみ11は、レンジばね12に力をかけるように使用者によって回すことができる。このレンジばねの力は、隔膜30によって弁アセンブリ40へ伝えられ、弁座48から弁44を動かし、弁を通ってガスの流れを可能にする。隔膜領域に作用する圧力がレンジばねの力に等しい力を生成するとき、システムは均衡し、デバイスはその圧力を維持して、定圧のガス流れを出口に提供する。
【0006】
図2は、レンジばね12、隔膜30、および弁アセンブリ40を含む部分における圧力調整器100のより拡大した図を示す。図2の凡例は、当業者には理解されるように、この従来の圧力調整器が動作する圧力と力の関係を特定する。そのような関係の結果、調整器弁を越えると、比較的高圧の入力ガス流れを一定のより低い出力ガス流れに変換することができる。
【0007】
図2に示す力の均衡関係の結果、基本的な性能特性が得られ、それらを曲線で表すことができる。例示的な性能特性曲線を図3に示す。図3は、出口圧力を流れの関数として示す。図3から理解できるように、流れが増大すると、弁がさらに開くはずであり、その結果、より小さいレンジばねの力で隔膜を押し下げる。その結果、出口圧力はより低くなる。
【0008】
流れがゼロに近づき、すなわち弁が閉じた状態に近づくと、図3の曲線は、上方への勾配で急な増大を示す。この急な勾配の増大は、弁座48に弁44を封止するのに必要な力を示す。流れている状態では、隔膜30の両側にかかる力は、弁を弁座から隔置して弁を通ってガス流れを可能にするように均衡される。ガス流れが流れを止める方へ低減される(すなわち、弁が閉じられている)ときは、弁と弁座の間に封止を生じさせるのに十分な力が生じるまで、出口圧力は上昇し、弁にかかる下方への負荷を低減させる。弁と弁座の間に封止を生じさせるために発生する圧力の増大は、当技術分野では「クリープ」と呼ばれる。
【0009】
上記の従来の圧力調整器には、図4および図5に示す欠陥がある。前述のように、調整器の出口圧力を最終的に決定する力の均衡は、ばねの使用によって作り出される。理想的な調整器では、すべての構成要素が互いに対して完全に中心で位置合わせされるはずであり、ばねの負荷はすべて、ポペットが進行する軸に沿って中心で位置合わせされるはずである。実際の動作では、これらの構成要素は通常、完全には中心で位置合わせされず、ばねからの力は、ポペットが進行する軸に完全には沿っていない。
【0010】
圧力調整器の構築で通常使用される図1および図2に示すものなどの従来の螺旋状のばねは、ポペットが進行する方向に対して1〜2度の範囲で垂直な平面内に接地端部が位置するように製作される。さらに、これらの端部は、ばねが圧縮されるにつれて、さらに垂直ではなくなる。構成要素の不整合および軸方向以外のばねの負荷の結果、弁座に対してポペットの横方向の負荷が生じる。この軸方向以外の非対称形のばねの負荷、およびその結果生じる横方向の負荷を図4に示す。弁座に対する弁の横方向の負荷は、弁の動きに関連する摩擦を増大させ、弁が運動を受けにくくなる。したがって、弁を開く力が、増大した摩擦力をまず克服しなければ、弁は動くことができない。
【0011】
増大した摩擦力のため、力で弁を開こうとすると、弁は最初に引っかかる傾向がある。開く力が摩擦を克服するのに十分になると、弁は理想的な位置を行き過ぎ、その結果、流れに一時的なスパイクが生じる。次いで弁は、理想的な位置に回復する。この行過ぎおよび回復を、図5の図に示す。行過ぎに関連する突然の圧力変化は、特に比較的低流量のシステムでは、下流の構成要素の性能を損なうことがある。たとえば、下流の性能は特に、半導体デバイスの製造で用いられる質量流量制御装置で損なわれることがある。
【0012】
弁座の摩耗は、従来の圧力調整器弁アセンブリ内の構成要素および力の不整合から生じる第2の欠陥である。この欠陥もまた、流量に関連して高い弁ストローク量を有する弁における特定の問題であり、低ストロークの適用分野よりはるかに大きい弁座摩耗を引き起こす傾向がある。弁座摩耗の結果には、クリープ圧力の増大、また最終的に弁座からの漏れが含まれる。高いストロークサイクルによる性能の劣化は、少なければ2000サイクルで観察される可能性がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0013】
本発明は、従来の圧力調整器の欠陥を克服する、ガス流れ圧力調整器向けの改善された調整器弁アセンブリを提供する。詳細には、本発明は、調整器弁および/または弁の力の不整合のリスクを低減させ、それによって弁の摩擦および弁座の摩耗を低減させる改善された調整器弁アセンブリを提供する。
【課題を解決するための手段】
【0014】
従来の圧力調整器弁のそのような欠陥を克服するために、本発明の一態様は、ガス流れ圧力調整器を通って流れるガスの圧力を調整する調整器弁アセンブリである。例示的な実施形態では、調整器弁アセンブリは、弁座と、弁座に対して開いた位置と閉じた位置の間を動ける弁とを含む。弁は弁体を含むことができ、弁体は、弁を開閉するように軸方向に上下に動ける可撓性部分と、弁座内で弁体を自己整合させて可撓性部分の運動を軸方向に抑制するように構成されたエッジ部分とを有する。弁体の可撓性部分は、横方向のばね力係数および軸方向のばね力係数を有し、横方向のばね力係数は、軸方向のばね力係数より大きく、したがって弁体を横方向に整合させて可撓性部分の運動を軸方向に抑制する。
【0015】
