【課題】スプリング構造を備えている極細、肉薄の通電検査治具用接触子を、より精度高く、より精密に製造する。
【解決手段】心材の外周にメッキにより金めっき層を形成した後、形成された金めっき層の外周に電鋳によりＮｉ電鋳層を形成し、前記Ｎｉ電鋳層の外周にレジスト層を形成した後、レーザーで露光して前記レジスト層に螺旋状の溝条を形成し、前記レジスト層をマスキング材としてエッチングを行い、前記レジスト層に螺旋状の溝条が形成されていた部分のＮｉ電鋳層を除去し、前記レジスト層を除去すると共に、前記Ｎｉ電鋳層が除去された螺旋状の溝条部分の金めっき層を除去し、金めっき層を前記Ｎｉ電鋳層の内周に残したまま前記心材のみを除去する。 （もっと読む）

【課題】基板上に供給された樹脂の硬化不良の発生を低減するインプリント装置を提供する。
【解決手段】基板上の樹脂にパターン面を有するモールドを押し付けた状態で当該樹脂を硬化させることで前記基板上にパターンを形成するインプリントを行うインプリント装置であって、基板上に光硬化型の樹脂を供給する供給部と、前記供給部によって基板上に供給された光硬化型の樹脂に光を照射して当該樹脂を硬化させる照射部と、前記照射部を制御する制御部と、を有し、前記制御部は、前記供給部が前記基板上に光硬化型の樹脂を供給したときから当該樹脂に前記モールドが接触したときまでの時間が長いほど、インプリントを行う際に樹脂に照射する光の照射量が大きくなるように前記照射部を制御することを特徴とするインプリント装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】マイクロ流路構造及びそれを備えたマイクロ流路デバイス並びにそれらの製造方法において、その製造が容易且つ安価にできるようにすることを目的とし、又、溝が埋まらず、且つ漏れのないようにしながら、その製造が容易且つ安価にできるようにする。
【解決手段】静電印刷方式又はインクジェット印刷方式で作製された原版が使用されて形成された多孔質表面を有し、樹脂製である樹脂製マイクロ流路構造であり、又、そのマイクロ流路構造を構成する溝部２ａを有する溝側プレート２と溝部２ａを覆う蓋部３ａを有する蓋側プレート３からなり、溝部２ａを形成する凹部の側面２ｂ，２ｃと、蓋部３ａを形成する凸部の側面３ｂ，３ｃとが傾斜面であり、その凹部に凸部が圧入されて、溝側プレート２に蓋側プレート３が組み付けられているマイクロ流路デバイス１である。 （もっと読む）

【課題】フレキシブルなシート基材をスタンプに均一に接触させることができるシートチャックと、このシートチャックを使用して高精度のパターンを形成するためのマイクロコンタクトプリント法を提供する。
【解決手段】シートチャック１を、上面がシート基材を載置するための載置面２Ａとなっている基部２と、この載置面２Ａに位置する吸引・放出部３と、この吸引・放出部３を囲むように載置面２Ａに位置する保持部５と、を有するものとし、吸引・放出部３は気体の吸引と気体の放出が可能な領域とする。 （もっと読む）

【課題】 研磨量の多いＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍ）用の基板であっても、高研磨速度で平坦化可能な基板の研磨方法を、提供する。
【解決手段】 少なくとも１μｍ以上の膜厚と、少なくとも１μｍ以上の初期段差を有する酸化ケイ素膜を形成した基板を、研磨定盤の研磨布に押し当て加圧し、酸化セリウム粒子、分散剤及び水を含有してなる研磨液を、酸化ケイ素膜と研磨布との間に供給しながら、基板の酸化ケイ素膜と研磨布とを相対的に動かして、酸化ケイ素膜を研磨する基板の研磨方法。 （もっと読む）

【課題】パターニングされたウエハ上の制御された接合波を提供する。
【解決手段】二つの基板を接合する方法は、第一基板と第二基板との間に分離部材を配置する工程と、分離部材が第一基板と第二基板との間にある状態で、第一基板に圧力を加えて第一基板と第二基板との間に接合波を生じさせる工程と、分離部材を第一基板又は第二基板の中心から離れる方向に平行移動することにより、接合波の移動を制御する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】廃棄物や汚染廃水副生成物の発生量が極めて少なく環境負荷の低減化が図られ、製版時間が短く、低コストで３次元形状を有する構造体を作製可能な３次元形状を有する構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】下記に示す工程（１）及び工程（２）を繰り返し行い、被加工体の内部に、所望の３次元形状を有する構造体が得られるように３次元状の分離面を形成する３次元形状を有する構造体の製造方法を提供する。
工程（１）：前記被加工体の内部にレーザ光の焦点位置を合わせる工程。
工程（２）：前記焦点位置にレーザ光を照射する工程。 （もっと読む）

【課題】磁気駆動式マイクロピラー基板において、目標の鋳型孔のみに確実に磁性体を入れ、自由に磁気駆動できるようにする。
【解決手段】複数の鋳型孔が形成された鋳型３の表面にマスク１を付けて、磁性体を入れる予定の鋳型孔以外をマスキングし、磁性体としての鉄粉５を含む鉄粉含有ＰＤＭＳ６をマスキングした鋳型３に注入して遠心処理し、マスクを外した後、鉄粉を含まないＰＤＭＳ８を鋳型３に注入する。この後、鋳型３の背面に永久磁石９をあてがいながら焼き固めて、磁気駆動式マイクロピラー基板１０を生成する。最後に、磁気駆動式マイクロピラー基板１０を鋳型３から剥離する。 （もっと読む）

【課題】マイクロピンセット、その製造方法及びその操作方法に関し、操作性及び簡易性を向上する。
【解決手段】アーム支持部２と前記アーム支持部に設けられ先端部を把持部９とする一対のアーム部３とからなるフレーム１と、前記一対のアームに設けられたＡｓ−Ｓ、Ａｓ−Ｓｅ或いはＡｓ−Ｓ−Ｓｅのいずれかのカルコゲナイドガラス薄膜１０，１１からなる駆動素子と、前記カルコゲナイドガラス薄膜に偏光保持型光ファイバ１２，１３を経由してレーザ光を照射するレーザ光照射手段とを備える。 （もっと読む）

本発明は、印刷された構造層の領域で液体の流れを阻止するように基材シートの特性を変化させる印刷溶液を用いて、フレキソ印刷又はグラビア印刷により液流案内構造層を基材シートに製造する方法に関する。基材シート内への印刷層の浸透性は、印刷シリンダ圧力及び印刷溶液の組成によって制御できる。本方法では、安価なポリマと溶剤からなる印刷溶液を使用することができる。印刷技術の点から見て、本発明は既存の印刷機と互換性があり、それ故、大量生産に極めて適している。
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