【課題】温度の変化に対する中心周波数の変化の小さい、擬似弾性表面波を用いたフィルタを提供する。
【解決手段】電気機械結合係数の大きなＬｉＮｂＯ_３、ＬｉＴａＯ_３基板上に膜厚がＨ_１の金属膜２を付着させた後、膜厚がＨ_２で正の周波数温度特性をもつＳｉＯ_２などの薄膜３を付着させた構造とする。この基板を伝搬する弾性表面波として、レーレー波より速い速度をもつ擬似弾性表面波を用い、圧電性基板１として、ＬｉＮｂＯ_３の場合、回転Ｙ板のカット角がマイナス２５度から１８０度の範囲のＬｉＮｂＯ_３基板、ＬｉＴａＯ_３の場合、２５度から４５度の範囲であり、かつ弾性表面波の伝搬方向がＸ軸或いはＸ軸からプラス・マイナス５度の範囲であり、薄膜２の膜厚Ｈ_１／λ（λ：弾性表面波の動作周波数での波長）が０．００５から０．２の範囲であり、薄膜３の膜厚Ｈ_２／λ（λ：弾性表面波の動作周波数での波長）が０．００５から０．６の範囲でとする。 （もっと読む）

【課題】 優れた周波数特性と通過特性を有する弾性表面波素子、及びこの弾性表面波素
子の製造方法を提供する。
【解決手段】 弾性表面波素子１０は、半導体基板（Ｓｉ層５０）の同一平面上に半導体
配線領域２０とＳＡＷ領域３０が並列して形成されている弾性表面波素子１０であって、
ウエハ１に弾性表面波素子１０を格子状に配列すると共に、隣接する弾性表面波素子１０
に形成される半導体配線領域２０を市松模様状に配列し、半導体配線領域２０とＳＡＷ領
域３０の上面に渡って同一平面の絶縁層７１〜７４を形成し、最上層の絶縁層７４の表面
に圧電体層９０を形成し、ＳＡＷ領域３０の圧電体層９０の表面にＩＤＴ４０を形成する。 （もっと読む）

【課題】 良好な圧電特性を得ることができる圧電素子を提供する。
【解決手段】 本発明に係る圧電素子１０は，
基板１と、
基板１の上方に形成された第１導電層４と、
第１導電層４の上方に形成された、ペロブスカイト構造を有する圧電体からなる圧電体層５と、
圧電体層５に電気的に接続された第２導電層６と、を含み、
第１導電層４は，（００１）に優先配向しているランタン系層状ペロブスカイト化合物からなるバッファ層４１を１層以上含む。 （もっと読む）

弾性境界波が伝搬する境界面と媒質層の表面との間で閉じ込められる弾性波に起因するスプリアスを効果的に抑圧することができ、良好な共振特性やフィルタ特性を得ることを可能とする弾性境界波装置を提供する。相対的に音速が速い第１の媒質層としてのＬｉＮｂＯ_３基板と、相対的に音速が遅い第２の媒質層としてのＳｉＯ_２膜との境界に、電気音響変換器としてのＩＤＴと、反射器とが配置されており、ＳｉＯ_２膜の上面に、複数本の溝が形成されて凹部及び／または凸部が設けられている、弾性境界波装置。
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【課題】本発明は携帯電話などの小型無線情報通信機器に用いられる弾性表面波フィルタに関して、広帯域なフィルタ特性を有するＳＡＷフィルタを提供するものである。
【解決手段】並列腕に対して複数並列接続された所定の反共振周波数を有する一端子対弾性表面波共振器を備え、隣り合う一端子対弾性表面波共振器５ａ，５ｂ間を直列腕上においてインダクタ６ａ，６ｂ或いはキャパシタ７で接続するとともに、一端子対弾性表面波共振器５ａ，５ｂとグランド間にインダクタ６ａ，６ｂを設けた。 （もっと読む）

