【課題】変形に対する抵抗が少ない電極を有するアクチュエーターを提供する。
【解決手段】伸縮可能な筒状の第１の部位と、第１の電極と、第２の電極と、高分子電解質層と、を含み、前記第１の部位の内部は、前記高分子電解質層で埋められており、前記第１の電極は、前記第１の部位の周囲に接して螺旋状に配置され、前記第２の電極は、前記高分子電解質層の内部に埋められ、前記第１の部位の伸縮に伴い変形することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】パワーデバイスの冷却に用いられるヒートシンクの種別が増えることを抑えつつ、ロボットコントローラーの小型化を図ることの可能なロボットコントローラーを提供する。
【解決手段】複数の交流モーターを有したロボットの動きを複数の交流モーターの各々の駆動によって制御するロボットコントローラーであって、直流電圧を多相交流電圧に変換して交流モーターに出力する複数のパワーデバイス４３Ｂ，４３Ｆと、パワーデバイス４３Ｂ，４３Ｆが実装される複数のモータードライバー基板４０とを備え、複数のモータードライバー基板４０の各々は、１つのヒートシンク４４と、１つのヒートシンク４４に取り付けられた２つのパワーデバイス４３Ｂ，４３Ｆとを備える。 （もっと読む）

【課題】磨耗粉を除去し、耐久性が優れる圧電アクチュエーターを提供する。
【解決手段】圧電アクチュエーター１０は、ローター４０と、ローター４０の外周部に当接して、ローター４０を回転させる振動体２０と、ローター４０の回転外周に接触するように配置される可撓性を有する環状のベルト７０と、ベルト７０を懸架するローラー６１，６５と、を備える。ローター４０と振動体２０との接触面に発生する磨耗粉は、ベルト７０によって捕捉され除去される。 （もっと読む）

【課題】ケーブル等と周辺機器との干渉をより抑制できるようにしたロボットを提供する。
【解決手段】
基台１に設けられたアーム２〜４に対して第１軸回りに回転するように連結される胴体底部２４、第１軸の延長線上に胴体底部２４に設けられ、ケーブルを挿通可能な通過口２５、胴体底部２４から第１軸の延長線に沿って延設された第１延在部２２、第１延在部２２と間隙を有して並行して配設される第２延在部２３、第１延在部２２と第２延在部２３との少なくともいずれかの先端側に取り付けられて第１軸に直交する第２軸回りに揺動する揺動体７、第１軸の延長線上に対してオフセットした位置で胴体底部２４に支持され、第２軸回りに揺動体を揺動させるモータ５１、第２軸に直交する第３軸周りに回転するように揺動体７に支持されケーブルが接続されるエンドエフェクタを保持可能な回転体８を有して構成する。 （もっと読む）

【課題】制動ブレーキを一体化した電動モーターを提供する。
【解決手段】ローター１２１とステーター１２２を有する電動モーター１００であって、
前記ローター１２１の一部は、運動軌跡となる、第１の摩擦部２１２１を有しており、
前記ステーターの少なくも一部には、前記第１の摩擦部２１２１と接触して機械的な摩擦力により前記ローターの回転を制動及び停止させる第２の摩擦部２１１０と、前記電動モーター１００に電力が供給されているときには前記第２の摩擦部２１１０を前記第１の摩擦部２１２１から離間させて制動を実行させず、前記電動モーター１００への電力供給が遮断されたときには前記第２の摩擦部２１１０を前記第１の摩擦部２１２１に押しつけて制動を実行させる制動アクチュエーター部２１００を設けた電動モーター。 （もっと読む）