調整器弁アセンブリの別の例示的な実施形態では、弁は、弁体の封止部分から垂直に延びる弁棒をさらに含むことができ、弁棒の上下の動きの結果、可撓性部分の軸方向のたわみが生じる。封止部分は、少なくとも部分的に弾性材料から形成することができ、弁体の可撓性部分およびエッジ部分は、金属の耐腐食性材料から形成することができる。別法として、弁は、弁体および弁棒を形成する一体型の部品とすることができる。弁体はまた、弁体を通ってガス流れを可能にするための少なくとも1つの空間を画定することができる。
【0016】
調整器弁アセンブリの別の例示的な実施形態では、弁体は、弁体の可撓性部分およびエッジ部分を形成する複数の渦巻き状アームを含む。渦巻き状アームは、弁座内で弁体を自己整合させるように径方向に内方へ圧縮可能である。複数の渦巻き状アームは、弁体の外側部分を形成することができ、弁棒を受け取るように封止部分から外方へ渦巻き状であり、渦巻き状アームのエッジ部分は、可撓性部分の上下の動きを軸方向に抑制するように弁座に固定することができる。弁棒の上下の動きの結果、可撓性部分の軸方向のたわみが生じる。
【0017】
調整器弁アセンブリの別の例示的な実施形態では、渦巻き状アームのエッジ部分は、封止部分を軸方向に上方へ付勢して弁を封止するように、軸方向に互いからずらして弁座内で固定することができる。それぞれの渦巻き状アームの端部部分は、弁座の受取り部分と協働する端部突起から形成することができる。弁座は、弁体の端部部分を受け取るばねカップと、ばねカップおよび弁体を保持するようにばねカップを少なくとも部分的に巻き込む湾曲した支持部とを含むことができる。ばねカップと湾曲した支持部の間の空間は、封止ガスケットで封止することができる。弁座は、棚部をさらに含むことができ、弁体は、弁座内で弁体を固定するように棚部とばねカップの間に位置決めされる。ばねカップは、弁体に負荷をかけて弁体を軸方向に上方へ付勢する環状部を形成することができる。調整器弁アセンブリはまた、弁座に固定された仕切りを含むことができ、仕切りおよび弁体は、ガスの流れのために仕切りと弁体の間で弁内空間を画定する。
【0018】
本発明の別の態様は、入口から調整器弁アセンブリを通って出口へ流れるガスの圧力を調整するガス流れ圧力調整器である。圧力調整器の例示的な実施形態は、レンジばねと、上記の調整器弁アセンブリと、レンジばねと調整器弁アセンブリの間の隔膜とを含むことができる。入口から調整器弁アセンブリへのガス流れの第1の圧力は、調整器弁アセンブリによって、調整器弁アセンブリから出口への第2の定圧のガス流れに変換される。
【0019】
ガス流れ圧力調整器の別の例示的な実施形態では、調整器弁アセンブリの弁体は、弁棒を付勢して隔膜に押し付け、レンジばねに加えられる力は、弁棒を軸方向にずらして、調整器弁アセンブリを通って流れガスを可能にする。弁体は、弁棒の運動を中心に整合させて軸方向に抑制する。
【0020】
本発明の別の態様は、圧力調整器アセンブリを通って流れるガスの圧力を調整する方法である。方法の一実施形態は、弁座を提供するステップと、弁座に対して開いた位置と閉じた位置の間を動ける弁を提供するステップとを含むことができる。弁は、弁を開閉するように軸方向に上下に動ける可撓性部分とエッジ部分とを有する弁体を含むことができる。方法は、弁座内で弁を位置決めするステップをさらに含むことができ、エッジ部分は、弁座内で弁体を自己整合させて可撓性部分の運動を軸方向に抑制する。
【0021】
方法の別の実施形態は、複数の渦巻き状アームを提供して弁体の可撓性部分およびエッジ部分を形成するステップをさらに含むことができる。弁の位置決めは、渦巻き状アームを軸方向にずらし、弁を付勢して弁座に押し付けて弁を封止するステップをさらに含むことができる。
【0022】
本発明のこれらの特徴およびさらなる特徴は、以下の説明および添付の図面を参照すると明らかになるであろう。これらの説明および図面では、本発明の特定の実施形態について、本発明の原理を用いることができる方法の一部を示すものとして詳細に開示したが、本発明はそれに対応して範囲の点で限定されないことが理解される。逆に、本発明は、本明細書に添付の特許請求の範囲の精神および条件の範囲内に入るすべての変形形態、修正形態、および等価物を含む。
【0023】
一実施形態に関して説明および/または図示する特徴は、1つもしくは複数の他の実施形態で、および/または他の実施形態の特徴と組み合わせて、もしくは他の実施形態の特徴の代わりに、同じ方法または類似の方法で使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【0024】
【図1】従来のガス流れ圧力調整器を示す概略図である。
【図2】従来のガス流れ圧力調整器の力関係を示す、図1の従来の調整器の一部分の概略図である。
【図3】従来のガス流れ圧力調整器に対する出口圧力のグラフ関係を流れの関数として示すグラフである。
【図4】従来のガス流れ圧力調整器に対する従来の弁構成で発生しうる非対称形の負荷を示す、図1の従来の調整器の一部分の概略図である。
【図5】従来のガス流れ圧力調整器で発生しうる圧力の行過ぎおよび流れスパイクのグラフである。
【図6】本発明の実施形態によるガス流れ圧力調整器弁アセンブリ内で使用するための弁ポペットおよび弁棒を有する例示的な弁の概略斜視図である。
