【課題】弾性表面波素子の特性を向上させる。特に、素子の電極の劣化を低減する。
【解決手段】基板１０と、基板の主表面のダイヤモンド層１０ｂ上に形成された圧電体膜１３と、この上側に形成された弾性表面波発生用の櫛歯型電極１５ａと、この電極上に電極を覆うよう形成され、圧電体膜１３と同じ材料からなる電極被覆膜１７と、を有するよう弾性表面波素子を構成する。このように、櫛歯型電極１５ａの全体を圧電体膜１３と圧電体膜と同じ材料からなる電極被覆膜１７とで覆うことにより、電極のストレスマイグレーション耐性を向上させる。 （もっと読む）

【課題】櫛型電極や弾性表面波の伝搬領域が確実に保護された弾性表面波素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】圧電基板１０上に形成された櫛形電極及び弾性表面波の伝搬領域１２を有する弾性表面波素子において、櫛形電極及び弾性表面波の伝搬領域１２が収容される空間を形成して、櫛形電極及び弾性表面波の伝搬領域１２を覆う蓋体を圧電基板１０上に設けた。蓋体は、例えば、櫛形電極及び弾性表面波の伝搬領域１２が収容される空間を形成して、櫛形電極及び弾性表面波の伝搬領域１２を覆うように跨ぐブリッジ状の第一の蓋体部１４と、第一の蓋体部１４を封止する封止膜１６と、第一の蓋体部１４を覆う第二の蓋体部１８と、からなる二重構造となっている。 （もっと読む）

【課題】
ボール状基材表面の洗浄を容易とし、異物を取り去り、繰り返しの再利用も可能とする弾性表面波素子表面の洗浄方法を提供する。
【解決手段】
球面または円筒面の一部で形成され、円環状に連続している円環状表面を有する基材と、円環状表面に沿って伝搬する弾性表面波を励起する弾性表面波励起手段とを備えており、円環状表面は、弾性表面波が伝搬可能な曲面からなる伝搬路を有していると共に、弾性表面波励起手段は、円環状表面に沿って設けられ、高周波電源に接続されるすだれ状電極を含んでいる弾性表面波素子の表面洗浄にあたって、すだれ状電極への電界印加に伴い、励起して伝搬する弾性表面波に応じた振動によって、円環状表面に付着した異物等の被洗浄物を除去する弾性表面波素子の表面洗浄方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】表面波の変位が表層部に集中することによる不具合を低減することができる弾性
表面波デバイスの新規な構造を提供する。
【解決手段】本発明の弾性表面波デバイス１０は、基体層１２と、該基体層上に配置され
た圧電体層１４と、該圧電体層の表裏いずれかの面上に形成された電極構造１５とを含む
弾性表面波デバイスにおいて、前記基体層と前記圧電体層の間に、前記基体層よりも音響
インピーダンスが小さく、しかも、前記圧電体層よりも音響インピーダンスが大きい音響
緩和層１３が介在していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ｃ軸方向が圧電基板表面にほぼ平行な方向に配向されている圧電薄膜を有する圧電装置を提供する。
【解決手段】（０１０）面ＬｉＮｂＯ_３基板、（０バー１０）面ＬｉＮｂＯ_３基板、（０１０）面ＬｉＴａＯ_３基板及び（０バー１０）面ＬｉＴａＯ_３基板からなる群から選択された１種の圧電基板２と、前記圧電基板２上に形成されており、ｃ軸方向が基板表面に実質的に平行な方向に配向されているＺｎＯまたはＡｌＮからなる圧電薄膜４と、前記圧電薄膜４に接するように形成された第１，第２の電極３，５とを備える。 （もっと読む）

【課題】基体上にニオブ酸カリウムナトリウムからなる圧電体層が形成された圧電体積層体を提供する。
【解決手段】圧電体積層体１００は、基体１と、前記基体１の上方に形成された、ニオブ酸カリウムナトリウムからなる第１圧電体層３と、を含む。前記第１圧電体層３は、組成式（Ｋ_ａＮａ_１−ａ）_ｘＮｂＯ_３で表され、該組成式において、０．１＜ａ＜１であり、１≦ｘ≦１．２であることができる。 （もっと読む）

ここに記載されているのは、障害となる横モードを抑圧するＳＡＷ変換器である。ここでこれは、音波の横方向励起プロフィールと、音響トラックおよびこれに隣接する外部領域（ＡＵ１，ＡＵ２）によって形成される導波体の横方向基本モードとを互いに適合させることによって達成される。この適合化は、上記の音響トラックを励起領域（ＭＢ）と縁部領域（ＲＢ１，ＲＢ２）とに分けることによって行われる。この縁部領域および外部領域は、縁部領域における音波の縦方向の位相速度が、励起領域よりも大きくなるように構成されており、この外部領域における縦方向の位相速度は、励起領域よりも小さい。またｋ_ｙは縁部領域において実数であり、外部領域において虚数である。上記の縁部領域（ＲＢ１，ＲＢ２）の幅を調整して、上記の励起領域においてｋ_ｙが実質的に一定であり、また実質的にゼロに等しいようにする。
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【課題】 挿入損失劣化を低減し、肩特性を向上できる優れた弾性表面波素子及びそれを用いた通信装置を提供すること。
【解決手段】 弾性表面波装置は、圧電基板１上に、一対の平行な共通電極及び各共通電極から互いに噛み合うように延びた複数の電極指から成る複数のＩＤＴ電極２〜４と、弾性表面波の伝搬方向に直交する方向に長い電極指を複数備えた反射器電極５，６とから成る弾性表面波素子が形成されており、ＩＤＴ電極２〜４の共通電極上に共通電極に沿って絶縁体１４を介して形成されるとともにＩＤＴ電極２〜４に接続された引き出し電極７，８が設けられている。 （もっと読む）

