【課題】回路パターンを有する半導体装置等の検査において、陰影コントラストの強調された像を取得することを可能にし、浅い凹凸の微細な異物等を高感度に検出することを可能にする荷電粒子ビーム検査技術を提供する。
【解決手段】高分解能観察の為に電子光学系の対物レンズに電磁重畳型対物レンズ１０３を用い、その対物レンズを用いて電子ビームを細く絞り、対物レンズ内にアシスト電極１０６と左・右検出器１１０、１１１を設け、その電子ビームを試料１０４に照射することで発生する二次電子の速度成分を選別し、さらに方位角成分を選別して検出する。 （もっと読む）

【課題】 不要なイオンの放出を抑制することができ、不要なイオンによる下流の線形加速器側の汚染を低減する。
【解決手段】 レーザ光の照射によりイオンを発生させるレーザ・イオン源であって、真空排気される容器１０と、容器１０内に配置され、レーザ光の照射により多価イオンを発生するターゲット２１が収容された照射箱２０と、照射箱２０からイオンを静電的に引き出し、イオンビームとして容器１０の外部に導くイオンビーム引き出し部１２と、照射箱２０から引き出されたイオンビームを静電力により収束する静電レンズ５１と、静電レンズ５１の下流側の位置に設けられ、該位置で収束されたイオンビームを通過させるアパーチャ５２とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、一体化されたエネルギーフィルタを備える荷電粒子フィルタに関する。
【解決手段】 使用されている大抵のフィルタは、曲率の大きな光軸を有するので、作製の困難な形状の部品を用いるが、本発明による荷電粒子源は、まっすぐな光軸を取り囲む電極を使用する。驚くべきことに、本願発明者は、電極の一部（114、116、120、122）が120°/60°/120°/60°で構成されているとすると、エネルギー選択スリット108にて相当なエネルギー分散を示す、光軸104からかなり離れた荷電粒子ビーム106aを、補正不可能なコマ収差又は非点収差を導入することなく、偏向させることが十分可能であることを発見した。前記電極は、セラミックスの接着又は真鍮により、互いに取り付けられて良い。かなり同心円のボアの列が、たとえば電界放電によって形成されて良い。 （もっと読む）

【課題】ＴＯＦ−ＳＩＭＳの一次イオンに使用できるほど短いパルス幅のＧＣＩＢを射出できるＧＣＩＢ銃を提供する。
【解決手段】
イオン化室３０から射出されたＧＣＩＢを予め決められた時間だけ通過させる第一のシャッター部４１と、第一のシャッター部４１を通過したＧＣＩＢのうち予め決められた質量範囲外のＧＣＩＢを除去する選別部５９とを有している。選別部５９は、ＧＣＩＢを交互に反射して往復移動させる第一、第二のミラー電極５１ａ、５２ａと、第一、第二のミラー電極５１ａ、５２ａの間に配置され、前記質量範囲内のＧＣＩＢを、予め決められた時間だけ通過させる第二のシャッター部５３と、を有し、前記質量範囲内のＧＣＩＢを選別部５９から射出する。 （もっと読む）

【課題】高ＳＮ比を維持しつつ形状コントラストや陰影コントラストを強調した荷電粒子線画像が得られる荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】
電子源と試料の間に、二次電子ないし反射電子を衝突させて３次電子を発生させるための金属板を備え、この金属板を各々独立に電圧を印加可能な分割領域により構成する。さらに金属板に設けられる一次ビームの通過孔を電子線光軸から十分離れた場所に設ける。 （もっと読む）