【図7A】図7Aは、本発明の実施形態による圧力調整器で使用するための図6の弁を含む例示的な調整器弁アセンブリを示す概略図である。
【図7B】図7Bは、本発明の実施形態による圧力調整器で使用するための図6の弁を含む例示的な調整器弁アセンブリを示す概略図である。
【図8】本発明の実施形態による完全に組み立てた弁アセンブリの概略斜視図である。
【図9A】図9Aは、本発明の実施形態による図8の調整器弁アセンブリを含む例示的な圧力調整器を示す概略図である。
【図9B】図9Bは、本発明の実施形態による図8の調整器弁アセンブリを含む例示的な圧力調整器を示す概略図である。
【図10】弁棒のねじ山を切った部分が隔膜上に提供されるねじ山を切った受取り部と協働して弁棒を隔膜に固定する、例示的な圧力調整器の一部分を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【0025】
本発明の実施形態について、図面を参照して次に説明する。図面全体にわたって、同じ参照番号を使用して同じ要素を参照する。図は必ずしも原寸に比例しないことが、理解されるであろう。
【0026】
図6は、本発明の実施形態によるガス流れ圧力調整器弁アセンブリ内で使用するための例示的な弁50を示す。弁50は、弁棒52と、弁棒52と物理的に連通する弁ポペット54とを含むことができる。以下でさらに説明するように、弁ポペット54は弁体54の形で提供され、弁体54は、弁体に対する弁棒の上下の動きを可能にするように、軸方向、すなわち弁棒の長手軸の方向に可撓性である可撓性部分を有する。弁体はまた、弁アセンブリ内で弁を位置決めできるように、弁体の中心の方へ径方向に圧縮可能な部分を有する。弁の運動は軸方向に抑制され、したがって弁棒は、弁棒の長手方向軸に沿って上下に本質的に軸方向にしか動くことができない。
【0027】
弁ポペット/弁体54は、より大きい弁アセンブリ内で固定される外側部分60と、弁棒52を取り付けることができる内側封止部分58とを含むことができる。外側部分60は、封止部分58を取り囲む。外側部分60は、事前に負荷をかける力を提供して弁体を自己整合させ、それによって弁棒の動きを軸方向に抑制するように、弁アセンブリ内で固定される。図6の特定の実施形態では、外側部分または弁座キャリア60は、複数の渦巻き状アーム62を含む。図6に示す例示的な実施形態では、外側部分60は、3つのそのような渦巻き状アームを含むが、異なる数のアームを用いることもできることが理解されよう。
【0028】
渦巻き状アームは、可撓性部分60aおよびエッジ部分60bをもつ弁体を提供する。渦巻き状の構成の結果、以下の(非限定的な)例示的な特性が得られる。第1に、渦巻き状の構成は、図示のように弁体の平面に対して垂直方向に、すなわち弁棒52の長手方向軸53に沿って軸方向に、弁体の部分60aに可撓性を提供する。言い換えれば、渦巻き状アームが軸方向に互いに対してずれることによって、上下の動きが提供される。第2に、渦巻き状の構成は、弁体の中心の方へ径方向に、弁体の外側部分60に圧縮性を提供する。以下でさらに説明するように、弁アセンブリ内に弁ポペット/弁体54が配置されると、渦巻き状アームを軸方向にずらすことができる。この結果、事前に負荷をかける力が弁アセンブリ内で弁ポペットを自己整合させ、それによって、弁体の封止部分58および取り付けられた弁棒52を中心に抑制する。そのような自己整合の結果、弁体の可撓性部分60aの動きは、軸方向(すなわち、弁棒の長手方向軸に沿って)に抑制される。各渦巻き状アームは、端部部分64で終端することができる。端部部分64は、より大きい弁アセンブリ内で弁体の固定を実現する突起とすることができる。
【0029】
弁体/弁ポペット54では、渦巻き状アーム以外の構成も利用できることが理解されよう。渦巻き状アームの場合と同様に、そのような他の構成は、静止した弁体の平面に対して上下に動くことができる可撓性部分を有するはずである。そのような他の構成はまた、可撓性部分の運動を軸方向に抑制するように、弁アセンブリ内で弁体の自己整合を実現するはずである。たとえば、弁体の外側部分の代替構成は、可撓性のスポークによって接続された同心円状のリング、弁座に固定するための剛性の周囲をもつ可撓性のスクリーン、内側の弁体部分に接続された円周のばね部材などとすることができる。
【0030】
典型的な適用分野では、弁体が耐腐食性であることが望ましい。渦巻き状アームの所望の軸方向の可撓性および耐腐食性を提供するために、弁体54は、薄い耐腐食性の金属材料から作ることができる。たとえば、弁体は、厚さ0.508mm(0.020インチ)の全硬の316Lステンレス鋼またはHastelloy C276から形成することができる。弁体アームは、方形の横断面を有するように形成することができ、厚さ0.508mm(0.02インチ)は、弁体の径方向の長さ、弁体の中心から外側エッジまで通常約5.182mm(0.204インチ)と比較すると小さい。封止部分58は、弁体の内側部分内に埋め込むことができる。封止部分は、弁体の外側部分と連続したものとすることができ、封止部分は少なくとも部分的に、弾性の封止材料から作られる。たとえば、封止部分は、パーフルオロエラストマ(FFKM)および類似の化合物を含むフルオロエラストマおよび他のフルオロポリマなど、ある種の弾性の合成ゴム状化合物の任意の1つの層を含むことができる。実際には、弁が閉じた位置にあるときに封止材料が弁を封止するのをちょうど可能にする寸法まで、可撓性材料の量を最小にすることが望ましい。
