【課題】更なる小型化を図ることが可能な電子部品、この電子部品を備えた電子機器及びこの電子部品の製造方法の提供。
【解決手段】水晶振動子１は、引き出し電極１５ａ，１６ａを有する水晶振動片１０と、バンプ電極２４，２５を有するパッケージベース２１と、を備え、バンプ電極２４，２５と引き出し電極１５ａ，１６ａとを介して、パッケージベース２１に水晶振動片１０が載置されており、バンプ電極２４，２５は、パッケージベース２１の支持面２３から水晶振動片１０側に向かって突出した形状であると共に、パッケージベース２１の支持面２３の広がり方向に向かって凸状に丸みを帯びた形状を備えた樹脂製の樹脂突起２４ａ，２５ａと、樹脂突起２４ａ，２５ａの表面を覆う導電性被膜２４ｂ，２５ｂと、を有し、引き出し電極１５ａ，１６ａとバンプ電極２４，２５とが、直接接合されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】温度情報の差異を低減し、発振周波数が変動することを防ぐ圧電デバイスを提供することを課題とする。
【解決手段】基板部と、この基板部の一方の主面に設けられる第１の枠部と、基板部の他方の主面に設けられる第２の枠部とからなる素子搭載部材と、第１の凹部空間内に設けられた圧電振動素子搭載パッドに搭載されている圧電振動素子と、第２の凹部空間内に設けられたサーミスタ素子搭載パッドに搭載されているサーミスタ素子と、第１の凹部空間を気密封止する蓋体と、第２の枠部の基板部の他方の主面と同一方向を向く面の４角に２個一対の圧電振動素子用電極端子と２個一対のサーミスタ素子用電極端子とから構成される外部接続用電極端子と、を備え、圧電振動素子用電極端子が、第２の枠部短辺側の隣り合う２つの角部に設けられ、前記サーミスタ素子用電極端子が、第２の枠部短辺側の異なる他の２つの角部に設けられていることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】外部電極の間隔を広く確保し、実装時の製造不良を抑制できるパッケージ、パッケージ製造方法、および圧電振動子を提供する。
【解決手段】互いに接合された複数の基板の間に形成されたキャビティ１６内に、圧電振動片４（電子部品）を封入可能な圧電振動子１（パッケージ）であって、前記複数の基板のうち、ベース基板２（第１基板）を厚さ方向に貫通し、ベース基板２の内側とベース基板２の外側に設けられた外部電極２１，２２とを導通する複数の貫通電極３４，３５を備え、各貫通電極３４，３５は、ベース基板２の外部電極２１，２２側に露出している電極間ピッチが、ベース基板２の内側に露出している電極間ピッチよりも広くなるように形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】パッケージ内の気密を良好に維持でき、耐環境性に優れた低コストなパッケージおよび圧電振動子の提供を課題とする。
【解決手段】ガラス材料からなるベース基板２に、厚さ方向に貫通する貫通孔３３，３４を形成し、この貫通孔３３，３４を塞ぐように貫通電極１３，１４を設けた圧電振動子（パッケージ）において、貫通電極１３，１４は、貫通孔３３，３４の内周面３３ａ，３４ａに形成された多層積層膜４３と、貫通孔３３，３４を塞ぐように充填されたガラス部材４６とを備え、多層積層膜４３は、ベース基板２の内外を導通させる導電層４３ｂと、導電層４３ｂの貫通孔３３，３４の内周面３３ａ，３４ａ側に形成され、ベース基板２に密着可能な第１密着層４３ａと、導電層４３ｂのガラス部材４６側に形成され、ガラス部材４６に密着可能な第２密着層４３ｃと、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】素子搭載部材の側面からはみ出るように露出されている電解めっき用配線パターンが搬送治具に接触することを低減し、圧電デバイスの生産性を向上させることができる圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電デバイスの製造方法は、素子搭載部材１１０の側面からはみ出るように露出されている電解めっき用配線パターン１１３をレーザにより除去する電解めっき用配線パターン除去工程と、導電性接着剤ＤＳによって、素子搭載部材１１０に圧電振動素子１２０を搭載する圧電振動素子搭載工程と、導電性接着剤ＤＳを加熱硬化させ、圧電振動素子搭載パッド１１１と前記圧電振動素子１２０とを導通固着する圧電振動素子固着工程と、蓋部材１３０と素子搭載部材１１０とを接合するための蓋部材接合工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】格納空間への封止材の流入を防止しながら、接合強度または機密性を安定的に確保した封止構造を備えた圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電振動片５がベース４の主面にマウント接続され、蓋３はフランジと凹形状の内表面とを有し、圧電振動片５を収納するようにフランジとベースとが封止され、蓋３がフランジから前記内表面へと連続する連続曲面を有することを特徴とする圧電デバイス１、及びその製造方法。 （もっと読む）

