マイクロピンセット、その製造方法及びその操作方法
【課題】マイクロピンセット、その製造方法及びその操作方法に関し、操作性及び簡易性を向上する。
【解決手段】アーム支持部２と前記アーム支持部に設けられ先端部を把持部９とする一対のアーム部３とからなるフレーム１と、前記一対のアームに設けられたＡｓ−Ｓ、Ａｓ−Ｓｅ或いはＡｓ−Ｓ−Ｓｅのいずれかのカルコゲナイドガラス薄膜１０，１１からなる駆動素子と、前記カルコゲナイドガラス薄膜に偏光保持型光ファイバ１２，１３を経由してレーザ光を照射するレーザ光照射手段とを備える。
【解決手段】アーム支持部２と前記アーム支持部に設けられ先端部を把持部９とする一対のアーム部３とからなるフレーム１と、前記一対のアームに設けられたＡｓ−Ｓ、Ａｓ−Ｓｅ或いはＡｓ−Ｓ−Ｓｅのいずれかのカルコゲナイドガラス薄膜１０，１１からなる駆動素子と、前記カルコゲナイドガラス薄膜に偏光保持型光ファイバ１２，１３を経由してレーザ光を照射するレーザ光照射手段とを備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はマイクロピンセット、その製造方法及びその操作方法に関するものであり、例えば、ミクロンまたはそれ以下の大きさの物質を観察しながら把持することができるマイクロピンセットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
試料を観察する際に、ちょうど表面の観察部分にパーティクルが付着している場合や、微細な物質を操作して実験を行う場合がある。このような場合、これらの微細な物質を把持または移動など、ハンドリングができると便利な場合が多い。
【０００３】
ミクロンまたはそれ以下の微細な物質を把持し、移動させるための道具がマイクロピンセットであり、従来よりいくつかのマイクロピンセットが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
このようなマイクロピンセットはアームの先端を極めて鋭利に作製し、駆動素子として圧電素子や熱膨張素子を用いてこのアームの先端同士を接近−離間させることによって微細な物質の把持を可能としている。
【０００５】
このように、従来のマイクロピンセットはアームの先端を駆動する素子として圧電素子や熱膨張素子を用い、1 対の駆動素子に鋭利な先端を取り付け、ピンセットとして用いている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】国際公開公報ＷＯ２００３／０４５８３８
【非特許文献】
【０００７】
【非特許文献１】応用物理，第７８巻，第７号，ｐｐ．６２５−６３０，２００９
【非特許文献２】Ｍ．Ｓｔｕｃｋｌｉｋ ａｎｄ Ｓ．Ｒ．Ｅｌｌｉｏｔ，”Ａｌｌ−ｏｐｔｉｃａｌ ａｃｔｕａｔｉｏｎ ｏｆ ａｍｏｒｐｈｏｕｓ ｃｈａｌｃｏｇｅｎｉｄｅ−ｃｏａｔｅｄ ｃａｎｔｉｌｅｖｅｒｓ”，Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｎｏｎ−Ｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ Ｓｏｌｉｄｓ，Ｖｏｌ．３５３，ｐｐ．２５０−２６２，２００７
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、駆動素子はマイクロピンセットの先端と比較して大きいため、マイクロピンセットを使う際には微細な把持対象物の周辺に、駆動素子部分も挿入することができるようなある程度の空間が必要であった。また、複数のマイクロピンセットを同時に使用する場合、駆動素子の大きさよりも互いに近接させて使用することはできないという問題がある。
【０００９】
さらに、従来のマイクロピンセットは駆動箇所が１箇所（１対）であるため、微細な対象物をアームの先端部で挟み込むようにしてつかんでいた。そのため、微細な対象物の周辺に対象物以外の物質が存在する場合にはこれらも同時に挟み込んでしまう場合があり、特定の対象物のみをつかむことが困難であるという問題もある。
【００１０】
さらに、微細な駆動素子に電圧を供給するため、駆動素子１つについて１対のワイヤが必要になるため作製工程に工夫が必要であった。以上の観点から従来のマイクロピンセットは操作性や簡易性に問題があった。
【００１１】
したがって、本発明は、マイクロピンセットの操作性や簡易性を向上することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の一観点からは、アーム保持部と前記アーム保持部に設けられ先端部を把持部とする一対のアーム部とからなるフレームと、前記一対のアームに設けられたＡｓ−Ｓ、Ａｓ−Ｓｅ或いはＡｓ−Ｓ−Ｓｅのいずれかのカルコゲナイドガラス薄膜からなる駆動素子と、前記カルコゲナイドガラス薄膜にレーザ光を照射するレーザ光照射手段とを備えたマイクロピンセットが提供される。
【００１３】
また、本発明の別の観点からは、平板状の基板材料をエッチング加工してアーム保持部と前記アーム保持部に設けられ先端部を把持部とする一対のアーム部とからなるフレームを成形する工程と、前記フレームの露出表面に、Ａｓ−Ｓ、Ａｓ−Ｓｅ或いはＡｓ−Ｓ−Ｓｅのいずれかのカルコゲナイドガラス薄膜を付着する工程と、前記フレームの表裏の主面に付着した前記カルコゲナイドガラス薄膜を研磨により選択的に除去する工程と、前記フレームの側面に付着した前記カルコゲナイドガラス薄膜の不要部をＦＩＢを照射して除去することにより駆動素子を形成する工程と、前記フレームに光ファイバーを固定する工程とを少なくとも有するマイクロピンセットの製造方法が提供される。
【００１４】
また、本発明のさらに別の観点からは、アーム保持部と前記アーム保持部に設けられ先端部を把持部とする一対のアーム部とからなるフレームと、前記一対のアームに設けられたＡｓ−Ｓ、Ａｓ−Ｓｅ或いはＡｓ−Ｓ−Ｓｅのいずれかのカルコゲナイドガラス薄膜からなる駆動素子と、前記カルコゲナイドガラス薄膜にレーザ光を照射するレーザ光照射手段とを備えたマイクロピンセットの前記駆動素子にレーザ光を照射して前記アーム部の先端部を近接させて把持対象物を把持するマイクロピンセットの操作方法が提供される。
