【課題】ＬＢＯ基板からなる圧電基板上にＩＤＴを形成したトランスバーサル型ＳＡＷフィルタにおいて周波数温度特性を向上させる。
【解決手段】カット面及びＳＡＷ伝搬方向がオイラー角（φ，θ，ψ）表示でφ＝（２７．１５±８．３５°）＋９０°×ｎ、（但し、ｎ＝０〜３）又はφ＝（６２．８５±８．３５°）＋９０°×ｎ、（但し、ｎ＝０〜３）、θ＝９０±７．５°、及びψ＝９０±１２°であるＬi₂Ｂ₄Ｏ₇からなる圧電基板２上に、レイリーＳＡＷを励振する一方向性の入力用及び出力用ＩＤＴ３，４をＳＡＷ伝搬方向に沿って配置する。 （もっと読む）

【課題】 外形の占有面積の大きさが内蔵する弾性表面波素子とほぼ等しいまでに小型化が可能で、かつ、信頼性の高い表面実装可能な弾性表面波装置を提供すること、及びインピーダンス調整機能やより多機能な電気回路を複合することができる弾性表面波装置を提供すること。
【解決手段】
圧電基板１と、圧電基板上に配置される励振電極２と、前記圧電基板上に配置され、励振電極２に接続される配線電極３と、励振電極２の振動空間９を構成するとともに、外周縁が圧電基板１の直上領域内に位置するようにして前記圧電基板上に配置されるカバー体４と、カバー体４を覆う樹脂からなる絶縁性保護体６と、前記絶縁性保護体上に配置される外部電極７と、前記絶縁性保護体内に設けられ、配線電極３に接続されるインダクタ成分と、を備えた構成とする。 （もっと読む）

【課題】部品点数を少なくして製造コストを低減した高感度かつ高分解能のＳＡＷセンサを提供する。
【解決手段】ＳＡＷセンサ素子１は長さ方向に薄板部３ａと厚板部３ｂとを有する圧電基板２と、薄板部上に形成された検出用ＳＡＷ共振子５及び第１ＳＡＷフィルタ６と、厚板部上に形成された基準用ＳＡＷ共振子７と第２ＳＡＷフィルタ８とを備える。検出用ＳＡＷ共振子と第１ＳＡＷフィルタ間に第１発振回路２２を接続して検出用の発振周波数を発振させ、基準用ＳＡＷ共振子と第２ＳＡＷフィルタ間に第２発振回路２３を接続して基準用の発振周波数を発振させ、それらを第１及び第２ＳＡＷフィルタを通過させて不要な信号成分を除去した後、周波数混合器２４に入力してそれらの差分又は和分を検出する。 （もっと読む）

【課題】ＳＡＷの端面反射防止、耐湿性の双方に良好な特性を示し、且つ生産性が高く安価に提供することのできるＳＡＷデバイスを提供する。
【解決手段】実装基板２０に対して、ＩＤＴ電極１６を形成したＳＡＷ素子片１２をフリップチップ実装し、これを封止樹脂３４で被覆したＳＡＷデバイス１０であって、圧電基板１４におけるＳＡＷの伝搬方向と平行に、ＩＤＴ電極１６を挟み込むように対を成し、封止樹脂３４がＳＡＷと直交する方向からＩＤＴ電極１６側へ浸入することを防ぐ阻止壁１８を設け、封止樹脂３４は、圧電基板１４においてＩＤＴ電極１６と実装基板２０との間に気密空間Ｓを形成しつつＩＤＴ電極１６から励起されたＳＡＷが直接到達する箇所を覆う第１の樹脂３０と、少なくとも第１の樹脂３０の外表面と実装基板１４の上面とを被覆する第２の樹脂３２とから成り、第２の樹脂３２よりも第１の樹脂３０の硬度を低くしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】配線の耐湿性を向上させることにより、信頼性を高めることが可能な弾性表面波デバイス及びその製造方法を提供する。
【解決手段】圧電基板２と、前記圧電基板２上に設けられたＩＤＴ６と、前記圧電基板２上に設けられ、前記ＩＤＴ６に接続され、前記ＩＤＴ６と同じ金属からなる配線電極１２と、少なくとも前記配線電極１２が露出するように、前記圧電基板２上に設けられた無機絶縁層２０と、前記無機絶縁層２０から露出した前記配線電極１２と前記無機絶縁層２０との境界の上に、前記配線電極１２の側面１２ａを覆うように設けられた絶縁樹脂層２２と、前記配線電極１２及び前記絶縁樹脂層２２の上に設けられた金属層１４及び１８と、を具備する弾性表面波デバイス。 （もっと読む）