【0031】
図6の特定の実施形態では、封止部分58は円形であり、弁棒を弁体へ接続するように弁体内で中心に位置するが、封止部分58の他の形状および構成を用いることもできる。弁ポペット/弁体54と弁棒52はともに、弁50を形成することができる。一実施形態では、弁体および弁棒は、一体型の部品として共通の材料から成型することができ、その後、封止材料層が追加される。
【0032】
弁50の動作の際には、弁を開くように弁棒52を駆動することによって軸方向に下方へ動かすことで、可撓性部分60aの対応する軸方向の下方へ動きを引き起こし、ガスの流れを可能にする。弁を閉じるには、弁棒から駆動力を取り除くことができ、弁棒は弁体によって上方へ付勢され、弁を封止する。渦巻き状アームは、高い横方向のばね定数を有し、それによって、著しく横方向にずれることなく、弁50の長手方向軸53に沿って互いに対して容易にずれることができる。このようにして、弁棒52の動きは軸方向に抑制され、実質上摩擦のない形で行われる。これに関連して、封止部分58および弁棒52が渦巻き状アーム62によって中心で整合されるため、従来の調整器弁アセンブリの場合のように、弁によって弁座に対する摩擦は生成されない。
【0033】
別の例示的な実施形態では、弁体54は、ポペットを通って(したがって、調整器弁を通って)ガス流れを可能にする空間56を画定することができる。
図7Aは、本発明の実施形態による圧力調整器で使用するための図6の弁50を含む例示的な調整器弁アセンブリ200を部分的に分解した形で示す。図7Bは、図7Aの構成要素の配置を示す。具体的には、図7Aおよび図7Bは、上記の弁50と、弁が封止および開放してガスの流れをそれぞれ制限および可能にする弁座70とを有する調整器弁アセンブリ200を示す。弁50の部分は、図6と同じ参照番号で特定する。
【0034】
図7Aおよび図7Bで見られるように、渦巻き状アーム62は、弁アセンブリ内で、弁アセンブリの軸方向に互いに対してずらして位置決めされる。こうしてずらして位置決めすることで、弁に上方への付勢を提供して、閉じる力を生成し、弁座70に対する弁体の封止部分58の封止に影響を及ぼす。それぞれの渦巻き状アーム62の端部部分から形成される弁体54のエッジ部分60bは、弁座70へ固定される。以下でさらに説明するように、ポペットの進行は、隔膜に対するレンジばねの力、したがって弁棒52に対する力によって駆動される。複数の径方向のアームは、弁棒が軸方向だけに動くのを可能にするように、運動を軸方向に抑制する。軸方向は、弁棒を通る長手方向軸として画定される。
【0035】
径方向の渦巻き状アームは、渦巻き状アームの軸方向の比較的低いばね力係数と比較すると比較的高いばね力係数で、径方向に内方へたわむことができる片持ち梁として作用する。内方へのたわみは、弁座内で弁体を固定するように、組立て時に1回実行される。したがって弁体のエッジ部分60bは、エッジ部分がさらに動かないように固定される。渦巻き状アームのさらに径方向に内方の可撓性部分60aでは、片持ち梁として作用する3つの渦巻き状アームはやはり、動作中にポペットの軸53(図6参照)および弁棒軸に沿ってたわむことができる。前述のように、3つの渦巻き状アームは、比較的高い横方向のばね力係数(軸方向のばね力係数と比較)を有し、それによって封止部分58が横方向に動くのを防止し、それによって軸方向への運動を抑制する。
【0036】
図7Aおよび図7Bにさらに示すように、渦巻き状アームの端部部分64(図6も参照)は、弁座の受取り部分と協働することができる。たとえば、渦巻き状アーム62の端部突起64は、受取り部分として作用するばねカップ72に接触することができる。ばねカップ72は、弁体を自己整合させるためのアーム突起64に対する負荷を維持するために、環状部を形成する。環状部は、アームの突起64を定位置でしっかり保持しながら、径方向のアーム62の要素が付近で動かないように、薄い環状の肩部72aを与える。本実施形態では、環状部の肩部は、普通なら摩擦および粒子の浸食を生成するはずの弁体の可動要素上の摩擦を生じることなく、弁体の周囲を固定する。そのようにアームの突起64はばねカップに固定され、したがって、弁棒52が長手方向軸に沿って上下に動くとき、弁体はばねカップまたは環状部72からずれない。ばねカップおよび環状部72は、支持部材74によって定位置で保持することができる。さらに、ばねカップに対して仕切り80を固定することができ、したがって仕切り80および弁体54は、ガス流れに対する弁内空間76を画定する。したがって仕切り80は、ガス源(図示せず)からポペット/弁体54へのガス流れを可能にする。
【0037】
図8は、完全に組み立てた弁アセンブリ200を示す。図8では、支持部材74の端を曲げて、ばねカップ72を少なくとも部分的に巻き込んでばねカップを固定する湾曲した支持部にした。ばねカップと湾曲した支持部の間に、封止ガスケット73を提供することもできる。湾曲した支持部74は、耐荷力リップ78とも呼ばれる棚部78から連続して延びる。棚部は、封止されるときに弁が付勢される表面を提供する。仕切り80は、封止ガスケット73近傍で、ばねカップと湾曲した支持部の間に固定することができる。
【0038】