【発明の効果】
【００１５】
開示の、マイクロピンセット、その製造方法及びその操作方法によれば、マイクロピンセットの操作性や簡易性を向上することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施の形態のマイクロピンセットの構成説明図である。
【図２】カルコゲナイドガラス薄膜を設けたカンチレバーの変位の説明図である。
【図３】本発明のマイクロピンセットの操作方法の一例の説明図である。
【図４】本発明の実施例１のマイクロピンセットの要部平面図である。
【図５】光照射によるマイクロピンセットの変位の説明図である。
【図６】本発明の実施例１のマイクロピンセットの途中までの製造工程の説明図である。
【図７】本発明の実施例１のマイクロピンセットの図６以降の製造工程の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
ここで、図１乃至図３を参照して、本発明の実施の形態のマイクロピンセットを説明する。図１は本発明の実施の形態のマイクロピンセットの構成説明図であり、図１（ａ）は概略的斜視図であり、図１（ｂ）は概略的平面図である。マイクロピンセットのフレーム１は、アーム支持部２と、アーム支持部２から突出する１つのアーム部３からなる。アーム支持部２は橋部４と両側の一対のファイバー保持脚５と中央のファイバー保持脚６とからなり、３本のファイバー保持脚５，６は途中で一体になっている。アーム部３は固定部７と変位部８と先端の把持部９からなる。なお、フレーム１の素材はガラスでもプラスチックでも良いが、微細加工容易性及び熱的安定性の観点から単結晶Ｓｉが好適である。
【００１８】
変位部８の外側にはＡｓ−Ｓ、Ａｓ−Ｓｅ或いはＡｓ−Ｓ−Ｓｅのいずれかのカルコゲナイドガラス薄膜１０からなる駆動素子が設けられ、また、橋部４の裏面にもＡｓ−Ｓ、Ａｓ−Ｓｅ或いはＡｓ−Ｓ−Ｓｅのいずれかのカルコゲナイドガラス薄膜１１からなる駆動素子が設けられている。
【００１９】
一対のファイバー保持脚５と中央のファイバー保持脚６にはそれぞれ偏光保持型光ファイバー１２，１３が挿通されており、各偏光保持型光ファイバー１２，１３の出射端面はそれぞれカルコゲナイドガラス薄膜１０，１１の表面に対して垂直に設定する。このように、レーザ光をカルコゲナイドガラス薄膜１０，１１の表面に対して常に垂直に照射することによって、マイクロピンセットの開閉を安定して行うことができる。
【００２０】
この偏光保持型光ファイバー１２，１３とレーザ光源（図示は省略）とによりレーザ光照射手段が構成される。このように、光ファイバーを用いることにより、レーザ光源とカルコゲナイドガラス薄膜までの間隔を小さくすることができ、それによって、入射光の減衰を防ぎ、カルコゲナイドガラス薄膜への安定した照射を実現することができる。なお、図示は省略するが、レーザ光源と光ファイバーとの間には偏光面を回転させる偏光面調整手段が設けられている。
【００２１】
次に、図２を参照して、本発明の実施の形態のマイクロピンセットの動作原理を説明する。図２は、カルコゲナイドガラス薄膜を設けたカンチレバーの変位の説明図であり、図２（ａ）は、カンチレバーの概略的側面図であり、単結晶Ｓｉからなるカンチレバー２１は支持チップ２２に固定され、その上面には厚さが１μｍのＡｓ４０Ｓｅ３５Ｓ２５の組成のカルコゲナイドガラス薄膜２３が蒸着されている。なお、カンチレバー２１は厚さが２．８５μｍであり、幅が３５．２μｍであり、また、支持チップ２２から突き出した部分の長さは２００μｍである。
【００２２】
図２（ｂ）は、偏光方向がカルコゲナイドガラス薄膜２３の長軸に垂直な偏光レーザ光２４を照射した場合の変位の説明図であり、角度として３°変位する。図２（ｃ）は、偏光方向がカルコゲナイドガラス薄膜２３の長軸に平行な偏光レーザ光２５を照射した場合の変位の説明図であり、角度として２°変位する。なおこの場合のレーザ光の波長は６０８ｎｍで、出力は５００ｍＷである。
【００２３】
このような、光によるカルコゲナイドガラスの変位は、光による熱的な影響等による等方的なスカラー光膨張と、光の偏光状態に影響される異方的なベクトル光膨張として知られている（例えば、上述の非特許文献１或いは非特許文献２参照）。実際の変位においては、この等方的なスカラー光膨張と、光の偏光状態に影響される異方的なベクトル光膨張が同時に作用している。
【００２４】
したがって、図２（ｂ）と図２（ｃ）との対比からは、照射するレーザ光の偏光状態によって１°の差が現れることになり、偏光方向をカルコゲナイドガラス薄膜２３の長軸に対して垂直から平行の間にすると、両者の中間状態の変位を示すことになる。本発明はこのカルコゲナイドガラス薄膜の光変位を利用してマイクロピンセットを実現するものである。
【００２５】
図３は、本発明のマイクロピンセットの操作方法の一例の説明図である。まず、図３（ａ）に示すように、橋部４の裏面に設けられたカルコゲナイドガラス薄膜１１に対して偏光保持型光ファイバー１３を介してレーザ光１４を照射する。レーザ光１４の偏光方向は任意であるが、ここでは、変位を最大にするためにカルコゲナイドガラス薄膜１１の長軸に対して垂直とする。レーザ光１４の照射よりカルコゲナイドガラス薄膜１１が膨張して橋部４が上側に湾曲し、その結果、一対のアーム部３が変位して把持部９が互いに接近する。
【００２６】
次いで、顕微鏡で観察しながら、把持対象物のなかから特定の把持対象物１５を選択して、把持対象物１５が一つの把持部９の中間になるようにした状態で、一つの変位部８の外側に設けたカルコゲナイドガラス薄膜１０に対して、偏光保持型光ファイバー１２を介してレーザ光１６を照射する。レーザ光１６の照射よりカルコゲナイドガラス薄膜１０が膨張して変位部８が内側に湾曲し、その結果、把持部９が互いにさらに接近して把持対象物１５を把持する。レーザ光１６の偏光方向は、把持する把持対象物１５のサイズや柔らかさに応じて調整する。
