本発明は、半導体ウェーハの表面に設けられたトレンチやビヤホール、レジスト開口部にめっき膜を形成したり、半導体ウェーハの表面にパッケージの電極等と電気的に接続するバンプを形成したりするのに使用されるめっき装置に関する。めっき装置（１７０）は、めっき液（１８８）を保持するめっき槽（１８６）と、被めっき材を保持して該被めっき材の被めっき面をめっき槽（１８６）内のめっき液（１８８）に接触させるホルダ（１６０）と、めっき槽の内部に配置され、ホルダで保持した被めっき材の被めっき面に向けてめっき液を噴射してめっき槽（１８６）内にめっき液（１８８）を供給する複数のめっき液噴射ノズル（２２２）を有するリング状のノズル配管（２２０）を備えている。
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【課題】 比較的簡単な構成で、例えアスペクト比が高く、深さが深いビアホール等にあっても、金属膜を内部にボイドを発生させることなく確実に埋込むことができるようにする。
【解決手段】 第１めっき液を該第１めっき液にアノードを浸漬させて保持する第１めっき槽１７０ａと、第１めっき液より金属濃度の低い第２めっき液を該第２めっき液にアノードを浸漬させて保持する第２めっき槽１７０ｂと、第１めっき槽１７０ａと第２めっき槽１７０ｂとの間を移動自在で、被めっき材を該被めっき材に通電可能に保持するホルダ１６０を有し、ホルダ１６０で保持した被めっき材を第１めっき槽１７０ａ内の第１めっき液に接触させて行う第１めっき処理と、第２めっき槽１７０ｂ内の第２めっき液に接触させて行う第２めっき処理を順次繰返す。 （もっと読む）

【課題】 高位置精度部分めっきを確実かつ安定して行えるようにする。
【解決手段】 搬送ガイド面を有しかつ基軸線を中心に回転可能な回転体と、周方向に離隔配設された複数の電極ノズルを有しかつ給電めっき液を各電極ノズルからその径方向に噴射可能な電極構造体とを設け、電極ノズルの配設角度範囲が回転体の搬送ガイド面に被処理物が係合している角度範囲よりも小さく選択され、回転体および電極構造体の基軸線方向の相対位置を各電極ノズルから噴射されためっき液が連続搬送中の各めっき必要部分に吹き付けることができる状態として保持可能に形成されている。 （もっと読む）

電気めっき溶液は、非水性の非芳香族の有機溶媒、および可溶性金属塩および非水溶性または非芳香族の有機溶媒に溶融された有機添加剤を含む混合物を含む。電気めっき溶液からの金属の電着は、電気めっき溶液を準備するステップと、カソード電流で導電性基板の上に電気めっき溶液から金属を電着させるステップを含む。電気めっきシステムは、電気めっき溶液を入れためっきチャンバと、電気めっきシステムに対する入口点と、電気めっきされる部品を入口点からめっきチャンバまで運ぶ運搬システムとを備える。電気めっき溶液は、非水性の非芳香族の有機溶媒、および可溶性金属塩および有機添加剤を含む混合物であり、混合物は非水性の非芳香族の有機溶媒に溶融されている。 （もっと読む）

【課題】良好にメッキできるメッキ装置を提供する。
【解決手段】このメッキ装置は、メッキ液を用いて半導体ウエハの表面にメッキ処理を施すためのウエハ処理部、メッキ液の主成分濃度を管理する主成分管理部、およびメッキ液の微量成分を管理するための微量成分管理部３を備えている。微量成分管理部３は、メッキ液の微量成分の定量分析を行う分析部３２０と、分析部３２０による分析結果に基づき所要量の微量成分を含む補充液をウエハ処理部で使用されるメッキ液に補充する補充部３２１とを備えている。分析部３２０は、ウエハ処理部からメッキ液をサンプリングするサンプリング部３１９と、サンプリング部３１９から移送されたメッキ液を収容してメッキ液の分析を行う分析カップ３３６とを備えている。 （もっと読む）

