【課題】 被加工物のハンドリングを容易にするとともに繰り返し使用可能な被加工物の保持ユニットを提供することである。
【解決手段】 被加工物を吸引保持する保持テーブルと、該保持テーブルに吸引保持された該被加工物に切削溝を形成する切削ブレードを有する切削手段とを備えた切削装置において使用される被加工物の保持ユニットであって、該被加工物が載置される載置領域と、該被加工物の位置ずれを防止する位置ずれ防止手段とを有するサブストレートと、該サブストレートに貼着された粘着シートと、該粘着シートの外周縁に貼着された環状フレームとを具備し、該サブストレートの前記載置領域及び該粘着シートには該サブストレートと該粘着シートとを貫通する複数の貫通孔が形成されており、該被加工物が該サブストレート上に載置され、該保持テーブル上で吸引保持されることで、該被加工物と該被加工物の保持ユニットとが一体化して該保持テーブルにより保持されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】成形手段による不要な砥石の切削量を低減させ、作業効率と砥石の寿命をより向上させることができる砥石成形方法を提供する。
【解決手段】成形手段ＴＲと砥石Ｔとが接触していることを検出可能な接触検出手段ＡＳと、成形手段に対する砥石の相対移動先の位置を検出可能な位置検出手段ＥＺと、移動手段を制御する制御手段と、を用いて、回転している砥石を成形手段にて成形する砥石成形方法であって、制御手段は、成形手段に対して相対的に近づく方向に砥石を第１所定距離だけ接近させ、接近時における接触検出手段からの接触検出信号と位置検出手段からの位置検出信号を記憶した後、成形手段に対して相対的に遠ざかる方向に砥石を第２所定距離だけ移動させて成形手段と砥石とを離間させる第１のステップと、接近時に記憶した接触検出信号に基づいて、接近時において成形手段と砥石とが接触していたか否かを判定する第２のステップと、を有する。 （もっと読む）

【課題】切れ味が優れ、寿命が長く、仕上げ精度も良好なドレッサを提供する。
【解決手段】単結晶構造で四角柱形状のダイヤモンド砥粒１５と、多結晶構造で四角柱形状のダイヤモンド砥粒１６とを含む砥粒層１２を備えたドレッサ１０において、砥粒層１２内のトラバース方向Ｔの始端側１２ｓに設定した仮想基準面Ｆ１に軸心１６ｔと平行な端面部１６ａを揃えた状態で多結晶構造のダイヤモンド砥粒１６を配列し、始端側１２ｓよりも終端側１２ｅ寄りの位置に設定した仮想基準面Ｆ２に軸心１５ｔと平行な端面部１５ａを揃えた状態で単結晶構造のダイヤモンド砥粒１５を配列している。砥粒層表面１２ａに、ダイヤモンド砥粒１５，１６の軸心１５ｔ，１６ｔとの交差面１５ｆ，１６ｆが露出している。交差面１５ｆ，１６ｆはいずれも正方形であり、交差面１５ｆの辺１５ｓの長さより交差面１６ｆの辺１６ｓの長さの方が大である。 （もっと読む）

【課題】例えば半球面に近い深い凹球面を、高平滑かつ高精度な凹球面に高能率に加工することができる凹球面研削加工装置と方法を提供する。
【解決手段】表面が導電性砥石１３からなり所定の直径と真円度を有する球形工具１２と、球形工具の中心より下方部分を遊動可能に保持する工具保持具１４と、球形工具の中心より上方部分と接触する半球状の上凹穴を有するワークを保持するワーク保持具１８と、ワーク保持具又は工具保持具を移動し球形工具とワークの相対位置を調整する相対位置調整装置２０と、球形工具の表面を電解ドレッシングするＥＬＩＤ装置２２と、球形工具をその表面に沿ってランダムに駆動するランダム駆動装置３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】使用によりダイヤモンド砥粒が摩耗し、切れ味が悪くなったダイヤモンド研磨工具について、再度ダイヤモンド砥粒を突出させ、再使用可能とするダイヤモンド研磨工具の再生方法を提供する。
【解決手段】再生すべきダイヤモンド研磨工具１を電源器６の陽極側若しくは交流電源の一極に接続し、電解液を含浸し含水性物質を介在させた電極４を対極として、通電することによって、含水性物質の膜作用により、ダイヤモンド研磨工具１と対極との間で電解作用を生起させてダイヤモンド研磨工具１を再生させる。 （もっと読む）