【００２７】
以上説明したように、本発明のマイクロピンセットは駆動素子としてカルコゲナイドガラス薄膜を用いているので、従来の圧電素子や熱膨張素子を用いたマイクロピンセットに比べて駆動素子の占有する空間を大幅に減らすことができる。その結果、把持対象物の周辺の空間が小さい場合の使用や、同時に近接した場所での複数のマイクロピンセットの使用が可能となる。
【００２８】
また、従来のマイクロピンセットの場合は、駆動素子に電圧を供給する必要があり、その結果、周辺の電磁界の影響を受ける。しかし、本発明のマイクロピンセットはレーザ光の照射によって操作しているので周辺の電磁界の影響を受けることはなく、マイクロピンセットの操作性、簡易性が向上する。
【００２９】
なお、図１に示した形状は単なる一例であり、各種の変形が可能である。例えば、一対の把持部をより近接させて形成した場合には、駆動素子となるカルコゲナイドガラス薄膜は、一対のアーム部にのみ設けるだけでも良い。さらに、一対の把持部を近接させて形成した場合には、駆動素子となるカルコゲナイドガラス薄膜は、橋部のみ設けるだけでも良い。
【実施例１】
【００３０】
以上を前提として、次に、図４乃至図７を参照して、本発明の実施例１のマイクロピンセットを説明する。図４は本発明の実施例１のマイクロピンセットの要部平面図であり、マイクロピンセットのフレーム３１は、単結晶Ｓｉをエッチングして形成したアーム支持部３２と、アーム支持部３２から突出する１つのアーム部３３からなる。
【００３１】
アーム支持部３２は厚さが２．８５μｍの橋部３４と両側の一対のファイバー保持脚３５と中央のファイバー保持脚３６とからなる。アーム部３３は橋部３４から直立する厚さが２．８５μｍで高さが８．５μｍの固定部３７と、固定部３７に対して外側に４５°折り曲げた厚さが２．８５μｍの変位部３８と変位部３８の先端から直角に折れ曲がる把持部３９からなる。
【００３２】
把持部３９は、変位部３８の付け根の厚さが２．０μｍであり、１０．５μｍの長さのテーパ状とし、高さ及び厚さともに減少してテーパ状にする。また、一対の固定部３７の間隔は３．０μｍとする。
【００３３】
変位部３８の長さが８．０μｍの外側全体には厚さが１μｍでＡｓ４０Ｓｅ３５Ｓ２５の組成のカルコゲナイドガラス薄膜４１を設けて駆動素子とする。一方、橋部３４の裏面には、一対の固定部３７の間隔に相当する３．０μｍの長さに、厚さが１μｍでＡｓ４０Ｓｅ３５Ｓ２５の組成のカルコゲナイドガラス薄膜４２を設けて駆動素子とする。なお、ここでは偏光保持型光ファイバーの図示は省略するが、偏光保持型光ファイバーの光軸がカルコゲナイドガラス薄膜４１，４２の表面に対して垂直になるように照射する。また、レーザ光のスポットサイズとカルコゲナイドガラス薄膜の面積はほぼ同じとする。
【００３４】
図５（ａ）は、光照射による橋部の変位の説明図である。把持部３９の先端を把持対象物付近にあわせた状態で橋部３４に設けたカルコゲナイドガラス薄膜４２に、波長が６０８ｎｍで出力が５００ｍＷのレーザ光をその偏光方向がカルコゲナイドガラス薄膜４２の長軸に対して垂直になるように照射する。その結果、橋部３４は上面が内側になるように１．５°湾曲して、初期において２．２μｍであった把持部３９の先端部の間隔が０．８μｍになる。
【００３５】
図５（ｂ）は、光照射による変位部の変位の説明図である。観察している顕微鏡を高倍率にして変位部３４に設けたカルコゲナイドガラス薄膜４１に、波長が６０８ｎｍで出力が５００ｍＷのレーザ光をその偏光方向がカルコゲナイドガラス薄膜４１の長軸に対して垂直になるように照射する。その結果、変位部３８は内側に３°まで湾曲して、把持部３９の先端部が接触する。
【００３６】
なお、この時のレーザ光は、把持対象物のサイズや柔らかさに応じてカルコゲナイドガラス薄膜に対する偏光方向や出力を調整する。また、橋部３４の湾曲に伴って一対のファイバー保持脚３５に埋設した偏光保持型光ファイバーも傾斜するので、偏光保持型光ファイバーの光軸はカルコゲナイドガラス薄膜４１の表面に対してほぼ垂直になる。
【００３７】
次に、図６及び図７を参照して、本発明の実施例１のマイクロピンセットの製造工程を説明するが、各部のサイズ及び形状は図４で説明した通りである。まず、図６（ａ）に示すように、（１００）面を主面とする厚さが３５．２μｍの単結晶Ｓｉ基板３０を準備し、厚さの中央部に達するファイバー埋設溝（図示は省略）を形成する。
【００３８】
次いで、図６（ｂ）に示すようにエッチングにより加工してアーム支持部３２と一つのアーム部３３とからなるフレーム３１を作成する。次いで、図６（ｃ）に示すように、集束イオンビーム（ＦＩＢ）を用いて厚さがテーパ状の把持部３９を高さもテーパ状になるように加工する。
【００３９】
次いで、図７（ｄ）に示すように、Ａｓ４０Ｓ３５Ｓｅ２５の組成のカルコゲナイドガラス薄膜４０を全表面に蒸着する。次いで、図７（ｅ）に示すように、フレーム３１の上面及び底面をポリッシングして上面と底面に付着した不要なカルコゲナイドガラス薄膜４０を除去する。
【００４０】
次いで、図７（ｆ）に示すように、フレーム３１の側面の部分の不要な箇所に付着したカルコゲナイドガラス薄膜４０をＦＩＢにより除去する。最後に埋設溝に偏光保持型光ファイバーを埋設したのち樹脂で固定することによってマイクロピンセットの基本構造が完成する。
【００４１】
このように、本発明の実施例１においては、２段階のピンセットの開閉を行っているので、微小な物質でも確実に把持することができ、操作性が向上する。特に、レーザ光の偏光の角度を変えることにより、破損しやすい試料に損傷を与えずに試料を把持することができる。
【００４２】
また、マイクロピンセットを変位させる駆動素子は、厚さが、１．０μｍ程度のカルコゲナイドガラス薄膜であるので、構造が簡素化されるとともに駆動素子の占有する空間を大幅に減らすことができる。その結果、複数のマイクロピンセットをお互いに近接させて同時に使用することもできる。