【課題】モールド加工時のモールド樹脂の流入圧力に対して、破損を低減できる電子部品パッケージを提供する。
【解決手段】電子部品パッケージは、部品基板１３と、この部品基板１３の下面に配置した複数の電子部品素子１４およびこれら複数の電子部品素子１４を接続する配線１５と、前記複数の電子部品素子１４の外周に配置した接着部１６と、この接着部１６を介し前記部品基板１３の下面側を覆う部品カバー１７とを備え、この部品カバー１７と前記電子部品素子１４との間には前記接着部１６で囲まれたキャビティ１９があり、このキャビティ１９を、前記複数の電子部品素子１４の間に設けた仕切り壁１８によって仕切ることによって、外圧が印加された場合も、前記仕切り壁１８が電子部品の形状を支持し、さらにその外部応力を分散することができ、その結果として電子部品パッケージの破損を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】安価で、かつ、良好な振動特性をもって様々な電子機器に使用することができる弾性表面波素子、および弾性表面波デバイスを提供すること。
【解決手段】圧電基板３４の中央付近に、一対の櫛歯電極４０ａ，４０ｂからなるＩＤＴ４０が設けられており、このＩＤＴ４０が設けられた面と反対側の面を接着剤３２でパッケージ２０に接合するようにした弾性表面波素子３０であって、ＩＤＴ４０と電気的に接続された対となる一方の端子４４と他方の端子４６の端子対４４，４６が、圧電基板３４の中央領域Ｍと端部領域Ｅの各領域に設けられている。 （もっと読む）

【課題】周波数変換器におけるイメージ抑圧比を良好にする複素係数トランスバーサルフィルタを提供する。
【解決手段】複素ＲＦ信号の実数部を生成する第１のフィルタ，および，複素ＲＦ信号の虚数部を生成する第２のフィルタは，それぞれ，入力側に，同一構造の２つのトランデューサを信号伝達方向に対して線対称に並べて配置し，出力側に，同一構造の２つのトランデューサを信号伝達方向と垂直方向に並べて配置し，入力側の駆動方式はシングルであり，出力側の駆動方式はバランスであることを特徴とする。シングル／バランス（Single/Balance）駆動させたとき，バランス（Balance）駆動側の端子に伝播する直達波を互いにキャンセルさせることができるため，周波数変換器におけるイメージ抑圧比を良好にすることが可能である。 （もっと読む）

【課題】高温環境下でも、弾性表面波の励振が可能な弾性表面波デバイスとその製造方法を提供することにある。
【解決手段】サファイア基板１１上に形成される伝搬層１２と、伝搬層１２上に形成される櫛形電極１５および１６を備えるトランスバーサルフィルタ１０において、圧電性を有し積極的に不純物を含まないＧａＮから伝搬層１２を形成し、ＧａＮと比較して狭いバンドギャップを有し積極的にｎ型不純物を含むＩｎＧａＮから櫛形電極１５および１６を形成した。 （もっと読む）

【課題】櫛型電極及び弾性表面波の伝搬領域が確実に保護された弾性表面波素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】櫛形電極及び弾性表面波の伝搬領域１２が収容される空間を形成して、櫛形電極及び弾性表面波の伝搬領域１２を覆うように跨ぐブリッジ状の第一の蓋体部１４と、この第一の蓋体部１４を覆い、櫛形電極及び弾性表面波の伝搬領域１２が収容される空間を密封する第二の蓋体部１６と、からなる二重構造の蓋体を、圧電基板１０上に有し、この蓋体により、櫛形電極及び弾性表面波の伝搬領域１２を封止する。 （もっと読む）

【課題】３次モードによるスプリアスを抑制する一方で、４次モードによるスプリアスを
も抑制できるフィルタを提供する。
【解決手段】第１の縦結合ＤＭＳ共振器Ａと第２の縦結合ＤＭＳ共振器Ｂとが並列に接続
されたフィルタである。第１の縦結合ＤＭＳ共振器Ａは、ＩＤＴ電極２（ａ）、３（ａ）
が間引き法によって重み付けされている。また、第２の縦結合ＤＭＳ共振器Ｂは、ＩＤＴ
電極２（ｂ）、３（ｂ）が間引き法によって重み付けされており、第１の縦結合ＤＭＳ共
振器Ａと逆相の関係にあり、２次モードの周波数が第１の縦結合ＤＭＳ共振器Ａの１次モ
ードの周波数と一致し、４次モードの周波数が第１の縦結合ＤＭＳ共振器Ａの４次モード
の周波数と一致する。 （もっと読む）

