【課題】貴金属からなる微小突起を有するエミッタを大気暴露した後、長期間保管しても装置内で再立上げに時間が掛からないイオン源エミッタを提供することにある。
【解決手段】貴金属層１１は、単結晶金属の基部１０の外周にコーティングされている。微小突起１３は、貴金属層１１と同一貴金属により基部１０の先端に形成される。さらに、追加コーティング層１４は、微少突起１３及び貴金属層１１を覆うように形成されるとともに、貴金属層１１と同一貴金属からなる。 （もっと読む）

【課題】質量分離機能を有さない簡易な装置構成で同一質量の水素イオンのみをドーピングするイオンドーピング装置を提供することを目的の一とする。また、そのイオンドーピング方法を提供することを目的の一とする。
【解決手段】誘電体板を外壁の一部とするプラズマ室に水素を導入し、マイクロ波により当該誘電体板に表面波を発生させると、水素の負イオンの生成されやすい領域ができる。当該負イオンは分子量１のものしか生成されないため、質量分離をせずとも、電界をかけることにより同一質量のイオンのみを対象物に添加できる。 （もっと読む）

【課題】気体電界イオン源を用いたイオン顕微鏡に於いて、試料表面でスポットサイズ１０ｎｍ以下のイオンビームを実現する。
【解決手段】イオン源の導電性電極先端１８６の材料と形状を最適化して表面に三量体の原子層を形成し、極低温状体で動作させることにより気体ヘリウムとのイオン化効率を向上する。又、電極先端の移動機構２０８や絞り開口径２２４の選択によりビーム径と電流量を制御し、試料１８０上で１０ｎｍ以下のスポットを実現する。 （もっと読む）

【課題】気体の熱解離を昇温用ヒータと熱解離用フィラメントの複合化により効率よく行い得るように構成する。
【解決手段】昇温用ヒータを、高融点金属のヒータ線を巻回して形成したヒートコイル部と、ヒートコイル部に連なる両側のリード部とから構成する。熱解離用フィラメントを、ヒータ線よりも小径で熱電子を発生する高融点金属のフィラメントによる熱電子放出部と、熱電子放出部に連なる両側のリードとから構成する。熱解離用フィラメントの熱電子放出部をヒートコイル部の外周囲に非接触状態に被せて、昇温用ヒータと熱解離用フィラメントを複合化する。 （もっと読む）

【課題】内包フラーレンの製造などに用いられる接触電離方式のプラズマ源は、タングステン製の平坦な円板状加熱金属体にイオン生成対象の金属蒸気を噴射して金属イオンを発生していたが、イオン化確率が小さく、十分なイオン電流がとれないという問題があった。
【解決手段】イオン生成対象の金属蒸気に加熱金属体上で光を照射し金属原子における電子を励起することにした。加熱金属体の材料として、仕事関数の大きいRe、Os、又はIrを用いることにした。さらに、加熱金属体の表面を凹凸状に加工することにより、イオン化確率を高め、大きなイオン電流の取り出しが可能になった。 （もっと読む）

【課題】様々なイオン種を発生させることができ、イオンエネルギーが揃ったイオンを発生させることができるイオン源の実現。
【解決手段】イオン源は、図１のように、低インダクタンス内部アンテナ１０と、低インダクタンス内部アンテナ１０を内部に保持する誘電体容器１１と、誘電体容器１１および引き出し電極１３を内部に保持する真空容器１４と、によって構成されている。誘導結合プラズマは誘電体容器１１内部で生成されるため、金属に対する腐食性の高いガスのイオンも生成可能である。また、低インダクタンス内部アンテナ１０を用いているため、プラズマ電位の揺動を小さく抑えることができ、エネルギーの揃ったイオンを引き出すことができる。 （もっと読む）

【課題】 イオン源の引出し電極系を構成する電極の広い領域に亘って高速で堆積物を除去することができるクリーニング方法を提供する。
【解決手段】 イオン源２のプラズマ生成部４にイオン化ガスを導入してイオンビームを引き出す代わりに、引出し電極系１０を構成する第１電極１１と第２電極１２との間にクリーニングガス４８を供給して、第１電極１１と第２電極１２との間のガス圧を、イオンビーム引き出し時のガス圧よりも高く保った状態で、第１電極１１と第２電極１２との間にグロー放電用電源６０から電圧を印加して、両電極１１、１２間にクリーニングガス４８のグロー放電８０を発生させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、イオン源に関する。
【解決手段】本発明のイオン源は、真空容器と、電界放出電子源と、イオン電極と、を含む。前記イオン電極は、真空容器の一端に設置される。前記電界放出電子源は、真空容器に設置される。前記電界放出電子源は、絶縁基板、電子引き出し電極、二次電子放出層、陰極板及び電界放出ユニットを含む。前記電子引き出し電極及び二次電子放出層は、前記絶縁基板に配置され、前記陰極板は、前記電子引き出し電極と間隔をおいて絶縁的に配置され、前記陰極板の一部が前記二次電子放出層に対向する。前記陰極板は、一つの電子放出部を含む。前記電界放出ユニットは、前記陰極板の二次電子放出層に対向する表面に配置される。 （もっと読む）

【課題】ガスクラスターを構成する中性粒子数を保ちながらイオン化効率を高めることのできるガスクラスターイオンビーム装置を提供することを課題とする。
【解決手段】ガスクラスターを噴出するノズルと、ノズルから噴出するガスクラスターをビームにするスキマーと、を結ぶ延長線上に、ガスクラスターをガスクラスターイオンにするイオン化部を配置する。また、イオン化部は熱電子を発生するフィラメントを有する電子引出電極と、引き出した熱電子を加速する電子加速電極と、を備え、電子加速電極、電子引出電極をスキマー側から順次配置する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、ガス電界電離イオン源の安定性向上に関する。
【解決手段】本発明は、ＧＦＩＳにおいて、固体窒素を利用して冷却することに関し、針状の陽極エミッタと、該エミッタ先端部にてガス分子をイオン化して引き出す電界を形成する引き出し電極とを有するガス電界電離イオン源であって、該エミッタを冷却する冷却剤が、常温且つ大気圧下ではガス状態である冷媒ガスを固体状態とした冷却剤であるガス電界電離イオン源を備える。本発明によると、冷却手段の機械振動が低減できる。その結果、高安定なＧＦＩＳとこれを搭載した走査荷電粒子顕微鏡を提供できる。 （もっと読む）