【００４３】
ここで、実施例１を含む本発明の実施の形態に関して、以下の付記を開示する。
（付記１）アーム保持部と前記アーム保持部に設けられ先端部を把持部とする一対のアーム部とからなるフレームと、前記一対のアームに設けられたＡｓ−Ｓ、Ａｓ−Ｓｅ或いはＡｓ−Ｓ−Ｓｅのいずれかのカルコゲナイドガラス薄膜からなる駆動素子と、前記カルコゲナイドガラス薄膜にレーザ光を照射するレーザ光照射手段とを備えたマイクロピンセット。
（付記２）前記アーム保持部にも前記カルコゲナイドガラス薄膜を設けた付記１に記載のマイクロピンセット。
（付記３）前記レーザ光照射手段が、レーザ光源と、前記レーザ光源からのレーザ光を前記アームの上部の近傍まで伝送して前記カルコゲナイドガラス薄膜の直上から照射する光ファイバーを有する付記１または付記２に記載のマイクロピンセット。
（付記４）前記レーザ光が偏光レーザ光であり、前記レーザ光源が前記レーザ光の偏光角度を微調整する偏光角調整手段を備えている付記２または付記３に記載のマイクロピンセット。
（付記５）前記光ファイバーが、前記光ファイバーの光軸が前記カルコゲナイドガラス薄膜の面に対して常に垂直になるように取り付けられた付記３または付記４に記載のマイクロピンセット。
（付記６）平板状の基板材料をエッチング加工してアーム保持部と前記アーム保持部に設けられ先端部を把持部とする一対のアーム部とからなるフレームを成形する工程と、前記フレームの露出表面に、Ａｓ−Ｓ、Ａｓ−Ｓｅ或いはＡｓ−Ｓ−Ｓｅのいずれかのカルコゲナイドガラス薄膜を付着する工程と、前記フレームの表裏の主面に付着した前記カルコゲナイドガラス薄膜を研磨により選択的に除去する工程と、前記フレームの側面に付着した前記カルコゲナイドガラス薄膜の不要部をＦＩＢを照射して除去することにより駆動素子を形成する工程と、前記フレームに光ファイバーを固定する工程とを少なくとも有するマイクロピンセットの製造方法。
（付記７）前記フレームに光ファイバーを固定する工程が、前記フレームのアーム保持部に保持溝を形成する工程と、前記保持溝に前記光ファイバーを埋設する工程と有する付記６に記載のマイクロピンセットの製造方法。
（付記８）アーム保持部と前記アーム保持部に設けられ先端部を把持部とする一対のアーム部とからなるフレームと、前記一対のアームに設けられたＡｓ−Ｓ、Ａｓ−Ｓｅ或いはＡｓ−Ｓ−Ｓｅのいずれかのカルコゲナイドガラス薄膜からなる駆動素子と、前記カルコゲナイドガラス薄膜にレーザ光を照射するレーザ光照射手段とを備えたマイクロピンセットの前記駆動素子にレーザ光を照射して前記アーム部の先端部を近接させて把持対象物を把持するマイクロピンセットの操作方法。
（付記９）前記アーム保持部にも前記カルコゲナイドガラス薄膜からなる駆動素子を設け、前記アーム保持部に設けた駆動素子にレーザ光を照射したのち、前記アーム部に設けた駆動素子にレーザ光を照射して前記アーム部の先端部を近接させて把持対象物を把持する付記８に記載のマイクロピンセットの操作方法。
【符号の説明】
【００４４】
１，３１ フレーム
２，３２ アーム支持部
３，３３ アーム部
４，３４ 橋部
５，６，３５，３６ ファイバー保持脚
７，３７ 固定部
８，３８ 変位部
９，３９ 把持部
１０，１１，４０，４１，４２ カルコゲナイドガラス薄膜
１２，１３ 偏光保持型光ファイバー
１４，１６ レーザ光
１５ 把持対象物
２１ カンチレバー
２２ 支持チップ
２３ カルコゲナイドガラス薄膜
２４，２５ 偏光レーザ光
３０ 単結晶Ｓｉ基板
【技術分野】
【０００１】
本発明はマイクロピンセット、その製造方法及びその操作方法に関するものであり、例えば、ミクロンまたはそれ以下の大きさの物質を観察しながら把持することができるマイクロピンセットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
試料を観察する際に、ちょうど表面の観察部分にパーティクルが付着している場合や、微細な物質を操作して実験を行う場合がある。このような場合、これらの微細な物質を把持または移動など、ハンドリングができると便利な場合が多い。
【０００３】
ミクロンまたはそれ以下の微細な物質を把持し、移動させるための道具がマイクロピンセットであり、従来よりいくつかのマイクロピンセットが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
このようなマイクロピンセットはアームの先端を極めて鋭利に作製し、駆動素子として圧電素子や熱膨張素子を用いてこのアームの先端同士を接近−離間させることによって微細な物質の把持を可能としている。
【０００５】
このように、従来のマイクロピンセットはアームの先端を駆動する素子として圧電素子や熱膨張素子を用い、1 対の駆動素子に鋭利な先端を取り付け、ピンセットとして用いている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】国際公開公報ＷＯ２００３／０４５８３８
【非特許文献】
【０００７】
【非特許文献１】応用物理，第７８巻，第７号，ｐｐ．６２５−６３０，２００９
【非特許文献２】Ｍ．Ｓｔｕｃｋｌｉｋ ａｎｄ Ｓ．Ｒ．Ｅｌｌｉｏｔ，”Ａｌｌ−ｏｐｔｉｃａｌ ａｃｔｕａｔｉｏｎ ｏｆ ａｍｏｒｐｈｏｕｓ ｃｈａｌｃｏｇｅｎｉｄｅ−ｃｏａｔｅｄ ｃａｎｔｉｌｅｖｅｒｓ”，Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｎｏｎ−Ｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ Ｓｏｌｉｄｓ，Ｖｏｌ．３５３，ｐｐ．２５０−２６２，２００７
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、駆動素子はマイクロピンセットの先端と比較して大きいため、マイクロピンセットを使う際には微細な把持対象物の周辺に、駆動素子部分も挿入することができるようなある程度の空間が必要であった。また、複数のマイクロピンセットを同時に使用する場合、駆動素子の大きさよりも互いに近接させて使用することはできないという問題がある。
