【課題】 簡単な方法で研磨パッドの外周縁の振れ分を除去可能な研磨パッドの修正方法を提供することである。
【解決手段】 回転する研磨ヘッドの下面に装着された研磨パッドをチャックテーブル上に保持されたウエーハの上面に押し付けてウエーハを研磨する研磨装置における研磨パッドの修正方法であって、該研磨パッドの下端から所定の深さ分研削するため、該チャックテーブル上の該研削バイト上端の高さより該研磨パッドを該所定の深さに対応する距離下降させる下降動作と、該研磨パッドを回転させながら該研磨パッドの外周を研削するため、該研磨パッドと該研削バイトを該研磨パッドの面方向と平行方向に相対移動させる平行相対移動動作とを実施して、該研磨ヘッドに装着された該研磨パッドの回転中の外周縁を除去し、該研磨ヘッドの回転中心と円形に形成された該研磨パッドの中心とを合致させる研磨パッド外周研削工程を備えている。 （もっと読む）

【課題】後工程におけるラップ仕上における取り代を少なくして、ラップ仕上に要する時間およびスラリー使用量を抑える。さらに、研削砥石の寿命を長くする。
【解決手段】粗研削された基板（Ｗ）の表面を仕上研削する仕上研削装置（２）は、基板を研削する研削砥石（１２）を備えていて回転可能な研削部（１０）と、研削部の研削砥石に対面して配置されていて、基板を保持しつつ回転可能なチャック（２０）と、研削部をその回転軸に沿ってチャックに向かって送込む研削送り部（１５）と、研削送り部が前記研削部を送込む送り量に応じて、前記研削砥石に対する前記基板の研削比を変更する研削比変更部（３０、３５）とを含む。 （もっと読む）

【課題】手間が省かれ簡易な方法でありながら精度の高い砥石のドレッサの径管理方法を提供する。
【解決手段】砥石９５の側面に形成したスピンドル９１と同心状のドレッサ径測定リング部９５３の径を測定し、次いで、ドレッサ軸８４をスピンドル９１と平行にしてドレッサ８３をリング部９５３の外周面であるドレッサ径測定部９５５に接触させ、この時のスピンドル９１の位置とドレッサ軸８４の位置とリング部９５３の径とに基づいてドレッサ８３の径を求める。以降は、ドレッサ８３がリング部９５３の外周面に接触した後に摩耗したリング部９５３の径を測定して１回の摩耗量を把握し、ドレッサ８３がリング部９５３に接触した回数から現在のリング部９５３の径を算出して、ドレッサ８３の径を求める。 （もっと読む）

【課題】容易かつ確実に電解ドレッシング用電極に付着した付着物を除去する効率的なクリーニングが得られる研削加工方法及び研削加工装置を提供する。
【解決手段】メタルボンド砥石３でワークＷを研削すると共にメタルボンド砥石３及び電解ドレッシング用電極５がそれぞれ陽極及び陰極となるように印加してメタルボンド砥石５を電解ドレッシングする加工時間と非加工時間とを繰り返す研削加工装置１において、非加工時間にメタルボンド砥石３と電解ドレッシング用電極５の極性を反転して電解ドレッシング用電極５のクリーニングを行い、続いて電極ドレッシング用電極５とメタルボンド砥石３との間の電流測定値と電流閾値との比較結果に基づいてクリーニング完了として加工時間に移行し、電流測定値が電流閾値以下の場合は電解ドレッシング電極５のクリーニングを電流測定値が電流閾値より大きくなるまで繰り返す。 （もっと読む）

【課題】種類の異なる極薄の砥石（番手の異なる砥石）を複数組み付けたマルチ砥石を用いて研削加工する際に、各々独立した電解条件で砥石を成形させることが可能で、同一な電解条件でドレッシングする場合に生じる粗さの異なる砥石の型崩れによる再成形の手間が不要となり加工時間を大幅に短縮することができる研削装置及び研削方法を提供する。
【解決手段】
複数の電極板２４の電極作用面２４Ａと砥石２２の研削作用面２２Ａとの間にそれぞれ異なる加工液を供給し、複数の電極板２４毎に電圧を印加することで、複数の砥石２２の研削作用面２２Ａをそれぞれの砥石の番手に対応した電解ドレッシングをして被加工物を研削加工する。 （もっと読む）

【課題】工具を取り外さずに研磨することで、これに伴う手間および時間の軽減を図ると共に品質の低下を抑制することができる超音波加工装置を提供する。
【解決手段】第１ホーン５６に脱着自在に取り付けられた第２ホーン５８を第１ホーン５６に取り付けた状態で、その長さが一定になるまで工具６０の研磨を繰り返す研磨手段１６を有する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、使用限界に達した砥石を容易に短時間で交換して精度よくワークを短時間で研削加工する.
【解決手段】砥石１が使用限界に達した場合に新たな砥石１に交換するものであって、最初に取付けられた砥石１とワークＷとの歯合わせをするワークセットアップを行ってその初回ワーク位置関係データを読み込み記憶する初回ワーク位置関係データ読み込み工程と、各砥石１とドレッサ２との歯合わせをするドレスセットアップ（Ｓ２）を行ってそのドレスセットアップ位置関係データを読み込むドレスセットアップ位置関係データ読み込み工程（Ｓ３）と、初回ワーク位置関係データとドレスセットアップ位置関係データに基づいて、交換した新たな砥石１とワークＷとのワーク位置関係データを演算により求める演算工程（Ｓ１２）とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】簡易的な方法でドレッシングボードを固定可能であり、ドレッシングボードを交換可能な切削ブレードのドレッシング方法を提供する。
【解決手段】中央部に所定の大きさの開口部８０を有し外周部が環状フレームＦに装着されたシート状部材７８を準備するシート状部材準備工程と、チャックテーブル１８の吸引保持領域上にシート状部材７８を配設し、該環状フレームＦを固定するシート状部材載置工程と、シート状部材７８の開口部８０を塞ぐように第１ドレッシングボード８２をシート部材７８上に載置し、シート状部材７８及び開口部８０を介して第１ドレッシングボード８２をチャックテーブル１８で吸引保持するドレッシングボード保持工程と、チャックテーブル１８に吸引保持された第１ドレッシングボード８２に切削ブレードで切削溝を形成し、切削ブレードのドレッシングを実施するドレッシング工程と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】研削抵抗増加により低い研削能率で研削するツルーイング後研削を短縮する研削方法および研削盤。
【解決手段】複数の砥石車７１、７２を用いて、複数の被研削部を研削する研削方法および研削盤において、
ツルーイング後研削工程を、複数の砥石車の一部を用いて前記複数の被研削個所の一部を研削する工程を前記複数の砥石車の全てが使用されるように複数回組み合せて実行し、その研削能率を複数の被研削部を同時に研削した場合より大きくして研削する。研削能率を大きくすることでボンド除去効率を高くし、より少ない工作物研削本数で所定の砥粒突出し量を達成し、定常研削に移行する。 （もっと読む）

【課題】従来の首振り型電着ＣＢＮ成形砥石を用いる精密ドレス出来ない欠点を改良するため、トロコイド形状歯車成形用数値制御研削装置の機枠上に取り付けるドレッサとして回転式のロータリードレッサを選択し、加工用の円弧凹状研削砥石車の円弧凹状部を、ロータリードレッサ砥石で寸法精度よくドレス成形する。
【解決手段】トロコイド形状歯車加工用ＮＣ研削装置１のワークステージ１０機枠上にロータリードレッサ砥石支持アーム３２を設け、このロータリードレッサ砥石３１を昇降可能に設置する。 （もっと読む）