説明

国際特許分類[C23C14/06]の内容

国際特許分類[C23C14/06]の下位に属する分類

国際特許分類[C23C14/06]に分類される特許

131 - 140 / 2,346


【課題】 ガスバリア性に優れた透明ガスバリア層を、高温に加熱せずとも、層形成時の窒化および酸化を精密に制御することで効率よく製造することが可能な、透明ガスバリア層の製造方法を提供する。
【解決手段】 スパッタリング法により透明ガスバリア層を製造する透明ガスバリア層の製造方法であって、炭化金属および炭化半金属から選択される少なくとも1種の炭化物を含むターゲット17を用い、反応性ガスとして窒素ガスを用い、前記反応性ガスがさらに酸素ガスおよび水素ガスを含み、前記反応性ガスにおいて、前記窒素ガスに対する前記酸素ガスの混合比率が1〜10体積%であり、前記窒素ガスに対する前記水素ガスの混合比率が0.1〜30体積%であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】ステンレス鋼板の表面に微細な粗面化テクスチャーを均一に形成させる技術であって、特に薄膜Si太陽電池の基板に好適な技術を提供する。
【解決手段】フェライト系ステンレス鋼板を、pHが11.0以上の水溶液中で−0.5〜−2.2Vvs.SCEの電位で陰極電解することにより、不動態皮膜の膜厚を4.0nm以下とする工程(陰極電解工程)、
前記陰極電解工程を終えた鋼板を、FeCl3濃度2〜50質量%、HCl濃度0.1〜20質量%の塩化第二鉄+塩酸混合水溶液中に浸漬することにより表面にピットを発生させ、表面に占めるピット発生部分の投影面積の割合(ピット占有面積率)を40%以上、かつ平均面粗さSPaを0.05〜0.30μm未満とする工程(エッチング工程)、
を有する微細粗面化ステンレス鋼板の製造法。 (もっと読む)


【課題】デジタルカメラ、デジタルビデオカメラのレンズシャッターなどに用いられるシャッター羽根または絞り羽根や、カメラ付き携帯電話や車載モニターのレンズユニット内の固定絞りや、液晶プロジェクタの光量調整モジュールの絞り羽根などの光学機器部品として用いられ、耐熱性、高遮光性、低反射性に優れた耐熱遮光フィルムを提供する。
【解決手段】200℃以上の耐熱性を有する樹脂フィルム基材(A)の片面もしくは両面に、スパッタリング法で形成された50nm以上の膜厚を有する金属遮光膜(B)と、5nm以上の低反射性の金属酸化物膜(D)が積層された耐熱遮光フィルムにおいて、金属遮光膜(B)と金属酸化物膜(D)の間に1〜50nmの膜厚を有する酸化防止膜(C)がスパッタリング法で形成されている耐熱遮光フィルムにより提供する。 (もっと読む)


【課題】耐摩耗性部材の被膜層の圧縮残留応力を好適に制御する。
【解決手段】被覆焼結体20は、焼結体からなる基材30と、基材30の外側に形成され、窒化チタンアルミからなる下地層40と、下地層40よりも外側に形成され、炭窒化チタンからなる表層50とを備えている。X線回折によって測定される、下地層40の(111)面と(200)面とのピーク位置の回折角をそれぞれ2θ(111)、2θ(200)とし、粉末X線回折強度データベースにおける、下地層40の(111)面と(200)面とのピーク位置の理論値の回折角をそれぞれT(111)、T(200)とし、S(111)=2θ(111)−T(111)、S(200)=2θ(200)−T(200)としたとき、S(200)−S(111)≧0.1である。 (もっと読む)


【課題】ゲルマニウムをチャネル材料とする金属/ゲルマニウムからなるソース/ドレイン構造を有する半導体素子を提供する。
【解決手段】半導体と金属とが接合してソース/ドレイン構造を形成する半導体素子において、ゲルマニウム(Ge)を3価元素(又は5価元素)でドーピングしたp型ゲルマニウム(又はn型ゲルマニウム)をチャネル2の材料とし、当該p型ゲルマニウム(又はn型ゲルマニウム)の任意の結晶面における原子配置と同一の原子配置である結晶面を有する金属3を、前記同一の原子配置である結晶面で接合して界面を形成し、当該形成された界面を用いたソース/ドレイン構造を有する。 (もっと読む)