上述のように、弁ポペット/弁体54が弁座70内で位置決めされると、渦巻き状アームを互いに対して軸方向にずらして、事前に負荷をかける力を提供し、弁を封止することができる。こうしてずらすことで付勢力を提供し、弁体を自己整合させ、弁ポペットの可撓性部分の運動、したがって弁棒の運動を軸方向に抑制する。その結果、弁棒を正しく整合させて軸方向に抑制し、それによって弁の不整合の可能性を実質上なくす。このようにして、従来の調整器弁の欠陥が回避される。具体的には、渦巻き状アームの事前に負荷をかける力が弁座内で弁ポペットのあらゆる横方向のずれを防止するため、弁ポペットの不整合は発生しない。さらに、弁をずらすために弁と弁座の間で克服すべき摩擦力は生じない。このようにして、弁座の摩耗も回避される。出願人らは、本発明の構成を有する調整器弁が、認識可能な性能の変化なく2百万サイクル以上動作できることを見出した。
【0039】
図9Aおよび図9Bは、本発明の実施形態による図7A〜図7Bおよび図8の調整器弁アセンブリを含む例示的な圧力調整器300を示す。具体的には、図9Bは、円形の部分「D」で示す領域における図9Aの調整器の拡大図である。
【0040】
図9Aを図1の従来の圧力調整器と比較すると、上記のように、従来の調整器弁アセンブリは、弁ばね42と、弁ばねと連通するポペット46とを一方の端部に含み、弁棒47を他方の端部に含む。図9Aおよび図9Bで見られるように、本発明の調整器弁アセンブリ200は、弁ばね42と、従来の弁ポペット46のように構成された弁ポペットとを含まない。逆に、図9Aおよび9Bでは、そのような構造は、弁体54および関連する構造を含む弁50に置き換えられている。さらに、本発明の弁の棚部78は、圧縮部材82を押し、それによって弁アセンブリ200が弁50の動きとは別に動くのを制止するのを助ける。
【0041】
したがって、図9Aおよび図9Bの実施形態では、従来の構成の場合のように弁ばねを用いるのではなく、渦巻き状アーム内の弁体の可撓性部分が弁棒52の上下の動きを可能にする。さらに、渦巻き状アームは、弁座70内で弁ポペット54を自己整合させて軸方向に抑制するが、図1の従来の圧力調整器には、調整器弁アセンブリ40を自己整合させて軸方向に抑制する同等の構造は存在しない。このようにして、弁ポペットを自己整合させて軸方向に抑制することによって、図9Aおよび図9Bの調整器300の弁アセンブリ200は、図1の従来の弁40の場合のような不整合および関連する性能の欠陥を受けない。
【0042】
本発明の調整器弁アセンブリ200とは別に、図9Aおよび図9Bの調整器300は、図1の従来の調整器100に類似している特定の特徴を含むことができる。たとえば、調整器300は、レンジばね12ならびに関連する支持および収容構造を含むことができる。調整器300は、レンジばね12と弁アセンブリ200の間に隔膜30をさらに含むことができる。弁アセンブリ200は、弁アセンブリ200を通ってガスを流すために、入口22および出口24を有する下部アセンブリ内へ組み込むことができる。調整器300は、入口22から弁アセンブリ200を通って出口24へ流れるガスの圧力を制御するために、次のように動作する。弁アセンブリ200では、渦巻き状アームを付勢することによって弁に負荷をかけて弁座70に押し付け、ガスの流れを止める。隔膜に対するレンジばねの力によってポペットの軸方向の運動が駆動され、その力は、弁棒52に対して伝えられる。複数の径方向のアームが、運動を軸方向に抑制し、弁を開くためにポペットが軸方向にしか動かないようにする。
【0043】
レンジばね12の上端部14は、ねじ山を切った棒16によって圧縮され、従来の調整器と同様に下方への負荷を生じさせ、弁を開く力を提供する。上述のように、この力により、隔膜30を下方へ駆動して弁50を弁座70から離し、それによってガスは、隔膜30より下のチャンバ内へ流れることができる。隔膜は、ガスが大気中へ逃げるのを防止するように作用する一方、レンジばね12から弁アセンブリ200へ負荷を伝えるのに十分な可撓性をもつ。隔膜に作用する出口圧力がレンジばねの力に等しい力を生成するとき、システムは均衡し、デバイスは、弁アセンブリ200から調整器出口24へのガス流れの一定の圧力を維持する。
【0044】
したがって、本発明の調整器300の力関係は、従来の調整器に対する図2のものに類似している。しかし、弁アセンブリ200については、従来の調整器とは対照的に、弁体54の外側部分60(たとえば、渦巻き状アーム62)の構成により、弁座70内で弁50を自己整合させて軸方向に抑制し、弁50および関連する力の不整合を防止する。さらに、弁体の渦巻き状アームの可撓性部分により、動作中に弁棒52の軸方向の上下の動きが可能になり、弁座に対するいかなる摩擦力も克服する必要はない。このようにして、上記の従来の調整器構成の欠陥を生じることなく、調整器を通るガス流れ圧力は正しく調整される。
【0045】
代替実施形態を図10に示す。図10は、図9Bのものと大部分の点で同等の圧力調整器に対する弁アセンブリ200を示す。図10の実施形態では、ねじ山を切った部分90が、弁棒52の端部に嵌合するねじ山を含み、このねじ山は、隔膜30上に提供される受取り部91上の反対側の嵌合するねじ山と協働する。このようにして、弁棒を隔膜へ固定でき、したがって2つの構造は、一体型の部品として動く。
【0046】
