【課題】結晶構造が回転対称の試料だけでなく、回転対称でない試料であっても、簡単に精度のよい分析をすることができるコンパクトな蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】本発明の蛍光Ｘ線分析装置は、結晶構造を有する試料Ｓが載置される試料台８と、試料Ｓに１次Ｘ線２を照射するＸ線源１と、試料Ｓからの２次Ｘ線４を検出する検出手段７と、試料台８を回転させる回転手段１１と、試料台８を平行移動させる平行移動手段１２と、試料Ｓの回転角度とその角度で発生する２次Ｘ線４の強度とを対応させて取得した回折パターンに基づいて、隣り合う間隔が１８０°未満であって、回折Ｘ線を回避できる回避角度を少なくとも３つ選択するための選択手段１７とを備え、制御手段１５が、試料台８、回転手段１１および平行移動手段１２が当該装置の他の構造物と干渉しない回避角度に試料Ｓを設定するように回転手段１１を制御する。 （もっと読む）

【課題】装置の動作異常の原因究明を短時間で簡単に行え、その異常部分を短時間で正常にすることができるＸ線分析装置および発光分析装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線分析装置は、試料Ｓに１次Ｘ線２を照射し発生する２次Ｘ線６の強度をＸ線検出器７で測定する装置であって、分析室１０の真空度と温度、Ｘ線検出器７の高電圧、Ｘ線検出器７のフローガス流量のうちの少なくとも１つの計測値を求める計測手段１３と、当該装置の動作の異常を検出する異常検出手段２１と、現時点以前の所定の時間内の計測値の時系列を記憶しながら現時点以前の所定の時間内から外れた計測値の時系列を順に消去する記憶手段２２と、異常検出手段２１が異常を検出すると、記憶手段２２から記憶されている計測値の時系列を読出して記憶し、警告情報または異常情報、および記憶した時系列を表示手段２３に表示させる管理手段２５とを備える。 （もっと読む）

【課題】標準試料を用いずに試料中の元素濃度を精度良く計測することができる蛍光Ｘ線分析装置及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】Ｘ線検出器１３は試料Ｓから二次Ｘ線を検出し、ＭＣＡ１４は二次Ｘ線のスペクトルを取得する。解析装置２は、スペクトルに含まれる散乱Ｘ線信号から試料Ｓの平均原子番号を計算する。また解析装置２は、非測定元素を含む物質の組成をリストから選んで順次仮定し、仮定した組成の夫々について、スペクトルに含まれる蛍光Ｘ線信号の強度に基づいて試料中の各元素の濃度を計算し、平均原子番号の理論値を計算する。更に解析装置２は、平均原子番号の理論値が試料Ｓの平均原子番号に相当する値になる仮定の元で計算した元素濃度の計算結果を、試料Ｓ中の各元素の濃度とする。 （もっと読む）

【課題】半田中のカドミウム濃度を蛍光Ｘ線で正確に分析する方法を提供することを目的とする。
【解決手段】蛍光Ｘ線を用いた半田中のカドミウム濃度の分析方法で、銅基材の表面に半田の薄膜を付着させ、半田の薄膜中のカドミウム濃度を蛍光Ｘ線で分析する。なお、半田の薄膜は、膜厚が５〜５０μｍであることが好ましい。銅基材の表面に付着させた半田の薄膜を蛍光Ｘ線で分析するため、半田中のカドミウム濃度を正確に分析することができる。 （もっと読む）

【課題】前段のデジタルフィルタの時定数とその入力信号とのフィッティングのずれに起因してフィルタ出力であるバイポーラ波形に歪みが生じた場合でも、ピークの誤検出を防止する。
【解決手段】第１ピーク認識部１０において比較部１８は、負の最小値を検出した後に検出された正の最大値が、上記負の最小値に所定の係数αを乗じた値以上である場合に出力を「１」とし、ＡＮＤ回路１９はピーク検出信号を出す。これにより、大きい信号波形の後のノイズ信号をピークとして検出すること回避する。一方、第２ピーク認識部２０において比較部２４は正の最大値の位置からセンター値に戻る迄の時間が時間閾値β未満である場合出力を「１」とし、ＡＮＤ回路２５はピーク検出信号を出す。これにより、第１ピーク認識部１０で検出できない小さな正規のピークを検出することができる。 （もっと読む）

