【課題】簡易的な構成で、加工面が良好にツルーイングおよびドレッシングされた高精度な球面形状砥石を得ることを目的とする。
【解決手段】砥粒３２とこの砥粒３２を結合した結合剤３３とからなり加工面３４を球面形状に形成された砥石２２を、ツルーイングおよびドレッシングするための中空円筒形状のカップ型ドレッサ１３であって、砥石２２の砥粒よりも小径であり、破砕性が高く、低硬度で、砥石２２の結合剤よりも硬い砥粒を、砥石の砥粒保持力よりも弱い保持力で結合した。カップ型ドレッサ１３を構成している砥粒３７の保持力が砥石３３の砥粒保持力よりも弱いため、砥石３３との接触負荷によって、カップ型ドレッサ１３の砥粒３７が脱落し、脱落した砥粒３７は砥石２２の砥粒３２よりも小径であり砥石２２の結合剤３３よりも硬いため、砥石表面の砥粒３２間に入り込んで砥石２２の結合剤３３を表面から選択的に除去してドレッシングが行われる。 （もっと読む）

【課題】加工ツールの切削性を長期に亘って良好に維持することができ、寿命を向上させることができるとともに、加工ツールを加工ヘッドから取り外すことなくドレッシングすることができる切削加工装置を提供する。
【解決手段】ワークＷを載置する載置面を有したテーブル１と、テーブル１の幅方向をＸ軸、当該テーブルの長さ方向をＹ軸及び当該テーブルの載置面に対して垂直方向をＺ軸としてワークＷに対して３次元的に相対移動可能な加工ヘッド２と、加工ヘッド２に取り付けられて回転軸Ｌ２周りに回転することによりワークＷに対して切削加工可能とされるとともに、先端３ａが半球状に形成された加工ツール３とを具備した切削加工装置において、加工ツール３の先端３ａを電解加工することにより当該先端３ａの半球状を一定に維持するドレッシング手段１０をテーブル１上の所定領域に配設して成るものである。 （もっと読む）

【課題】ドレス部の摩耗量や装置ごとの寸法の違いを正確に把握しなくても所望のドレッシングを行うことができる研磨装置を提供する。
【解決手段】研磨工具２３を下降させて研磨部２３２の研磨面２３３をドレス工具３３のドレス部３３２に接触させてドレッシングする構成において、ドレス部３３２が研磨面２３３から受ける下向きの圧力を検出する圧力検出部３２と、圧力検出部３２で検出される圧力に基づいて研磨工具２３の鉛直方向の移動量を制御する制御手段４を付加し、制御手段４によってドレス部３３２に接触する研磨面２３３の圧力の程度を調整して所望のドレッシングを可能とする。 （もっと読む）

【課題】砥石車の研削作用面の状態を検出し、砥石を最適な状態で無駄なく使用し、不良工作物を製造しない研削盤。
【解決手段】砥石車の研削作用面の凹凸形状を計測した凹凸データから、前記研削作用面に垂直な方向の深さが同一となる線上の砥石の占有比率を演算し、深さに対する占有比率の変化率と所定の深さの占有率の値により、研削作用面の研削性能を判定する。この判定に基づき、研削サイクルと砥石成形サイクルを最適に制御する。 （もっと読む）

【課題】砥石車と総形ツルーイングロールの周速度比に係らず砥粒を所望の度合いに破砕するツルーイング方法を提供する。
【解決手段】総形ツルーイングロール９を砥石車７の研削作用面に垂直方向に振動させる加振装置１０２を備えたツルーイング装置１０を用い、砥石車７の回転周期を加振装置１０２の振動周期で除した値が循環数となる周期と、所望の振幅で、振動させる。この振動で総形ツルーイングロール９の砥粒押込み方向の速度を所望に制御して、砥石車７の砥粒の破砕度合いを制御する。 （もっと読む）

【課題】研磨パッドとドレッシング部材とを接触させてドレッシング処理を行う際に、自励振動を防いで研磨パッドのドレッシングを確実に行い、パッド表面の研磨面の再生を行うことができるドレッシングユニットを備えた研磨装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る研磨装置は、研磨テーブル上の研磨パッドに基板を押圧して研磨する基板保持ユニットと、該研磨パッドにドレッシング部材を接触させて該研磨パッドを目ならしするドレッシングユニットを備え、さらに該ドレッシングユニットは、ドレッシングユニット本体を内部に収容する容器と、該容器の上に載置される錘と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 外周面に複数の面から成る加工面を有する研削工具を整形でき、整形砥石の磨耗を極力抑えつつ研削工具の加工面の高い形状精度を確保できる研削工具の整形方法を提供する。
【解決手段】 研削加工用機械１にて、整形砥石１１のＣ軸移動に、研削工具１０のＸ軸およびＺ軸の移動を同調させて、整形砥石１１の凸状曲面の接触面１１ａを研削工具１０の加工面１０ａに対して相対的に揺動し、接触面１１ａの円弧の略全域を加工面１０ａに接触させると共に、加工面１０ａに整形砥石１１を所定の回数揺動し、両揺動端で加工面１０ａに対し順次所定量の切り込みを与える。また、研削工具１０と整形砥石１１とを略同一の硬度とし、回転数を制御して、研削工具１０の加工面１０ａと整形砥石１１の接触面１１ａとの接触点１０ｂ、１１ｂにおける整形砥石１１の周速を研削工具１０の周速よりも速くした。 （もっと読む）

【課題】被研磨材のディフェクトを低減することのできる研磨方法を提供すること。
【解決手段】研磨パッドを用いて、スラリーを供給しながら被研磨材を研磨する方法であって、研磨開始から研磨時間の１５％以上９０％以下経過時点で研磨パッド表面をドレッシングするインサイチュードレッシングを開始することを特徴とする研磨方法。 （もっと読む）

【課題】研磨パッド形状測定装置で測定した研磨パッド形状を、ドレスツールを用いてウェーハが所望の表面形状になるような研磨パッドの目標形状に修正する。
【解決手段】被加工物を所望の表面形状に研磨するための研磨パッド１４の形状修正方法であって、研磨パッド形状測定装置１０を用いて、定盤１２に貼付した状態で研磨パッド形状を測定する測定ステップＳ９と、測定ステップＳ９の測定結果に基づいて予め備えられた複数のドレスレシピの中から、前記被加工物を所望の表面形状に研磨可能なドレスレシピを選択する条件決定ステップＳ１０と、条件決定ステップＳ１０で決定されたドレスレシピを用いて研磨パッド１４をドレッシングする形状修正ステップＳ１１を備える。 （もっと読む）

【課題】水溶性ホーニングのように過酷な潤滑環境であっても、油溜まりとして十分に機能する鮮明なクロスハッチを形成することができ、且つ、量産品に適用可能なホーニング加工方法を提供する。
【解決手段】砥石４をボア内周面Ｗ１に衝突させて、砥石４の表面における砥粒４ａの間の研削屑Ｄを除去することにより、砥石４の目立てを行う目立て工程Ｓ２と、砥石４をボア内周面Ｗ１に切り込んで研削する切り込み工程Ｓ３と、砥石４の径方向位置を固定した状態で、ボア内周面Ｗ１の弾性縮径によりボア内周面Ｗ１を研削しながら、砥石４を軸方向に複数回往復させるスパークアウト工程Ｓ４とを行う。 （もっと読む）