【課題】櫛型電極や弾性表面波の伝搬領域が確実に保護された弾性表面波素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】圧電基板１０上に形成された櫛形電極及び弾性表面波の伝搬領域１２を有する弾性表面波素子において、櫛形電極及び弾性表面波の伝搬領域１２が収容される空間を形成して、櫛形電極及び弾性表面波の伝搬領域１２を覆う蓋体を圧電基板１０上に設けた。蓋体は、櫛形電極及び弾性表面波の伝搬領域１２が収容される空間を形成して、櫛形電極及び弾性表面波の伝搬領域１２を覆うように跨ぐブリッジ状の第一の蓋体部１４と、第一の蓋体部１４を覆い、櫛形電極及び弾性表面波の伝搬領域１２が収容される空間を密封するフィルム１６と、フィルム１６によって覆われた第一の蓋体部１４を覆う第二の蓋体部１８と、からなる三重構造となっている。 （もっと読む）

【課題】本発明は弾性表面波デバイスの製造方法に関するものであり、弾性表面波デバイスにおけるデバイス特性の向上を目的とする。
【解決手段】圧電体基板１と、この圧電体基板１の表面に設けられた櫛形トランスデューサ２とからなる弾性表面波デバイスにおいて、弾性表面波デバイスの裏面に設けられる不用波対策用の複数の溝５に対して、隣り合う溝の間隔を一端側７から他端側８に向けて狭くなるように設定したのである。この構成により、溝の延伸方向と弾性表面波の伝搬方向との交差角がそれぞれの溝によって変わることとなり、各溝に対する不要波の反射条件を不均一化できるので、弾性表面波デバイスの特性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】通過帯域外減衰量を向上し、通過帯域幅の広いフィルタ特性を有し、かつ、小型化が可能な弾性表面波素子を提供すること。
【解決手段】ＩＤＴ電極を有する弾性表面波共振子１０，２０と、信号を入力する入力端子３１，３２と、信号を出力する出力端子３３，３４とを備えている。弾性表面波共振子１０では、ＩＤＴ電極１１が有する一対のバスバーのうち、２つに分割されたバスバー１３ａ，１３ｂはそれぞれ、出力端子３３，３４に接続されており、バスバー１２は、入力端子３１に接続されている。弾性表面波共振子２０では、ＩＤＴ電極２１が有する一対のバスバーのうち、２つに分割されたバスバー２３ａ，２３ｂはそれぞれ、出力端子３３，３４に接続されており、バスバー２２は、入力端子３２に接続されている。 （もっと読む）

【課題】周波数温度特性を改善し得るだけでなく、製造工程の簡略化を果たすことができ、かつコストを低減することが可能な弾性表面波フィルタ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電基板２上にＩＤＴ電極７ｂ及び第１の配線パターン１１を形成し、ＩＤＴ電極７ｂ及び第１の配線パターン１１を覆うように絶縁膜１０を形成し、ＩＤＴ電極７ｂが形成されている部分上及び第１の配線パターン１１の一部上に絶縁膜が残るように絶縁膜１０をエッチングし、さらに第１の配線パターン１１上に絶縁膜１０が残存している部分において、第１の配線パターン１１と接触しないように、第１の配線パターン１１と異なる電位に接続される第２の配線パターン１２を形成する各工程を備える弾性表面波装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】圧電特性などに優れた新規な圧電材料を提供すること。
【解決手段】圧電材料は、下記一般式（１）で表される。
x(K_1/2Bi_1/2)TiO₃-(1-x)KNbO₃ ・・・（１）
前記一般式（１）において、０．３≦ｘ≦０．７であることができる。 （もっと読む）

【課題】水晶基板を用いた表面波デバイスであり、小型で、Ｑ値が大きく、周波数エージング特性の優れたＳＨ波型ＳＡＷデバイスを得る。
【解決手段】圧電基板と、該圧電基板上に形成されＡｌを主成分とする合金からなるＩＤＴ電極とを備え、励振波をＳＨ波とした弾性表面波デバイスであって、前記圧電基板は、回転Ｙカット水晶基板のカット角θを−６４．０°＜θ＜−４９．３°の範囲に設定し、且つ、弾性表面波の伝搬方向を結晶Ｘ軸に対し９０°±５°とした水晶平板であり、励振する弾性表面波の波長をλとした時、前記ＩＤＴ電極の波長で基準化した電極膜厚Ｈ／λを０．０４＜Ｈ／λ＜０．１２としたＳＨ波型弾性表面波デバイスにおいて、前記水晶基板を０．００２μｍ以上の厚さでエッチングしてＳＨ波型弾性表面波デバイスを構成する。 （もっと読む）