本発明について、特定の好ましい実施形態に関して図示および説明したが、本明細書を読んで理解すれば、等価物および修正形態が当業者には想到されることが理解される。本発明は、そのような等価物および修正形態をすべて含み、以下の特許請求の範囲によってのみ限定される。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
ガス流れ圧力調整器(300)を通って流れるガスの圧力を調整する調整器弁アセンブリ(200)であって、
弁座(70)と、
前記弁座に対して開いた位置と閉じた位置の間を動ける弁(50)とを備え、
前記弁が弁体(54)を備え、前記弁体が、前記弁を開閉するように軸方向に上下に動ける可撓性部分(60a)と、前記弁座内で前記弁体を自己整合させて前記可撓性部分の運動を軸方向に抑制するように構成されたエッジ部分(60b)とを有する、調整器弁アセンブリ。
【請求項2】
前記弁体(54)の前記可撓性部分(60a)が、横方向のばね力係数および軸方向のばね力係数を有し、前記横方向のばね力係数が、前記軸方向のばね力係数より大きく、したがって前記弁体を横方向に整合させて前記可撓性部分の運動を軸方向に抑制する、請求項1に記載の調整器弁アセンブリ(200)。
【請求項3】
前記弁(50)が、前記弁体(54)の封止部分(58)から垂直に延びる弁棒(52)をさらに備え、前記弁棒の上下の動きの結果、前記可撓性部分のそれぞれ上下の動きが生じる、請求項1または2に一項に記載の調整器弁アセンブリ(200)。
【請求項4】
前記封止部分(58)が、少なくとも部分的に弾性材料から形成され、前記エッジ部分(60b)および前記可撓性部分(60a)が、金属の耐腐食性材料から形成される、請求項3に記載の調整器弁アセンブリ(200)。
【請求項5】
前記弁体(54)が、前記弁体を通ってガス流れを可能にするための少なくとも1つの空間(56)を画定する、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の調整器弁アセンブリ(200)。
【請求項6】
前記弁体(54)が、前記弁体の前記可撓性部分(60a)および前記エッジ部分(60b)を形成する複数の渦巻き状アーム(62)を備え、前記渦巻き状アームが、前記弁座内で前記弁体を自己整合させるように互いに対してずれることができる、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の調整器弁アセンブリ(200)。
【請求項7】
前記弁体(54)の前記複数の渦巻き状アーム(62)が、弁棒(52)を受け取るように前記封止部分(58)から外方へ渦巻き状であり、前記渦巻き状アームの端部部分(64)が、前記可撓性部分の上下の動きを軸方向に抑制するように前記弁座(70)に固定される、請求項7に記載の調整器弁アセンブリ(200)。
【請求項8】
前記弁体(54)の前記封止部分(58)から垂直に延びる弁棒(52)をさらに備え、前記弁棒の上下の動きの結果、前記可撓性部分(60a)のそれぞれ上下の動きが生じる、請求項7に記載の調整器弁アセンブリ(200)。
【請求項9】
前記渦巻き状アーム(62)の前記端部部分(64)が、前記封止部分(58)を軸方向に上方へ付勢して前記弁(50)を封止するように、軸方向に互いからずらして前記弁座(70)内で固定される、請求項8に記載の調整器弁アセンブリ(200)。
【請求項10】
前記渦巻き状アーム(62)がそれぞれ、前記弁体(54)の半径より小さい寸法の方形の横断面を有する、請求項6乃至9のいずれか一項に記載の調整器弁アセンブリ(200)。
【請求項11】
前記弁体(54)の前記エッジ部分(60b)が、それぞれの前記渦巻き状アーム(62)上に、前記弁座(70)の受取り部分と協働する端部突起(64)を備える、請求項7乃至10のいずれか一項に記載の調整器弁アセンブリ(200)。
【請求項12】
前記弁座(70)が、前記弁体(60)の前記端部部分(60b)を受け取るばねカップ(72)を備える、請求項1乃至11のいずれか一項に記載の規則的な弁アセンブリ(200)。
【請求項13】
前記弁座(70)が、前記ばねカップおよび前記弁体(54)を保持するように前記ばねカップ(72)を少なくとも部分的に巻き込む湾曲した支持部(74)をさらに備える、請求項12に記載の調整器弁アセンブリ(200)。
【請求項14】
前記ばねカップ(72)と前記湾曲した支持部(74)の間の空間を封止する封止ガスケット(73)をさらに備える、請求項13に記載の規則的な弁アセンブリ(200)。
【請求項15】
前記弁座(70)が棚部(78)をさらに備え、前記弁体(54)が、前記弁座内で前記弁体(54)を固定するように前記棚部と前記ばねカップの間に位置決めされる、請求項12乃至14のいずれか一項に記載の調整器弁(200)。
【請求項16】
前記ばねカップ(72)が、前記弁体(54)に負荷をかけて前記弁体を軸方向に上方へ付勢する環状部を備える、請求項12乃至15のいずれか一項に記載の調整器弁アセンブリ(200)。
【請求項17】
前記弁座(70)に固定された仕切り(80)をさらに備え、前記仕切りおよび前記弁体(54)が、ガスの流れのために前記仕切りと前記弁体の間で弁内空間(76)を画定する、請求項1乃至16のいずれか一項に記載の調整器弁アセンブリ(200)。
【請求項18】
前記封止部分(58)が、少なくとも部分的に弾性材料から形成され、前記エッジ部分(60b)および可撓性部分(60a)が、金属の耐腐食性材料から形成される、請求項1乃至17のいずれか一項に記載の調整器弁アセンブリ(200)。
