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国際特許分類[H01L21/50]の内容

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国際特許分類[H01L21/50]に分類される特許

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【課題】複数の被加熱物が収納されたマガジンをそのまま熱処理することができ、複数の熱処理工程を並行して実行可能な熱処理装置を提供する。
【解決手段】熱処理装置30は、略直方体形状のラック30aと、ラック30a内に出し入れ可能に収納された7台の加熱装置10と、これらの加熱装置10の熱処理工程をそれぞれ独立して制御する制御装置32と、を備えている。各加熱装置10は、被加熱物が収納されたマガジンを出し入れ可能に収容して熱処理するためのマガジン室を有している。各加熱装置10の上方には、それぞれの熱処理装置10の稼働状態を示すためのパイロットランプ33a,33bを備えた表示パネル33が配置されている。 (もっと読む)


【課題】シュート幅の段取り替えを行うに際して、生産効率の向上を図ること。
【解決手段】工具を密閉空間S内に挿入して各ボルト41、44を緩めて可動シュート8を固定シュート7から遠ざけて、スペーサ42を装着装置1外へ取出す。この場合、最も上流に位置するスペーサ42を隣のスペーサ42との連結を解除しながら、全てのスペーサ42を装着装置1外へ取出す。その後、幅の異なるスペーサ42を載置しては連結させる動作を繰り返して、全ての異なる幅のスペーサ42をシュート本体6上に載置する。そして、作業者はシュート本体6の前面に開設された挿通孔6Cを介して押し寄せ棒50を使って可動シュート8を固定シュート7方向へ押圧して、工具により各ボルト41、44を締め付けることにより、各スペーサ42を位置決めした状態でスペーサ押さえ43と可動シュート8とでシュート本体6上に固定する。 (もっと読む)


【課題】従来、基板を嵌装可能な下部孔および半導体素子を嵌装可能な上部孔を備えた治具を用いて半導体装置を基板に実装する場合、高精度に位置決めするために半導体素子と上部孔との隙間を狭くする必要があるため、半導体素子の治具の上部孔への嵌装時に生じる実装誤差により、実装ミスが発生する場合がある。
【解決手段】半導体素子2を基板1に実装する際に半導体素子2の基板1に対する位置決めを行う部品実装用治具20であって、基板1に対して所定の位置精度で設置されるベース台21と、前記ベース台21に取り付けられ、前記半導体素子2の基板1に対する位置決めを行うための孔部20bを形成するパーツ部22とを備え、前記ベース台21とパーツ部22とは、互いに線膨張率が異なる部材にて構成され、低温時における前記パーツ部22と半導体素子2との隙間に対して、高温時における前記前記パーツ部22と半導体素子2との隙間が小さくなる。 (もっと読む)


【課題】半導体集積回路装置の組み立てにおける生産性の向上を図る。
【解決手段】多数個取り基板3gを準備した後、第1の加熱ステージ9b上に半導体チップを配置し、その後、第1の加熱ステージ9b上において前記半導体チップの上方に多数個取り基板3gを配置し、続いて、前記半導体チップを第1の加熱ステージ9bによって直接加熱しながら前記半導体チップと多数個取り基板3gとを熱圧着によって仮接合し、前記仮接合の後、第1の加熱ステージ9bに隣接して設けられた第2の加熱ステージ10b上に、前記仮接合した多数個取り基板3gを配置し、その後、第2の加熱ステージ10b上において前記半導体チップを第2の加熱ステージ10bによって直接加熱しながら、前記半導体チップを加圧して前記半導体チップと多数個取り基板3gとを熱圧着によって本接合する。 (もっと読む)


【課題】 複数のワークを同時に搬送した場合、隣接するワーク同士が引っ掛かからないようにして、常に安定したワーク搬送が可能なワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】 リードフレーム(ワーク)1を吊り下げ式に案内支持する第一支持部材10に対して、第一支持部材10の下方で離間した第二支持部材20を相対的に昇降させて、両支持部材10,20でリードフレーム1を交互に支持させる毎に、リードフレーム1を前方X側に傾動させて定ピッチで漸進させる。 (もっと読む)


【課題】 長さが異なるワークに対して専用の冶具を用いることなく1台で対応できる半導体素子の装着装置を提供すること。
【解決手段】 ワーク3を間欠送りする搬送装置2を、ワークの搬送方向に沿って設けられるトランスファ5と、搬送路6上の各ワークに係合して移動させるためにトランスファに所定間隔毎に設けられる複数の搬送ピン7と、トランスファを所定長さづつ往復動させる往復駆動源と、往復駆動源47によりトランスファ5を往動作により移動させた後上昇させてワーク3と搬送ピン7との係合を解除する昇降駆動源51とから構成し、搬送ピン7のピッチをワーク3の最大長より長くする。
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【課題】ワーク保持テーブル1のワーク保持面1aに載置されたワークwを、ワーク保持面1aに形成された吸着溝2を介して真空吸着するワーク保持装置において、吸着溝2の清掃処理を能率よく行うことができるようにする。
【解決手段】ワーク保持面1aに載置した閉塞部材であるワークwで吸着溝全体を閉塞した状態で、吸着溝2の第1連通口3から外気を流入させるとともに、吸着溝2の第2連通口4から吸引して吸着溝2を掃気清掃する。 (もっと読む)


【課題】従来に比べてタクトタイムを大きく短縮させることができる部品実装装置及び部品実装方法を提供することを目的とする。
【解決手段】下側部品P1をピックアップさせて待機ステージ49に移送し、上側部品P2をピックアップさせて上下反転させる第1工程、待機ステージ49上の下側部品P1をピックアップさせて実装ステージ48に移載する第2工程、上下反転された上側部品P2をピックアップさせて実装ステージ48上の下側部品P1に実装する第3工程を含む実装工程を繰り返し行う。第2工程では待機ステージ49上の下側部品P1をピックアップさせて実装ステージ48に移載する際に、前の実装工程において製造された完成部品P3をピックアップさせて実装ステージ48から待機ステージ48に移載し、第3工程を実行している間に待機ステージ49上の完成部品P3の回収及び第1工程を実行する。 (もっと読む)


【課題】インターポーザー基板テープの送り長さを正確に設定する。
【解決手段】すべりを生じさせることなくインターポーザー基板テープ10を所定距離だけ送る送り機構4と、インターポーザー基板の先頭を位置決めのために検出するセンサ5と、個別のインターポーザー基板12を受け取って、良品のインターポーザー基板12のみをキャリアテープ20上に供給するための回転テーブル3とを含む。 (もっと読む)


【課題】部品実装の作動タイミングを優先するレーンを選択可能にすることで適切なワーク管理を実現する部品実装装置および部品実装システムを提供する。
【解決手段】部品実装装置1には2系統のレーンL1、L2が設けられ、各レーンL1、L2における部品実装の作動タイミングを、第1レーンL1における部品実装を優先する第1制御パターン、第2レーンL2における部品実装を優先する第2制御パターン、何れのレーンL1、L2を優先することなく先に部品実装が可能になったレーンから順に部品実装を開始する第3制御パターンの何れかに選択可能にした。 (もっと読む)


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