【課題】 ＳＡＷデバイスを特性の変化無く、より一層薄型化し、簡単な構造でＩＤＴ電極と外部電極との電気的導通性及び気密封止性を確保する。
【解決手段】 ＳＡＷデバイス１は、圧電基板４にＩＤＴ電極５、ＩＤＴ電極から引き出した取出電極８、及び圧電基板の周辺全体に沿って設けた金属接合部９を有するＳＡＷチップ２と、ガラス基板１０に取出電極８に対応して設けた貫通孔１１、ガラス基板下面の周辺全体に沿って設けた金属接合部１３、ガラス基板下面に貫通孔の開口周辺に設けた接続電極１２を有するカバー３とを備える。ＳＡＷチップの金属接合部及び取出電極とカバーの金属接合部及び接続電極とをそれぞれ熱圧着で接合し、ＩＤＴ電極をカバー下面と接触した状態で気密に封止する。貫通孔内に形成した金属膜１４及び封止材１６で、ガラス基板上面の外部電極１５とＩＤＴ電極とを電気的に接続する。 （もっと読む）

【課題】 小型化された構成でありながら、形成した減衰極の変化による減衰量は高域側減衰帯域だけでなく低域側減衰帯域においても、十分に大きくする。
【解決手段】 本発明のフィルタパッケージは、入力信号に基づいた第１の信号を伝達する第１の接続点と、前記第１の接続点と接続されると共に前記第１の信号を受けて第２の信号を出力する第１の直列腕共振器と、前記第２の信号に基づいた信号を伝達する第２の接続点と、前記第１の接続点と第３の接続点とに接続された第１の並列腕共振器と、前記第２の接続点と第４の接続点とに接続された第２の並列腕共振器と、前記第３の接続点と前記第４の接続点とに接続された第１のワイヤと、接地電極と前記第３の接続点とに接続された第２のワイヤとを有する。 （もっと読む）

【課題】 ２段構成の弾性表面波フィルタの群遅延および挿入損失の周波数特性を簡易な方法で改善する。
【解決手段】 第１の弾性表面波フィルタに温度センサ３と温度調節部５を付設し、第２の弾性表面波フィルタ２に温度センサ４と温度調節部６を付設する。そして、第１の弾性表面波フィルタ１を通過した信号の周波数特性におけるピーク点と、第２の弾性表面波フィルタ２を通過した信号の周波数特性におけるボトム点とが重なり合うように、第１の弾性表面波フィルタ１の温度と第２の弾性表面波フィルタ２の温度とを所定の温度差になるように制御する。 （もっと読む）

【課題】シングル電極の櫛型電極内の内部反射を抑圧するＳＡＷトランスバーサルフィルタとして利用可能な弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】ＳＡＷトランスバーサルフィルタ１は、タンタル酸リチウム単結晶からなる圧電基板と、圧電基板の表面に形成され、アルミニウムを主成分とする膜厚ＨｍのＩＤＴ２とを備えている。ＩＤＴ２は、アルミニウムを主成分とする極性が正である正極２−１と、アルミニウムを主成分とする極性が負である負極２−２と、から構成されており、正極２−１と、負極２−２とが弾性表面波の１波長内に配置されている。誘電膜３は、正極２−１と負極２−２の間の圧電基板の表面に形成され、二酸化ケイ素を主成分とし、誘電膜３の膜厚Ｈｄは、弾性表面波の波長で規格化した膜厚Ｈｄが弾性表面波の波長で規格化した膜厚Ｈｍより略３％厚くして設けられている。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波の漏洩を低減した弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】圧電基板上に、複数の電極指と一対のバスバー電極とを有するＩＤＴを形成するとともに、該ＩＤＴの弾性表面波の伝搬方向の両側に、一対の反射器を形成してなる弾性表面波装置において、バスバー電極のそれぞれに、少なくとも一本のスリットを電極指と垂直に形成したことを特徴とする弾性表面波装置。 （もっと読む）