【課題】標準物質を使用せず、装置の設置場所や測定者の如何にかかわらず、各測定点の測定値のランクを視覚的に容易に判別することができるＸ線分析装置を提供する。
【解決手段】本発明のＸ線分析装置は、試料Ｓに１次Ｘ線２を照射するＸ線源１と、１次Ｘ線２が照射された試料Ｓから発生する２次Ｘ線６の強度を検出する検出手段９と、試料Ｓを測定位置に移動させる試料移動手段８と、試料Ｓを移動させ、試料Ｓの所定の測定点に１次Ｘ線２を照射させて検出された２次Ｘ線６の強度に基づいて複数の測定点について測定値を求める測定手段１０と、測定手段１０による各測定点の測定終了毎に、測定済の測定点を所定の測定値範囲毎にランク分けして、ランクによって大きさおよび色が異なるマークを決定する処理手段１１と、処理手段１１によって決定されたマークを試料Ｓの各測定点に対応した位置に画像表示する表示手段１２とを備える。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線レンズの集中スポットを小さくすることなく、蛍光Ｘ線分析の空間分解能をより向上させることができる蛍光Ｘ線検出装置及び蛍光Ｘ線検出方法を提供する。
【解決手段】蛍光Ｘ線検出装置は、Ｘ線管（Ｘ線源）１１からの一次Ｘ線を集中スポット（第１空間）に集中させる第１Ｘ線レンズ１２の焦点の位置と、取り込みスポット（第２空間）からの蛍光Ｘ線を集光してＸ線検出器（検出手段）２１に検出させる第２Ｘ線レンズ２２の焦点の位置とを、集中スポット及び取り込みスポットが重なる範囲内で離隔してある。集中スポットと取り込みスポットとが重なった検出領域からの蛍光Ｘ線のみが検出され、検出領域の大きさが空間分解能となる。集中スポットの大きさが空間分解能となる従来の蛍光Ｘ線検出装置に比べて、蛍光Ｘ線分析の空間分解能を向上させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】
X線マイクロビーム分析装置において、より簡便な方法でX線マイクロビームの試料上での照射位置を目視観察しながらX線マイクロビーム分析を行えるＸ線分析装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
Ｘ線源とＸ線が照射される試料台との間にＸ線透過部を有する反射ミラーを有し、前記Ｘ線源と反射ミラーの間に、Ｘ線集光用光学素子を有するＸ線分析装置。 （もっと読む）

【課題】液晶表示装置用の基板に付着した異物を、その導電性の観点から検査する方法および装置を提供する。
【解決手段】液晶表示装置用の基板に付着した異物に金属元素が含まれているかどうかを検査する方法であって、検査対象の前記基板の所定枚数ごとに一度、異物のない箇所について予め測定する比較用蛍光Ｘ線スペクトルと、前記基板の異物が付着した１或は複数箇所の蛍光Ｘ線スペクトルを測定して、複数のＸ線スペクトルをデータ処理することにより、前記異物が金属元素を含有するか否かを高精度に判定する。 （もっと読む）

【課題】対象物の元素組成を同定する方法を提供する。
【解決手段】この方法は、選択されたエネルギー範囲を獲得するために少なくとも１つのエネルギー選択規準に応じて照射エネルギー範囲のエネルギー範囲を選択するステップ（２１０）と、選択された元素を獲得するために、少なくとも１つの元素・選択規準に応じて、対象物の分析が実行される純粋な元素及び／又は化合物を選択するステップ（２１５）と、選択されたエネルギー範囲に応じて、選択された純粋な元素及び／又は化合物の吸収係数を決定するステップ（２２０）と、選択された純粋な元素及び／又は化合物の積分密度を決定するステップ（２３０）と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）