【課題】外部の実装基板の発熱による外部接続用電極端子から圧電振動素子と集積回路素子への熱到達時間の差を小さくし圧電振動素子の温度特性の温度補償を集積回路素子で正確に行うことができる圧電発振器を提供する。
【解決手段】圧電発振器は、基板部１１１の他方の主面に設けられた集積回路素子搭載パッド１１８に接続されている配線パターンのうち、ビアホール導体１１９を介して外部接続用電極端子と接続されている配線パターン１１４の幅が、他の配線パターンの幅に比べて大きくなるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】貫通電極の気密性を良好に維持することができるパッケージおよび圧電振動子を提供する。
【解決手段】電子部品を封入するためのキャビティを形成可能な複数の基板を有し、これら複数の基板のうち、ガラス材料からなるベース基板２（第１基板）に、厚さ方向に貫通する貫通孔３３，３４を形成し、この貫通孔３３，３４を塞ぐように貫通電極１３，１４を設けたパッケージにおいて、貫通電極１３，１４は、粉末ガラス４５（粉末体）と、この粉末ガラス４５と貫通孔３３，３４との間隙を充填する充填金属４６とからなり、粉末ガラス４５の線膨張係数は、充填金属４６の線膨張係数よりも小さく設定されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】良好な電気的特性を維持しつつ小型化が可能なパッケージおよび圧電振動子の提供を課題とする。
【解決手段】圧電振動片４（電子部品）を封入するためのキャビティを形成可能な複数の基板を有し、前記複数の基板のうちベース基板２に、前記キャビティ用の凹部１６を形成すると共に、この凹部１６とベース基板２の外面側との間を貫通する複数の貫通電極１３，１４を設けたパッケージであって、凹部１６の側壁１６ａ，１６ｂに、圧電振動片４と貫通電極１３，１４とを電気的に接続するための引き回し電極９，１０を配索したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】パッケージ内の良好な真空度を確保できるパッケージの製造方法、このパッケージの製造方法により製造された圧電振動子、この圧電振動子を有する発振器、電子機器、および電波時計を提供する。
【解決手段】リッド基板用ウエハ５０（第１基板）の内面に形成された接合膜３５（接合材）と、ベース基板用ウエハ４０（第２基板）の内面とを陽極接合して圧電振動子（パッケージ）を製造する圧電振動子の製造方法であって、リッド基板用ウエハ５０の外面に第１ヒータ７１を当接させ、ベース基板用ウエハ４０の外面に第２ヒータ７２を当接させて加熱する予備加熱工程Ｓ６０と、接合膜３５を陽極とし、ベース基板用ウエハ４０を陰極として陽極接合する陽極接合工程Ｓ７０と、を有し、予備加熱工程Ｓ６０は、スペーサ７５を配置し、スペーサ７５を介してリッド基板用ウエハ５０およびベース基板用ウエハ４０を重ねた状態で行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ベース部とリッド部との接合強度が強く、圧電デバイスの外側からキャビティ内へ又はその逆の気体等のリークが少ない圧電デバイスを提供する。
【解決手段】 圧電デバイス（１００）は電圧の印加により振動する圧電振動片（１０）を収納する。圧電デバイスは、平面の周囲に所定の幅で形成された第１端面（Ｍ１）を有するリッド部（１１）と、リッド部と異なる熱膨張係数を有しリッド部の第１端面に接合される第２端面（Ｍ２）と第２端面から凹んだ凹部とを有するベース部（１２）とを備える。リッド部の第１端面とベース部の第２端面とは粗面であり、粗面には金属膜（ＡＣ１、ＡＣ２）がそれぞれ形成され、リッド部とベース部とは金属膜同士の間に形成された封止材（ＬＧ）で接合される。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動片の小形化を実現しながら耐衝撃性能と電気的特性の優れた表面実装型圧電振動デバイスを提供する。
【解決手段】 圧電振動片２とベース４と蓋５とを有してなる表面実装型圧電振動デバイスであって、前記ベースの収納部には前記圧電振動片の一端辺２１が搭載される電極パッド５１を有する保持台４２と当該圧電振動片の他端辺２２が配置される補助保持台４３とを具備し、前記電極パッドの上面には前記圧電振動片の一端辺の外周近傍に設けられた堤部５１１と、前記圧電振動片の保持台側の主面と接触する凸部５１２とを具備してなり、高さが補助保持台＞堤部＞凸部として構成され、前記圧電振動片の保持台側の導電性樹脂接着剤Ｄのみにより前記圧電振動片と保持台の電極パッドとが接合され、当該電極パッドから補助保持台にかけて圧電振動片の他端辺がベース開口部に次第に近接した状態で保持した。 （もっと読む）