【課題】入射像面および入射瞳面を有し、試料を通過した電子の分析方法として１種類またはそれ以上の種類の分析方法を実施可能とする、適応性の高い分析系を備える透過電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】試料面内９ｂに試料を配置した透過電子顕微鏡は、対物レンズ１１ｂ、複数のレンズを有する第１投影レンズ系６１ｂ、複数のレンズを有する第２投影レンズ系６３ｂ、および分析系を備える。試料面９ｂは中間像面７１内に結像され、対物レンズ１１ｂの回折面１５ｂは中間回折面６７ｂ内に結像され、（ａ）中間像面は分析系の入射像面内に結像され、中間回折面は分析系の入射瞳面内に結像されるか、または、（ｂ）中間像面７１は入射瞳面６５ｂ内に結像され、中間回折面６７ｂは入射像面２１ｂ内に結像される。 （もっと読む）

【課題】エネルギー選択範囲の変動を防止し、ＳＴＥＭ像に視野カットが発生することを防止する。
【解決手段】試料上で細く絞った電子プローブを二次元的に走査すると共に、透過散乱した電子を電子光学系を介してエネルギーフィルタに導入・検出し、電子顕微鏡像を取得する走査透過電子顕微鏡において、前記エネルギーフィルタはエネルギー分散面上に配置される一対の対向するエッジからなるエネルギー選択スリットを備えると共に、観察条件の変更にかかわらず電子プローブの試料上での水平走査に伴う前記スペクトルの前記エネルギー選択スリット上での移動方向が前記エッジに平行になる又は直交するように前記電子光学系を制御する手段と、電子プローブの垂直又は水平走査に伴い前記エネルギー選択スリット上で前記スペクトルが前記エッジに直交する方向に移動するのを打ち消すように前記エネルギーフィルタを制御する手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】ガスクラスターをイオン化価数ごと選別する荷電粒子選別装置を提供する。
【解決手段】イオン化したガスクラスターを選別するための荷電粒子選別装置において、前記ガスクラスターの進行方向に配列された電界を印加するための３つ以上の電界印加部と、前記ガスクラスターを選別するためのスリットと、を有し、前記電界印加部は２枚の電極から構成されており、前記電極に交流電圧を印加することにより、イオン化したガスクラスターを偏向させるものであって、隣接する前記電界印加部においては、異なる位相の交流電圧が印加されており、前記スリットは、前記電界印加部により偏向した前記ガスクラスターを通過する開口部を有するものであって、前記交流電圧は、前記ガスクラスターを構成する原子数が同じガスクラスターにおいて、所定の価数の前記ガスクラスターのみが、前記スリットの開口部を通過する周波数であることを特徴とする荷電粒子選別装置を提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】本発明はモノクロメータのスリット位置制御装置に関し、モノクロメータの調整を短時間で行なうことができるようにしたモノクロメータのスリット位置制御方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】入射した荷電粒子線を受けて、エネルギー分散を起こさせるエネルギーフィルタを有し、エネルギー分散面上に設置したエネルギー選択スリットを介して所望のエネルギー幅の電子線を取り出すようにしたモノクロメータにおいて、前記エネルギー選択スリット２２に流れる電流を検出する電流検出手段４と、該電流検出手段４により検出した電流値が最小となるように前記エネルギー選択スリット２２の位置を制御するスリット位置制御手段５、とを有するように構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明はエネルギーフィルタを用いたＥＥＬＳに関し、ＥＥＬＳスペクトル信号取得時のダイナミックレンジを向上させることができるエネルギーフィルタを用いたＥＥＬＳを提供することを目的としている。
【解決手段】試料上のある領域に電子線を固定して照射する手段と、前記領域から出射した電子線を所定方向にエネルギー分散させてスペクトルを形成するエネルギーフィルタ８と、前記スペクトルを撮影する撮影手段１０とを備えたエネルギーフィルタを用いた電子エネルギー損失分光装置において、前記スペクトルを偏向させる偏向手段と、前記スペクトルをエネルギー分散方向に対して垂直方向に偏向させるための偏向信号を前記偏向手段に供給する信号発生器３０とを更に備え、前記スペクトルを、エネルギー分散方向に対して垂直方向に偏向させながら前記撮影手段１０で撮影するように構成する。 （もっと読む）