【課題】
本発明は、測定ヘッドを試料の幅方向に走査させて配向測定を行う方法においても、電磁波の反射条件などの周辺環境による測定ヘッドの位置に依存する測定値のバラチキを補正して正確な配向測定を行うことを目的とする。
【解決手段】
本発明は、測定ヘッドの基準位置と測定位置に対して、試料のない状態のブランク値と標準試料の測定値と測定対象試料の測定値およびそれらの補正値を求める各ステップを設けて、測定ヘッドの位置に依存する測定値のバラツキを補正するものである。 （もっと読む）

【課題】微小な位相変化を精度よく測定することができる装置及び方法を提供する。
【解決手段】所定の周波数の基準信号を生成するステップと、前記測定対象物に照射する電磁波の生成に用いる入力信号を前記基準信号に基づいて生成するステップと、前記入力信号に基づき、前記測定対象物に電磁波を照射する第１ステップと、前記測定対象物により前記電磁波に対して位相が変化した測定信号を受信する第２ステップと、前記測定信号を用いて前記入力信号を生成する第３ステップと、第１ステップ、第２ステップ、及び第３ステップを所定回繰り返した後、前記基準信号と前記測定信号とを用いて、前記位相差を求める第４ステップと、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】非イオン性界面活性剤と水とを含むファントム液剤、すなわち人体誘電率模擬液剤であって、粘度上昇や高い温度依存性を抑制した状態で、高周波帯域における電磁波の、人体に対する影響を試験することが可能な人体誘電率模擬液剤を提供する。
【解決手段】水性の非イオン性界面活性剤と、油性の非イオン性界面活性剤と、芳香族カルボン酸塩と、水とを含むようにして、人体誘電率模擬液剤を生成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、試料表面の誘電特性を的確に測定できる装置を提供することを目的とする。
【解決手段】上記課題を解決するために、試料表面の誘電特性測定方法は、検出用電極と試料表面との間に間隙を配し、その間隙を液状誘電体で充填して、前記液状誘電体の接する試料表面の誘電特性を測定すること、また、試料表面の誘電特性測定装置であって、試料を保持する保持部材には、試料の非測定箇所の表面に密着し、測定箇所表面とは間隙を有して前記試料を保持する密着支持部が設けられていて、前記試料の測定箇所表面と電極及び保持部材との間の間隙内に前記液体誘電体を充填する液注入口が前記保持部材に設けられていることを特徴とする試料表面の誘電特性測定装置を採用した。 （もっと読む）

【課題】半導体薄膜の膜厚の変動に関わらず、精度良く半導体薄膜の結晶性を評価することができる結晶性評価方法及び結晶性評価装置を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、半導体薄膜１２にキャリアを励起させるための励起光を照射すると共にこの励起光が照射された範囲を含む半導体薄膜１２の範囲にマイクロ波を照射して半導体薄膜１２からのマイクロ波の反射波の強度を測定し、データ収集用半導体薄膜の膜厚とこのデータ収集用半導体薄膜に前記マイクロ波を照射したときの反射波の強度の値との関係を収集し、この収集した膜厚と反射波の強度の値との関係と、半導体薄膜１２から得られた励起光及びマイクロ波が照射された範囲の膜厚の値Ｒ３ａとに基づいて前記得られた測定値Ｒ２を補正し、この補正された測定値Ｒ２ａに基づいて半導体薄膜１２の結晶性を評価することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】試料台への基材の配置が容易でありながら基材上に成膜された半導体薄膜の結晶性を高感度で評価可能な半導体薄膜の結晶性評価方法及び結晶性評価装置を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、試料台１４に基材１１が接するよう試料１３を配置し、半導体薄膜１２に励起光を照射し、特定波長のマイクロ波を励起光が照射された半導体薄膜１２の範囲に照射し、半導体薄膜１２からの反射波の強度を測定する。このとき照射されるマイクロ波は、半導体薄膜１２の表面から配置面１４ａまでの距離の４ｎ／（１＋２Ｎ）倍（ｎ：基材の屈折率、Ｎ：０又は任意の正の整数）の波長λを、又はこれに近似する波長であって波長λをもつマイクロ波を半導体薄膜１２に照射したときに得られる反射波の信号強度Ｒ２に対し、実際に得られる信号強度Ｒ２が９０％以上となる程度まで近似した波長をもつことを特徴とする。 （もっと読む）

未知の周囲温度またはＤＰＦセンサ較正に用いられた温度とは別の周囲温度で、ＤＰＦに起因するＲＦ信号の減衰を求める方法および装置が開示される。この方法および装置は、アンテナを切り離して折返し経路の減衰を求めることにより、ＤＰＦ減衰を求める直前にセンサ減衰を求める。次いで、折返し経路、ケーブル、およびＤＰＦに起因する減衰を含む通常の経路に対して求められた減衰から、このセンサ減衰を差し引くことができる。この方法により、センサの周囲温度の変化に起因するセンサ減衰の変動が補償される。周囲温度の変化に起因する変動の明細を明らかにする要因を求めることにより、さらなる温度補償が達成される。 （もっと読む）

【課題】近接場電磁波の共振周波数の検出値を大きくすることにより、試料の誘電率の分解能を向上することができる誘電率の測定方法及び誘電率の測定装置を提供すること。
【解決手段】試料１４よりも高い導電性を有する導電性基板を試料１４の一方の面に密着させる工程と、試料１４の他方の面をプローブ共振器３の放射面１１ｂに密着させる工程と、プローブ共振器３の放射面１１ｂから近接場電磁波を放射させる工程と、近接場電磁波の共振周波数を検出する工程と、この共振周波数に基づいて試料１４の誘電率を特定する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】広い周波数で誘電体の誘電率を精度よく測定可能な、誘電率の測定方法および測定装置を提供する。
【解決手段】測定試料１は、誘電体試料１１および誘電体試料１１の主表面１３，１４に配置された導体板１２とを備える。測定試料１はフィルタとしての機能を有する。導体板１２により、透過率が極小値となる周波数を変更することができる。スペクトラムアナライザ４は、送信アンテナ２から測定試料１に照射される平面波の周波数を走査する。受信アンテナ３およびスペクトラムアナライザ４は、測定試料１を透過した平面波の電界強度を測定する。コンピュータ５は、コンピュータ５に入力されたパラメータおよびスペクトラムアナライザ４による測定結果を用いて、ＦＤＴＤ法に従う数値計算によって誘電体試料１１の誘電率を算出する。 （もっと読む）

【課題】対象成分の制限が少なく、かつ被検体の生体としての状態を正確に把握することができ、しかも被検体の周囲の環境についても分析が可能となる生体成分分析方法および装置を提供する。
【解決手段】生体である被検体１の成分を分析する方法であって、凍結した被検体１に、０．１〜１０ＴＨｚの電磁波Ｗ１を照射し、被検体１を透過または被検体１で反射した電磁波Ｗ２を検出することにより得られる吸収特性スペクトルに基づいて、被検体１の成分の分布を得る。 （もっと読む）