【課題】通過帯域の近傍における減衰量をさらに改善をする。
【解決手段】弾性表面波素子片は、圧電基板の弾性表面波の伝播方向に沿って複数のすだれ状電極からなるＩＤＴが設けてある。少なくとも１つのＩＤＴ１４は、弾性表面波の反射を生ずるシングル電極セル３０と、弾性表面波の反射を生じないダブル電極セル３２とを混在させて形成してある。また、シングル電極セル３０における共振周波数ｆ１と、反射を生じないダブル電極セルにおける共振周波数ｆ２とが異ならせてある。 （もっと読む）

【課題】 挿入損失劣化を低減し、小型化を実現した弾性表面波装置及びそれを用いた通信装置を提供すること。
【解決手段】 第１，第２の弾性表面波素子２０，２１は、弾性表面波の伝搬方向に延びる中心共通バスバー電極２９の両側に、該電極２９により接続されて形成され、電極２９上に沿って絶縁体を介して形成されると共にＩＤＴ電極に接続された引き出し電極が設けられており、引き出し電極が不平衡入（出）力端子に接続されており、素子２０，２１と弾性表面波共振子１８，１９は、隣接して伝搬方向の直交方向に並んで配置され、互いのバスバー電極が絶縁体３２，３３を介して重なって配置されており、共振子１８，１９の各ＩＤＴ電極のバスバー電極が平衡入（出）力端子に接続され、素子２０，２１の各中央のＩＤＴ電極以外のもののバスバー電極が共振子１８，１９のＩＤＴ電極のバスバー電極に絶縁体を介して並列接続されている。 （もっと読む）

【課題】低損失で急峻な減衰特性を有する小型のローパスフィルタを提供する。
【解決手段】ローパスフィルタは、第１のフィルタ１と第２のフィルタ２と第３のフィルタ３と第４のフィルタ４とを有する。第１のフィルタ１は、２端子対ＳＡＷ共振子１１からなる。第２のフィルタ２は、１端子対ＳＡＷ共振子２１とインダクタ２２とからなる。第３のフィルタ３は、キャパシタ３３と１端子対ＳＡＷ共振子３１とインダクタ３２とからなる。第４のフィルタ４は、２端子対ＳＡＷ共振子４１からなる。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波装置の耐衝撃性を向上させ、かつ小型で低背な弾性表面波装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】圧電基板１上面に弾性表面波素子の領域を複数形成する工程、各領域を犠牲層５で覆う工程、犠牲層５を覆って各領域上に第１封止部材６を形成しそれに貫通孔７を形成する工程、貫通孔７を通して犠牲層５を除去し空間を形成する工程、貫通孔７を第２封止部材８により塞ぐ工程、複数の領域を保護カバー１２で覆い各領域でパッド電極３上に柱状電極１１を形成する工程、保護カバー１２及び圧電基板１下面をダイシングテープ１５及び接着用樹脂シート１４上に接着する工程、圧電基板１をダイシングテープ１５を残して各領域毎に分断する工程、分断で形成された間隙及び各領域を柱状電極１１の上端面を残して覆って樹脂保護層１６を形成する工程、樹脂保護層１６を間隙の部位で分断し弾性表面波装置を複数個製造する工程を具備する。 （もっと読む）