【０００９】
さらに、従来のマイクロピンセットは駆動箇所が１箇所（１対）であるため、微細な対象物をアームの先端部で挟み込むようにしてつかんでいた。そのため、微細な対象物の周辺に対象物以外の物質が存在する場合にはこれらも同時に挟み込んでしまう場合があり、特定の対象物のみをつかむことが困難であるという問題もある。
【００１０】
さらに、微細な駆動素子に電圧を供給するため、駆動素子１つについて１対のワイヤが必要になるため作製工程に工夫が必要であった。以上の観点から従来のマイクロピンセットは操作性や簡易性に問題があった。
【００１１】
したがって、本発明は、マイクロピンセットの操作性や簡易性を向上することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の一観点からは、アーム保持部と前記アーム保持部に設けられ先端部を把持部とする一対のアーム部とからなるフレームと、前記一対のアームに設けられたＡｓ−Ｓ、Ａｓ−Ｓｅ或いはＡｓ−Ｓ−Ｓｅのいずれかのカルコゲナイドガラス薄膜からなる駆動素子と、前記カルコゲナイドガラス薄膜にレーザ光を照射するレーザ光照射手段とを備えたマイクロピンセットが提供される。
【００１３】
また、本発明の別の観点からは、平板状の基板材料をエッチング加工してアーム保持部と前記アーム保持部に設けられ先端部を把持部とする一対のアーム部とからなるフレームを成形する工程と、前記フレームの露出表面に、Ａｓ−Ｓ、Ａｓ−Ｓｅ或いはＡｓ−Ｓ−Ｓｅのいずれかのカルコゲナイドガラス薄膜を付着する工程と、前記フレームの表裏の主面に付着した前記カルコゲナイドガラス薄膜を研磨により選択的に除去する工程と、前記フレームの側面に付着した前記カルコゲナイドガラス薄膜の不要部をＦＩＢを照射して除去することにより駆動素子を形成する工程と、前記フレームに光ファイバーを固定する工程とを少なくとも有するマイクロピンセットの製造方法が提供される。
【００１４】
また、本発明のさらに別の観点からは、アーム保持部と前記アーム保持部に設けられ先端部を把持部とする一対のアーム部とからなるフレームと、前記一対のアームに設けられたＡｓ−Ｓ、Ａｓ−Ｓｅ或いはＡｓ−Ｓ−Ｓｅのいずれかのカルコゲナイドガラス薄膜からなる駆動素子と、前記カルコゲナイドガラス薄膜にレーザ光を照射するレーザ光照射手段とを備えたマイクロピンセットの前記駆動素子にレーザ光を照射して前記アーム部の先端部を近接させて把持対象物を把持するマイクロピンセットの操作方法が提供される。
【発明の効果】
【００１５】
開示の、マイクロピンセット、その製造方法及びその操作方法によれば、マイクロピンセットの操作性や簡易性を向上することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施の形態のマイクロピンセットの構成説明図である。
【図２】カルコゲナイドガラス薄膜を設けたカンチレバーの変位の説明図である。
【図３】本発明のマイクロピンセットの操作方法の一例の説明図である。
【図４】本発明の実施例１のマイクロピンセットの要部平面図である。
【図５】光照射によるマイクロピンセットの変位の説明図である。
【図６】本発明の実施例１のマイクロピンセットの途中までの製造工程の説明図である。
【図７】本発明の実施例１のマイクロピンセットの図６以降の製造工程の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
ここで、図１乃至図３を参照して、本発明の実施の形態のマイクロピンセットを説明する。図１は本発明の実施の形態のマイクロピンセットの構成説明図であり、図１（ａ）は概略的斜視図であり、図１（ｂ）は概略的平面図である。マイクロピンセットのフレーム１は、アーム支持部２と、アーム支持部２から突出する１つのアーム部３からなる。アーム支持部２は橋部４と両側の一対のファイバー保持脚５と中央のファイバー保持脚６とからなり、３本のファイバー保持脚５，６は途中で一体になっている。アーム部３は固定部７と変位部８と先端の把持部９からなる。なお、フレーム１の素材はガラスでもプラスチックでも良いが、微細加工容易性及び熱的安定性の観点から単結晶Ｓｉが好適である。
【００１８】
変位部８の外側にはＡｓ−Ｓ、Ａｓ−Ｓｅ或いはＡｓ−Ｓ−Ｓｅのいずれかのカルコゲナイドガラス薄膜１０からなる駆動素子が設けられ、また、橋部４の裏面にもＡｓ−Ｓ、Ａｓ−Ｓｅ或いはＡｓ−Ｓ−Ｓｅのいずれかのカルコゲナイドガラス薄膜１１からなる駆動素子が設けられている。
【００１９】
一対のファイバー保持脚５と中央のファイバー保持脚６にはそれぞれ偏光保持型光ファイバー１２，１３が挿通されており、各偏光保持型光ファイバー１２，１３の出射端面はそれぞれカルコゲナイドガラス薄膜１０，１１の表面に対して垂直に設定する。このように、レーザ光をカルコゲナイドガラス薄膜１０，１１の表面に対して常に垂直に照射することによって、マイクロピンセットの開閉を安定して行うことができる。
【００２０】
この偏光保持型光ファイバー１２，１３とレーザ光源（図示は省略）とによりレーザ光照射手段が構成される。このように、光ファイバーを用いることにより、レーザ光源とカルコゲナイドガラス薄膜までの間隔を小さくすることができ、それによって、入射光の減衰を防ぎ、カルコゲナイドガラス薄膜への安定した照射を実現することができる。なお、図示は省略するが、レーザ光源と光ファイバーとの間には偏光面を回転させる偏光面調整手段が設けられている。
【００２１】
次に、図２を参照して、本発明の実施の形態のマイクロピンセットの動作原理を説明する。図２は、カルコゲナイドガラス薄膜を設けたカンチレバーの変位の説明図であり、図２（ａ）は、カンチレバーの概略的側面図であり、単結晶Ｓｉからなるカンチレバー２１は支持チップ２２に固定され、その上面には厚さが１μｍのＡｓ４０Ｓｅ３５Ｓ２５の組成のカルコゲナイドガラス薄膜２３が蒸着されている。なお、カンチレバー２１は厚さが２．８５μｍであり、幅が３５．２μｍであり、また、支持チップ２２から突き出した部分の長さは２００μｍである。