【課題】複数の関節アクチュエータでの配線構造の共通化を図り、しかも自己の電源ノイズによる制御系への悪影響を抑制する。
【解決手段】関節アクチュエータの配線モジュールにおいて、入力側コネクタ８４ｃ−２には全アクチュエータ共通の分配用端子Ｔ１が設けられ、出力側コネクタ８３ｃ−２には全アクチュエータ共通の次段電力用端子４が設けられている。また、配線モジュールにおいて、電源線配列部Ｋ１で信号線Ｋ６から最も離れた位置にある次段用電源線Ｋ２を次段電力用端子Ｔ４に接続すること、及び、電源線配列部Ｋ１の残りの電源線を、１関節アクチュエータ分の電源線の分ずつ信号線Ｋ６から離れる側にずらして出力側コネクタ８３ｃ−１に接続することにより、電源線の配列が組み替えられている。 （もっと読む）

【課題】電源コネクタが電源モジュールに接続されたままでこれらモジュールが分離されることがなく、モジュール間の電気接続部分がむき出しになることがないようにする。
【解決手段】中継コネクタ５を電源モジュール２に固定される第１のコネクタ６と、ＣＰＵモジュール３に固定される第２のコネクタ７とから構成し、第２のコネクタ７と第１のコネクタ６との結合時に第２の凸部７ｂと第３の凸部７ｃとの間に形成された第１の凹部７ｄと第１の凸部６ｂとが嵌合し、且つ第２のアース端子挿通孔部７ｅ、第１のアース端子挿通孔部６ｃ及び第３のアース端子挿通孔部７ｆが一直線に対向し連通する構成とし、電源コネクタ４のアース端子４ｃを第２のアース端子挿通孔部７ｅ、第１のアース端子挿通孔部６ｃ及び第３のアース端子挿通孔部７ｆに挿入する構成とした。 （もっと読む）

【課題】基板の高速搬送に適した基板搬送装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置は、基板を保持するハンド２３Ａ，２３Ｂと、ハンド２３Ａ，２３Ｂを駆動するハンド駆動機構２０，２６，２７と、ハンド２３Ａ，２３Ｂの動作を補助するように気体を噴射する気体ノズルを有する動作補助ユニット１０Ａ，１０Ｂとを含む。動作補助ユニット１０Ａ，１０Ｂは、ハンド２３Ａ，２３Ｂに備えられており、気体噴射により生じる反力によって、ハンド２３Ａ，２３Ｂの動作を補助する。 （もっと読む）

【課題】ロボットにおいて、エンコーダデータを確実に保持しつつバックアップ用電池の交換作業の容易化を図る。
【解決手段】ロボットは、主電源部とロボット本体部と外部バックアップ電源部とを備える。ロボット本体部は、サーボモータと、エンコーダデータを記憶するエンコーダ部と、エンコーダ部にバックアップ電源を供給する内部電池を含む内部バックアップ電源部とを有する。外部バックアップ電源部は、ロボット本体部の外部に設けられ、エンコーダ部にバックアップ電源を供給する。主電源部による供給電圧Ｖｓは外部バックアップ電源部による供給電圧Ｖｂａｔ１より大きく、供給電圧Ｖｂａｔ１は内部バックアップ電源部による供給電圧Ｖｂａｔ２より大きく、供給電圧Ｖｂａｔ２はエンコーダ部の最低動作電圧Ｖｓｙｓより大きい。 （もっと読む）

【課題】チャンバ内に配置された動力源から有効に放熱をすることが可能な回転駆動装置を提供すること
【解決手段】本発明の回転駆動装置は、隔壁と、駆動ユニットと、支持体とを具備する。隔壁は、搬送機構が収容されるチャンバに固定され、チャンバに導通する真空室を画成する。駆動ユニットは、真空室に収容され、搬送機構を駆動する。支持体は、上記真空室の外部に臨む放熱面を有し、上記隔壁に固定され上記駆動ユニットを支持する。
この構成により、真空室に収容された駆動ユニットにおいて発生する熱は、支持体に伝導し、放熱面から大気中に放熱される。このため、駆動ユニットにおいて発生する熱を有効に放熱させることが可能となる。 （もっと読む）