【課題】表面実装型パッケージ構造の音叉型圧電振動子において、その小型薄型化及び落下等に対する耐衝撃性の向上を図りつつ周波数を高精度に調整する。
【解決手段】音叉型圧電振動子は、実装面の電極パッド１６上に音叉型水晶振動片１２を基端部１２ａで導電性接着剤１７により片持ち式にマウントする絶縁材料の箱形のベース部分１０と透明な薄板の蓋部分１１とからなるパッケージを備える。ベース部分の実装面は、水晶振動片の振動腕の自由端部１２ｂに隣接する部分に形成した凹部１８を有する。振動腕は自由端部に金属の重り部を有し、パッケージの封止後に蓋部分を透過させてレーザー光を照射し、金属重り部を溶融除去して圧電振動片の周波数を調整すると、飛散した金属の多くが実装面の凹部内に付着する。 （もっと読む）

【課題】特性が劣化することを抑制しつつ、低背化を実現すること。
【解決手段】本発明は、圧電基板１０上に設けられた直列共振子１２および並列共振子１４と、圧電基板１０上に設けられた、直列共振子１２および並列共振子１４と電気的に接続する信号配線２０と、直列共振子１２および並列共振子１４の櫛型電極１８の電極指上に空洞３２を有し空洞３２の上面を覆うように設けられた金属板２８と、圧電基板１０上に、信号配線２０上に位置しない部分に設けられた、金属板２８を支持する支持柱３０と、金属板２８と支持柱３０とを覆うと共に、空洞３２の側面に接する絶縁部３４と、を備える電子部品である。 （もっと読む）

【課題】電子部品パッケージにおいて、内部空間のガス量を抑制する。
【解決手段】電子部品素子２の電極３１，３２が搭載される第１封止部材４と、第１封止部材４と対向して配置されて電子部品素子２の電極３１，３２を気密封止する第２封止部材７とにより電子部品パッケージを構成する。このような電子部品パッケージにおいて、内部空間１１内における主面４２，７２には、電子部品素子２の電極３１，４３と電気的に接続される内部電極と、ゲッター材（ゲッター膜５６，７６）とが配されている。ここで、ゲッター材（ゲッター膜５６，７６）は、内部電極と間隙６５を空けて配されている。 （もっと読む）