【００２２】
図２（ｂ）は、偏光方向がカルコゲナイドガラス薄膜２３の長軸に垂直な偏光レーザ光２４を照射した場合の変位の説明図であり、角度として３°変位する。図２（ｃ）は、偏光方向がカルコゲナイドガラス薄膜２３の長軸に平行な偏光レーザ光２５を照射した場合の変位の説明図であり、角度として２°変位する。なおこの場合のレーザ光の波長は６０８ｎｍで、出力は５００ｍＷである。
【００２３】
このような、光によるカルコゲナイドガラスの変位は、光による熱的な影響等による等方的なスカラー光膨張と、光の偏光状態に影響される異方的なベクトル光膨張として知られている（例えば、上述の非特許文献１或いは非特許文献２参照）。実際の変位においては、この等方的なスカラー光膨張と、光の偏光状態に影響される異方的なベクトル光膨張が同時に作用している。
【００２４】
したがって、図２（ｂ）と図２（ｃ）との対比からは、照射するレーザ光の偏光状態によって１°の差が現れることになり、偏光方向をカルコゲナイドガラス薄膜２３の長軸に対して垂直から平行の間にすると、両者の中間状態の変位を示すことになる。本発明はこのカルコゲナイドガラス薄膜の光変位を利用してマイクロピンセットを実現するものである。
【００２５】
図３は、本発明のマイクロピンセットの操作方法の一例の説明図である。まず、図３（ａ）に示すように、橋部４の裏面に設けられたカルコゲナイドガラス薄膜１１に対して偏光保持型光ファイバー１３を介してレーザ光１４を照射する。レーザ光１４の偏光方向は任意であるが、ここでは、変位を最大にするためにカルコゲナイドガラス薄膜１１の長軸に対して垂直とする。レーザ光１４の照射よりカルコゲナイドガラス薄膜１１が膨張して橋部４が上側に湾曲し、その結果、一対のアーム部３が変位して把持部９が互いに接近する。
【００２６】
次いで、顕微鏡で観察しながら、把持対象物のなかから特定の把持対象物１５を選択して、把持対象物１５が一つの把持部９の中間になるようにした状態で、一つの変位部８の外側に設けたカルコゲナイドガラス薄膜１０に対して、偏光保持型光ファイバー１２を介してレーザ光１６を照射する。レーザ光１６の照射よりカルコゲナイドガラス薄膜１０が膨張して変位部８が内側に湾曲し、その結果、把持部９が互いにさらに接近して把持対象物１５を把持する。レーザ光１６の偏光方向は、把持する把持対象物１５のサイズや柔らかさに応じて調整する。
【００２７】
以上説明したように、本発明のマイクロピンセットは駆動素子としてカルコゲナイドガラス薄膜を用いているので、従来の圧電素子や熱膨張素子を用いたマイクロピンセットに比べて駆動素子の占有する空間を大幅に減らすことができる。その結果、把持対象物の周辺の空間が小さい場合の使用や、同時に近接した場所での複数のマイクロピンセットの使用が可能となる。
【００２８】
また、従来のマイクロピンセットの場合は、駆動素子に電圧を供給する必要があり、その結果、周辺の電磁界の影響を受ける。しかし、本発明のマイクロピンセットはレーザ光の照射によって操作しているので周辺の電磁界の影響を受けることはなく、マイクロピンセットの操作性、簡易性が向上する。
【００２９】
なお、図１に示した形状は単なる一例であり、各種の変形が可能である。例えば、一対の把持部をより近接させて形成した場合には、駆動素子となるカルコゲナイドガラス薄膜は、一対のアーム部にのみ設けるだけでも良い。さらに、一対の把持部を近接させて形成した場合には、駆動素子となるカルコゲナイドガラス薄膜は、橋部のみ設けるだけでも良い。
【実施例１】
【００３０】
以上を前提として、次に、図４乃至図７を参照して、本発明の実施例１のマイクロピンセットを説明する。図４は本発明の実施例１のマイクロピンセットの要部平面図であり、マイクロピンセットのフレーム３１は、単結晶Ｓｉをエッチングして形成したアーム支持部３２と、アーム支持部３２から突出する１つのアーム部３３からなる。
【００３１】
アーム支持部３２は厚さが２．８５μｍの橋部３４と両側の一対のファイバー保持脚３５と中央のファイバー保持脚３６とからなる。アーム部３３は橋部３４から直立する厚さが２．８５μｍで高さが８．５μｍの固定部３７と、固定部３７に対して外側に４５°折り曲げた厚さが２．８５μｍの変位部３８と変位部３８の先端から直角に折れ曲がる把持部３９からなる。
【００３２】
把持部３９は、変位部３８の付け根の厚さが２．０μｍであり、１０．５μｍの長さのテーパ状とし、高さ及び厚さともに減少してテーパ状にする。また、一対の固定部３７の間隔は３．０μｍとする。
【００３３】
変位部３８の長さが８．０μｍの外側全体には厚さが１μｍでＡｓ４０Ｓｅ３５Ｓ２５の組成のカルコゲナイドガラス薄膜４１を設けて駆動素子とする。一方、橋部３４の裏面には、一対の固定部３７の間隔に相当する３．０μｍの長さに、厚さが１μｍでＡｓ４０Ｓｅ３５Ｓ２５の組成のカルコゲナイドガラス薄膜４２を設けて駆動素子とする。なお、ここでは偏光保持型光ファイバーの図示は省略するが、偏光保持型光ファイバーの光軸がカルコゲナイドガラス薄膜４１，４２の表面に対して垂直になるように照射する。また、レーザ光のスポットサイズとカルコゲナイドガラス薄膜の面積はほぼ同じとする。
【００３４】
図５（ａ）は、光照射による橋部の変位の説明図である。把持部３９の先端を把持対象物付近にあわせた状態で橋部３４に設けたカルコゲナイドガラス薄膜４２に、波長が６０８ｎｍで出力が５００ｍＷのレーザ光をその偏光方向がカルコゲナイドガラス薄膜４２の長軸に対して垂直になるように照射する。その結果、橋部３４は上面が内側になるように１．５°湾曲して、初期において２．２μｍであった把持部３９の先端部の間隔が０．８μｍになる。
【００３５】