【課題】基板に対して垂直な側面を有する電極を形成して、弾性表面波の反射を大きくする。
【解決手段】ＬＢＯウエハ３６の表面に電極用金属膜３８を形成する成膜工程と、金属膜３８の上にフォトレジスト膜４０を形成するレジスト膜形成工程図と、レジスト膜４０を露光、現像して所定の形状にパターニングするマスク形成工程と、パターニングしたレジスト膜４０をマスクにして金属膜３８の露出部に、予め定めたガスのプラズマを照射して金属膜３８を除去し、ＬＢＯウエハ３６を露出させるとともに、露出させたＬＢＯウエハの表層部を除去するエッチング工程と、ＬＢＯウエハの露出部を水洗し、ＬＢＯウエハ３６に生じたプラズマによるダメージ層４６を除去する洗浄工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】妨害波に起因した非線形応答の発生を抑制することが可能な分波器を提供すること。
【解決手段】本発明は、アンテナ端子（Ａｎｔ）と、アンテナ端子と接続された第１フィルタ（１０）と、第１フィルタより高周波側に通過帯域を有しアンテナ端子と接続された第２フィルタ（２０）と、第２フィルタとアンテナ端子との間に接続され並列に接続された第１インダクタ（Ｌ１）と第１キャパシタ（Ｃ１）を含む共振回路（４０）と、を具備し、第１フィルタの通過域周波数をｆ_１Ｌｏｗ〜ｆ_{１Ｈｉｇｈ}、第２フィルタの通過帯域をｆ_２Ｌｏｗ〜ｆ_{２Ｈｉｇｈ}、共振回路の共振周波数をｆｒとしたとき、ｆｒは、ｆｒ＝（ｆ_２Ｌｏｗ〜ｆ_{２Ｈｉｇｈ}）±（ｆ_１Ｌｏｗ〜ｆ_{１Ｈｉｇｈ}）またはｆｒ＝２（ｆ_１Ｌｏｗ〜ｆ_{１Ｈｉｇｈ}）±（ｆ_２Ｌｏｗ〜ｆ_{２Ｈｉｇｈ}）の範囲であることを特徴とする分波器である。 （もっと読む）

【課題】応答信号強度の低下を抑止しつつ２種類以上の応答信号を生成させる。
【解決手段】質問器２００からユーザの所在を問合せる無線信号が発信された時に、応答器１００のスイッチをオフ状態にすると、応答器は第１の応答無線信号ｘをその発信元の質問器に返信する。一方、応答器のスイッチをオン状態にすると、応答器は第２の応答無線信号ｙをその発信元の質問器に返信する。すなわち、この応答器は、スイッチのオン／オフに応じて、バッテリレスで２種類の応答無線信号を切り替えて返信することができる。 （もっと読む）

【課題】放熱性に優れた弾性境界波素子、共振器およびフィルタを提供すること。
【解決手段】本発明は、圧電性を有する第１媒質（１０）と、第１媒質上に設けられた弾性波を励振する電極（１２）と、第１媒質と異なる材料からなり、第１媒質上に電極を覆うように設けられた第２媒質（１４）と、第２媒質より熱伝導率の大きく、第２媒質の側面の少なくとも一部に接し第２媒質上に設けられた第３媒質（１６）と、を具備することを特徴とする弾性境界波素子、共振器、フィルタである。 （もっと読む）

【課題】圧電基板の櫛歯電極及び反射器との間の空間を形成する空間形成体を簡単に形成することができる表面弾性波装置の製造方法及び表面弾性波装置を提供すること。
【解決手段】表面弾性波装置の製造方法は、圧電基板１２上にて櫛歯電極１３，１４及び反射器１９を覆うように犠牲層を形成する犠牲層形成ステップと、この犠牲層の表面に沿って反射器１９の近傍に開口部８を形成しつつ空間形成体７を形成する空間形成体形成ステップと、空間形成体７の開口部８から犠牲層を取り除く犠牲層除去ステップと、空間形成体７によって櫛歯電極１３，１４及び反射器１９との間に励振保護空間７ｃが形成された表面弾性波素子１１を封止樹脂によって封止する樹脂封止ステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、感応基板上に櫛型電極のパターンを露光する櫛型電極の露光方法および露光装置に関し、櫛型電極のパターンを容易，確実に露光することを目的とする。
【解決手段】 所定のピッチを有する２光束干渉縞のパターン像により感応基板上に第１のラインアンドスペースパターンを露光する第１の露光工程と、前記ピッチの２倍のピッチを有する２光束干渉縞のパターン像により前記感応基板上に第２のラインアンドスペースパターンを露光する第２の露光工程とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】異方性を示す方向を精度良く決定することができ、特定の好適な位置に薄膜構造を形成して高精度な球状弾性表面波素子を作成することができる異方性球状材料の方向測定方法、異方性球状材料の方向測定装置および球状弾性表面波素子の製造方法を提供する。
【解決手段】弾性表面波制御手段１２が、マニピュレータ１１ｂに保持された球状材料１の表面の所定の位置で、軸に垂直な平面上の大円に沿って伝搬する弾性表面波を発生可能である。弾性表面波制御手段１２は、所定の位置における大円に沿って周回した弾性表面波の所定の物理量を測定可能である。マニピュレータ１１ｂにより、保持した球状材料１に対し、その周囲で大円に沿って弾性表面波制御手段１２を相対的に回転させ、互いに異なる複数の回転角ごとに弾性表面波の発生および物理量の測定を繰り返し、各回転角ごとに測定された物理量に基づいて、異方性を示す方向を決定する。 （もっと読む）

