【課題】短時間で効果的に内周刃ブレードの刃先を局所的にドレッシングして内周刃ブレードの変位を効果的に修正でき、内周刃ブレードのライフを向上できる内周刃ブレードのドレッシング方法を提供する。
【解決手段】ドレス材に予め基準溝を形成する工程と、刃先の左右どちら側の部分をドレッシングするかを選択する工程と、基準溝の開口部側がドレッシングすると選択した側とは反対側になるようにして、基準溝の開口部の角の位置と刃先の最先端位置とが一致するように内周刃ブレード及びドレス材を相対的に移動する工程と、刃先を相対的にドレス材の深さ方向及び刃先のドレッシングすると選択した側の方向に同時に送ることによって、該ドレッシングすると選択した側とは反対側の刃先の部分をドレス材と接触させずに、ドレス材に切り込ませて、刃先の選択した側の部分のみを局所的にドレッシングする工程とを有する内周刃ブレードのドレッシング方法。 （もっと読む）

【課題】ワークを使用せずに研磨ブラシの慣らし加工を短時間で行うことができる研磨ブラシの成形方法および装置を提供する。
【解決手段】金属リング端面を研磨する研磨ブラシの成形方法であって、略円筒状に線状部材が束ねられることにより構成された前記ブラシを複数配置して前記ブラシ先端部を傾斜加工する傾斜加工工程と、前記傾斜加工工程により傾斜加工されたブラシを周状に配置して回転駆動しながら、当該ブラシ先端部に研磨手段を押圧することで前記線状部材の先端形状を所定の形状に慣らし加工する先端部慣らし加工工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ワークの腐食や発錆が抑制された高品質の研削加工が確保できる研削加工装置を提供する。
【解決手段】円柱状のメタルボンド砥石３を回転してワークＷを研削加工すると共に、研削液の存在下で回転するメタルボンド砥石３と電解ドレッシング用電極２１に通電してメタルボンド砥石３を電解ドレッシングする研削装置１において、メタルボンド砥石３と電解ドレッシング用電極２１の電極面２５が対向する電解ドレッシング領域におけるメタルボンド砥石３の回転方向下流端に、電食防止板３５を備え、電食防止板３５に正の電圧を印加する。電解ドレッシングに伴って生成された研削液に溶解するＯＨ⁻イオンが陽極となる電食防止材３に誘導されて研削液からＯＨ⁻イオンが除去され、回転するメタルボンド砥石３に連れ回されて飛散する研削液の付着に起因するワークＷの腐食或いは発錆が抑制される。 （もっと読む）

【課題】所望の砥石真直形状が達成できたか否かを判定することのできるドレッシング状態判定方法を提供する。
【解決手段】ドレッシングの際に発生する超音波と、予め定められた複数の標本線との交差点数をＭＴシステムのＴ法における微分特性として取得すると共に、各交差点の内、交差点の位置を上回る位置に超音波が存在する交差点間の間隔の和をＭＴシステムのＴ法における積分特性として取得し、複数の標本線の内、予め定めら有効標本線における微分特性及び積分特性について、所定の単位空間データによって規準化し、その規準化された微分特性及び積分特性を基にドレッシングによる砥石真直度の推定値を算出し、算出された推定値が所定のしきい値を満足する場合に所望のドレッシング状態に達したと判定するものである。 （もっと読む）

【課題】半導体結晶等、特に硬脆性のＧａ含有窒化物結晶などの半導体結晶等をスライスする際の加工ダメージを低減させる手法を提供すること。
【解決手段】先ず、マルチワイヤーソー（１）で結晶をスライスするため、ＧａＮ結晶（１００）とツルーイング用砥石（２０）を接着させたカーボン台座（２００）が固定されている金属台座（４００）を切削装置内にセットする。続いて、ワイヤー（１０）を揺動させ、板状のＧａＮ結晶（１００）の切削時の揺動角度を決定し、ワイヤー（１０）の揺動を繰り返しながら該ワイヤー（１０）をＧａＮ結晶（１００）の端部から中心部に向かう方向に走行させ、かつ、金属台座（４００）を昇降モータで上昇させることにより、切削が進行する。 （もっと読む）

