【課題】リニアモーターの制御性を向上させる技術を提供する。
【解決手段】リニアモーター１０は、スライダー２０と、ステーター３０とを備える。スライダー２０は、複数の永久磁石２１が、同じ極同士が互いに対向するように直列に配列された磁石列２１ｌを有し、電磁力によって磁石列２１ｌの配列方向に沿って移動する。ステーター３０は、スライダー２０の移動方向に沿って配列された２相の電磁コイル３１ａ，３１ｂを備える。また、リニアモーター１０は、スライダー２０の移動を制御するために、磁石列２１ｌの移動に伴う磁束の変化を検出する位置検出センサー４０を備える。位置検出センサー４０は、電磁コイル３１の各相に対応して設けられ、電磁コイル３１の外周に配列され、永久磁石２１同士の境界における磁束を検出し、各相の電磁コイル３１に生じる逆起電圧と等しい位相の波形信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】位置フィードバック機構を用いたモータの制御において、整定時間を短縮することができる制御装置を提供する。
【解決手段】制御装置は、外部より一定間隔ごとに入力される位置指令値から位置指令値の変化量を算出し、算出した変化量に基づいて、モータにおいて生じる位置指令値に対する動作の遅れを補正する補正値を算出する位置指令補正部と、補正値により位置指令値を補正した補正位置指令値に応じた電力をモータに供給する駆動部とを具備する。 （もっと読む）

【課題】リニアスケールを用いずにリニアモータの位置決め精度を改善することができるリニアモータの制御装置を提供する。
【解決手段】リニアモータの制御装置は、リニアモータの電機子が有している磁気センサであってリニアモータの駆動用磁石より生じる磁界の方向に応じた信号を出力する磁気センサから出力される信号の変化に基づいてリニアモータの可動子の位置を検出する位置検出部と、位置検出部が検出した可動子の位置と外部より入力される位置指令値とに基づいて速度指令値を算出する位置制御部と、リニアモータに備えられている複数のコイルに流れる電流値から可動子が移動する速度を推定する推定部と、位置制御部が算出する速度指令値と推定部により推定する可動子の推定移動速度とに基づいて電流指令値を算出する速度制御部と、速度制御部が算出した電流指令値に応じて複数のコイルに電力を供給する電力変換器とを備えている。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータの共振周波数によらず、振動の収束時間を短縮する。
【解決手段】アクチュエータを駆動するボイスコイルモータに供給される駆動電流の目標値を示すデジタル信号である目標電流信号のうち、アクチュエータの共振周波数を含む周波数帯域を減衰させるフィルタ回路と、フィルタ回路の出力信号をアナログ信号に変換して電流制御信号として出力するデジタル・アナログ変換器と、電流制御信号に応じてボイスコイルモータに駆動電流を供給する駆動回路と、を有し、フィルタ回路は、目標電流信号のうち、共振周波数を中心とする周波数帯域を減衰させるデジタルノッチフィルタと、デジタルノッチフィルタの出力信号のうち、所定の周波数以上の周波数帯域を減衰させるデジタルローパスフィルタと、を含み、デジタルローパスフィルタのサンプリング周波数は、デジタルノッチフィルタのサンプリング周波数より高い。 （もっと読む）

