【課題】リニアモータの二次側の界磁を利用して移動体の位置を検出する位置検出装置は、精密機器の移動装置に適用し得る検出精度を有していない。
【解決手段】主位置演算器２０は現在位置の上位桁である主位置データを出力し、従位置演算器６０は現在位置の下位桁である従位置データを出力する。主位置演算器２０は、磁気センサ１０の検出信号から２相の矩形波信号を得て計数信号を発生し、計数信号を累積加減算して主演算データを得る。デジタルフィルタ４０は、移動平均によって検出信号の振動成分を濾波する。従位置演算器６０は、検出信号の逆正接を求めて従位置データを得る。位置演算器７０は、主位置データと従位置データを加算して位置データを生成する。ピッチ補正器９０は、移動方向に合わせて位置データをピッチ補正値で補正して移動制御装置４に出力する。 （もっと読む）

【課題】可動子を曲線状にも移動させるリニアモータにおける、制御可能性を判断する。
【課題手段】可動子の位置、および、移動の向きを示す位相差のある第１および第２の信号を出力する位置検出センサの読みを用いて、（１）第１の信号の２乗と第２の信号の２乗との和を算出し、（２）２乗和が所定の値以上にあるとき、リニアモータが制御可能であると判断して、リニアモータの制御を行う。 （もっと読む）

【課題】ボイスコイルモーターの提供。
【解決手段】ボイスコイルモーターは、可動磁気回路部品４３、固定回路部品４４、位置感知センサー４２０、保存媒体４２１、コントローラー４２を備え、可動磁気回路部品４３は永久磁石を備え、しかも負荷設置スライド台を物理接続し、固定回路部品４４はコイルにより構成し、位置感知センサー４２０は可動磁気回路部品４３の所在位置を探知でき、信号増幅器により位置電気値を出力し、コントローラー４２が保存媒体４２１より、増益値と偏移量補償値とを読み取り、増益値と偏移量補償値に基づき校正後の位置電気信号値は、固定回路部品４４のコイルに電力を獲得させた後、固定回路部品４４と可動磁気回路部品４３が提供する磁力の相互作用の下、負荷設置スライド台は移動範囲内の上端点と下端点との間で移動する。 （もっと読む）

【課題】駆動指令信号が過大になることに対する対策を適正化した電動アクチュエータ駆動装置を提供する。
【解決手段】周期的信号たる電流指令Ｉ_４１の振幅及び位相に対応する振幅情報及び位相情報を有する指令ベクトルに基づいて電流指令Ｉ_４１を生成するものであり、指令ベクトルは互いに交わる複数のベクトルで表現され、指令ベクトルを表現する各ベクトルの大きさを示す適応フィルタ係数（Ｒｅ、Ｉｍ）をそれぞれ算出する係数算出手段４４と、係数算出手段４４により算出される各々の適応フィルタ係数（Ｒｅ、Ｉｍ）に基づいて電流指令Ｉ_４１を生成する指令信号生成手段４５と、所定の条件が成立している場合に電流上限超過信号Ｓ_４１を生成して係数算出手段４４に入力する電流超過検出手段４ｃとを有し、係数算出手段４４は、電流上限超過信号Ｓ_４１が入力されている間、全ての適応フィルタ係数を電流指令Ｉ_４１が制限される方向に修正し、各適応フィルタ係数に対する修正の割合が全ての適応フィルタ係数で同一となるように抜き係数ｋを用いた。 （もっと読む）

【課題】磁極位置検出手段の情報を簡単に確認する方法を提供する。
【解決手段】磁極位置情報を出力する磁極位置検出手段と、磁極位置情報から磁極位置表示データ情報を出力する表示データ作成手段と、前記磁極位置表示データ情報を表示するデータ表示手段とを有することを特徴としたモータ駆動装置とする。 （もっと読む）

