【課題】測定対象物上に薄膜が形成されている場合でも、測定対象物の温度を従来に比べて正確に測定できる温度測定方法を提供する。
【解決手段】光源からの光を、基板上に薄膜が形成された測定対象物の測定ポイントまで伝送する工程と、基板の表面での反射光による第１の干渉波と、基板と薄膜との界面及び薄膜の裏面での反射光による第２の干渉波を測定する工程と、第１の干渉波から第２の干渉波までの光路長を算出する工程と、第２の干渉波の強度に基づいて、薄膜の膜厚を算出する工程と、算出した薄膜の膜厚に基づいて、基板の光路長と算出した光路長との光路差を算出する工程と、算出した光路差に基づいて算出した第１の干渉波から第２の干渉波までの光路長を補正する工程と、補正された光路長から測定ポイントにおける測定対象物の温度を算出する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ボイラ設備の装置を分解あるいは開放することなく、フィンチューブの腐食及び減肉状況を評価することができる伝熱管又は蒸発管の減肉状態監視装置を提供する。
【解決手段】伝熱管又は蒸発管の減肉状態監視装置１０Ａは、伝熱管又は蒸発管の減肉状態を監視する監視装置であって、伝熱管又は蒸発管のフィン１１に沿って移動する移動手段１２と、前記移動手段１２に設けられ、伝熱管又は蒸発管の表面の減肉状態をレーザ計測するレーザ計測手段１３と、レーザ計測手段１３にレーザ光を導入する導光路及び反射光を伝達する導出路を備えたケーブル手段１４と、前記レーザ計測のデータを過去のデータ又は標準データと比較して、現在の減肉状態を判定する減肉状態判定手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】最小限の塗布膜の破壊によって塗布膜の厚さを測定できる膜厚測定装置を提供する。
【解決手段】先端が針形状である少なくとも２つ測定刃３１・３１と、測定対象にレーザ光を照射し、該測定対象からの反射光を検出するレーザ変位計４０と、レーザ変位計４０によって塗布膜の厚さを測定するコントローラ５０と、を具備し、コントローラ５０は、測定刃３１を塗布膜内に侵入させた状態で、レーザ変位計４０によって、塗布膜の表面にレーザ光を照射し、塗布膜の表面からの反射光を検出することにより得た値を用いて、塗布膜の厚さを測定する。 （もっと読む）

【課題】各層の膜厚測定を可能にする積層体、その積層体の製造方法、及び非破壊非接触で膜厚測定を行いフィルム異常の検査が可能となる膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】複数の層を積層してなる積層体である。複数の層の少なくとも一層に対し、予め設定した位置に空隙を形成した。 （もっと読む）

【課題】基材上にハードコート層及び光学干渉層を有する光学フィルムのハードコート層及び光学干渉層の両方の膜厚を高速で測定する。
【解決手段】基材Ｂと、該基材Ｂ上に形成されたハードコート層１と、該ハードコート層１上に形成された少なくとも１層の光学干渉層２とを有する光学フィルム３の膜厚測定方法であって、該光学フィルムに、第一の光を照射した時の第１反射光強度（Ｉ_１）を検出する第１検出工程と、該光学フィルムに、第二の光を照射した時の第２反射光強度（Ｉ_２）を検出する第２検出工程と、該第１反射光強度（Ｉ_１）と、該第２反射光強度（Ｉ_２）と、該第１の光の基準反射光強度（Ｉ_ｓｔｄ１）及び該第２の光の基準反射光強度（Ｉ_ｓｔｄ２）とに基づいて、該ハードコート層及び該光学干渉層のうち少なくとも一方で膜厚の変化が発生しているか否かを判別する厚み変化検出工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の波長毎の反射率を精度良く測定することができる反射率測定装置及び反射率測定方法、並びに本発明による反射率測定装置を備えた膜厚測定装置及び本発明による反射率測定方法を含む膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】
反射率測定装置１は、照射光Ｌ１を測定対象物へ供給する測定光源３０と、照射光Ｌ１の強度及び測定対象物からの反射光Ｌ２の強度を波長毎に検出する分光検出部８０と、照射光Ｌ１の波長毎の強度の検出値を、基準測定対象物からの反射光Ｌ２の波長毎の強度の検出値に相当する値に変換する変換係数Ｋ（λ）を記録する係数記録部９２と、照射光Ｌ１の波長毎の強度の検出値及び変換係数Ｋ（λ）より求まる、基準測定対象物からの反射光Ｌ２の波長毎の強度に相当する値に基づいて、波長毎の反射率を算出する反射率算出部９３とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複層塗膜の内部構造及び内部欠陥を、非接触非破壊且つ簡便に測定、解析することができる複層塗膜の非接触非破壊評価方法及びそれを用いた装置を提供すること。
【解決手段】本評価方法は、光源１からの光を参照光と複層塗膜４への入射光とに分岐する分岐ステップと、前記参照光の光学距離を調整する調整ステップと、前記複層塗膜からの反射光と前記参照光とを干渉せしめる干渉ステップと、前記複層塗膜からの前記反射光を含む干渉光を検出して前記干渉光の強度信号を出力する検出ステップと、前記強度信号を解析する解析ステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】 透過性膜の膜厚を算出する際に用いられる撮影データの最大値に関する信頼性を評価して、信頼性の高い膜厚測定が行えるようにする。
【解決手段】 固定長の焦点距離を備える撮影部２を種々の高さに位置させて、基材と透光性膜とを含む基板を撮影した際の撮影画像の合焦度を算出する合焦度算出部６ａと、撮影部２の位置に対する合焦度からなる合焦度曲線の極大値を検出する極大値検出部６ｂと、極大値の信頼度を算出して、極大値が適正値か否かを判断する信頼度算出判断部６ｃと、信頼度算出判断部６ｃにより適正と判断された極大値に対応する撮影部２の位置を境界位置として算出する境界位置算出部６ｄと、境界位置に基づき透光性膜の膜厚を算出する膜厚算出部６ｅと、を備える。 （もっと読む）

【課題】大きな表面積または変化する表面積を覆うコーティングの絶対的な厚さを定量的に測定可能な技術を提供する。
【解決手段】コーティング表面において熱パルスを発生させることができるフラッシュランプ光源１１と、コーティング表面の連続画像フレームをキャプチャすることができる画像キャプチャ１３および処理装置１６とを部分的に使用する、基材表面上のコーティング４の不定の厚さを求めるための装置を提供し、各連続画像フレームは経過時間に対応し、ピクセルアレイを含み、そのアレイの各ピクセルはコーティング表面上の位置に対応する。コーティング４の厚さを計算する方法も提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明は検査の信頼性を悪化させることなくスリップシームの予兆を発見することにより不良缶の発生を未然に防止し得る巻締部の検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】缶の巻締部１１０を検査する際に、缶蓋１０１の中心Ｃを基準とした所定角度α毎の巻締部１１０の厚さＴの変化量を、巻締部１１０の全周に亘って複数個取得し、それら変化量に基づいて巻締部１１０の巻締状態を判定する。 （もっと読む）