【課題】取代量が大きなワークの両面の研削に際して、ワーク仕上面における優れた平行度と平坦度、さらには研削効率が得られる両頭平面研削技術を提供する。
【解決手段】回転する上下一対の砥石車１、２間に、突起付きワークＷを通し送りしてその上下両面Ｗａ、Ｗｂを同時に平面研削するスルーフィード形式のもので、上側砥石車１として、平面研削砥石面１ａの最外周部に面取り部６を有する砥石車を使用することにより、面取り部６が一対の砥石車１、２のワーク入口部Ａにおける前研削工程用砥石面を構成し、また一対の砥石車１、２の平坦な研削砥石面１ａ、２ａの傾斜角度θを、本研削におけるワーク取代の大きさに対応して設定し、砥石車１、２間にワークＷを通し送りするに際して、前研削工程用砥石面６によりワークＷを前研削した後、対向する一対の平坦な研削砥石面１ａ、２ａによりワークＷを本研削する。 （もっと読む）

【課題】低コストで簡単にウェーハの厚さむらを抑制でき、ドレッシングによる生産性の低下を抑制することができるワークの切断方法を提供することを目的とする。
【解決手段】複数の溝付きローラに巻掛けされ、表面に砥粒が固着された固定砥粒ワイヤを軸方向に往復走行させ、ワークを前記往復走行する固定砥粒ワイヤに押し当てて切り込み送りし、前記ワークをウエーハ状に切断するワイヤソーによるワークの切断方法であって、前記切断するワークの切断開始位置に砥粒を含有した当て板を接着し、前記往復走行する固定砥粒ワイヤに前記当て板を押し当てて切り込み送りし、前記当て板を切断することによって前記固定砥粒ワイヤをドレッシングした後、前記ワークを切断することを特徴とするワークの切断方法。 （もっと読む）

【課題】第１の切削ブレードと第２の切削ブレードのドレッシングを効率よく実施できる切削装置を提供する。
【解決手段】チャックテーブル３４を加工送りする手段と、それと直交する割り出し送り方向に移動可能に配設された第１の回転スピンドル４６２ａに装着された第１の切削ブレード４６３ａを備えた第１の切削手段４６ａと、それを割り出し送りする手段と、第１の回転スピンドルと同一軸線上に配設された第２の回転スピンドル４６２ｂに装着された第２の切削ブレード４６３ｂを備えた第２の切削手段４６ｂと、それを割り出し送りする手段とを具備する切削装置であって、チャックテーブルに隣接して第１の切削手段側に移動可能に配設された第１のドレッシングボード支持テーブル５ａと、チャックテーブルに隣接して第２の切削手段側に移動可能に配設された第２のドレッシングボード支持テーブル５ｂとを具備している。 （もっと読む）

【課題】 経済的な切削ブレードのドレッシング方法を提供することである。
【解決手段】 第１面と第２面とを有するドレスボードを切削ブレードで切削することで該切削ブレードのドレッシングを行う切削ブレードのドレッシング方法であって、該第１面側から該第２面に至らない深さまで該切削ブレードを切り込ませつつ該ドレスボードを切削することで第１切削溝を形成してドレッシングを行う第１面ドレッシングステップと、該第１面の全面に該第１切削溝が形成された該ドレスボードの該第２面側から該第１面に至らない深さまで該切削ブレードを切り込ませつつ該ドレスボードを切削することで第２切削溝を形成してドレッシングを行う第２面ドレッシングステップとを備え、該第１切削溝と該第２切削溝とは所定角度で交差することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】所望の表面粗さに修正処理された固定砥粒シートを用いて、バッチ間で板厚のばらつきが小さくなるように研削加工を行うことができる磁気ディスク用ガラス基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法は、固定砥粒を有するシートを用いて磁気ディスク用ガラス基板の主表面の平坦度を調整する表面研削工程を備えた磁気ディスク用ガラス基板の製造方法であって、前記表面研削工程において、ジルコニアを含有する遊離砥粒を含む研磨液及び鋳鉄製リングを用いて修正した前記シートを用いて表面研削を行うことを特徴とする。 （もっと読む）