【課題】簡易でより精度の高い位置決めが可能なリニアモータおよびリニアモータの駆動システムを提供することを課題とする。
【解決手段】固定子１０と可動子２０とが互いに相対運動するリニアモータ１であって、可動子に設けられ、相対運動の方向に異なる磁極のマグネットが交互に並べられ、可動子の位置を検出するための位置検出用マグネット部２５と、相対運動する位置検出用マグネット部のマグネット２５ｎ、２５ｓを検出して位置を検出するための位置検出用センサ１６と、可動子に設けられ、位置検出用センサの出力を制御するためのゲート用マグネット３５と、相対運動するゲート用マグネットを検出するゲート用センサ３６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】簡易でより精度の高い位置決めが可能なリニアモータおよびリニアモータの駆動システムを提供することを課題とする。
【解決手段】固定子１０と可動子２０とが互いに相対運動するリニアモータ１であって、可動子に設けられ、相対運動の方向に異なる磁極のマグネット２５ｎ、２５ｓが交互に並べられ、可動子の位置を検出するための位置検出用マグネット部２５と、相対運動する位置検出用マグネット部のマグネットを検出して位置を検出するための位置検出用センサ１６と、相対運動する位置検出用マグネット部のマグネットを検出するゲート用センサ３６と、を備え、ゲート用センサが位置検出用マグネット部を検出するとき、位置検出用センサが位置検出用マグネット部に重なる位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】固定子の分散配置に適した分散配置リニアモータおよび分散配置リニアモータの制御方法を提供する。
【解決手段】固定子１０、１０Ｂと可動子２０とが互いに相対運動するリニアモータ１であって、固定子と可動子とは、互いに磁気的に作用をする複数の種類の極（１２ａ、１２ｂ、１２ｃ）（２２ａ、２２ｂ）と、複数の種類の極が種類の順に相対運動の方向に周期的に配列された周期構造とを各々有し、固定子は、相対運動の方向に複数離れて配列され、隣り合う固定子の固定子間距離Ｄ１、Ｄ２が、可動子の長さＬｍｖ以下であり、固定子の極がコイル１１により構成され、隣り合う固定子の固定子間距離に基づき、コイルに供給する電流を制御するする電流制御手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】モータで生ずる推力リップルの解析及び補正を精確に行うことができる推力リップル解析方法及び補正方法を提供する。
【解決手段】平面モータ１は固定子としての格子プラテン１０と可動子としてのスライダ部２０とを備えており、モータ制御装置３０の制御によってスライダ部２０が格子プラテン１０上で移動されるとともに位置決めされる。平面モータ１で生ずる推力リップルを解析する場合には、格子プラテン１０に対するスライダ部２０の位置を変えながらスライダ部２０を微小振動させたときの平面モータ１の応答特性を測定し、格子プラテン１０に対するスライダ部２０の位置に応じた平面モータ１の応答特性の変化から推力リップルを求める。 （もっと読む）

【課題】重量／推力比を低減し、電力消費量を抑制するとともに運用コストの低減化が図れるリニア電動機を提供する。
【解決手段】円弧状の永久磁石の磁極がその中心軸を含む断面において最大でも９０度づつ回転するよう当該永久磁石を隣接させて構成される外側永久磁石列11と、円環状の永久磁石の磁極が前記外側永久磁石列11と同じ向きの磁化ベクトル半径方向成分を有するとともに前記外側永久磁石列11と逆向きの磁化ベクトル軸方向成分を有する内側永久磁石列15を備える界磁と、前記外側永久磁石列11と前記内側永久磁石列15の間にリングの軸方向に移動できるように支持されるリング状の三相コイル31を備える電機子と、電機子に所定の推力を発生させる駆動装置９とを具備してリニア電動機を構成する。
これにより、鉄心を用いなくても電機子コイルに強い磁束を鎖交させることができ、電機子コイル全体に界磁の磁束が鎖交する。 （もっと読む）

