【課題】バリを良好に除去することができるバリ取り方法を提供する。
【解決手段】バリ取り方法は、ワーク１０に形成した第１穴１１に対し、第２穴１２を交差して連通して形成し、第２穴１２の第１穴１１への開口部１２Ａの周囲に形成されたバリ１３を除去する。ワーク１０の表面に形成された第１穴１１の開口端部１１Ａを薄膜により封鎖する封鎖工程と、薄膜２０を介して封鎖した第１穴１１の開口端部１１Ａに対向する位置に処理液３０を配置する待機工程と、処理液３０に衝撃波を発生させる衝撃波発生工程と、衝撃波が薄膜２０を破断して処理液３０が第１穴内１１に充満しながら高速で流入してバリ１３に衝突することにより、このバリ１３を折り取り除去する除去工程とを有している。 （もっと読む）

【課題】一表面のみを情報の記録等に使用し、他表面を使用しない円盤状基板を製造する場合において、円盤状基板の生産能力をより向上させることができる円盤状基板の製造方法を提供する。
【解決手段】一表面に情報を記録するガラス基板１０の製造方法であって、ガラス基板１０の一表面、他表面、外周面、内周面を研削する研削工程と、ガラス基板１０の内周面を研磨する内周研磨工程と、ガラス基板１０の外周面を研磨する外周研磨工程と、一表面が研磨面となった２枚のガラス基板１０を、ガラス基板１０が合わせられた際の間隔を定める間隔規制部材を含む接着剤を用いて一表面とは反対側の他表面で接合する接合工程と、接合工程により接合された２枚のガラス基板１０の各々の一表面を同時に研磨する研磨工程と、を有することを特徴とするガラス基板１０の製造方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、板状物の製造装置及び製造方法並びに板状物の端面研削装置及び端面研削方法を提供する。
【解決手段】本発明の端面研削装置２２は、搬送手段１６によってガラス板Ｇを搬送しながら、ガラス板Ｇの端部近傍を支持ローラ６８、６８…によって支持した状態で端面面取り砥石３６によってガラス板Ｇの端面を面取りする。支持ローラ６８、６８…は、搬送中のガラス板Ｇの下面に当接するとともに、ガラス板Ｇの研削される端面位置に応じて、ガラス板Ｇの搬送方向に対し端面Ｇａ、Ｇｂに接近する方向または離れる方向に進退し、ガラス板Ｇの端部近傍を支持する。支持ローラ６８、６８…によるガラス板Ｇの支持位置は、ガラス板Ｇの端部が自重により大きく垂れ下がらない位置に設定される。位置制御部７０は、記憶手段に記憶されているガラス板Ｇの形状情報に基づいて、支持ローラ６８、６８…の進退距離を制御し、支持ローラ６８、６８…によるガラス板Ｇの支持位置を設定する。 （もっと読む）

【課題】乾式で加工を行っても、砥石に目詰まりが生じにくい回転砥石装置を提供する。
【解決手段】回転砥石装置１は、円板状の砥石１５と、砥石の中心を通る第一軸Ｐ１を軸心とし、砥石と一体的に回転する第一軸部１０と、第一軸部を砥石の両側で回転自在に挿通させている一対の支持部４１と、第一軸部と一体的に回転する第一回転子１１と、一対の支持部が一端に設けられていると共に、第一軸に平行な第二軸Ｐ２を軸心とする第二軸部２０を回転自在に挿通させている円筒体４０と、円筒体の中心軸と一致すると共に第一軸と直交する直交軸Ｚ周りに円筒体を回転させる回転駆動機構と、円筒体と同心の円環状で、円筒体を回転自在に挿通させている第一傘歯車４５と、第一傘歯車と噛合し、第二軸部と一体的に回転する第二傘歯車２５と、円筒体内で第二軸部と一体的に回転すると共に第一回転子を従動回転させる第二回転子２１とを具備する。 （もっと読む）