【課題】 ウェハ上に形成された状態で各トランスバーサル型弾性表面波フィルタ素子の周波数特性の良否を判断するための測定用パッドを備えた状態で、各素子の小型化を図り、ウェハ上の集積密度を高めて、ウェハ一枚あたりからの取り個数を増やす。
【解決手段】 プローブ測定を行うための測定パッドを、隣接するトランスバーサル型弾性表面波フィルタ素子同士で共有してウェハ上に形成し、測定用パッドの個数をおよそ半減させることにより、１素子あたりの専有面積を小さくしたことを特徴とするトランスバーサル型弾性表面波フィルタ素子の製造方法。 （もっと読む）

本発明は、音響表面波で作動する構成素子の電極構造体の層構造に関する。この電極構造体はここで、音響インピーダンスＺ_ａ，ｄを有する誘電層（４）によって覆われている。電極構造体の層構造は第１の層システムを含み、当該第１の層システムは、第１の材料から成る少なくとも１つの第１の層（３１，３２）から成り、この第１の層内では音響インピーダンスは２Ｚ_ａ，ｄより小さく、層構造はさらに第２の層システムを含み、この第２の層システムは、第２の材料から成る少なくとも１つの第２の層（２１，２２、２３）から成り、この第２の層内では音響インピーダンスは値２Ｚ_ａ，ｄを上回る。この多層構造の全体高さに対する、前記第２の層システムの全体厚さの相対的な割合は１５％〜８５％の間である。
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【課題】 ラダー型フィルタを狭帯域化した際に、挿入損失を小さく、減衰傾度を急峻にする手段を得る。
【解決手段】 共振周波数（ｆｒｐ）と反共振周波数（ｆａｐ）とを有する第１の共振子が並列腕に、共振周波数（ｆｒｓ）と反共振周波数（ｆａｓ）を有する第２の共振子が直列腕に配置され、入力と一方の外側共振子とを結ぶ入力配線と、出力と他方の外側共振子とを結ぶ出力配線とを備えたラダー型フィルタにおいて、Δｆ＝（ｆｒｓ−ｆａｐ）、ｆｏ＝（（ｆｒｓ＋ｆａｐ）／２）と定義したとき、Δｆ／ｆｏが−０．００６３５≦Δｆ／ｆｏ＜０の関係を満たし、且つ入力配線と出力配線の各々に発生する対地容量が０．２〜１．８ｐＦの範囲内でラダー型フィルタである。 （もっと読む）

【課題】 圧電基板の他方主面に導体層が形成された弾性表面波素子をフェースダウン実装した弾性表面波装置の通過帯域外減衰量を改善する。
【解決手段】 圧電基板２の一方主面に励振電極３と入力パッド部と出力パッド部とを具備するフィルタ領域が形成され、他方主面に半導体層22が形成された弾性表面波素子１を、実装用基体上に一方主面を対面させて実装している弾性表面波装置である。弾性表面波素子１の作製工程で発生する焦電破壊を防止するために圧電基板２の他方主面に設けられていた導体層に代えて、キャリア移動度の小さい半導体層２を形成したことによって、フィルタ領域の入力パッド部および出力パッド部間に形成されていた寄生容量による入力パッド部および出力パッド部間の結合量を大幅に小さくすることができ、これにより、通過帯域外減衰量を改善することができる。 （もっと読む）