【課 題】 Ｆｅ−Ｗ合金の電気めっきにおいて、めっき液を老化させずに連続めっきを可能とする。
【解決手段】Ｆｅ−Ｗ合金の電気めっきにおいて、カチオン交換膜を用いて陽極室とめっき室に分離した２室構造の電気めっき装置を用いることにより、めっき液に含有される有機錯化剤の陽極における酸化分解を抑制する。また、金属鉄と金属タングステンの２つの可溶性陽極を併用し、めっき液中の鉄成分とタングステン成分を析出量に応じて補給することにより、めっき液を老化させることなく連続めっきする。さらに、めっき時ならびにめっき休止時においては金属鉄と接触させることによって２価鉄イオンの３価鉄イオンへの酸化を防止し、めっき液の老化を防止する。 （もっと読む）

本発明は、陽極酸化などの変換処理タイプの、中空部品の表面を処理するための方法、及び液体が入っている少なくとも１つの処理タンク内に中空部品を完全に浸漬させるための方法において、タンク内に発生しがちな気泡が中空部品の内壁から取り除かれるように回転運動を少なくとも１回させながら各中空部品を浸漬させることを特徴とする方法に関する。
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【課題】蓋開閉機構が簡単でカムのような摺動部分がなく、低コストで電着塗装に使用しても付着した塗料による障害が生じない自動開閉バレルを提供する。
【解決手段】開口部に内開き式の開閉蓋１０が枢着されたバレル本体１が支持枠２、２に回転自在に支持され、バレル本体１の正回転時開口部が上方に来ると開閉蓋１０が開くとともに下方に来ると閉じ、バレル本体１の逆回転時開閉蓋１０が開いた状態で開口部が下方に来ると開閉蓋１０が開いた状態で保たれる自動開閉バレルであって、前記開閉蓋１０は開口部のバレル本体１の正回転時先行する側に枢着するとともに開角度を規制するストッパー１３を設け、この開閉蓋１０の軸９には開閉蓋１０の反対側に重錘１２を設け、該重錘１２は重錘１２に働く重力により軸９に与えられる回転モーメントが開閉蓋１０に働く重力により軸９に与えられる回転モーメントより大となる質量とした。 （もっと読む）

【課題】高電流密度で生産効率を上げるとともに、添加剤の消耗を防ぎ、しかも高精度で液管理を行ってめっき品質を確保できるフィルム状物の連続銅めっき装置を提供する。
【解決手段】長尺のフィルム状ワーク３を陰極として連続的に銅めっきするめっき槽１と、上記めっき槽１に隣接して不溶性陽極４を存在させる陽極槽２とを備え、上記めっき槽１と陽極槽２との間が、水素イオンを透過させて銅イオンを透過させないイオン交換膜６で隔てられ、めっき槽１のめっき液と陽極槽２の陽極液とが独立して存在するよう構成され、上記めっき槽１に付帯して、上記陽極液とは独立させてめっき槽１中のめっき液を循環させるとともにめっき液の一部を管理するめっき液管理槽７を設け、上記陽極槽２に付帯して、上記めっき液とは独立させて陽極槽２中の陽極液を循環させるとともに陽極液の一部を管理するための陽極液管理槽８を設けた。 （もっと読む）

【課題】複数のめっき槽によりロットごとに同時にワークをめっき処理するめっき槽において、電極の利用率が均等化され、生産効率の向上が可能となるめっき装置のワーク搬入順序設定装置とワーク搬入順序設定方法を提供する。
【解決手段】複数のめっき槽に対する同一のロットに属するワークの搬入順序を、標準の順序と同一の順序を維持したままで、最初にワークを搬入するめっき槽を選択可能とする。同じロットのうち、最初にワークを搬入するめっき槽を、前回のロットでワークを最初に搬入しためっき槽とは別のめっき槽に設定する。他の方法として積算電流値が少ないめっき槽を先頭槽に設定する方法がある。 （もっと読む）