【課題】 リニアモータの推力リップルが多周期成分を含んでも、制御ゲインが低くても、高精度に推力リップルを補償し、モータの送りむらを減少させるリニアモータの推力リップル補償装置を提供する。
【解決手段】 リニアモータの推力リップル補償装置において、推力リップル補償部２０は、可動子位置を入力しフーリエ基本波の位相を出力する位相計算器２５と、可動子位置に基づいてフーリエ変換機能信号と係数更新機能信号を出力する操作器２４と、フーリエ変換機能信号が有効となった際にフーリエ基本位相および補償推力指令に基づいてフーリエ変換を行い第１フーリエ係数を算出するフーリエ変換器２３と、係数更新機能信号が有効となった際に第１フーリエ係数を入力してデータ更新し第２フーリエ係数を出力するバッファ２２と、第２フーリエ係数を用いてフーリエ基本位相に基づいて逆フーリエ変換を行いリップル補償値を算出する逆フーリエ変換器２１とで構成した。 （もっと読む）

【課題】走行ルートに対する移動体の座標を既存のセンサで求めることにより、各ゾーンに複数台の移動体を走行させることができるようにする。
【解決手段】走行ルートに沿ってリニアモータの１次側コイルを配列すると共に、移動体にリニアモータの２次側を設ける。走行ルートを複数のゾーンに分割して、各ゾーンのゾーンコントローラによりゾーン内のリニアモータのコイルを制御する。コイルのリニアスケールからのリニアスケールを基準とする移動体の座標を、走行ルートを基準とする座標に変換する。
【効果】移動体の位置を走行ルートを基準に表現すると、移動体間の距離を求めることができ、１ゾーンに複数台の移動体を走行させることができる。 （もっと読む）

【課題】ガントリータイプのテーブルにおいて、塗布速度への立ち上げが指令速度に対して遅れるために有効な塗布面を得るには塗布速度の高速化や除外距離（塗布を始めてから塗布膜厚の変動率が要求仕様に収まるまでの走行距離）の短縮も望まれており、速度制御への要求内容は厳しいものとなっているため、これに対応する。
【解決手段】クロスカップリング制御とゲイン切替制御の方式において、塗布速度到達時のオーバーシュートをおさえ、それ以降は速度ムラをおさえるために、中心速度コントローラのゲイン切替のみを行っていたが、左右偏差コントロールのゲインを加速時に大きくして加速終了後に小さくした。 （もっと読む）

本発明は、ガスコンプレッサのシリンダ２とリニアモータ駆動のピストン１の間において、衝撃又は衝突の発生を検出することができる方法を開示する。当該方法は、ｉ）ピストンが上死点に位置する前にリニアモータの電気出力に関連する基準信号Ｓｒを得る段階と、ｉｉ）ピストンが上死点に位置した後にリニアモータの電気出力に関連する検出信号Ｓｄを得る段階と、ｉｉｉ）基準信号Ｓｒと検出信号Ｓｄを比較する段階と、ｉｖ）ステップｉｉｉ）の比較の結果が、予め設定した許容値を考慮して、シリンダ２とピストン１の間の衝撃から発生する変化を示すということを検出信号Ｓｄが示す時に衝撃の発生を記録する段階とを備えている。本発明は、また、上述の方法を実施することができる電子検出装置を開示している。本発明は、また、ガスコンプレッサ１００と、上述の検出器を備えた制御システムに関する。
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【課題】 テーブルを駆動するアクチュエータへの電流供給路の断線の検知を、簡単な構成でかつ確実に行うことができる位置決め装置を提供すること。
【解決手段】 ステージ１を駆動するアクチュエータ２と、アクチュエータ２に電流を供給するドライバ３との間に電流供給路４２が接続され、この電流供給路４２に途中には電流検出器８が設けられる。電流供給路４２は複数の経路を有し、電流検出器８は、上記複数の経路のうちの少なくとも１つの経路の電流に基づいて電流供給路４２の断線を検知する。 （もっと読む）