【課題】ボイスコイルモータの制御方法及びレンズフォーカスシステムの提供。
【解決手段】本発明によると、ボイスコイルモータの制御方法は、該ボイスコイルモータのコイル電流の総変動量を分割して多次変動とし、毎次変動する時間を該ボイスコイルモータのスプリング共振周期の２分の１とし、これにより大幅にスプリングの共振程度を低減し、これによりボイスコイルモータをスピーディーに安定させ、ひいてはフォーカス時間を短縮する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、エンドプレートおよびツールや治具の重量を支えることができ、また、駆動電流による発熱を抑制し、作業を行う際の駆動力を確保する。
【解決手段】ベースプレート２とエンドプレート４との間に接続された複数のリンク３と、各リンク３に取り付けられ、リンク３を駆動させるアクチュエータ６と、ベースプレート２とエンドプレート４との間に接続され、定常位置でのエンドプレート４およびエンドプレート４に取り付けられた物体の重量を支える重力補償装置５とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 電気負荷装置（ソレノイド）の地絡等の故障を確実に診断する。
【解決手段】 制御装置（マイコン）から駆動回路への駆動信号と、駆動回路の出力状態に応じたステータス信号とを比較する。具体的には、ステータス信号の立ち上がり時に、駆動信号のレベルを判定し、例えばＨレベルで整合性があれば、ステータス信号は有効と判断し、ステータス信号のカウントにより正常と診断する。ソレノイドの地絡故障を生じた場合は、駆動回路の出力が固定され、ステータス信号は発生しなくなる。また、仮に擬似的信号を発生したとしても、その立ち上がり時の駆動信号のレベルを判定し、Ｈレベルでなければ、ステータス信号は無効と判定する。それゆえ、誤診断を防止できる。 （もっと読む）

【課題】固定子と可動子との間の距離の変化を検知可能な検知方法、この検知方法による検知結果に基づいて基板にパターンを転写露光する露光方法、及びこの露光方法を利用してデバイスを製造するデバイス製造方法を提供すること。
【解決手段】検知方法は、第１方向に沿って配列された複数の固定子に対して可動子を第１方向に沿って第１の速度で等速移動させ、等速移動させたときの可動子の第１方向における第１の推力の大きさを検出し、複数の固定子に対して可動子を第１方向に沿って第１の速度とは異なる第２の速度で等速移動させ、等速移動させたときの可動子の第１方向における第２の推力の大きさを検出し、第１及び第２の速度と、第１及び第２の推力の大きさとを用いて、固定子と可動子との間に作用するコギング力の大きさを算出し、算出ステップによって算出されたコギング力の大きさに基づいて、固定子と可動子との間の距離の変化を検知する。 （もっと読む）

【課題】ボイスコイルモーターの提供。
【解決手段】ボイスコイルモーターは、可動磁気回路部品４３、固定回路部品４４、位置感知センサー４２０、保存媒体４２１、コントローラー４２を備え、可動磁気回路部品４３は永久磁石を備え、しかも負荷設置スライド台を物理接続し、固定回路部品４４はコイルにより構成し、位置感知センサー４２０は可動磁気回路部品４３の所在位置を探知でき、信号増幅器により位置電気値を出力し、コントローラー４２が保存媒体４２１より、増益値と偏移量補償値とを読み取り、増益値と偏移量補償値に基づき校正後の位置電気信号値は、固定回路部品４４のコイルに電力を獲得させた後、固定回路部品４４と可動磁気回路部品４３が提供する磁力の相互作用の下、負荷設置スライド台は移動範囲内の上端点と下端点との間で移動する。 （もっと読む）

【課題】スプリングリターン機構付きＶＣＭの振動を抑制可能な制御技術を提供する。
【解決手段】駆動回路１００は、スプリングリターン機構付きボイスコイルモータ１１０を駆動する。駆動電流生成部１０は、ボイスコイルモータ１１０のコイルＬ１に、アナログ制御信号Ｖ２に応じた駆動電流Ｉｄｒｖを供給する。波形メモリ４０は、ボイスコイルモータ１１０の駆動電流Ｉｄｒｖの時間波形を記述するデジタルの波形データＷＤを格納する。波形データＷＤは、その周波数成分から所定の周波数成分が取り除かれている。制御部３０は、ボイスコイルモータ１１０の共振周波数ｆ_０に応じたレートで、波形メモリ４０から波形データＷＤを読み出し、デジタルコードＳ２として出力する。Ｄ／Ａコンバータ１６は、デジタルコードＳ２をアナログ制御信号Ｖ２に変換し、駆動電流生成部１０へと出力する。 （もっと読む）