【課題】電極指の線幅が変動した場合における周波数変動量の差を少なくし、量産化に適した弾性表面波デバイスを提供する。
【解決手段】少なくともＲａｙｌｅｉｇｈ型弾性表面波を励振させるための電極パターン１４としてのＩＤＴ１６を備え、前記弾性表面波のストップバンドの上限モードを励振させる弾性表面波デバイス１０であって、ＩＤＴ１６を形成するための圧電基板１２として、（φ，θ，ψ）で示すオイラー角表示で（０°，９５°≦θ≦１５５°，３３°≦｜ψ｜≦４６°）のカット角で切り出された水晶基板を採用し、ＩＤＴ１６を構成する櫛歯状電極１８（１８ａ，１８ｂ）の電極指間に電極指間溝（溝２８）を形成することで、溝２８で挟まれた水晶部分を電極指台座３０とし、電極指台座３０の上面に電極指２２が位置する構成としたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数のＳＡＷフィルタを含むＳＡＷ装置を小型化した場合でもフィルタ間の干渉を防ぎアイソレーションを確保する。
【解決手段】同一圧電基板上に備えられた低域側ＳＡＷフィルタ及び高域側ＳＡＷフィルタを含むＳＡＷ素子と、表面に導電体を有し前記ＳＡＷ素子がＦＣＢ実装されたベース基板とを備えるＳＡＷ装置である。ベース基板の表面の導電体を、そのいずれもが低域側ＳＡＷフィルタ形成領域に対向するベース基板表面の領域である第一対向領域と、高域側ＳＡＷフィルタ形成領域に対向するベース基板表面の領域である第二対向領域とに跨ることがないように配置する。 （もっと読む）

【課題】耐電力性（マイグレーション耐性）のさらなる向上を図るとともに温度変化による周波数変動を抑えた信頼性の高い弾性表面波素子を提供する。
【解決手段】酸化亜鉛を主成分とする圧電体層４を有する基板２と、前記基板２上に形成された少なくとも一対の櫛歯型電極５ａ，５ｂからなるＩＤＴ６と、を有し、前記櫛歯型電極５ａ，５ｂは、Ａｌ−Ｔｉ合金からなる第１電極層１６Ａと、Ａｌ−Ｎｄ合金からなる第２電極層１６Ｂとが前記圧電体層４上にこの順で積層されて構成されている。 （もっと読む）

【課題】素子サイズと同等に小型化が可能な弾性表面波装置、および実装構造体を提供する。
【解決手段】弾性表面波装置Ｓ１は、下面に励振電極１と該励振電極１に電気的に接続される引き出し電極８，９とを有した弾性表面波素子３と、励振電極１との間に存在する封止空間を介して弾性表面波素子３と対向するように配置され、平面透視して封止空間の外側で弾性表面波素子３に対し接合されたベース基板１４と、上部が引き出し電極８，９と電気的に接続された外部回路接続用の導電材１８と、を備え、ベース基板１４は、導電材１８と引き出し電極８，９との接続箇所と対応する位置に貫通孔１５を有しており、導電材１８の下部は、貫通孔１５を介して封止空間よりも下側の高さ位置まで導出されている。 （もっと読む）

【課題】電気的抵抗の増大を招くことなく、表面波の閉じ込め効率を高めることができ、それによって損失を小さくすることが可能とされている弾性表面波装置を得る。
【解決手段】圧電基板２上にＩＤＴ電極３が形成されており、ＩＤＴ電極３の第１，第２のバスバー６，７が、第１の層１２と、第１の層１２上に形成された第２の層１３とを有し、第２の層が金属膜からなり、第１の層１２では、複数本の金属ストリップ１４と、複数本の金属ストリップ１５とが交互に配置されており、複数本の金属ストリップ１４，１５間に絶縁膜１６が形成されている、弾性表面波装置。 （もっと読む）

【課題】本発明は、弾性境界波デバイスにおける電気特性を向上させることを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、圧電基板１と、この圧電基板１の主面に設けられた櫛形電極３と、圧電基板１の主面上において櫛形電極３を覆うとともに、横波の伝播速度が圧電基板１より遅い第１の絶縁層２とを備えた弾性境界波デバイスにおいて、櫛形電極３と圧電基板１の間に横波の伝播速度が第１の絶縁層２の横波の伝播速度より遅い材料からなる第２の絶縁層５を設けたのである。 （もっと読む）

【課題】バンプ接合可能で、かつ量産性に優れた弾性境界波デバイスを提供する。
【解決手段】圧電基板２と、圧電基板２上に設けられた弾性波素子４と、圧電基板２上に設けられ、弾性波素子４と電気的に接続された端子１０と、端子１０上に設けられた第１バンプ１２と、圧電基板２上及び弾性波素子４上に設けられ、第１バンプ１２の側面を覆い、第１バンプ１２と接している領域の上面が露出している絶縁膜６と、絶縁膜６上に設けられ、絶縁膜６の第１バンプ１２と接している領域の側面を覆う吸音膜８と、第１バンプ１２上に設けられた第２バンプ１４と、を具備する弾性境界波デバイス。 （もっと読む）

【課題】弾性境界波が伝搬する境界面と媒質層の表面との間で閉じ込められる弾性波に起因するスプリアスを効果的に抑圧することができ、良好な共振特性やフィルタ特性を得ることを可能とする弾性境界波装置を提供する。
【解決手段】相対的に音速が速い第１の媒質層２としてのＬｉＮｂＯ₃基板と、相対的に音速が遅い第２の媒質層３としてのＳｉＯ₂膜との境界に、電気音響変換器としてのＩＤＴ４と、反射器５，６とが配置されており、ＳｉＯ₂膜の上面に、複数本の溝３ｂが形成されて凹部及び／または凸部が設けられている、弾性境界波装置１。 （もっと読む）