【課題】固定砥粒ツールが表面に形成された定盤を研削面として新規に使用する場合、固定砥粒ツール表面には、固定砥粒ツール形成時に生じた形状の凹凸、定盤表面の形状等により、数十μｍのうねりがある。そのうねりを効率よく除去することを課題とする。
【解決手段】定盤上に形成されたダイヤモンド粒子を含む固定砥粒ツールに、固定砥粒砥石を押し付け、研削液３１０を循環して供給しながら定盤と固定砥粒砥石とを相対的に移動させて、固定砥粒ツールの表面を修正する方法であって、固定砥粒砥石から遊離化した遊離砥粒の研削液中の濃度が実質的に一定になるよう濃度調整部３３０により濃度調整する。研削液中の遊離砥粒の濃度を一定に保つので、修正レートを適切な値に一定に保つことができる。 （もっと読む）

【課題】 切削ブレードの先端形状を効率良く検出し、切削ブレードの交換の要否を判別可能な切削ブレードの先端形状検出方法を提供することである。
【解決手段】 回転しつつ被加工物に切り込むことで被加工物を切削する円盤状の切削ブレードの先端形状を検出する切削ブレード先端形状検出方法であって、切削ブレードで被加工物の一部を切削して、少なくとも一端が行き止まりの検出用溝を形成する検出用溝形成ステップと、該検出用溝の前記一端を撮像手段で撮像して撮像画像を取得する撮像ステップと、該撮像画像から該切削ブレードの先端形状を検出する検出ステップと、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】生産性が高く、チッピングを生じさせない磁気ディスク用ガラス基板の製造方法及び寿命が長い電着砥石を提供すること。
【解決手段】本発明の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法は、一対の主表面と端面を有するガラス基板の前記一対の主表面と前記端面との間にチャンファー面を形成するチャンファリング工程を備えた磁気ディスク用基板の製造方法であって、前記チャンファリング工程において、自動ドレスされた電着砥石を用いてチャンファリングすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】容易かつ確実に電解ドレッシング用電極に付着するスケール等の汚れの除去が得られ、メンテナンスの簡素化が可能な研削加工装置を提供する。
【解決手段】研削加工中にメタルボンド砥石３と電解ドレッシング用電極５との間に研削液を供給しながらメタルボンド砥石３と電解ドレッシング電極５間に通電して電気分解による電解ドレッシングを行う研削加工装置１において、非研削加工中に極性反転してメタルボンド砥石３に負の電圧を印加し、電解ドレッシング電極５に陽極となる様に印加して電解ドレッシング電極５を洗浄する。電解ドレッシング用電極５の劣化発生前に電極面５ａに付着したスケール等が確実に除去され、良好なメタルボンド砥石３の電解ドレッシングが確保されて目詰まり等のないメタルボンド砥石３による研削性能が維持され、研削加工品質の向上が図れると加工サイクルの短縮が可能になる。 （もっと読む）

【課題】簡易な手段によって、炭素膜と基材との界面における残留応力を軽減でき、炭素膜に大きなクラックが生じたり基材から剥離するのを防止し、性能が安定して確保される基材被覆膜、基材被覆膜の製造方法およびＣＭＰパッドコンディショナーを提供する
【解決手段】基材を被覆する基材被覆膜であって、気相合成法によって基材の表面に形成された炭素膜６に、ブラスト処理により微小なクラック７が形成される。微小なクラックは、１〜１０個／ｍｍ^２の密度で形成される。また、微小なクラック７は、平均長さが１〜１５μｍの範囲に設定される。 （もっと読む）