【課題】ダイヤフラム近傍に静電気が蓄積してこの静電気による火花放電によって当該ダイヤフラムに絶縁破壊が生じることを抑止することができるダイヤフラム弁およびこのダイヤフラム弁を備えた基板処理装置を提供する。
【解決手段】ダイヤフラム弁３０は、バルブ本体３０ａの弁室３６内に設けられたダイヤフラム４０を有している。このダイヤフラム弁３０には、一端が弁室３６内に位置するとともに他端がバルブ本体３０ａの外部まで延びるよう当該バルブ本体３０ａを貫通して導電性部材５０が設置されている。導電性部材５０には当該導電性部材５０に発生する静電気を取り除くためのアース線５１が接続されている。 （もっと読む）

【課題】
溶剤や油脂等の蒸気による噴射口への侵入を防止でき、噴射口内の空気の熱膨張時の誤作動及び消火薬剤放出時の構成部品の離脱が生じない自動消火装置の噴射口を提供する。
【解決手段】
感知部が火災を感知したときに消火薬剤容器を自動的に開封して噴射口から消火薬剤を消火対象区画に放出する自動消火装置の噴射口であって、噴射口の先端に、通常は噴射口を閉鎖し、消火薬剤の開封による圧力で噴射口を開放することができるピストンバルブを備え、噴射口内への周囲環境の気体の侵入防止のためにピストンバルブの周囲に封止部を設け、さらに噴射口内の気体の膨張によるピストンバルブの作動防止のために封止部より噴射口の内側のピストンバルブの周囲に保持部を設ける。好ましくは、噴射口開放時にピストンバルブの噴射口からの脱落を防止するためのストッパー部を設ける。 （もっと読む）

【課題】火災の発生時において、所定流量の通水が生じたときに、この通水によって弁体を正確に作動させて火災の発生とその規模を確実に検知することができる流水検知装置であって、圧力損失を防ぎつつ通水でき、内部構造を簡略化して製作やメンテナンスを容易に行うことができるコンパクトな流水検知装置を提供すること。
【解決手段】流入口１１ａと流出口１１ｂを有するボデー１１内に着座部４５を設け、この着座部４５に着座したボール弁体１２をガイド２０に案内されながら移動可能に設け、このボール弁体１２の移動を検知機構３０を介して検出すると共に、着座部４５の二次側の所定移動範囲Ｒ内に絞り形状の絞り経路６５を形成した流水検知装置である。 （もっと読む）

【課題】
携帯型スチームクリーナ用の安全バルブにおいて、高圧が残っている状態において開栓不可能な構造とする。更に高圧スチームを安全に外気へ逃がす構造を備える。
【解決手段】 携帯型スチームクリーナ２の高圧タンク２ｃに洗浄用の水を供給するための入口２ｄに対する栓の安全バルブ１であって、該入口の大きさに対応したボルト部分１ａを一端側に備えると共に、高圧タンクとの接続状態で高圧タンクからの洗浄用スチームが導入可能な中空構造を備え、該ボルト部分の回転によって着脱を可能とし、該ボルト部分の高圧タンクと対向側に該ボルト部分に回転力を伝達可能とするカバー１ｂを具備する。又、スチームの圧力が設定条件を超えると該高圧タンクの圧力を放出制御する圧力弁５を備え、且つ該圧力弁を介して放出されるスチームを受け入れる抑制チャンバー１ｄを該カバー内に備え、該抑制チャンバーを介して外気へ放出するようにした。 （もっと読む）