【課題】本発明は、挿入損失や減衰特性を向上させることを目的とする。
【解決手段】本発明は、圧電材料からなる第１の媒質１０１と、第１の媒質１０１の上面に設けられた櫛型電極１０２と、櫛型電極１０２を覆う第２の媒質１０４とを備えた弾性境界波デバイスであって、櫛型電極１０２は、バスバー電極領域１０５とダミー電極領域１０６と交差領域１０７とを含む構成であって、少なくともバスバー電極領域１０５またはダミー電極領域１０６のいずれかの上部において、第２の媒質１０４が非形成状態である構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】ＳＡＷ素子をパッケージの内部実装面に接合するときに、接着剤が、ＩＤＴに対向する圧電基板の裏面に流出することを防止したＳＡＷデバイスと、そのＳＡＷデバイスを用いて小型化したＳＡＷモジュールを提供する。
【解決手段】ＳＡＷ共振子１は、パッケージ２の内部実装面に、圧電基板３の表面上に反射器４ａ、４ｂとＩＤＴ５とパッド電極６とからなる電極パターンを形成したＳＡＷ共振素子７を、接着剤８を用いて片持ち状態で接合している。そして、ＳＡＷ共振子１は、パッケージ２の開口部を蓋部材９により気密封止した構造である。ＳＡＷ共振素子７は、圧電基板３の裏面のＩＤＴ５が形成されている全領域に対向する面に、エッチング、或いは機械加工により所定の深さで凹部１１を形成し、圧電基板３の基端部の厚肉部１２ａを片持ち状態にてパッケージ２の実装面に接着剤８を用いて接着接合した構造である。 （もっと読む）

【課題】電気的接続に用いる電極膜の膜応力を低減して、電極膜剥がれが発生しない信頼性に優れた弾性表面波フィルタを提供する。
【解決手段】圧電基板１上に、励振電極層と、該励振電極層に接続された電極パッド２層と、該電極パッド層上に形成された中間電極７層とを備えた弾性表面波装置であって、前記中間電極層は、下部層３と、不純物含有層５を有したバリア層４と、半田接合用の上部層６とが順次形成されていることを特徴とする弾性表面波装置。 （もっと読む）

【課題】高濃度のロジウム（Ｒｈ）がドープされたタンタル酸リチウム基板を低コストで容易に製造できる方法を提供する。
【解決手段】基板１の状態に加工されたタンタル酸リチウム単結晶の片側全面にＲｈ板またはＰｔ−Ｒｈ合金板により構成された正電極板２が接触するように取り付け、かつ単結晶の他方側全面に負電極板３を取り付けると共に、これ等電極板間に電圧を印加した状態で、７００℃以上、タンタル酸リチウム単結晶の融点未満の温度条件で、１時間以上２０時間以下熱処理する。熱処理雰囲気は、大気、真空、不活性ガス、還元性ガスの何れでもよく任意である。 （もっと読む）

【課題】共振周波数の温度特性と反共振周波数の温度特性との差を小さくすることができる弾性波素子を実現する。
【解決手段】圧電基板５と、圧電基板５上に形成された櫛形電極２と、櫛形電極２を覆うように圧電基板５上に形成された誘電体層２１とを備えた弾性波素子であって、圧電基板５上に形成された誘電体層２１の厚さは、櫛形電極２の厚さと櫛形電極２上に形成された誘電体層２１の厚さとの和より大きいことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】広い可変周波数範囲を実現できるチューナブルフィルタを提供すること。
【解決手段】固定の共振周波数ｆｒｓを有する直列腕共振器と、固定の共振周波数ｆｒｐを有する並列腕共振器と、前記直列腕共振器、及び前記並列腕共振器に接続されたバリアブルキャパシタとを備えるチューナブルフィルタが提供される。このチューナブルフィルタは、前記直列腕共振器が有する固定の共振周波数ｆｒｓと前記並列腕共振器が有する固定の共振周波数ｆｒｐとの比ｆｒｓ／ｆｒｐが１．０＜ｆｒｓ／ｆｒｐ＜１．１である。 （もっと読む）

【課題】振動特性を損なうことなく、導電性異物による短絡などのトラブルを防止できる弾性表面波デバイス、および弾性表面波デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】ＳＡＷ共振子１０は、圧電基板１１上に、表面に絶縁膜２０が形成されたＩＤＴ電極１２と、反射器１３とが備えられている。ＩＤＴ電極１２の各電極指１２ａ，１２ｂの表面に形成された絶縁膜２０は、各電極指１２ａ，１２ｂの側壁部分において、圧電基板１１と接触しないように圧電基板１１との間に側壁部分の表面が露出された所定の隙間を設け、その他の各電極指１２ａ，１２ｂの上面および側面（側壁部分）に形成されている。絶縁膜２０は、各電極指１２ａ，１２ｂの形成用材料であるアルミニウムを陽極酸化させることにより形成された陽極酸化膜からなっている。 （もっと読む）