【目的】長時間に亘り陰極封止管部の気密が保持され、点灯不能あるいはランプ破裂の発生がなく、信頼性を高めること。
【構成】石英ガラス製バルブ１１中には不純物としてナトリウム，カルシウム，銅，カリウムの一種以上が含有されている。本発明に係る直流放電灯は点灯中のランプ電圧をＶ_ｌ（Ｖ）とし、電極間距離をＬ（ｍｍ）とし、このときの電位傾度Ｅ＝Ｖ_ｌ／Ｌ（V/mm）とするとき、石英ガラス製バルブ１１中のナトリウム，カルシウム，銅，カリウムの合計含有量Ｃ（ppm ）がＣ≦Ｅ／２．７を満足する値に設定されたものである。 （もっと読む）

【構成】 赤外領域付近において放出を行うレーザデバイスを用いてリソグラフ印刷プレートをイメージングするための装置及び方法、並びに当該装置及び方法によりイメージングを行うのに適したプレートである。レーザ出力は、一つ又はより多くのプレート層を融除し、或いは表面層を物理的に変形する。好適な出力は、レーザダイオード(500)からスリット(502)その他の開口を介して放出される赤外線レーザをレンズ系(520,525,530,535)を介して導くことにより得られる。何れの場合にもプレート上には、イメージに関するパターン造作が結果的に得られる。イメージ造作は、インク又はインク付着防止液体に対して、未露光領域とは異なる親和性を示す。
【効果】 低〜中位の電力レベルで動作するレーザ設備を用いて、リソグラフ印刷プレートを迅速且つ効率的にイメージングすることを可能にする。 （もっと読む）

【目的】 スループット等の低下なく長期的に安定した高精度の露光を行えるようにする。
【構成】 原版を照明してそのパターンの像を、所定の露光基準面に表面を一致させた感光基板上に露光転写する光学手段と、露光基準面に対する感光基板表面の距離と傾きを検出する基板表面位置検出手段と、基板保持手段と、基板保持手段を移動させるＸ−Ｙステージと、基板保持手段を傾斜させるレベリングステージと、基板保持手段をθ方向に回転させる微θステージと、レーザ干渉計により基板保持手段のＸ，Ｙ，θ位置を測定する水平位置測定手段と、基板表面位置検出手段および水平位置測定手段の出力に基き各ステージを位置決めし、感光基板の表面と露光基準面とを一致させてから、原版のパターン像を露光転写する駆動制御手段とを備えた露光装置において、前記各ステージを駆動させた際に水平位置測定手段の測定値に誤差を生じさせる誤差要因を検出する誤差要因検出手段を具備し、制御手段は、その検出結果を考慮してＸ−Ｙステージおよび微θステージの駆動制御を行うものである。 （もっと読む）

【目的】 本発明はフェノール単位と環式アルコール単位とのポリマー結合剤を有する放射線感光性組成物を提供する。
【構成】 ポリマーのフェノール単位及び／又は環式アルコール単位の少なくとも一部は酸レイビル基に結合している。結合剤を酸レイビル基に並程度に置換するだけで、露光領域と非露光領域との間に高い溶解度の差が得られる。 （もっと読む）

【目的】 水性塩基可溶性の導電性ポリマーを、電気的帯電を消失させるために利用することと、これにより荷電粒子ビームを含む方法の精度を改善することに関する。
【構成】 電気伝導性の官能化ポリマーとしてポリアニリン、ポリパラフェニルビニレン、ポリチオフェン、ポリピロール、ポリ−ｐ−フェニレンオキサイド、ポリフラン、ポリフェニレン、ポリアジン、ポリセレノフェン、ポリフェニレンサルファイドおよびポリアセチレンを用いる荷電粒子ビームからの蓄積された電荷を消失させるための組成物と、ポリ（ヒドロキシアニリン）とポリチオフェンの合成方法と、水性塩基可溶性の導電性フィルムを調製するための方法が述べられている。 （もっと読む）

【目的】 露光時のパターンズレを防止し表示品質の向上を図った液晶表示素子用電極パターン形成方法を提供する。
【構成】 少なくとも２回のフォトリソ工程を繰り返して基板上に液晶表示素子用電極パターンを形成する方法において、基板上に形成したフォトレジストへの所望パターンの露光の際に全面一括露光によるフォトリソ工程と全面を複数エリアに分割する分割露光によるフォトリソ工程とを併用して行う。 （もっと読む）