【課題】クラック発生が抑制された反射防止膜付き光学素子を提供する。
【解決手段】樹脂レンズ上に、無機中間層と、反射防止膜とを形成する反射防止膜付き光学素子の製造方法であって、前記光学素子はリフロー処理が可能な光学素子であり、前記無機中間層は前記樹脂レンズと前記反射防止膜との間に形成され、前記無機中間層の被覆面積Xと、前記反射防止膜の被覆面積Yとの比が0.7≦X/Y<1であり、不連続な膜により構成されている反射防止膜付き光学素子の製造方法。 (もっと読む)


【課題】電極パターンを目立たないようにした透明導電膜とその製造方法を提供する。
【解決手段】透明層の少なくとも1つの面1aには、凹凸加工により凹部1b及び凸部1cが形成されており、凹部1bに積層された第1の導電層2aと凸部1cに積層された第2の導電層2bとが、凹部1b及び凸部1cの凹凸方向において位置をずらして配置されており、第1及び第2の導電層2a,2bは、それぞれ隣り合う導電層と電気的に絶縁されている。 (もっと読む)


【課題】切削性能に優れ、かつ寸法精度が高い刃先交換型切削チップを提供する。
【解決手段】本発明の刃先交換型切削チップは、少なくとも基材を含むものであって、該基材は、8.5〜12.5質量%の鉄系金属と、0.55〜2.3質量%のTaCと、不可避不純物とを含み、残部がWCである超硬合金からなり、超硬合金の組織中のWC粒子は、0.8〜3μmの平均粒子径であり、基材の抗磁力をHC(kA/m)とし、飽和磁束密度を4πσ(10-7Tm3/kg)とし、基材に含まれるCoの質量%をMCo(質量%)とすると、下記式(I)を満たし、かつ超硬合金の組織中にTaを主成分とする相が析出しており、該Taを主成分とする相は、0.4〜2.4μmの平均粒子径であることを特徴とする。
−0.7×4πσ÷MCo−0.9×MCo+39.15≧HC ・・・(I) (もっと読む)


【課題】密着層とガスバリア層とをインライン成膜で形成することで、従来よりも密着性に優れたガスバリアフィルムを高い生産効率で提供する。
【解決手段】基材であるプラスチックフィルム1上にプラズマ化学的気相成長法により形成された酸化珪素からなる密着層2とガスバリア層3とを形成する際、基材1が走行する金属ロール電極と、対向電極として、面内に、S・N極一対以上の磁石を設置した円弧状の接地電極とを備え、前記電極間に、例えばヘキサメチルジシロキサンおよび酸素を導入して、処理空間内の圧力を0.5Pa以上20Pa以下として、10kHz以上30MHz以下の高周波を印加し、基材1表面に、密着層2を形成し、さらにその上に酸化珪素ガスバリア層3を形成する。 (もっと読む)


【課題】Ti系合金などの硬質難削材の湿式切削加工において硬質被覆層が耐剥離性と耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の最表面に0.5〜3.4μmの平均層厚を有するTiとAlの酸窒化物層、下部層に0.8〜4.0μmの平均層厚を有するTiとAlの窒化物層を被覆してなる切削工具であって、酸窒化物層は表面から深さ方向に蛇行経路を持って分布する微細孔を有する多孔質形状を備え、酸窒化物層を表面から観察した際の微細孔に内接する円の直径を微細孔の孔径とした場合、微細孔の孔径は0.1〜1.5μmであり、酸窒化物層の比表面積が0.4〜1.0m/gであり、酸窒化物層を表面から観察した場合の基材上面積に対する前記微細孔開口部の面積比が0.05〜0.3であることを特徴とする表面被覆切削工具。 (もっと読む)


131 - 140 / 2,346