【課題】比較的簡単な構成としつつ、クリーンルームに入室する様々な種類の被処理体に付着した塵埃、微生物および細菌等を効果的に除去する除塵・除菌装置を提供する。
【解決手段】クリーンルームに入室する被処理体の除塵及び除菌を行う除塵・除菌装置１は、エアーを噴出するエアー噴出手段を備えたエアーシャワー室３と、除菌液を噴霧する噴霧手段を備え、エアーシャワー室３を経た被処理体が入室する噴霧室５と、被処理体がエアーシャワー室３に位置するときに、エアー噴出手段を駆動して被処理体にエアーを噴出させると共に噴霧手段を駆動して噴霧室５内に除菌液を噴霧させる制御ユニット７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】高耐久で清浄なエアーを噴出することができるエアー・スクリュー・ノズルを提供する。
【解決手段】中空円筒からなる固定パイプ６と、固定パイプ６に対してエアー通路に沿った方向に間隔を置いて支持された２個の軸受けにより回転自在に保持され、エアー通路を構成する中空の回転軸４と、固定パイプ６と回転軸４との間の空間をシールするように配設されたシール材８と、回転軸４の端部に回転軸４と一体として形成され、回転軸４とともに回転しながらエアー通路を構成し、傾斜角度を持って配設され、エアー通路から供給されるエアーを噴射する１または２以上の噴射ノズルを備える回転子２とを備え、回転軸４の外側に回転軸４の回動を支持するための固定パイプ６および軸受け７が配置されていてエアー通路を回転を支持する部材から分離させている。 （もっと読む）

【課題】エアナイフの下流側に設備を追加することなく、基板を乾燥させる能力を向上させる。
【解決手段】表面又は裏面に洗浄液２が供給された基板１を移動しながら、基板１の上方又は下方に基板１の基板移動方向と直交する方向の幅に渡って設けたエアナイフ３０から、基板１の表面又は裏面へエアを吹き付ける。基板１の上方又は下方のエアナイフ３０より上流側に設けた第１の吸引ノズル４０により、エアナイフ３０からのエアにより押し流された洗浄液１を基板１の表面又は裏面から吸引する。基板１の表面又は裏面のエアナイフ３０からのエアが当たる部分では、洗浄液２の液膜の厚さが薄く制御され、エアナイフ３０からのエアによって洗浄液２の液膜が容易に除去される。 （もっと読む）

【課題】噴管に帯電した静電気を効果的に放電することができるとともに、操作者の人体に帯電した静電気をも効果的に放電することのできるパワーブロワを提供する。
【解決手段】噴管２０内に、長手方向に延びる可撓性導電部材３０が上流端側を固定されかつそこ以外は自由に動き回れる状態で配在され、作業時に前記可撓性導電部材３０が不規則に接触するように、前記噴管２０内に導電性を持つ噴管内接触部材３２が配在されるとともに、前記噴管２０の外周や該外周に設けられたグリップ２５等の操作者が手指で触る部位に、導電性を持つ操作部用接触部材４１、４２が前記噴管内接触部材３２に導通するように配在されている。 （もっと読む）

【課題】稼動中に装置が使用する電力、エア、純水の消費量を、待機中のとき大幅削減し、且つ、再稼動において、直ちに洗浄を開始することができる液晶枚葉洗浄装置を提供する。
【解決手段】搬送手段１５を具備するロードバッファ部１０とアンロードバッファ部５０と、ブラシ洗浄手段２５を具備するロールブラシ部２０と、バブルジェット手段３５を具備するバブルジェットアクアナイフ部３０と、エア噴射手段４５を具備するエアナイフ部４０と、純水供給制御手段６４を具備する純水供給部６０と、装置コントロール手段７５を具備する装置制御部７０とを有し、装置コントロール手段７５は、待機のとき、待機信号により純水供給機能以外の全ての機能を停止させ、純水供給制御手段６４は、待機信号を受けて純水供給手段６２の純水の供給を制御する。 （もっと読む）

【課題】 従来のフィルター清掃装置のエアノズルは、フィルターの上下幅に亘ってエアを吹き付ける構成であるので、多量のエアを要するばかりでなく、吹き出すエアが交錯して効率良く塵を除去できないおそれがある。外周のフィルター面が九十九折状になっていると、フィルター面の折れ曲がり部分の塵が除去し難く、エアの吹き付けだけでは効率良く塵を除去できないおそれがある。
【解決手段】 清掃するフィルター（４）を回転させる回転装置（５）と、回転するフィルター（４）の外側からエアを吹き付けるエアノズル（６）と、回転するフィルター（４）の外面に接触して振動させる接触部材（７）と、エアノズル（６）をフィルター（４）の回転軸心方向に沿って移動させるエアノズル移動機構を設けたフィルター清掃装置とした。 （もっと読む）

【課題】除塵能力の高い除塵装置、及び除電除塵装置を提供する。
【解決手段】対象物に気体を吹き付けて除塵する除塵装置１であって、気体を噴射する噴射手段（イオナイザ１６ａ、１６ｂ）と、噴射手段から噴射される気体を対象物８７の同一箇所に複数の方向から吹き付ける吹き付け手段（噴射ノズル１９ａ、１９ｂ）と、を備える。対象物８７の同一箇所に向けて複数の方向から気体を吹き付けるので、１方向からのみ気体を吹き付ける場合に比べて塵埃が飛散し易い。よって、対象物に付着した塵埃を除塵する能力が高い。 （もっと読む）

【課題】基板の表面から除去した異物を周囲に飛散させることがなく、確実に異物を捕捉することができ、基板表面から異物を除去した後の清浄な状態を維持して次の工程に進めることができる基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】基板１００を搬送する搬送手段２０と、搬送された基板１００の表面に対して供給するエアの吹き付け角度が調整可能なエア吹き出し口３６を有するエアブロー部３０と、エアブロー部３０にエアを供給するエア供給部４０と、エアブロー部３０から吹きつけられたエアにより基板表面から除去された異物をエアと共に収集し、異物のみを捕捉する集塵部５０と、を具備し、エアブロー部３０の外表面の一部には、エア吹き出し口３６からのエアと異物とを集塵部５０へ誘導するための誘導溝が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】除塵作業後の被除塵物に粉塵が再付着するのを抑止する。
【解決手段】粉塵拭き取り用又は粉塵掃き取り用のワイプ部材４を備える除塵ロボット６を設け、搬送手段により搬送される被除塵物２をワイプ部材４で除塵する除塵用動作を除塵ロボット６に実行させる構成にするとともに、被除塵物２から離れた位置に設定した清掃域でワイプ部材４の清掃が実施可能なように、除塵用動作後のワイプ部材４を清掃域に移動させる清掃用動作を除塵ロボット６に実行させる構成にする。 （もっと読む）

【課題】 加工機の加工室で発生する粉塵等を効率良く機外に排出し、飛散防止用カバーで囲まれた空間内における粉塵等の除去残りを削減する。
【解決手段】 加工機１の加工室を粉塵等の飛散防止用カバー１０で覆い、飛散防止用カバー１０内の４隅角部に配設され４本の吹き出し部１１，１２，１３，１４にそれぞれ圧縮空気を送り込み、３本の吹き出し部１１，１２，１４から各壁面に沿って吹き出させ、渦流Ｇを発生させ、この渦流Ｇに粉塵等を巻き込ませ、後壁面１４に設けた排出口３２から機外へ排出する。吹き出し部１３のみは中央側へ向けて吹き出させ、渦流Ｇを速やかに排出口３２へ向かわせるようにする。 （もっと読む）