【課題】 接合材のはみ出しによる特性の悪影響をなくした圧電デバイスを提供する。
【解決手段】 圧電デバイス（１００）は、一対の励振電極を有する圧電片（３０）を収納する。その圧電デバイスは、周辺に環状に形成された第１接合面（Ｍ１）と第１接合面から凹んで形成されたリッド側凹部とを有するリッド（１０）と、第１接合面に対応し環状に形成された第２接合面（Ｍ２）と第２接合面から凹んで形成されたベース側凹部とベース側凹部から突き出た形状で且つ圧電片を載置する一対の台座（４５）とが形成されたベース（４０）と、一対の台座に載置された音叉型水晶振動片（３０）と、第１接合面と第２接合面との間に環状に配置され第１接合面と第２接合面とを接合する非導電性の接合材（４８）と、を備える。そして第２接合面（Ｍ１）と一対の台座（４５）とが同一面高さに形成される。 （もっと読む）

【課題】製造が容易な電子部品を提供する。
【解決手段】電子部品１は、筐体２０と、電子部品本体１０とを備えている。筐体２０は、底壁部２１ａと、額縁部２１ｂと、支持部２１ｃ１とを有する。額縁部２１ｂは、底壁部２１ａの周囲に設けられている。額縁部２１ｂは、底壁部２１ａから突出している。支持部２１ｃ１は、底壁部２１ａの上に突出して設けられている。電子部品本体１０は、支持部２１ｃ１によって支持されている。底壁部２１ａは、少なくとも一つの角部２１ａ１を有する。支持部２１ｃ１は、角部２１ａ１において、額縁部２１ｂからの距離が角部２１ａ１の先端側に向かって単調減少するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】枠体の幅も狭いながらも圧電振動片のリークが少なく且つ外部からの衝撃などにも強い圧電デバイスを提供する。
【解決手段】 圧電デバイス（１００）は、圧電振動片（１０１）と圧電振動片から貫通開口（１０８）を隔てて配置され枠体（１０５）と支持部（１０４）とが形成され第１面（Ｍｅ）と第２面（Ｍｉ）とを有する圧電フレーム（１０）と、第１接合面（Ｍ１）が形成されたリッド部（１１）と、外部電極（１２５）が形成される実装面（Ｍ４）と第２接合面（Ｍ２）が形成された底面とを有するベース部（１２）と、第１接合面と枠体の第１面との間に環状に形成された第１封止材（ＬＧ１）と、第２接合面と枠体の第２面との間に環状に形成された第２封止材（ＬＧ２）と、を備える。また、第１封止材及び第２封止材の少なくともいずれか一方が、枠体の貫通開口側の側面（Ｍ３）に形成されている。 （もっと読む）

【課題】振動子の発振周波数不安定を抑制し、安定的に発振させる事ができる振動子の作製方法、振動子作製用マスク、及び振動子用パッケージを提供する。
【解決手段】振動子作製方法は、貫通孔１４ａ、１４ｂが設けられたマスク１０を基台に載置した状態で、貫通孔内に第１の開口から充填された接着剤と接する貫通孔周りのマスク１０の側壁のうち、第１の開口を含むマスク表側側壁領域を除き、第１の開口と反対側の第２の開口を含むマスク裏側側壁領域を加熱素子２２ａ、２２ｂにて加熱する事で、接着剤の側壁部を部分的に硬化させ、マスク１０を基台から除去後、基台に設けられた接着剤を用いて振動板を基台に接着させる事により振動子を作製する。振動子作製用マスクは、上記加熱素子を有するマスクで、振動子用パッケージは、振動板を接着するための基台上に、振動板を接着するための接着剤の塗布領域を加熱する加熱素子を有する。 （もっと読む）

【課題】 水晶側面電極とベース側面電極とが断線せず確実に電気的に接続されるように圧電デバイス及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 圧電デバイス（１００）は、圧電振動片（２１）と外枠（２２）とを有し第１キャスタレーション（２０４）が形成される圧電フレーム（２０）と、接着剤（１３）により外枠に接合され第２キャスタレーション（１２４）が形成されるベース部（１２）と、リッド部（１１）とを備える。圧電フレームは、励振電極と第２引出電極と、第１キャスタレーションに形成された第１側面電極とを有する。ベース部は、第２キャスタレーションに形成された第２側面電極と、外部電極とを有する。第１及び第２キャスタレーションには、第１側面電極又は第１引出電極と第２側面電極とを電気的に接続するように一対の接続電極（１４）が形成されている。 （もっと読む）