【課題】フィルタ特性の劣化を招くことなく、小型化を進めることが可能なトランスバーサル型の弾性表面波フィルタ装置を提供する。
【解決手段】圧電基板２の第１の主面２ｃ上において、傾斜型ＩＤＴ電極からなる入力側ＩＤＴ３及び出力側ＩＤＴ４が表面波伝搬方向において隔てられて設けられており、入力側ＩＤＴ３の弾性表面波伝搬方向外側の第１の端面２ａ側の領域に第１の吸音材７が、出力側ＩＤＴ４の表面波伝搬方向外側の領域である第２の端面側の領域に第２の吸音材８が設けられており、第１，第２の吸音材７，８が、それぞれ、入力側ＩＤＴ３及び出力側ＩＤＴ４の表面波伝搬方向外側端部から、該入力側ＩＤＴ３及び出力側ＩＤＴ４の一部に至るように設けられている、弾性表面波フィルタ装置１。 （もっと読む）

【課題】水晶基板を用いた表面波デバイスであり、小型で、Ｑ値が大きく、周波数エージング特性の優れたＳＨ波型ＳＡＷデバイスを得る。
【解決手段】圧電基板と、該圧電基板上に形成されＡｌを主成分とする合金からなるＩＤＴ電極とを備え、励振波をＳＨ波とした弾性表面波デバイスであって、前記圧電基板は、回転Ｙカット水晶基板のカット角θを−６４．０°＜θ＜−４９．３°の範囲に設定し、且つ、弾性表面波の伝搬方向を結晶Ｘ軸に対し９０°±５°とした水晶平板であり、励振する弾性表面波の波長をλとした時、前記ＩＤＴ電極の波長で基準化した電極膜厚Ｈ／λを０．０４＜Ｈ／λ＜０．１２としたＳＨ波型弾性表面波デバイスにおいて、前記圧電基板はウエットエッチングにより形成されたエッチング痕を有しており、前記ＩＤＴ電極が前記圧電基板の前記エッチング痕を有する表面に形成されているＳＨ波型弾性表面波デバイス。 （もっと読む）

【課題】基体上にニオブ酸カリウムナトリウム層が形成された圧電体積層体を提供する。
【解決手段】圧電体積層体１００は、基体１と、前記基体１の上方に形成されたテンプレート層３ａと、前記テンプレート層３ａの上方に形成されたニオブ酸カリウムナトリウムからなる圧電体層３ｂと、を含む。 （もっと読む）

【課題】ＳＡＷ素子をＦＣＢ実装するＳＡＷ装置の信頼性を高める。特にバンプ接合部近傍での圧電基板やＩＤＴ電極膜の割れを防ぐ。
【解決手段】単結晶圧電基板の表面にＩＤＴ電極を備えかつ金属バンプを介してベース基板上にＦＣＢ実装されたＳＡＷ素子を１以上含むＳＡＷ装置で、ＩＤＴ電極は、単結晶圧電基板上に順次積層した窒化チタン又はチタンからなる下地層とＡｌ層とを含む積層膜により形成されかつ、単結晶圧電基板は４６°以上の回転Ｙ‐Ｘ伝搬タンタル酸リチウム基板である。単結晶圧電基板は、６４°回転Ｙ‐Ｘ伝搬ニオブ酸リチウム基板でも良い。 （もっと読む）

