国際特許分類[H01J37/05]の内容

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【課題】2重極要素に静電4重極および静電6重極励起が追加された多要素静電シケイン・エネルギー・フィルタを提供すること。
【解決手段】絞りの位置に線焦点を形成することができる2重極、4重極および6重極要素の組合せを備える本発明に基づく荷電粒子エネルギー・フィルタは、空間電荷効果および絞りの損傷を低減させる。好ましい一実施形態は、このフィルタが、共役ブランキング・システムの役目を果たすことを可能にする。このエネルギー・フィルタは、エネルギー幅を狭くし、その結果としてビームをより小さくすることができる。 (もっと読む)


【課題】基板寸法の大型化に伴って、リボン状のイオンビームの長さ方向における寸法を長くした場合であっても、従来の構成に比べて、消費電力が小さく、磁極間での磁場分布が均一で、しかも、寸法の小さい質量分離マグネットを備えたイオン注入装置を提供する。
【解決手段】イオン注入装置IMは、リボン状のイオンビーム1を生成するイオン源2と、イオンビーム1の主面を介して対向配置された一対の磁極9を有し、磁極9間で発生される磁場Bによって、イオンビーム1の進行方向をイオンビームの長さ方向に偏向させる質量分離マグネット3と、所望するイオン種を含むイオンビーム1を通過させる分析スリット4と、分析スリット4を通過したイオンビーム1が照射される基板6が配置された処理室5とを有している。そして、磁極9間で発生される磁場Bの方向が、質量分離マグネット3内を通過するイオンビーム1の主面を斜めに横切る方向である。 (もっと読む)


【課題】本発明は、エネルギーフィルタのエネルギー分解能を向上することを目的とする荷電粒子線装置の提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するための一態様として、試料から放出される荷電粒子をエネルギーフィルタに向かって偏向する偏向器を備えた荷電粒子線装置において、当該偏向器の複数の偏向条件ごとに、エネルギーフィルタへの印加電圧を変化させたときに得られる輝度値の変化を求め、当該輝度値の変化が所定の条件を満たす偏向条件を、前記偏向器の偏向条件として設定する荷電粒子線装置を提案する。 (もっと読む)


【目的】本発明は、電子銃あるいは試料から放出あるいは反射されたスピン偏極した電子線を任意の方向に回転させるスピン偏極装置に関し、簡略な構造にして照射系全体をコンパクトにすることを目的とする。
【構成】電子銃から放出、あるいは試料から放出または反射されたスピン偏極した電子線をフォーカスさせる第1のコンデンサレンズと、第1のコンデンサレンズで電子線がフォーカスされた点がレンズ中心であって、かつ電場および磁場を発生可能な多極子を有するスピン回転器と、スピン回転器を構成する多極子に、指定された角度だけ電子線のスピンを回転させかつ電子線を直進させるウィーン条件を満たす電圧および電流を印加するウィーン条件発生手段と、スピン回転器でスピンの回転された電子線をフォーカスする第2のコンデンサレンズとを備える。 (もっと読む)


【課題】一次電子ビームのエネルギー幅を低減し、低電圧SEMの解像度を改善するモノクロメーターを実現する。
【解決手段】光軸Zに添って、標準エネルギー及びエネルギー偏差を有する荷電粒子ビームを偏向させるための第1の分散ユニット200、第2の分散ユニット400、それらの中間面310に配置されたエネルギー制限アパーチャ300及び荷電粒子ビームの焦点を調整するためのビーム調整素子100を備えるモノクロメーター500を形成し、荷電粒子ビームの仮想的なクロスオーバーS6を第1の分散ユニット200とエネルギー制限アパーチャ300との間に形成する。 (もっと読む)


【課題】集束イオンビームシステムで使用するための大開口のウィーンE×B質量フィルタを提供する。
【解決手段】E×Bウィーン質量フィルタが、質量分離するために必要な電気双極子の電場と組み合わされた独立して調整可能な電場を提供する。独立して調整可能な電場は、より大きな光学的アパーチャを提供でき、非点収差を補正し、かつ磁場に平行及び/又は垂直な方向にビームを偏向するように使用可能である。 (もっと読む)


【課題】複数のイオン源から所望のイオン種を色収差なく選別する集束イオンビーム装置用の質量フィルタを提供する。
【解決手段】イオン源114により生成された複数のイオン110は、上部レンズ106により略平行なビーム310となり質量フィルタ304に入射する。質量フィルタ304は、互いの中心軸がオフセットされた上部EXBフィルタ306Uおよび下部EXBフィルタ306Lより構成され、ビーム310を質量毎に分離偏向した後、光軸380に平行な軌道として出射する。この際、上部EXBフィルタ306Uにより生じる色収差は下部EXBフィルタ306Lにより打ち消される。その後、質量分離アパーチャ342により所望のイオン332のみを通過させ下部レンズ108により基板112上に集束する。 (もっと読む)


【課題】エネルギーの異なる信号荷電粒子の合成機能を自動化する。
【解決手段】一次荷電粒子線を試料に照射する荷電粒子源と、試料から発生した信号荷電粒子のうち第1のエネルギーを有する第1の信号電子を検出する第1の検出器と、試料から発生した信号荷電粒子のうち第2のエネルギーを有する第2の信号電子を検出する第2の検出器と、第1の信号電子の信号強度と第2の信号電子の信号強度の合成比を変化させ、各合成比に対応する検出画像を生成する第1の演算部と、各合成比について生成された検出画像の所定の2つのエリアに対応する信号強度の比を算出する第2の演算部と、信号強度の比の変化に基づいて、検出画像の取得に使用する混合比を決定する第3の演算部とを荷電粒子線装置に搭載する。 (もっと読む)


【課題】一次線の光軸近傍を軌道とする検出対象電子と、その外側を軌道とする検出対象電子とを簡易な構成で分離して検出する。
【解決手段】一次線2が通過するための開口4が形成されているとともに、両面がシンチレーション面を形成しているプレート5と、エネルギーフィルタ3と、試料10と対向する側のシンチレーション面に一次線2の照射に応じて試料10から発生する第1の検出対象電子21が到達して生じるシンチレーション光23を検出するための第1の光検出器7aと、一次線2の照射に応じて試料10から発生し該プレート5の開口4を通過してエネルギーフィルタ3により追い返された第2の検出対象電子22aが到達して生じるシンチレーション光24を検出するための第2の光検出器7bとを備える。 (もっと読む)


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