図５（ｂ）は、光照射による変位部の変位の説明図である。観察している顕微鏡を高倍率にして変位部３４に設けたカルコゲナイドガラス薄膜４１に、波長が６０８ｎｍで出力が５００ｍＷのレーザ光をその偏光方向がカルコゲナイドガラス薄膜４１の長軸に対して垂直になるように照射する。その結果、変位部３８は内側に３°まで湾曲して、把持部３９の先端部が接触する。
【００３６】
なお、この時のレーザ光は、把持対象物のサイズや柔らかさに応じてカルコゲナイドガラス薄膜に対する偏光方向や出力を調整する。また、橋部３４の湾曲に伴って一対のファイバー保持脚３５に埋設した偏光保持型光ファイバーも傾斜するので、偏光保持型光ファイバーの光軸はカルコゲナイドガラス薄膜４１の表面に対してほぼ垂直になる。
【００３７】
次に、図６及び図７を参照して、本発明の実施例１のマイクロピンセットの製造工程を説明するが、各部のサイズ及び形状は図４で説明した通りである。まず、図６（ａ）に示すように、（１００）面を主面とする厚さが３５．２μｍの単結晶Ｓｉ基板３０を準備し、厚さの中央部に達するファイバー埋設溝（図示は省略）を形成する。
【００３８】
次いで、図６（ｂ）に示すようにエッチングにより加工してアーム支持部３２と一つのアーム部３３とからなるフレーム３１を作成する。次いで、図６（ｃ）に示すように、集束イオンビーム（ＦＩＢ）を用いて厚さがテーパ状の把持部３９を高さもテーパ状になるように加工する。
【００３９】
次いで、図７（ｄ）に示すように、Ａｓ４０Ｓ３５Ｓｅ２５の組成のカルコゲナイドガラス薄膜４０を全表面に蒸着する。次いで、図７（ｅ）に示すように、フレーム３１の上面及び底面をポリッシングして上面と底面に付着した不要なカルコゲナイドガラス薄膜４０を除去する。
【００４０】
次いで、図７（ｆ）に示すように、フレーム３１の側面の部分の不要な箇所に付着したカルコゲナイドガラス薄膜４０をＦＩＢにより除去する。最後に埋設溝に偏光保持型光ファイバーを埋設したのち樹脂で固定することによってマイクロピンセットの基本構造が完成する。
【００４１】
このように、本発明の実施例１においては、２段階のピンセットの開閉を行っているので、微小な物質でも確実に把持することができ、操作性が向上する。特に、レーザ光の偏光の角度を変えることにより、破損しやすい試料に損傷を与えずに試料を把持することができる。
【００４２】
また、マイクロピンセットを変位させる駆動素子は、厚さが、１．０μｍ程度のカルコゲナイドガラス薄膜であるので、構造が簡素化されるとともに駆動素子の占有する空間を大幅に減らすことができる。その結果、複数のマイクロピンセットをお互いに近接させて同時に使用することもできる。
【００４３】
ここで、実施例１を含む本発明の実施の形態に関して、以下の付記を開示する。
（付記１）アーム保持部と前記アーム保持部に設けられ先端部を把持部とする一対のアーム部とからなるフレームと、前記一対のアームに設けられたＡｓ−Ｓ、Ａｓ−Ｓｅ或いはＡｓ−Ｓ−Ｓｅのいずれかのカルコゲナイドガラス薄膜からなる駆動素子と、前記カルコゲナイドガラス薄膜にレーザ光を照射するレーザ光照射手段とを備えたマイクロピンセット。
（付記２）前記アーム保持部にも前記カルコゲナイドガラス薄膜を設けた付記１に記載のマイクロピンセット。
（付記３）前記レーザ光照射手段が、レーザ光源と、前記レーザ光源からのレーザ光を前記アームの上部の近傍まで伝送して前記カルコゲナイドガラス薄膜の直上から照射する光ファイバーを有する付記１または付記２に記載のマイクロピンセット。
（付記４）前記レーザ光が偏光レーザ光であり、前記レーザ光源が前記レーザ光の偏光角度を微調整する偏光角調整手段を備えている付記２または付記３に記載のマイクロピンセット。
（付記５）前記光ファイバーが、前記光ファイバーの光軸が前記カルコゲナイドガラス薄膜の面に対して常に垂直になるように取り付けられた付記３または付記４に記載のマイクロピンセット。
（付記６）平板状の基板材料をエッチング加工してアーム保持部と前記アーム保持部に設けられ先端部を把持部とする一対のアーム部とからなるフレームを成形する工程と、前記フレームの露出表面に、Ａｓ−Ｓ、Ａｓ−Ｓｅ或いはＡｓ−Ｓ−Ｓｅのいずれかのカルコゲナイドガラス薄膜を付着する工程と、前記フレームの表裏の主面に付着した前記カルコゲナイドガラス薄膜を研磨により選択的に除去する工程と、前記フレームの側面に付着した前記カルコゲナイドガラス薄膜の不要部をＦＩＢを照射して除去することにより駆動素子を形成する工程と、前記フレームに光ファイバーを固定する工程とを少なくとも有するマイクロピンセットの製造方法。
（付記７）前記フレームに光ファイバーを固定する工程が、前記フレームのアーム保持部に保持溝を形成する工程と、前記保持溝に前記光ファイバーを埋設する工程と有する付記６に記載のマイクロピンセットの製造方法。
（付記８）アーム保持部と前記アーム保持部に設けられ先端部を把持部とする一対のアーム部とからなるフレームと、前記一対のアームに設けられたＡｓ−Ｓ、Ａｓ−Ｓｅ或いはＡｓ−Ｓ−Ｓｅのいずれかのカルコゲナイドガラス薄膜からなる駆動素子と、前記カルコゲナイドガラス薄膜にレーザ光を照射するレーザ光照射手段とを備えたマイクロピンセットの前記駆動素子にレーザ光を照射して前記アーム部の先端部を近接させて把持対象物を把持するマイクロピンセットの操作方法。
（付記９）前記アーム保持部にも前記カルコゲナイドガラス薄膜からなる駆動素子を設け、前記アーム保持部に設けた駆動素子にレーザ光を照射したのち、前記アーム部に設けた駆動素子にレーザ光を照射して前記アーム部の先端部を近接させて把持対象物を把持する付記８に記載のマイクロピンセットの操作方法。
【符号の説明】
【００４４】
１，３１ フレーム
２，３２ アーム支持部
３，３３ アーム部
４，３４ 橋部
５，６，３５，３６ ファイバー保持脚
７，３７ 固定部
８，３８ 変位部
９，３９ 把持部
１０，１１，４０，４１，４２ カルコゲナイドガラス薄膜
１２，１３ 偏光保持型光ファイバー
１４，１６ レーザ光
１５ 把持対象物
２１ カンチレバー
２２ 支持チップ