【課題】電流駆動型アクチュエータ駆動制御装置において、コストを抑制して速度フィードバックを可能とすることである。
【解決手段】気体圧サーボ弁の位置決め制御システム１０において、スプール２４の位置を変位センサ４２で検出し、位置指令５２と比較してその偏差に対し、ゲインＧ₁を乗じて速度指令とし、速度指令と制御対象の速度と比較し、その偏差に対しゲインＧ₂を乗じて駆動指令とし、これを電流ブースタ６２に出力する。電流ブースタ６２は、駆動指令を駆動電流に変換してフォースモータ４０の可動線輪３６に供給し、スプール２４を移動させる。電流ブースタ６２の出力は速度演算器６６によって積分演算されて速度情報に変換され、速度フィードバックループ６７によって減算器５８に戻される。振動除去装置に置いても同様に速度演算器による速度フィードバックを行うことができる。 （もっと読む）

【課題】加速度を上げても振動が発生せず、なめらかに位置指令値に追従できるリニアパルスモータを実現する。
【解決手段】電流指令値と、位置指令値より変換される電気角指令値に基づいてスライダをマイクロステップ駆動するリニアパルスモータにおいて、前記スライダに与えられる加速度信号と前記スライダの質量に基づいて前記スライダの必要推力量を算出する必要推力算出手段と、算出された前記必要推力量と前記電流指令値に基づいて電気角フィードフォワード量を算出する電気角フィードフォワード量算出手段と、算出された前記電気角フィードフォワード量に応じて前記電気角指令値を補正する補正手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ばね定数と可動部の質量から決定される共振周波数をもつリニア振動アクチュエータやリニア振動発電機において、共振周波数以外の周波数で駆動しても高効率となる制御方法を提供する。
【解決手段】可動子３の変位ｘ２０は変位センサ１４で検出されて、制御装置２１内のゲインコントローラ２４にフィードバックされている。ゲイン決定手段２５は、駆動周波数ｆ２６と変位ｘ２０に基づいてゲイン可変指令２７を出力する。電流指令Ｉｃ２９から変位ｘ２０にゲインＫ２８が乗じられた信号が減算されて合成電流指令Ｉｃ＊２２となる。ゲイン可変信号２７によって、ゲインＫ２８を可変させることができる。このようにすることで、駆動周波数に見かけの共振周波数を常に一致させることができて従来法よりも高効率駆動が可能となる。 （もっと読む）

【課題】 ケーブル重量を考慮してアクチュエータに推力を分配することで、位置決め精度を高め、整定時間を短縮し、高性能な制御が可能な可動テーブル制御装置を提供する。
【解決手段】 固定部との間に電力線などのケーブルによって接続された可動テーブル１０７を駆動するアクチュエータ１０５及び１０６と、該アクチュエータの発生する推力を制御するアクチュエータ推力制御器１０３及び１０４と、可動テーブル１０７の位置指令から重心まわり推力指令を算出する制御器１０１と、重心まわり推力指令をアクチュエータ推力指令に変換する推力指令変換器１０とを備えた可動テーブル制御装置において、推力指令変換器１０が可動テーブル１０７のみの重心位置をケーブル込み重心位置に換算する重心位置変換器１２と、可動テーブル１０７の位置指令値またはフィードバック値を用いてケーブルのテンションを算出するケーブルテンション算出器１３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】回生制動を行わせるモータ制御装置に関し、衝撃的な急制動ではなく、且つ完全停止までの時間を短縮可能とする減速特性で回生制動を行わせる。
【課題を解決するための手段】
直流モータや交流モータ等のモータ１の駆動電源装置２の障害発生時に、モータ１を回生制動するモータ制御装置に於いて、駆動電源装置２からモータ１に駆動電圧を印加できない障害発生を検出する障害検出部５と、この障害検出部５による障害検出時にオンとするトランジスタ等から構成されたスイッチ回路３と、このスイッチ回路３をオンとした時に、モータ１と並列に接続し、モータ１の回生電圧を印加して、予め設定した定電流が流れる特性とした定電流回路４とを備えている。 （もっと読む）