【課題】パートラインが様々な形状からなる樹脂成形品の何れも研磨処理することができ、かつ迅速に研磨する。
【解決手段】樹脂成形品Ｗのパートライン５２のばり又は段差を研磨する、略垂直方向に回転するように配置した無端ベルト状の研磨ベルト１と、研磨ベルト１の一部を裏面から押圧して、研磨ベルト１の傾斜面の傾斜角度を可変可能に形成するために、研磨ベルト１を裏面に設けた可動自在になるベルト押圧用プーリ２１と、仕上研磨をするための、研磨ベルト１よりヤスリ目が細かく、かつその硬さも柔らかい、板状の研磨板２と、樹脂成形品Ｗを、パートライン５２が略水平方向になるように着脱自在に担持するワーク保持具３と、から成る。 （もっと読む）

【課題】１台でウエーハの外周加工と直線加工を可能とする切削装置を提供する。
【解決手段】被加工物に直線加工と外周加工を施す切削装置であって、被加工物を保持するチャックテーブル６と、回転駆動される第１スピンドル２８と、該チャックテーブルで保持された被加工物に直線加工を施すための該第１スピンドルに装着された第１切削ブレード３８と、該第１スピンドルの軸線方向に該第１切削ブレードから所定距離離間して該第１スピンドルに装着された、該チャックテーブルで保持された被加工物に外周加工を施すための該第１切削ブレードよりも小径の第２切削ブレード３４と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】円形状基板を保持回転機構により保持して回転させ、テープ移送機構により研磨テープを間欠的又は連続的に移送させ、圧接機構によりテープ研磨機構の迂回研磨部と円孔の内周端面とを圧接し、研磨部揺動機構により迂回研磨部を円孔の内周端面に対向する方向に間欠的又は連続的に揺動運動させて研磨することにより円孔の内周端面をＣ面又はＲ面に研磨することができる。
【解決手段】研磨テープＴを間欠的又は連続的に移送させるテープ移送機構Ｃと、迂回案内部Ｃ_３により側方に迂回案内された研磨テープの側方迂回部分Ｔ_３を円孔Ｑの内周端面Ｍを研磨可能な迂回研磨部Ｋとするテープ研磨機構Ｄと、迂回研磨部を円孔の内周端面に対向する方向に間欠的又は連続的に揺動運動させて迂回研磨部により円孔の内周端面をＣ面又はＲ面に研磨するための研磨部揺動機構Ｆとを備えてなる。 （もっと読む）

【課題】ウエーハを極薄に研削する際、ウエーハの破損を低減可能なウエーハの加工方法を提供する。
【解決手段】表面に膜層５が形成され、且つ外周側面に面取り部８が形成されたウエーハ２の加工方法であって、切削ブレード１８をウエーハ２の表面２ａから外周縁に切り込ませつつウエーハ２を回転させることで少なくとも面取り部８上の該膜層５を円形に切削除去する切削ステップと、該切削ステップを実施した後、ウエーハ２の表面２ａに保護テープを貼着する保護テープ貼着ステップと、表面２ａに該保護テープが貼着されたウエーハ２の裏面を研削する研削ステップと、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、側面部の平滑性に優れる磁気記録媒体用ガラス基板の提供を目的とする。また、側面部の平滑性に優れる磁気記録媒体用ガラス基板に高い生産性で研削する端面研削方法、及び該端面研削方法を用いた端面研削工程を有する磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法の提供を目的とする。
【解決手段】本発明は、磁気記録媒体用ガラス基板の内周側面または外周側面の少なくとも一方を、砥粒を結合材で固着した砥石を用いて研削する端面研削工程において、前記砥粒はレーザ回折散乱方式の粒度分布測定装置を用いて測定した粒子径の最大粒子径ｄｍａｘと最小粒子径ｄｍｉｎとの差である砥粒粒度分布幅△ｄ（＝ｄｍａｘ−ｄｍｉｎ）が２３μｍ以下であることを特徴とする磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、プレス等の加工後のワーク４に発生するバリ、鋭利なエッジを取り除くバリ取り装置とそのバリ取りの方法に関し、特にワーク４の要望する小さいワーク搬送を可能とすること。
【解決手段】ワーク４を直線的に運ぶ搬送コンベア方式から、円を描くように、ワーク４の角度を変えて一周させる旋回式の搬送方法にする。 （もっと読む）