２３ カルコゲナイドガラス薄膜
２４，２５ 偏光レーザ光
３０ 単結晶Ｓｉ基板
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アーム保持部と前記アーム保持部に設けられ先端部を把持部とする一対のアーム部とからなるフレームと、
前記一対のアームに設けられたＡｓ−Ｓ、Ａｓ−Ｓｅ或いはＡｓ−Ｓ−Ｓｅのいずれかのカルコゲナイドガラス薄膜からなる駆動素子と、
前記カルコゲナイドガラス薄膜にレーザ光を照射するレーザ光照射手段と
を備えたマイクロピンセット。
【請求項２】
前記アーム保持部にも前記カルコゲナイドガラス薄膜を設けた請求項１に記載のマイクロピンセット。
【請求項３】
前記レーザ光照射手段が、レーザ光源と、前記レーザ光源からのレーザ光を前記アームの上部の近傍まで伝送して前記カルコゲナイドガラス薄膜の直上から照射する光ファイバーを有する請求項１または請求項２に記載のマイクロピンセット。
【請求項４】
前記レーザ光が偏光レーザ光であり、前記レーザ光源が前記レーザ光の偏光角度を微調整する偏光角調整手段を備えている請求項３に記載のマイクロピンセット。
【請求項５】
前記光ファイバーが、前記光ファイバーの光軸が前記カルコゲナイドガラス薄膜の面に対して常に垂直になるように取り付けられた請求項３または請求項４に記載のマイクロピンセット。
【請求項６】
平板状の基板材料をエッチング加工してアーム保持部と前記アーム保持部に設けられ先端部を把持部とする一対のアーム部とからなるフレームを成形する工程と、
前記フレームの露出表面に、Ａｓ−Ｓ、Ａｓ−Ｓｅ或いはＡｓ−Ｓ−Ｓｅのいずれかのカルコゲナイドガラス薄膜を付着する工程と、
前記フレームの表裏の主面に付着した前記カルコゲナイドガラス薄膜を研磨により選択的に除去する工程と、
前記フレームの側面に付着した前記カルコゲナイドガラス薄膜の不要部をＦＩＢを照射して除去することにより駆動素子を形成する工程と、
前記フレームに光ファイバーを固定する工程と
を少なくとも有するマイクロピンセットの製造方法。
【請求項７】
アーム保持部と前記アーム保持部に設けられ先端部を把持部とする一対のアーム部とからなるフレームと、前記一対のアームに設けられたＡｓ−Ｓ、Ａｓ−Ｓｅ或いはＡｓ−Ｓ−Ｓｅのいずれかのカルコゲナイドガラス薄膜からなる駆動素子と、前記カルコゲナイドガラス薄膜にレーザ光を照射するレーザ光照射手段とを備えたマイクロピンセットの前記駆動素子にレーザ光を照射して前記アーム部の先端部を近接させて把持対象物を把持するマイクロピンセットの操作方法。
【請求項１】
アーム保持部と前記アーム保持部に設けられ先端部を把持部とする一対のアーム部とからなるフレームと、
前記一対のアームに設けられたＡｓ−Ｓ、Ａｓ−Ｓｅ或いはＡｓ−Ｓ−Ｓｅのいずれかのカルコゲナイドガラス薄膜からなる駆動素子と、
前記カルコゲナイドガラス薄膜にレーザ光を照射するレーザ光照射手段と
を備えたマイクロピンセット。
【請求項２】
前記アーム保持部にも前記カルコゲナイドガラス薄膜を設けた請求項１に記載のマイクロピンセット。
【請求項３】
前記レーザ光照射手段が、レーザ光源と、前記レーザ光源からのレーザ光を前記アームの上部の近傍まで伝送して前記カルコゲナイドガラス薄膜の直上から照射する光ファイバーを有する請求項１または請求項２に記載のマイクロピンセット。
【請求項４】
前記レーザ光が偏光レーザ光であり、前記レーザ光源が前記レーザ光の偏光角度を微調整する偏光角調整手段を備えている請求項３に記載のマイクロピンセット。
【請求項５】
前記光ファイバーが、前記光ファイバーの光軸が前記カルコゲナイドガラス薄膜の面に対して常に垂直になるように取り付けられた請求項３または請求項４に記載のマイクロピンセット。
【請求項６】
平板状の基板材料をエッチング加工してアーム保持部と前記アーム保持部に設けられ先端部を把持部とする一対のアーム部とからなるフレームを成形する工程と、
前記フレームの露出表面に、Ａｓ−Ｓ、Ａｓ−Ｓｅ或いはＡｓ−Ｓ−Ｓｅのいずれかのカルコゲナイドガラス薄膜を付着する工程と、
前記フレームの表裏の主面に付着した前記カルコゲナイドガラス薄膜を研磨により選択的に除去する工程と、
前記フレームの側面に付着した前記カルコゲナイドガラス薄膜の不要部をＦＩＢを照射して除去することにより駆動素子を形成する工程と、
前記フレームに光ファイバーを固定する工程と
を少なくとも有するマイクロピンセットの製造方法。
【請求項７】
アーム保持部と前記アーム保持部に設けられ先端部を把持部とする一対のアーム部とからなるフレームと、前記一対のアームに設けられたＡｓ−Ｓ、Ａｓ−Ｓｅ或いはＡｓ−Ｓ−Ｓｅのいずれかのカルコゲナイドガラス薄膜からなる駆動素子と、前記カルコゲナイドガラス薄膜にレーザ光を照射するレーザ光照射手段とを備えたマイクロピンセットの前記駆動素子にレーザ光を照射して前記アーム部の先端部を近接させて把持対象物を把持するマイクロピンセットの操作方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２０１１−１４００７８（Ｐ２０１１−１４００７８Ａ）
【公開日】平成２３年７月２１日（２０１１．７．２１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−１０９７（Ｐ２０１０−１０９７）
【出願日】平成２２年１月６日（２０１０．１．６）
【出願人】（０００００５２２３）富士通株式会社 (25,993)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年７月２１日（２０１１．７．２１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年１月６日（２０１０．１．６）
【出願人】（０００００５２２３）富士通株式会社 (25,993)
【Ｆターム（参考）】
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