【課題】微細にしかも高度に適合した流体の流量を達成することを可能にする弁装置用の流動調節素子を提供すること。
【解決手段】本発明の流動調節素子は、弁装置の実質的に長い流体通路（開口部）１０２内に設けられ、前記通路１０２の断面積よりも小さな断面積を有する実質的に長尺な部材（移動部材）１０４と、前記通路１０２に対して前記流動調節素子の自動的な動きを許しながら前記通路内に前記流動調節素子を保持するための保持手段と、前記通路内で前記流動調節素子にその位置を変えることを可能にする、ばね１２０のようなバイアス手段とからなり、常時前記通路１０２を通る流体に適合した低い流量を可能にし、前記通路に対する前記流動調節素子の自動的な動きが汚物ないしは堆積物のような粒状物質から通路を清浄化ないしは取り除き、さもなければ前記通路ないしはその下流の流路を塞ぎかねない粒子の浸入を妨げるようになっていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラム近傍に静電気が蓄積してこの静電気による火花放電によって当該ダイヤフラムに絶縁破壊が生じることを抑止することができるダイヤフラム弁およびこのダイヤフラム弁を備えた基板処理装置を提供する。
【解決手段】ダイヤフラム弁３０ａにおいて、ダイヤフラム４０はダイヤフラム保持部材４１に保持されている。ダイヤフラム保持部材４１はダイヤフラム４０の端縁を保持する非導電性の弾性部材４１ａ、４１ｃと、この弾性部材４１ａ、４１ｃに取り付けられた導電性部材４１ｂを有している。導電性部材４１ｂにはダイヤフラム保持部材４１近傍に発生する静電気を取り除くためのアース線４１ｄが接続されている。 （もっと読む）

【課題】消火作業中、何らかの原因によって送水ホースに高圧力が加わっても、その送水ホース等が破損することはなく、また安全性を向上できる安全機構付き接続金具を提供する。
【解決手段】軸方向の両端部にホース、配管あるいは流体機器と接続される接続部を有し、内部に流体通路５２を形成した接続金具本体５１と、接続金具本体に設けられ前記流体通路と連通する分岐通路５６を有する分岐管５５と、前記分岐管に設けられ前記分岐通路の内圧が設定圧を超えたとき内部流体を外部に放出させる安全機構としての破裂板６２とを具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ゴム材料の弾力性などを阻害することなくガス不透過性などの特性を高めた複合ゴムシートを提供し、さらには、ゴム材料の弾力性を阻害することなくガス不透過性を高めた密閉型二次電池用の安全弁を提供する。
【解決手段】複合ゴムシート１３は、ゴム材料からなる基材２１の表面に、金属薄膜２２を接合して形成されている。金属薄膜は、ガス不透過性、電磁波をシールドする機能、耐油性、耐薬品性、および装飾性のうちの少なくとも１つの特性を備えている。金属薄膜の表面には、当該金属薄膜を保護するための保護層２３がさらに備えられている。金属薄膜および保護層は、金属箔層３２と、樹脂フィルム層３３とを予め貼り合わせたラミネートフィルム３１から構成されている。 （もっと読む）

【課題】圧力容器３１の開口部３２に装着されて開口部３２を閉塞するとともに容器３１内部の圧力が所定値に達したときに開弁して圧力を開放する安全弁１において、安全弁１の小径化の要求に応えるとともに再利用することが可能であり、しかも弁全体が外部へ離脱することがなく使用可能箇所が限定されることがない安全弁１を提供する。
【解決手段】開口部３２に挿入される弁本体２と、開口部３２の内縁３２ａに係合し、圧力が所定値に達したときに係合が外れて弁本体２が抜け方向に移動するのを許容する第一係合部５と、弁本体２が抜け方向に移動したときに開口部３２の内縁３２ａに係合して弁本体２が開口部３２から抜け出るのを防止する第二係合部６と、弁本体２が第一係合部５にて係合しているときは容器３１の内外を連通させず弁本体２が第二係合部６にて係合したときに容器３１の内外を連通させる圧力開放流路７とを有する構造とする。 （もっと読む）

【課題】 特に安全弁の下流側が閉構造である場合において、上流側の気体の圧力上昇時に、弁体の下流側の圧力の上昇を抑えることにより、有効に機能する安全弁を提供することを課題としている。
【解決手段】 本体内部に設けられ、上流側からの気体の圧力上昇時に気体が下流に流れることを防止するために気体の流路を閉鎖する流路閉鎖手段、及び、本体内部において前記流路閉鎖手段の下流側に設けられ、圧力上昇時に下流側の気体の圧力の上昇を遅らせ、流路閉鎖手段内に設けられた弁体の上流側と下流側の圧力差を確保するアキュムレータからなることを特徴とする安全弁。 （もっと読む）