【課題】結晶性のより良好な圧電体薄膜の製造方法を提供すること。
【解決手段】圧電体薄膜１を第１圧電体薄膜１３と第２圧電体薄膜１５との２回に分けて
形成する。ここで、第１圧電体薄膜１３形成後に熱処理を行うため、第１圧電体薄膜１３
の結晶性が、熱処理前の第１圧電体薄膜１３と比較して向上できる。そして、その後形成
される第２圧電体薄膜１５も熱処理後の第１圧電体薄膜１４に倣って結晶成長し、全体と
して結晶性の向上した圧電体薄膜１を得ることができる。また、第１圧電体薄膜１３，１
４の膜厚が、５ｎｍ以上で１００ｎｍ以下で、圧電体薄膜１全体の膜厚である数μｍと比
較すると薄い。この程度の厚さの薄膜は、結晶の欠陥数自体が少ない。そして、熱処理温
度が３００℃より大きければ、欠陥数が少ないので十分な結晶性を得ることができ、８０
０℃以下であれば、基板１０との熱膨張係数の違いによる薄膜の剥離も少なくできる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、表面に空間を必要とする素子のウェハレベル小型化パッケジング技術
に関し、表面に空間を必要とする素子は、素子表面に配線を形成することが出来ないため
、多層配線とする場合でも配線を迂回させる必要があり、小型化および設計自由度確保の
妨げとなっている。
【解決手段】上記した課題を解決するため本発明では次のような手段を採った。（１）表
面に空間を必要とする素子部分と電極を以外の部分に樹脂層を形成する。（２）電極を除
く部分を樹脂フィルムで覆う。（３）電極を除く部分を樹脂フィルムで覆った表面に配線
を形成し、電極間を結線する。（４）必要に応じて、電極以外の部分を樹脂で覆う。（５
）電極部分に接合金属を形成する。 （もっと読む）

【課題】圧電基板上に形成されたＩＤＴ電極の周囲に絶縁膜が形成されており、耐電力性に優れた弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】圧電基板２上に、ＩＤＴ電極３を含む電極が形成されており、該電極が形成されている領域の周囲に絶縁膜６が形成されており、ＩＤＴ電極３の電極指３ａの下方部分において、電極指３ａの幅が圧電基板２に近づくにつれて狭くなっており、絶縁膜６が、電極指３ａの幅方向寸法が狭くなっている下方部分に入り込むように形成されている、弾性表面波装置１。 （もっと読む）

【課題】放熱効果が高い弾性表面波フィルタパッケージを提供する。
【解決手段】配線板１１に、導電部材３５を備えた第１のスルーホール４３と、第１の熱伝導部材３７を備えた第２のスルーホール３１とを設ける。気密保持体１５は、配線板１１上の気密保持体搭載領域上に搭載されるとともに弾性表面波フィルタ１３ａの裏面と第２の熱伝導部材１９を介して接続される。さらに、配線板１１の気密保持体搭載領域からフィルタ搭載領域にわたって形成されるとともに、第１のスルーホール４３および第２のスルーホール３１と接続された接地電極５１、５５（図１には示さず）を有する。弾性表面波フィルタ１３ａで発生した熱を、第１の熱伝導部材や第２の熱伝導部材を介して配線板１１に効果的に放熱することができる。 （もっと読む）

第１ゲートで対称又は非対称に、及び第２ゲートで対称に動作し得るＳＡＷフィルタ装置が提案される。第１ゲートはＤＭＳフィルタ構造の入力と接続され、ＤＭＳフィルタ構造は出力側では互いに対して対称に動作し得る２つの平衡端子を有する。ＤＭＳフィルタ構造の２つの平衡端子のそれぞれは縦続接続された共振器に接続され、縦続接続された共振器は、順に、直接第２ゲートに接続される。 （もっと読む）