【課題】 不平衡−平衡変換機能を有し、通過帯域内の平衡度が良好な弾性表面波素子およびそれを用いた通信装置を提供すること。
【解決手段】 弾性表面波素子は、圧電基板１上に、弾性表面波の伝搬方向に第１のＩＤＴ電極31〜34の複数を電気的に接続したＩＤＴ電極群21，22及び第１の反射器電極２，３を配設し、ＩＤＴ電極群21，22の少なくとも２つの第１のＩＤＴ電極31〜34の間に、第１のＩＤＴ電極31〜34に電気的に非接続の、第２のＩＤＴ電極及び第２の反射器電極41，42の内いずれか１種以上を第１の分離電極として配設し、ＩＤＴ電極群21，22と第１の反射器電極２，３との間に、ＩＤＴ電極群21，22とは電気的に非接続の第３のＩＤＴ電極51，52を第２の分離電極として配設した弾性表面波素子部を備え、第３のＩＤＴ電極51，52同士が接続されて不平衡入力部４とされ、ＩＤＴ電極群21，22のそれぞれが平衡出力部５，６とされている。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能で、不要共振による電気特性上の不具合が抑制された弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】圧電基板１０と、その上に弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された一対の反射器電極２１ａ、２１ｂと、その間に形成された少なくとも一つのＩＤＴ電極２２とを有する弾性表面波装置において、一対の反射器電極２１ａ、２１ｂの一方の電極厚みと他方の電極厚みとを異ならせる。 （もっと読む）

【課題】横モードスプリアスを低減し、電極指の交差幅を大きくできるようにする。
【解決手段】弾性表面波素子片１０は、圧電基板１２がタンタル酸リチウムのＸカット板から形成してある。圧電基板１２の表面には、すだれ状電極からなる一対のＩＤＴ（１４ａ、１４ｂ）と、これらのＩＤＴを挟むように一対の反射器（２０ａ、２０ｂ）とが設けてある。ＩＤＴ（１４ａ、１４ｂ）を形成している電極指部１８（１８ａ、１８ｂ）は、アルミニウム系金属膜からなる電極指本体３０を有する。電極指本体３０の表面には、電極指本体３０を陽極酸化して形成した陽極酸化膜３２が設けてある。陽極酸化膜３２は、二酸化ケイ素膜２６によって覆われている。また、電極指部（１８ａ、１８ｂ）の交差幅は、弾性表面波の波長の２０倍以上にしてある。 （もっと読む）

【課題】任意の帯域幅の共振器及びフィルタを提供する。
【解決手段】大きな電気機械結合係数をもつ圧電・電歪物質基板の表面或いは圧電薄膜基板上にすだれ状電極を配置した共振器、或いはその両側に反射器を配置した構造の共振器において、電極の交差幅を伝搬方向に変化させることにより、励振効率を低下させ、全体の電極対数を大きくすることにより、共振−反共振の周波数幅を狭くする。 （もっと読む）

【課題】 半導体基板のＩＣ形成層に積層して弾性表面波素子を備えた弾性表面波装置において、ＩＣと弾性表面波素子の間の素子分離をし、ノイズの発生を防止する弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】 半導体基板１０と、半導体基板１０に形成されたＩＣ形成層１１と、ＩＣ形成層１１に積層された反射層２０と、反射層２０上に形成された圧電薄膜層３０と、圧電薄膜層３０上に形成された弾性表面波素子３１とを備え、反射層２０で弾性表面波素子３１から励振される弾性波を反射させるために、反射層２０の厚さｄ１を、弾性波が反射層２０を伝搬するときの波長の１／４の厚さに形成する。 （もっと読む）

【課題】 電極膜の剥離を防ぎ、ＳＨ型弾性表面波デバイスの振動損失を低減するＳｉＯ_２膜の膜厚を得る。
【解決手段】 オイラー角（０°，１１０°〜１５０°，９０°±２°）の水晶基板上に少なくともの１つのＩＤＴ電極と複数のグレーティング反射器とを配置すると共に、該ＩＤＴ電極、グレーティング反射器を覆うようにＳｉＯ_２膜を付着して構成したＳＨ型弾性表面波デバイスであり、ＳｉＯ_２膜の膜厚Ｈが８％λ＜Ｈ＜１０％λ（λは波長）に設定してＳＨ型弾性表面波デバイスを構成する。 （もっと読む）