【請求項19】
入口(22)から調整器弁アセンブリ(200)を通って出口(24)へ流れる圧力を調整するガス流れ圧力調整器(300)であって、
レンジばね(12)と、
請求項1〜18のいずれか一項に記載の調整器弁アセンブリ(200)と、
前記レンジばねと前記調整器弁アセンブリの間の隔膜(30)とを備え、
前記入口から前記調整器弁アセンブリへのガス流れの第1の圧力が、前記調整器弁アセンブリによって、前記調整器弁アセンブリから前記出口への第2の定圧のガス流れに変換される、ガス流れ圧力調整器。
【請求項20】
前記調整器弁アセンブリ(200)の弁体(54)が、弁棒(52)を付勢して前記隔膜(30)に押し付け、前記レンジばね(12)に加えられる力が、前記弁棒を軸方向にずらして、前記調整器弁アセンブリを通って前記流れガスを可能にし、
前記弁体が、前記弁棒の運動を中心に整合させて軸方向に抑制するように構成される、請求項19に記載のガス流れ圧力調整器(300)。
【請求項21】
圧力調整器アセンブリを通って流れるガスの圧力を調整する方法であって、
弁座(70)を提供するステップと、
前記弁座に対して開いた位置と閉じた位置の間を動ける弁(50)を提供するステップであり、前記弁が、前記弁を開閉するように軸方向に上下に動ける可撓性部分(60a)とエッジ部分(60b)とを有する弁体(54)を備える、ステップと、
前記弁座内で前記弁を位置決めするステップとを含み、前記エッジ部分が、前記弁座内で前記弁体を自己整合させて前記可撓性部分の運動を軸方向に抑制する、方法。
【請求項22】
請求項21に記載の圧力調整器アセンブリを通って流れるガスの圧力を調整する方法であって、
複数の渦巻き状アーム(62)を提供して前記弁体(54)の前記可撓性部分(60a)および前記エッジ部分(60b)を形成するステップをさらに含み、
前記弁を位置決めするステップが、前記渦巻き状アームを軸方向にずらし、前記弁を付勢して前記弁座に押し付けて前記弁を封止するステップをさらに含む、方法。
【請求項1】
ガス流れ圧力調整器(300)を通って流れるガスの圧力を調整する調整器弁アセンブリ(200)であって、
弁座(70)と、
前記弁座に対して開いた位置と閉じた位置の間を動ける弁(50)とを備え、
前記弁が弁体(54)を備え、前記弁体が、前記弁を開閉するように軸方向に上下に動ける可撓性部分(60a)と、前記弁座内で前記弁体を自己整合させて前記可撓性部分の運動を軸方向に抑制するように構成されたエッジ部分(60b)とを有する、調整器弁アセンブリ。
【請求項2】
前記弁体(54)の前記可撓性部分(60a)が、横方向のばね力係数および軸方向のばね力係数を有し、前記横方向のばね力係数が、前記軸方向のばね力係数より大きく、したがって前記弁体を横方向に整合させて前記可撓性部分の運動を軸方向に抑制する、請求項1に記載の調整器弁アセンブリ(200)。
【請求項3】
前記弁(50)が、前記弁体(54)の封止部分(58)から垂直に延びる弁棒(52)をさらに備え、前記弁棒の上下の動きの結果、前記可撓性部分のそれぞれ上下の動きが生じる、請求項1または2に一項に記載の調整器弁アセンブリ(200)。
【請求項4】
前記封止部分(58)が、少なくとも部分的に弾性材料から形成され、前記エッジ部分(60b)および前記可撓性部分(60a)が、金属の耐腐食性材料から形成される、請求項3に記載の調整器弁アセンブリ(200)。
【請求項5】
前記弁体(54)が、前記弁体を通ってガス流れを可能にするための少なくとも1つの空間(56)を画定する、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の調整器弁アセンブリ(200)。
【請求項6】
前記弁体(54)が、前記弁体の前記可撓性部分(60a)および前記エッジ部分(60b)を形成する複数の渦巻き状アーム(62)を備え、前記渦巻き状アームが、前記弁座内で前記弁体を自己整合させるように互いに対してずれることができる、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の調整器弁アセンブリ(200)。
【請求項7】
前記弁体(54)の前記複数の渦巻き状アーム(62)が、弁棒(52)を受け取るように前記封止部分(58)から外方へ渦巻き状であり、前記渦巻き状アームの端部部分(64)が、前記可撓性部分の上下の動きを軸方向に抑制するように前記弁座(70)に固定される、請求項7に記載の調整器弁アセンブリ(200)。
【請求項8】
前記弁体(54)の前記封止部分(58)から垂直に延びる弁棒(52)をさらに備え、前記弁棒の上下の動きの結果、前記可撓性部分(60a)のそれぞれ上下の動きが生じる、請求項7に記載の調整器弁アセンブリ(200)。
【請求項9】
前記渦巻き状アーム(62)の前記端部部分(64)が、前記封止部分(58)を軸方向に上方へ付勢して前記弁(50)を封止するように、軸方向に互いからずらして前記弁座(70)内で固定される、請求項8に記載の調整器弁アセンブリ(200)。
【請求項10】
前記渦巻き状アーム(62)がそれぞれ、前記弁体(54)の半径より小さい寸法の方形の横断面を有する、請求項6乃至9のいずれか一項に記載の調整器弁アセンブリ(200)。
【請求項11】
前記弁体(54)の前記エッジ部分(60b)が、それぞれの前記渦巻き状アーム(62)上に、前記弁座(70)の受取り部分と協働する端部突起(64)を備える、請求項7乃至10のいずれか一項に記載の調整器弁アセンブリ(200)。
【請求項12】
前記弁座(70)が、前記弁体(60)の前記端部部分(60b)を受け取るばねカップ(72)を備える、請求項1乃至11のいずれか一項に記載の規則的な弁アセンブリ(200)。
【請求項13】
前記弁座(70)が、前記ばねカップおよび前記弁体(54)を保持するように前記ばねカップ(72)を少なくとも部分的に巻き込む湾曲した支持部(74)をさらに備える、請求項12に記載の調整器弁アセンブリ(200)。
【請求項14】
前記ばねカップ(72)と前記湾曲した支持部(74)の間の空間を封止する封止ガスケット(73)をさらに備える、請求項13に記載の規則的な弁アセンブリ(200)。
【請求項15】
前記弁座(70)が棚部(78)をさらに備え、前記弁体(54)が、前記弁座内で前記弁体(54)を固定するように前記棚部と前記ばねカップの間に位置決めされる、請求項12乃至14のいずれか一項に記載の調整器弁(200)。
【請求項16】
前記ばねカップ(72)が、前記弁体(54)に負荷をかけて前記弁体を軸方向に上方へ付勢する環状部を備える、請求項12乃至15のいずれか一項に記載の調整器弁アセンブリ(200)。
【請求項17】
前記弁座(70)に固定された仕切り(80)をさらに備え、前記仕切りおよび前記弁体(54)が、ガスの流れのために前記仕切りと前記弁体の間で弁内空間(76)を画定する、請求項1乃至16のいずれか一項に記載の調整器弁アセンブリ(200)。
【請求項18】
前記封止部分(58)が、少なくとも部分的に弾性材料から形成され、前記エッジ部分(60b)および可撓性部分(60a)が、金属の耐腐食性材料から形成される、請求項1乃至17のいずれか一項に記載の調整器弁アセンブリ(200)。
【請求項19】
入口(22)から調整器弁アセンブリ(200)を通って出口(24)へ流れる圧力を調整するガス流れ圧力調整器(300)であって、
レンジばね(12)と、
請求項1〜18のいずれか一項に記載の調整器弁アセンブリ(200)と、
前記レンジばねと前記調整器弁アセンブリの間の隔膜(30)とを備え、
前記入口から前記調整器弁アセンブリへのガス流れの第1の圧力が、前記調整器弁アセンブリによって、前記調整器弁アセンブリから前記出口への第2の定圧のガス流れに変換される、ガス流れ圧力調整器。
【請求項20】
前記調整器弁アセンブリ(200)の弁体(54)が、弁棒(52)を付勢して前記隔膜(30)に押し付け、前記レンジばね(12)に加えられる力が、前記弁棒を軸方向にずらして、前記調整器弁アセンブリを通って前記流れガスを可能にし、
前記弁体が、前記弁棒の運動を中心に整合させて軸方向に抑制するように構成される、請求項19に記載のガス流れ圧力調整器(300)。
【請求項21】
圧力調整器アセンブリを通って流れるガスの圧力を調整する方法であって、
弁座(70)を提供するステップと、
前記弁座に対して開いた位置と閉じた位置の間を動ける弁(50)を提供するステップであり、前記弁が、前記弁を開閉するように軸方向に上下に動ける可撓性部分(60a)とエッジ部分(60b)とを有する弁体(54)を備える、ステップと、
前記弁座内で前記弁を位置決めするステップとを含み、前記エッジ部分が、前記弁座内で前記弁体を自己整合させて前記可撓性部分の運動を軸方向に抑制する、方法。
【請求項22】
請求項21に記載の圧力調整器アセンブリを通って流れるガスの圧力を調整する方法であって、
複数の渦巻き状アーム(62)を提供して前記弁体(54)の前記可撓性部分(60a)および前記エッジ部分(60b)を形成するステップをさらに含み、
前記弁を位置決めするステップが、前記渦巻き状アームを軸方向にずらし、前記弁を付勢して前記弁座に押し付けて前記弁を封止するステップをさらに含む、方法。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7A】
【図7B】
【図8】
【図9A】
【図9B】
【図10】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7A】
【図7B】
【図8】
【図9A】
【図9B】
【図10】
【公表番号】特表2012−526330(P2012−526330A)
【公表日】平成24年10月25日(2012.10.25)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2012−509992(P2012−509992)
【出願日】平成22年5月7日(2010.5.7)
【国際出願番号】PCT/US2010/033954
【国際公開番号】WO2010/129826
【国際公開日】平成22年11月11日(2010.11.11)
【出願人】(598057523)パーカー・ハニフィン・コーポレーション (18)
【Fターム(参考)】
【公表日】平成24年10月25日(2012.10.25)
【国際特許分類】
【出願日】平成22年5月7日(2010.5.7)
【国際出願番号】PCT/US2010/033954
【国際公開番号】WO2010/129826
【国際公開日】平成22年11月11日(2010.11.11)
【出願人】(598057523)パーカー・ハニフィン・コーポレーション (18)
【Fターム(参考)】
[ Back to top ]